JPH042929B2 - - Google Patents

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JPH042929B2
JPH042929B2 JP62153803A JP15380387A JPH042929B2 JP H042929 B2 JPH042929 B2 JP H042929B2 JP 62153803 A JP62153803 A JP 62153803A JP 15380387 A JP15380387 A JP 15380387A JP H042929 B2 JPH042929 B2 JP H042929B2
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
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    • GPHYSICS
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    • G02B15/00Optical objectives with means for varying the magnification
    • G02B15/14Optical objectives with means for varying the magnification by axial movement of one or more lenses or groups of lenses relative to the image plane for continuously varying the equivalent focal length of the objective
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は、その主光線が光軸と平行に入出射す
るテレセントリツク結像光学系に関し、とくに結
像倍率が可変できるテレセントリツク結像光学系
に関する。 (従来技術) 正の焦点距離を有する対物レンズの後側焦点
と、同じく正の焦点距離を有する接眼レンズの前
側焦点を一致させたレンズ系は、望遠鏡系として
従来より良く知られている。この望遠鏡系の対物
レンズの前側焦点近傍に物体を置いた場合、接眼
レンズの後側焦点近傍に倒立実像が形成され、主
光線が光軸と平行に入出射するテレセントリツク
結像光学系となる。 この場合、形成された実像の、物体に対する倍
率は、接眼レンズの焦点距離と対物レンズの焦点
距離との比となり、物体距離を変化させても結像
倍率が変化しない特性がある。かかる特性を利用
してテレセントリツク結像光学系は、寸法精度の
厳しい測定機の光学系に用いられる場合が多い。 また、主光線が光軸と平行に入出射する特性を
利用し、前置レンズ系によつて一度結像された空
中像を後置レンズ系の物体として、その像を再度
作成するリレーレンズとしても利用されている。 (従来技術の問題点) かかるテレセントリツク結像光学系の結像倍率
は、物体距離および像距離を変更しても常に一定
に保持され、使用するレンズの焦点距離の組合わ
せによつてのみ決定される。 このため、レンズの加工誤差、その他の原因に
よつて所望の結像倍率と異なつた倍率になつた場
合、これを修正することは困難であつた。 さらに、従来のテレセントリツク結像光学系に
おいては、主光線が光軸と平行に入出射する状態
を保持したまま、結像倍率を2倍以上に変更する
ことは非常に困難であつた。 (問題点を解決するための手段および作用) 本発明は、かかる問題点を解決するため、結像
倍率の修正を可能にしたテレセントリツク結像光
学系を提供することを目的とするものであり、さ
らには2倍以上の倍率変更が可能なテレセントリ
ツク結像光学系を提供することを目的とするもの
で、以下の如く構成される。 すなわち、正の焦点距離を有し、少なくとも一
方が光軸に沿つて移動可能な2群のレンズから成
り、第1群レンズの後側焦点位置と第3群レンズ
の前側焦点位置をほぼ合致させたテレセントリツ
ク結像光学系において、前後両群レンズの焦点合
致位置に正の焦点距離を有する第2群レンズを光
軸に沿つて移動可能に配置したことを主たる構成
とする。 第2群レンズを移動すると、第1群および第2
群レンズの合成焦点位置が変動するため、テレセ
ントリツク光学系の特性を保つためには、その変
動量に対応して第3群レンズを移動し、その前側
焦点位置を第1群レンズと第2群レンズの合成焦
点位置と一致させる必要がある。しかしながら、
3群のレンズの各焦点距離を適切に選択すること
により、第2群レンズの移動が小さい場合、第1
群および第2群レンズの合成焦点位置の変動量は
極めて微量に保つことができ、第3群レンズを固
定しておいてもほぼテレセントリツク光学系を保
持することが可能である。 また、結像倍率を大きく変化させるためには、
第2群レンズの移動量を大きくとる必要がある。
この場合、第1群および第2群レンズの合成焦点
位置の変動も大きくなるため、その変動量に応じ
て第3群レンズを移動し、その前側焦点位置を第
1群レンズと第2群レンズの合成焦点位置に一致
させる必要がある。かかる如く構成すればテレセ
ントリツク結像光学系が保持されるため、物体距
離を変化させても大きく変化した結像倍率は維持
されたまま変化しない。 (実施例) 第1図は、本発明に係るテレセントリツク結像
光学系の原理を説明するための概要図であり、こ
こでは説明を簡単にするため単レンズを使用して
いる。図示する如く、第1、2、3レンズの焦点
距離をそれぞれ100、各レンズ間隔をそれぞれ100
とし、第1レンズの前方50に物体を置いた場合を
想定すると、第3レンズの後方50の位置に像が結
像され、その結像倍率は1となる。 今、第1図破線で示す如く第2レンズを光軸上
で後方(第3レンズの方向)に10移動した場合、
第1および第2レンズの合成後側焦点位置は第1
レンズ側に1.1だけ移動する。したがつて、完全
なテレセントリツク光学系を保つためには第3レ
ンズを前方に1.1移動する必要があるが、その移
動量は、第3レンズの焦点距離と比較するとわず
か1%程度にすぎないため、第3レンズを固定し
たままの状態でも実用上テレセントリツク光学系
と考えても支障は生じない。また、この場合物体
の位置が同じ位置とすれば、像位置の変化は+
0.226となるが、この値はレンズの収差量とほぼ
同程度であり、レンズの明るさにもよるが、無視
できるオーダである。 なお、この場合第1および第2レンズの合成焦
点距離は111.1となり、結像倍率は0.9となる。 逆に、第2レンズを光軸上で第1図実線の位置
より前方(第1レンズの方向)に10移動した場合
第1および第2レンズの合成焦点距離は90.909と
なり、結像倍率は1.1となり、第2レンズの前後
10の移動で、1.22の倍率変化が可能となる。上記
した原理説明では、図示、説明を簡単にするた
め、第1、第2、第3の各レンズを薄肉単レンズ
としたが、実際にはそれぞれ複数枚のレンズで第
1群レンズ、第2群レンズ、第3群レンズとして
構成されるため主点を考慮する必要がある。又、
第1群レンズ(各主点:H11、H12)および第3
群レンズ(各主点:H31、H32)がそれぞれ球面
収差をもつている場合には光軸に平行に入射した
光線が焦点位置を通らず、そのため第2図に示す
如く、焦点位置に球面収差量△S(△S1、△S2
を加算した位置を第2群レンズの各主点H21
H22と一致させる必要がある。なお、球面収差量
△Sの値は、第1群および第3群レンズの構成に
よつて正になる場合と負になる場合がある。 以下に示す実施例では全て第2群レンズの主点
隔差を考慮してあり、前記球面収差を含めたテレ
セントリツク結像光学系になつている。 実施例 1 第1の実施例は上記した結像倍率の修正を可能
にしたテレセントリツク結像光学系の1例を示す
もので、第3図に示す各群レンズとしては以下の
ものを使用する。
【表】 この実施例における各結像倍率1.11、1.00、
0.90に対応する各レンズ配置は以下の如くなる。
【表】 ただし、r1、r2…はレンズ各面の曲率半径、
d1、d2、d4、d5、d6、d8、d9は各レンズの中心
厚、n1、n2…は各レンズエレメントの、波長
587.6nmの光に対する屈折率、ν1、ν2…は各レン
ズエレメントのアツベ数、f1、f2、f3は各群レン
ズの合成焦点距離であり、d0は物体と曲率r1面と
の距離、d3は曲率r3面と曲率r4面との距離、d7
曲率r7面と曲率r8面との距離、d10は曲率r10面と
像面の距離である。 なお、第4図a,b,cは第1の実施例におけ
る第2群レンズを前後に10移動して結像倍率がそ
れぞれ1.00、1.11、0.90となつた場合における球
面収差と非点収差を示す収差曲線図である。 実施例 2 第5図に示す第2の実施例はレンズ系が明る
く、テレセントリツク特性、焦点移動が問題とな
る場合を考慮したもので、この場合第2群レンズ
をさらに2群に分離可能に構成し、第2群レンズ
の移動に伴つてその間隔を変化させれば物体並び
に第1群レンズ、第3群レンズを固定したまま、
テレセントリツク特性が保持され、かつ像位置の
変化もなくすることができる1例を示すものであ
る。
【表】
【表】 この実施例における各結像倍率1.11、1.00、
0.91に対する各レンズ配置は以下の如くなる。
【表】 ただし、d0は物体と曲率r1面との距離、d3は曲
率r3面と曲率r4面との距離、d6は曲率r6面と曲率
r7面との距離、d9は曲率r9面と曲率r10面との距
離、d12は曲率r12面と像面までの距離を示す。 なお、第6図a,b,cは、第2群レンズの移
動に伴ない当該第2群レンズの曲率面r6,r7間の
間隔を変化させた際に得られる結像倍率がそれぞ
れ1.00、1.11、0.91となつた場合における球面収
差と非点収差を示す収差曲線図である。 実施例 3 第7図に示す第3の実施例はテレセントリツク
結像光学系における結像倍率を大きく変化させる
ため、第2群レンズの移動量を大きくした場合に
関するもので、この場合には第1群レンズおよび
第2群レンズ合成焦点位置の変化も大きくなるた
め、該合成焦点位置の移動に応じて第3群レンズ
を移動し、第3群レンズの前側焦点位置を前記合
成焦点位置に一致させるように構成される。 この場合、完全なテレセントリツク結像光学系
となるため、物体距離を変化させてもいつたん設
定された結像倍率は変化しない特長を有する。
【表】 この実施例における各結像倍率1.73、1.00、
0.58に対応する各レンズ配置は以下の如くなる。
【表】 ただし、d0は物体と曲率r1面との距離、d3は曲
率r3面と曲率r4面の距離、d7は曲率r7面と曲率r8
面の距離、d10は曲率r10面と像面との距離を示
す。 なお、第8図a,b,cは結像倍率がそれぞれ
1.00、1.73、0.58となつた場合における球面収差
と非点収差を示す収差曲線図である。 実施例 4 第9図に示す第4の実施例は第3の実施例と同
様、比較的大きな結像倍率の変化を可能にしたテ
レセントリツク結像光学系で、第1群および第3
群レンズをそれぞれ3枚で構成している。
【表】 この実施例における各結像倍率1.50、1.00、
0.67に対応する各レンズ配置は以下の如くなる。
【表】 ただし、d0は物体と曲率r1面との距離、d5は曲
率r5面と曲率r6面の距離、d9は曲率r9面と曲率r10
面の距離、d14は曲率r14面と像面との距離を示
す。 なお、第10図a,b,cは結像倍率がそれぞ
れ1.00、1.50、0.67となつた場合における球面収
差と非点収差を示す収差曲線図である。 以上説明した第1乃至第4の実施例における光
学系では変倍光学系の常識に従つて各レンズ群が
色消しの組合せレンズとなつている。 また、レーザー光学系のリレーレンズとして使
用する場合には、第2群レンズは組合せレンズに
する必要がなく実用上、単レンズであつても良
く、その場合必要に応じて第1群および第3群レ
ンズと組合わせて色消ししておけば充分である。 また、結像光学系の常識として、物体および像
面が光学系の外側(第1群レンズの前方および第
3群レンズの後方)に存在する必要があり、この
ためには各群レンズの焦点距離f1、f2、f3が、f1
<2f2、f3<2f2の条件を満たす必要がある。 さらに上記した実施例ではf1f2f3としたが、
その理由はf1、f3と比較してf2の値が小さいと像
面湾曲が大きくなり有効画面寸法を大きくできな
い点にある。像面の平坦性を良くし、有効画面寸
法を大きくするためには第2群レンズの焦点距離
f2を長くすることが望ましいが、逆にf2が第1群
および第3群レンズの焦点距離f1およびf3と比較
して大き過ぎると、第2群レンズを第1群レンズ
と第3群レンズの間隔一杯に移動させても、結像
倍率があまり変化しないことになる。 したがつて、本発明に係るテレセントリツク結
像光学系を結像倍率の微調整のみを目的として使
用する場合には必要ないが、結像倍率を2倍前後
まで変化させる場合には、f2<2f1、f2<2f3程度
にする必要がある。ここで、上記した各群レンズ
の焦点距離f1、f2、f3に関する条件をまとめると、
本発明に係るテレセントリツク結像光学系に必要
な条件は f1/2<f2<2f1、f3/2<f2<2f3 となる。 また、上記した実施例では、いずれも第1群レ
ンズと第3群レンズの焦点距離が等しい場合(基
準倍率が1.00)について記載したが、必要に応じ
て変更することは可能であり、その場合は基準倍
率が1.00以外の数値になることは自明である。 (効果) 本発明に係るテレセントリツク結像光学系にお
いては、テレセントリツク特性を保持した状態
で、当該光学系の結像倍率の微調整、変更が可能
であるため、常に高精度に倍率設定が可能とな
る。 また、ズーム変倍が可能である上、従来のズー
ム変倍光学系と異なり、入射瞳、出射瞳の位置が
常に無限遠にあつて変化したい特性をもつている
ため、次の光学系と連絡する際にも設計が極めて
容易になるなど、実用多大の利点を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るテレセントリツク結像光
学系の原理を説明するための線図、第2図は本発
明に係るテレセントリツク結像光学系における球
面収差を考慮した線図、第3図は本発明に係るテ
レセントリツク結像光学系の第1の実施例を示す
レンズ構成図、第4図a,b,cは第1の実施例
において結像倍率を変化させた場合の各収差曲線
図、第5図は同じく第2の実施例を示すレンズ構
成図、第6図a,b,cは第2の実施例において
結像倍率を変化させた場合の各収差曲線図、第7
図は同じく第3の実施例を示すレンズ構成図、第
8図a,b,cは第3の実施例において結像倍率
を変化させた場合の各収差曲線図、第9図は同じ
く第4の実施例を示すレンズ構成図、第10図
a,b,cは第4の実施例において結像倍率を変
化させた場合の各収差曲線図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 それぞれ正の焦点距離を有する3群のレンズ
    により成り、第1、第2、第3群のレンズの焦点
    距離をそれぞれf1、f2、f3とした時、 f1/2<f2<2f1、f3/2<f2<2f3 なる関数を満たす光学系であつて、 第1群レンズの後側焦点と第3群レンズの前側
    焦点とが合致し、少なくとも第3群レンズが光軸
    方向に移動可能な如く第1群レンズ、第3群レン
    ズを配置するとともに、前記両焦点合致点の近傍
    に、光軸方向への移動が可能なように第2群レン
    ズを配置した変倍可能なテレセントリツク結像光
    学系。 2 第2群レンズを細分離可能に構成し、第2群
    レンズの光軸方向への移動に伴ない、分離し得る
    第2群レンズの間隔を調整するようにした特許請
    求の範囲第1項記載の、変倍可能なテレセントリ
    ツク結像光学系。
JP62153803A 1987-06-19 1987-06-19 変倍可能なテレセントリック結像光学系 Granted JPS63316817A (ja)

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