JPH04289152A - Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体およびＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法およびＦｅ系軟磁性合金圧粉体の製造方法 - Google Patents
Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体およびＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法およびＦｅ系軟磁性合金圧粉体の製造方法Info
- Publication number
- JPH04289152A JPH04289152A JP3078645A JP7864591A JPH04289152A JP H04289152 A JPH04289152 A JP H04289152A JP 3078645 A JP3078645 A JP 3078645A JP 7864591 A JP7864591 A JP 7864591A JP H04289152 A JPH04289152 A JP H04289152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- magnetic alloy
- atom
- flux density
- based soft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 73
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 48
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims abstract description 14
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 44
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 15
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 56
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 55
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 24
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000976 Electrical steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004455 differential thermal analysis Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 2
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 2
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/147—Alloys characterised by their composition
- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15358—Making agglomerates therefrom, e.g. by pressing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッド、トラン
ス、チョークコイルの製造などに用いられるＦｅ系軟磁
性合金圧粉体とＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法に関す
るものである。
ス、チョークコイルの製造などに用いられるＦｅ系軟磁
性合金圧粉体とＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッド、トランス 、チョークコイ
ル等に用いられる軟磁性合金において、一般的に要求さ
れる諸特性は以下の通りである。
ル等に用いられる軟磁性合金において、一般的に要求さ
れる諸特性は以下の通りである。
【０００３】■飽和磁束密度が高いこと。
■透磁率が高いこと。
■低保磁力であること。
■薄い形状が得やすいこと。
【０００４】また、磁気ヘッドに対しては、前記■〜■
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。
【０００５】■硬度が高いこと。
【０００６】従って、軟磁性合金あるいは磁気ヘッドを
製造する場合、これらの観点から種々の合金系において
材料研究がなされている。
製造する場合、これらの観点から種々の合金系において
材料研究がなされている。
【０００７】従来、前述の用途に対しては、センダスト
、パーマロイ、けい素鋼等の結晶質合金が用いられ、最
近ではＦｅ基およびＣｏ基の非晶質合金も使用されるよ
うになってきている。
、パーマロイ、けい素鋼等の結晶質合金が用いられ、最
近ではＦｅ基およびＣｏ基の非晶質合金も使用されるよ
うになってきている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかるに磁気ヘッドの
場合、高記録密度化に伴う磁気記録媒体の高保磁力化に
対応するため、より好適な高性能磁気ヘッド用の磁性材
料が望まれている。またトランス、チョークコイルの場
合は、電子機器の小型化に伴い、より一層の小型化が必
要であるため、より高性能の磁性材料が望まれている。
場合、高記録密度化に伴う磁気記録媒体の高保磁力化に
対応するため、より好適な高性能磁気ヘッド用の磁性材
料が望まれている。またトランス、チョークコイルの場
合は、電子機器の小型化に伴い、より一層の小型化が必
要であるため、より高性能の磁性材料が望まれている。
【０００９】ところが、前記のセンダストは、軟磁気特
性には優れるものの、飽和磁束密度が約１１ＫＧと低い
欠点があり、パーマロイも同様に、軟磁気特性に優れる
合金組成においては、飽和磁束密度が約８ＫＧと低い欠
点があり、けい素鋼は飽和磁束密度は高いものの軟磁気
特性に劣る欠点がある。
性には優れるものの、飽和磁束密度が約１１ＫＧと低い
欠点があり、パーマロイも同様に、軟磁気特性に優れる
合金組成においては、飽和磁束密度が約８ＫＧと低い欠
点があり、けい素鋼は飽和磁束密度は高いものの軟磁気
特性に劣る欠点がある。
【００１０】一方、非晶質合金において、Ｃｏ基合金は
軟磁気特性に優れるものの飽和磁束密度が１０ＫＧ程度
と不十分である。また、Ｆｅ基合金は飽和磁束密度が高
く、１５ＫＧあるいはそれ以上のものが得られるが、軟
磁気特性が不十分である。また、非晶質合金の熱安定性
は十分ではなく、未だ未解決の面がある。
軟磁気特性に優れるものの飽和磁束密度が１０ＫＧ程度
と不十分である。また、Ｆｅ基合金は飽和磁束密度が高
く、１５ＫＧあるいはそれ以上のものが得られるが、軟
磁気特性が不十分である。また、非晶質合金の熱安定性
は十分ではなく、未だ未解決の面がある。
【００１１】前述のごとく高飽和磁束密度と優れた軟磁
気特性を兼備することは難しい。
気特性を兼備することは難しい。
【００１２】ところで、前記非晶質合金は、通常、急冷
法により薄帯の状態で得られ、この薄帯を打ち抜いたり
、積層して磁気ヘッドの磁心などを製造しているが、磁
気ヘッドやチョークコイルなどの内でも形状が複雑なも
のにおいては、前記非晶質合金の薄帯からは製造できな
い場合がある。このような場合は、非晶質合金の粉末を
作製し、バインダとともに圧密し、圧粉体とすることに
より磁気ヘッドやチョークコイルを得る方法が行なわれ
ている。
法により薄帯の状態で得られ、この薄帯を打ち抜いたり
、積層して磁気ヘッドの磁心などを製造しているが、磁
気ヘッドやチョークコイルなどの内でも形状が複雑なも
のにおいては、前記非晶質合金の薄帯からは製造できな
い場合がある。このような場合は、非晶質合金の粉末を
作製し、バインダとともに圧密し、圧粉体とすることに
より磁気ヘッドやチョークコイルを得る方法が行なわれ
ている。
【００１３】しかしながら従来の非晶質合金には、前記
したような問題があるので、当然のことながら非晶質合
金を粉末化したものにおいても前記のような問題がある
ことが明らかである。
したような問題があるので、当然のことながら非晶質合
金を粉末化したものにおいても前記のような問題がある
ことが明らかである。
【００１４】そこで本発明者らは、先に、前記の従来合
金と非晶質合金の課題を解決した高飽和磁束密度Ｆｅ系
軟磁性合金を平成３年３月１８日付けで特許出願してい
る。
金と非晶質合金の課題を解決した高飽和磁束密度Ｆｅ系
軟磁性合金を平成３年３月１８日付けで特許出願してい
る。
【００１５】この特許出願に係る合金の１つは、次式で
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。
【００１６】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
【００１７】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
【００１８】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
【００１９】更に本発明者らは、前記合金の発展型の合
金として、平成３年３月１８日付けで、以下に示す組成
の合金について特許出願を行っている。
金として、平成３年３月１８日付けで、以下に示す組成
の合金について特許出願を行っている。
【００２０】この特許出願に係る合金の１つは、次式で
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００２１】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００２２】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
【００２３】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
【００２４】以上のように本発明者らは、前記各組成の
種々のＦｅ系軟磁性合金を開発したわけであるが、前記
組成の合金について研究を重ねた結果、これを粉末化し
ても良好な磁気特性が得られることが判明したので本願
発明に到達した。
種々のＦｅ系軟磁性合金を開発したわけであるが、前記
組成の合金について研究を重ねた結果、これを粉末化し
ても良好な磁気特性が得られることが判明したので本願
発明に到達した。
【００２５】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、高飽和磁束密度と高透磁率を兼備し、高い機
械特性と高い熱安定性を併せ持つ軟磁性合金圧粉体およ
び軟磁性合金粉末の製造方法を提供することを目的とす
る。
たもので、高飽和磁束密度と高透磁率を兼備し、高い機
械特性と高い熱安定性を併せ持つ軟磁性合金圧粉体およ
び軟磁性合金粉末の製造方法を提供することを目的とす
る。
【００２６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載した発明
は前記課題を解決するために、次式で示される組成を有
する高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してな
るものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。
は前記課題を解決するために、次式で示される組成を有
する高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してな
るものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。
【００２７】請求項２に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
【００２８】請求項３に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００２９】請求項４に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００３０】請求項５に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
【００３１】請求項６に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
【００３２】請求項７に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
【００３３】請求項８に記載した発明は前記課題を解決
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
するために、次式で示される組成を有する高飽和磁束密
度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなるものである。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
【００３４】請求項９に記載した発明は前記課題を解決
するために、請求項１，２，３，４，５，６，７または
８に記載の高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を製造
する際に、請求項１，２，３，４，５，６，７または８
に記載の組成を有する高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金
を結晶化温度以上の温度に加熱して脆化させ、粉砕する
ものである。
するために、請求項１，２，３，４，５，６，７または
８に記載の高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を製造
する際に、請求項１，２，３，４，５，６，７または８
に記載の組成を有する高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金
を結晶化温度以上の温度に加熱して脆化させ、粉砕する
ものである。
【００３５】
【作用】特定の組成の軟磁性合金粉末を用いて圧粉体を
形成するので、高飽和磁束密度と高透磁率を兼ね備え、
かつ、高い機械特性と熱安定性を併せ持つＦｅ系軟磁性
合金の圧粉体を得ることができる。
形成するので、高飽和磁束密度と高透磁率を兼ね備え、
かつ、高い機械特性と熱安定性を併せ持つＦｅ系軟磁性
合金の圧粉体を得ることができる。
【００３６】また、前記特定の組成の軟磁性合金は結晶
化温度以上に加熱することで脆くなることが本発明者ら
の研究で判明しているのでこの状態で粉砕することで容
易に粉末化することができる。
化温度以上に加熱することで脆くなることが本発明者ら
の研究で判明しているのでこの状態で粉砕することで容
易に粉末化することができる。
【００３７】以下に本発明を更に詳細に説明する。
【００３８】本発明に係る高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性
合金粉末を得るには、先に本発明者らが特許出願してい
る組成の軟磁性合金の溶湯からアトマイズ法などによっ
て急冷して粉末化する工程と、前記工程で得られたもの
を加熱し微細な結晶粒を析出させる熱処理工程とによっ
て通常得ることが出来る。なお、前記軟磁性合金粉末を
製造する場合、先に本発明者らが特許出願している合金
を作製し、この合金を結晶化温度以上に加熱し、脆化さ
せた後に粉砕して得ることもできる。
合金粉末を得るには、先に本発明者らが特許出願してい
る組成の軟磁性合金の溶湯からアトマイズ法などによっ
て急冷して粉末化する工程と、前記工程で得られたもの
を加熱し微細な結晶粒を析出させる熱処理工程とによっ
て通常得ることが出来る。なお、前記軟磁性合金粉末を
製造する場合、先に本発明者らが特許出願している合金
を作製し、この合金を結晶化温度以上に加熱し、脆化さ
せた後に粉砕して得ることもできる。
【００３９】ここで例えば、アトマイズ法によって磁性
合金粉末を得るには、前記組成の合金材料を高周波溶解
炉などを用いてルツボ内にて金属溶湯とし、ルツボ底部
に設けられた溶湯噴出用ノズルを通して流下、落下させ
る。そして、噴出用ノズルから落下する溶湯流に対して
、例えば円形状に配置された多孔の噴霧化ノズルにより
、窒素ガスを所定の圧力で吹き付けて溶湯流を粉末化す
ることにより得ることができる。
合金粉末を得るには、前記組成の合金材料を高周波溶解
炉などを用いてルツボ内にて金属溶湯とし、ルツボ底部
に設けられた溶湯噴出用ノズルを通して流下、落下させ
る。そして、噴出用ノズルから落下する溶湯流に対して
、例えば円形状に配置された多孔の噴霧化ノズルにより
、窒素ガスを所定の圧力で吹き付けて溶湯流を粉末化す
ることにより得ることができる。
【００４０】また、前記組成のＦｅ系軟磁性合金は、結
晶化温度以上に加熱することで脆くなることが本発明者
らの研究で判明しているので、この特性を利用して粉末
化することもできる。前記組成の合金を結晶化温度以上
、好ましくは、５５０〜６５０℃の温度範囲に加熱して
脆化させ、この状態で粉砕し、粒径を揃えることにより
粉末化することもできる。
晶化温度以上に加熱することで脆くなることが本発明者
らの研究で判明しているので、この特性を利用して粉末
化することもできる。前記組成の合金を結晶化温度以上
、好ましくは、５５０〜６５０℃の温度範囲に加熱して
脆化させ、この状態で粉砕し、粒径を揃えることにより
粉末化することもできる。
【００４１】本発明において非晶質相を得やすくするた
めには、非晶質形成能を有するＴｉ，Ｎｂ，Ｔａの少な
くとも１つ及びＢを含む必要がある。
めには、非晶質形成能を有するＴｉ，Ｎｂ，Ｔａの少な
くとも１つ及びＢを含む必要がある。
【００４２】Ｂには本発明合金の非晶質形成能を高める
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためＢ添加は必須である。Ｂと同様にＡ１，Ｓ
ｉ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成元素として一般に用いられて
おり、これらの元素を添加した場合も本発明と同一とみ
なすことができる。
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためＢ添加は必須である。Ｂと同様にＡ１，Ｓ
ｉ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成元素として一般に用いられて
おり、これらの元素を添加した場合も本発明と同一とみ
なすことができる。
【００４３】ＴｉとＮｂとＴａにも同等の効果があるが
、これらの元素の中でもＮｂとＴａは、融点の高い金属
材料であって熱的に安定であり、製造時に酸化しずらい
ものである。よってこれらの元素を添加している場合は
、先に本願発明者らがＨｆやＺｒを含有する材料を特許
出願（特願平２−１０８３０８号）しているが、それよ
りも製造条件が容易で安価に製造することができ、コス
トの面でも有利である。即ち、その本願発明者らが特許
出願している系の合金においては、真空雰囲気中におい
て不活性ガスを供給して酸化に留意しつつ製造する必要
があったが、本願発明の合金においては製造条件をゆる
くすることができる。具体的には、ノズル先端部に不活
性ガスを部分的に供給しつつ大気中で製造、もしくは大
気中の雰囲気で製造することができる。
、これらの元素の中でもＮｂとＴａは、融点の高い金属
材料であって熱的に安定であり、製造時に酸化しずらい
ものである。よってこれらの元素を添加している場合は
、先に本願発明者らがＨｆやＺｒを含有する材料を特許
出願（特願平２−１０８３０８号）しているが、それよ
りも製造条件が容易で安価に製造することができ、コス
トの面でも有利である。即ち、その本願発明者らが特許
出願している系の合金においては、真空雰囲気中におい
て不活性ガスを供給して酸化に留意しつつ製造する必要
があったが、本願発明の合金においては製造条件をゆる
くすることができる。具体的には、ノズル先端部に不活
性ガスを部分的に供給しつつ大気中で製造、もしくは大
気中の雰囲気で製造することができる。
【００４４】本発明においては、Ｃｕ，Ｎｉおよびこれ
らと同族元素のうちから選ばれた少なくとも１種又は２
種以上の元素を０．２〜４．５原子％含むことが好まし
い。 添加量が０．２原子％より少ないと前記の熱処理工程に
より優れた軟磁気特性を得ることが難しいが、飽和磁束
密度が若干高くなるので、上記元素の添加量は０．２原
子％以下であってもよい。
らと同族元素のうちから選ばれた少なくとも１種又は２
種以上の元素を０．２〜４．５原子％含むことが好まし
い。 添加量が０．２原子％より少ないと前記の熱処理工程に
より優れた軟磁気特性を得ることが難しいが、飽和磁束
密度が若干高くなるので、上記元素の添加量は０．２原
子％以下であってもよい。
【００４５】これらの元素の中でもＣｕは特に好適であ
る。
る。
【００４６】Ｃｕ，Ｎｉ等の添加により、軟磁気特性が
著しく改善される機構については明らかではないが、結
晶化温度を示差熱分析法により測定したところ、Ｃｕ，
Ｎｉ等を添加した合金の結晶化温度は、添加しない合金
に比べてやや低い温度であると認められた。これは前記
元素の添加により非晶質相が不均一となり、その結果、
非晶質相の安定性が低下したことに起因すると考えられ
る。 また不均一な非晶質相が結晶化する場合、部分的に結晶
化しやすい領域が多数でき不均一核生成するため、得ら
れる組織が微細結晶粒組織となると考えられる。また特
にＦｅに対する固溶度が著しく低い元素であるＣｕの場
合、相分離傾向があるため、加熱によりミクロな組成ゆ
らぎが生じ、非晶質相が不均一となる傾向がより顕著に
なると考えられ、組織の微細化に寄与するものと考えら
れる。
著しく改善される機構については明らかではないが、結
晶化温度を示差熱分析法により測定したところ、Ｃｕ，
Ｎｉ等を添加した合金の結晶化温度は、添加しない合金
に比べてやや低い温度であると認められた。これは前記
元素の添加により非晶質相が不均一となり、その結果、
非晶質相の安定性が低下したことに起因すると考えられ
る。 また不均一な非晶質相が結晶化する場合、部分的に結晶
化しやすい領域が多数でき不均一核生成するため、得ら
れる組織が微細結晶粒組織となると考えられる。また特
にＦｅに対する固溶度が著しく低い元素であるＣｕの場
合、相分離傾向があるため、加熱によりミクロな組成ゆ
らぎが生じ、非晶質相が不均一となる傾向がより顕著に
なると考えられ、組織の微細化に寄与するものと考えら
れる。
【００４７】以上の観点からＣｕ及びその同族元素、Ｎ
ｉおよびＰｄ，Ｐｔ以外の元素でも結晶化温度を低下さ
せる元素には同様の効果が期待できる。またＣｕのよう
にＦｅに対する固溶限が小さい元素にも同様の効果が期
待できる。
ｉおよびＰｄ，Ｐｔ以外の元素でも結晶化温度を低下さ
せる元素には同様の効果が期待できる。またＣｕのよう
にＦｅに対する固溶限が小さい元素にも同様の効果が期
待できる。
【００４８】以上、本発明の軟磁性合金に含まれる合金
元素の限定理由を説明したが、これらの元素以外でも耐
食性を改善するために、Ｃｒ，Ｍｏ，あるいはＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｉｒなどの白金族元素を添加することも可能であり
、また、必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃｄ，
Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ，Ｓ
ｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等の元
素を添加することで磁歪を調整することもできる。その
他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については所望
の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金の組成と同一とみなすこと
ができるのは勿論である。
元素の限定理由を説明したが、これらの元素以外でも耐
食性を改善するために、Ｃｒ，Ｍｏ，あるいはＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｉｒなどの白金族元素を添加することも可能であり
、また、必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃｄ，
Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ，Ｓ
ｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等の元
素を添加することで磁歪を調整することもできる。その
他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については所望
の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金の組成と同一とみなすこと
ができるのは勿論である。
【００４９】本発明で使用するＦｅ系軟磁性合金溶湯に
おけるＦｅ，Ｃｏ量のｂは、元素Ｔ’ｚを含む合金溶湯
においては９２原子％以下である。これは、ｂが９２原
子％を越えると高い透磁率が得られないためであるが、
飽和磁束密度１０ｋＧ以上を得るためには、ｂが７５原
子％以上であることがより好ましい。また、元素Ｔ’ｚ
を含まない合金溶湯においては、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ量を
９３原子％以下とする。
おけるＦｅ，Ｃｏ量のｂは、元素Ｔ’ｚを含む合金溶湯
においては９２原子％以下である。これは、ｂが９２原
子％を越えると高い透磁率が得られないためであるが、
飽和磁束密度１０ｋＧ以上を得るためには、ｂが７５原
子％以上であることがより好ましい。また、元素Ｔ’ｚ
を含まない合金溶湯においては、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ量を
９３原子％以下とする。
【００５０】
【実施例】次に前記組成の合金を実際に製造し、得られ
た軟磁性合金の磁気特性を測定した結果を示す。
た軟磁性合金の磁気特性を測定した結果を示す。
【００５１】以下の例に示す各合金は片ロール液体急冷
法により作成した。すなわち、１つの回転している鋼製
ロール上におかれたノズルより溶融金属をアルゴンガス
の圧力により前記ロール上に噴出させ、急冷して薄帯を
得る。以上のように作成した薄帯の幅は約１５ｍｍであ
り、厚さは約２０〜４０μｍであった。
法により作成した。すなわち、１つの回転している鋼製
ロール上におかれたノズルより溶融金属をアルゴンガス
の圧力により前記ロール上に噴出させ、急冷して薄帯を
得る。以上のように作成した薄帯の幅は約１５ｍｍであ
り、厚さは約２０〜４０μｍであった。
【００５２】透磁率は、薄帯を加工し、外径１０ｍｍ、
内径５ｍｍのリング状とし、これを積み重ねたものに巻
線し、インダクタンス法により測定した。この透磁率（
μ）の測定条件は１０ｍＯｅ，１ＫＨｚとした。
内径５ｍｍのリング状とし、これを積み重ねたものに巻
線し、インダクタンス法により測定した。この透磁率（
μ）の測定条件は１０ｍＯｅ，１ＫＨｚとした。
【００５３】まず、本発明合金の磁気特性および構造に
およぼす熱処理の効果について本発明合金の一つである
Ｆｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金を例にとって以下に説
明する。尚、昇温速度毎分１０℃の示差熱分析により求
めたＦｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金の結晶化開始温度
は４７０℃であった。
およぼす熱処理の効果について本発明合金の一つである
Ｆｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金を例にとって以下に説
明する。尚、昇温速度毎分１０℃の示差熱分析により求
めたＦｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金の結晶化開始温度
は４７０℃であった。
【００５４】図１は、Ｆｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金
の実効透磁率に及ぼす焼純（各温度で１時間保持後水焼
入れ）の効果を示す。
の実効透磁率に及ぼす焼純（各温度で１時間保持後水焼
入れ）の効果を示す。
【００５５】図１より、急冷状態（ＲＱ）における本合
金の実効透磁率は、Ｆｅ基非晶質合金程度の低い値を示
すが、５００〜６２０℃の焼鈍により、急冷状態の１０
倍程度の高い値に増加している。ここで６００℃熱処理
後の厚さ約２０μｍの試料について透磁率の周波数依存
を調べたところ、１ＫＨｚで２８８００、１０ＫＨｚで
２５４００、更に１００ＫＨｚで７６００と、高い測定
周波数においても優れた軟磁気特性を示した。
金の実効透磁率は、Ｆｅ基非晶質合金程度の低い値を示
すが、５００〜６２０℃の焼鈍により、急冷状態の１０
倍程度の高い値に増加している。ここで６００℃熱処理
後の厚さ約２０μｍの試料について透磁率の周波数依存
を調べたところ、１ＫＨｚで２８８００、１０ＫＨｚで
２５４００、更に１００ＫＨｚで７６００と、高い測定
周波数においても優れた軟磁気特性を示した。
【００５６】よって本合金の磁気特性は最適な熱処理条
件を適当に選ぶことにより調整することができ、また磁
場中焼鈍などにより磁気特性を改善することもできる。
件を適当に選ぶことにより調整することができ、また磁
場中焼鈍などにより磁気特性を改善することもできる。
【００５７】また、Ｆｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金の
熱処理前後の構造の変化をＸ線回折法により調べ、熱処
理後の組織を透過電子顕微鏡を用いて観察し、結果をそ
れぞれ図２と図３に示す。
熱処理前後の構造の変化をＸ線回折法により調べ、熱処
理後の組織を透過電子顕微鏡を用いて観察し、結果をそ
れぞれ図２と図３に示す。
【００５８】図２より、急冷状態では非晶質に特有のハ
ローな回折図形が、熱処理後には体心立方晶に独特の回
折図形がそれぞれ認められ、本合金の構造が熱処理によ
り、非晶質から体心立方晶へと変化したことがわかる。 そして図３より、熱処理後の組織が、粒径約１００オン
グストローム程度の微結晶から成ることがわかる。
ローな回折図形が、熱処理後には体心立方晶に独特の回
折図形がそれぞれ認められ、本合金の構造が熱処理によ
り、非晶質から体心立方晶へと変化したことがわかる。 そして図３より、熱処理後の組織が、粒径約１００オン
グストローム程度の微結晶から成ることがわかる。
【００５９】また、Ｆｅ８０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１合金に
ついて熱処理前後の硬さの変化を調べたところ、ビッカ
ース硬さで急冷状態の６５０ＤＰＮから６５０℃熱処理
後には９５０ＤＰＮと従来材料にない高い値まで増加し
、磁気ヘッド用材料に好適であることも判明した。
ついて熱処理前後の硬さの変化を調べたところ、ビッカ
ース硬さで急冷状態の６５０ＤＰＮから６５０℃熱処理
後には９５０ＤＰＮと従来材料にない高い値まで増加し
、磁気ヘッド用材料に好適であることも判明した。
【００６０】以上のごとく前記組成の合金は、前述の組
成を有する非晶質合金を熱処理により結晶化させ、超微
細結晶粒を主とする組織を得ることにより、高飽和磁束
密度でかつ軟磁気特性に優れ、更に高い硬さと高い熱安
定性を有する優れた特性を得ることができる。
成を有する非晶質合金を熱処理により結晶化させ、超微
細結晶粒を主とする組織を得ることにより、高飽和磁束
密度でかつ軟磁気特性に優れ、更に高い硬さと高い熱安
定性を有する優れた特性を得ることができる。
【００６１】次に前記の如く得られた合金を粉末化する
場合について説明する。
場合について説明する。
【００６２】前記の合金は急冷状態で非晶質相組織とな
るため、延性に富み、そのままの状態では粉砕して粉末
化することは難しい。よって、前記の如く得られた合金
を５００℃以上に加熱して脆化させた状態でボールミル
やアトライターなどの粉砕装置により粉砕する。この操
作によって粒径１〜１００μｍ程度の軟磁性合金粉末を
得ることができる。
るため、延性に富み、そのままの状態では粉砕して粉末
化することは難しい。よって、前記の如く得られた合金
を５００℃以上に加熱して脆化させた状態でボールミル
やアトライターなどの粉砕装置により粉砕する。この操
作によって粒径１〜１００μｍ程度の軟磁性合金粉末を
得ることができる。
【００６３】次にこの軟磁性合金粉末を用いて磁気ヘッ
ドコアを製造する場合について説明する。
ドコアを製造する場合について説明する。
【００６４】まず、図４に示すように、プレス装置Ｐの
上型ＰＵと下型ＰＬとによって、軟磁性合金粉末Ａを所
定形状のコアＢに一次成形する。この一次成形コアＢは
、次に図５に示す加圧カプセル１０内に圧力媒体粉末Ｃ
とともに封入される。図面では、維持成形コアＢを１つ
のみ描いているが、実際には多数の一次成形コアＢが同
時に加圧カプセル１０内に封入される。
上型ＰＵと下型ＰＬとによって、軟磁性合金粉末Ａを所
定形状のコアＢに一次成形する。この一次成形コアＢは
、次に図５に示す加圧カプセル１０内に圧力媒体粉末Ｃ
とともに封入される。図面では、維持成形コアＢを１つ
のみ描いているが、実際には多数の一次成形コアＢが同
時に加圧カプセル１０内に封入される。
【００６５】加圧カプセル１０は、有底筒状の本体１１
と、この本体１１の上部に被せる蓋体１２とからなり、
蓋体１２には脱気パイプ１３が開口している。この加圧
カプセル１０内には、蓋体１２を外した状態にいて、本
体１１内に一次成形コアＢと圧力媒体粉末Ｃが充填され
る。次いで、本体１１の上部内面に一次成形コアＢおよ
び圧力媒体粉末Ｃが通過しないメッシュ板１４を被せて
、本体１１と蓋体１２を溶接し、本体１１と蓋体１２間
の隙間をなくす。そして脱気パイプ１３を潰して、内部
に一次成形コアＢおよび圧力媒体粉末Ｃを封入した密閉
されたワーク３０（加圧カプセル１０）を完成する。
と、この本体１１の上部に被せる蓋体１２とからなり、
蓋体１２には脱気パイプ１３が開口している。この加圧
カプセル１０内には、蓋体１２を外した状態にいて、本
体１１内に一次成形コアＢと圧力媒体粉末Ｃが充填され
る。次いで、本体１１の上部内面に一次成形コアＢおよ
び圧力媒体粉末Ｃが通過しないメッシュ板１４を被せて
、本体１１と蓋体１２を溶接し、本体１１と蓋体１２間
の隙間をなくす。そして脱気パイプ１３を潰して、内部
に一次成形コアＢおよび圧力媒体粉末Ｃを封入した密閉
されたワーク３０（加圧カプセル１０）を完成する。
【００６６】なお脱気する際には、加圧カプセル１０を
加熱炉Ｆに入れ、焼く５００℃〜９００℃前後の温度を
加える。これはガス抜きをより完全にするための加熱で
、この種の脱気では常套的に行なわれる。
加熱炉Ｆに入れ、焼く５００℃〜９００℃前後の温度を
加える。これはガス抜きをより完全にするための加熱で
、この種の脱気では常套的に行なわれる。
【００６７】圧力媒体粉末Ｃは、軟磁性合金粉末Ａ（
一次成形コアＢ）と化学反応しない材料から選定して用
いる。ここで一次成形コアＢが前記組成のＦｅ系軟磁性
合金粉末であるので、ＺｒＯ２粉末を用いると良い。こ
の他、ＭｇＯ粉末を用いても良い。
一次成形コアＢ）と化学反応しない材料から選定して用
いる。ここで一次成形コアＢが前記組成のＦｅ系軟磁性
合金粉末であるので、ＺｒＯ２粉末を用いると良い。こ
の他、ＭｇＯ粉末を用いても良い。
【００６８】図６は、このワーク３０を高温高圧下で処
理する熱間熱間静水圧プレス２０の概念図で、高圧円筒
２１の上下が上蓋２２とした蓋２３で開閉および閉塞可
能となっている。上蓋２２には高圧ガス導入管２４が開
口している。高圧円筒２１内には、ワーク３０の支持台
２５と、ヒータ２６とが位置しており、高圧円筒２１と
ヒータ２６の間には、断熱層２７が設けられている。
理する熱間熱間静水圧プレス２０の概念図で、高圧円筒
２１の上下が上蓋２２とした蓋２３で開閉および閉塞可
能となっている。上蓋２２には高圧ガス導入管２４が開
口している。高圧円筒２１内には、ワーク３０の支持台
２５と、ヒータ２６とが位置しており、高圧円筒２１と
ヒータ２６の間には、断熱層２７が設けられている。
【００６９】ワーク３０は、この熱間静水圧プレスの支
持台２５上に載置され、ヒータ２６によって高温に熱せ
られると同時に、導入管２４から導入される圧力媒体と
しての高圧ガスにより、等方性の圧力を受ける。その結
果、ワーク３０（カプセル１０）は全体が圧縮変形され
る。この圧縮変形の過程において、加圧カプセル１０内
の一次成形コアＢは、圧力媒体粉末Ｃを介して等方圧力
を受ける。また、ヒータ２６による熱も、圧力媒体粉末
Ｃを介して受けるために、一次成形コアＢが急激に加熱
されることがなく、急激加熱に起因する一次成形コアＢ
の割れや変形を生じることがない。即ち、一次成形コア
Ｂは均等に圧縮され、内部の気泡が除かれて最終的に焼
結され、磁気ヘッドコアＤが完成する。この磁気ヘッド
コアＤは、一次成形コアＢに比して縮むため、縮み代を
考慮して一次成形コアＢの形状を決定しておく。
持台２５上に載置され、ヒータ２６によって高温に熱せ
られると同時に、導入管２４から導入される圧力媒体と
しての高圧ガスにより、等方性の圧力を受ける。その結
果、ワーク３０（カプセル１０）は全体が圧縮変形され
る。この圧縮変形の過程において、加圧カプセル１０内
の一次成形コアＢは、圧力媒体粉末Ｃを介して等方圧力
を受ける。また、ヒータ２６による熱も、圧力媒体粉末
Ｃを介して受けるために、一次成形コアＢが急激に加熱
されることがなく、急激加熱に起因する一次成形コアＢ
の割れや変形を生じることがない。即ち、一次成形コア
Ｂは均等に圧縮され、内部の気泡が除かれて最終的に焼
結され、磁気ヘッドコアＤが完成する。この磁気ヘッド
コアＤは、一次成形コアＢに比して縮むため、縮み代を
考慮して一次成形コアＢの形状を決定しておく。
【００７０】以上のようにして圧縮変形されたワーク３
０は、熱間静水圧プレスから取り出して後、図７に示す
ようにその本体１１および蓋体１２を壊して、内部の完
成された磁気ヘッドコアＤを取り出す。磁気ヘッドコア
Ｄはプレス装置Ｐによって予め所定の形状に加工されて
いるために、磁気ヘッドコアとしてそのまま使用するこ
とができる。
０は、熱間静水圧プレスから取り出して後、図７に示す
ようにその本体１１および蓋体１２を壊して、内部の完
成された磁気ヘッドコアＤを取り出す。磁気ヘッドコア
Ｄはプレス装置Ｐによって予め所定の形状に加工されて
いるために、磁気ヘッドコアとしてそのまま使用するこ
とができる。
【００７１】また、以上の熱間静水圧プレスにおいて、
一次成形コアＢは、これと化学反応しない圧力媒体粉末
Ｃで覆われるため、完成された磁気ヘッドコアＤに、性
質の変化を生じるおそれはない。
一次成形コアＢは、これと化学反応しない圧力媒体粉末
Ｃで覆われるため、完成された磁気ヘッドコアＤに、性
質の変化を生じるおそれはない。
【００７２】なお、以上の説明においては、磁気ヘッド
コアＤを製造する場合について説明したが、プレス装置
Ｐの型の形状を適宜変更することで、磁気ヘッドコアに
限らず、変圧器、電動機、チョークコイルなどの磁心の
製造方法として広く利用できることは勿論である。
コアＤを製造する場合について説明したが、プレス装置
Ｐの型の形状を適宜変更することで、磁気ヘッドコアに
限らず、変圧器、電動機、チョークコイルなどの磁心の
製造方法として広く利用できることは勿論である。
【００７３】次に、図４ないし図７を基に先に説明した
方法によって磁気ヘッドコアを製造し、この磁気ヘッド
コアの磁気性能を測定した。
方法によって磁気ヘッドコアを製造し、この磁気ヘッド
コアの磁気性能を測定した。
【００７４】Ｆｅ系軟磁性合金粉末として、Ｆｅ８０Ｎ
ｂ７Ｂ１２Ｃｕ１なる組成の合金を結晶化温度以上に加
熱して粉砕することにより得たものを用いた。
ｂ７Ｂ１２Ｃｕ１なる組成の合金を結晶化温度以上に加
熱して粉砕することにより得たものを用いた。
【００７５】この軟磁性合金粉末をプレス装置によって
磁気ヘッドコア状になるように一次成形した。次にこの
一次成形品に、真空を含む不活性ガス雰囲気中において
５００〜６００℃で予備焼結を行った。次いでこの一次
成形品を温度６００℃、圧力５０００気圧、焼結時間１
時間に設定して熱間静水圧プレスを行った。
磁気ヘッドコア状になるように一次成形した。次にこの
一次成形品に、真空を含む不活性ガス雰囲気中において
５００〜６００℃で予備焼結を行った。次いでこの一次
成形品を温度６００℃、圧力５０００気圧、焼結時間１
時間に設定して熱間静水圧プレスを行った。
【００７６】得られた磁気ヘッドコアの透磁率μｅ（１
ＫＨｚ）は８０００、保磁力は０．１（Ｏｅ）、飽和磁
束密度は１３．８ｋＧを示し、優れた磁気特性を発揮す
ることを確認できた。
ＫＨｚ）は８０００、保磁力は０．１（Ｏｅ）、飽和磁
束密度は１３．８ｋＧを示し、優れた磁気特性を発揮す
ることを確認できた。
【００７７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、特定の組
成の軟磁性合金粉末を圧密するので、高飽和磁束密度と
高透磁率を併せ持ち、高い機械特性と熱安定性を備えた
優れた磁気製品を製造できる効果がある。従って、磁気
ヘッドコア、トランス、チョークコイルなどにおいて、
形状が複雑な磁気製品であっても高性能なものを容易に
得ることができる効果がある。
成の軟磁性合金粉末を圧密するので、高飽和磁束密度と
高透磁率を併せ持ち、高い機械特性と熱安定性を備えた
優れた磁気製品を製造できる効果がある。従って、磁気
ヘッドコア、トランス、チョークコイルなどにおいて、
形状が複雑な磁気製品であっても高性能なものを容易に
得ることができる効果がある。
【００７８】また、前記特定の組成の軟磁性合金が結晶
化温度以上で脆くなることを利用して粉砕して粉末化す
るならば、高飽和磁束密度と高透磁率を併せ持ち、高い
機械特性と熱安定性を備えた優れた圧粉体からなる磁気
製品を製造できる軟磁性合金粉末を容易に得ることがで
きる効果がある。
化温度以上で脆くなることを利用して粉砕して粉末化す
るならば、高飽和磁束密度と高透磁率を併せ持ち、高い
機械特性と熱安定性を備えた優れた圧粉体からなる磁気
製品を製造できる軟磁性合金粉末を容易に得ることがで
きる効果がある。
【図１】Ｆｅ系軟磁性合金の一例の透磁率と熱処理温度
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図２】前記合金の熱処理前後の構造変化を示すＸ線回
折図形を示すグラフである。
折図形を示すグラフである。
【図３】前記合金の熱処理後の組織を示す顕微鏡写真の
模式図である。
模式図である。
【図４】プレス装置により軟磁性合金粉末から一次成形
コアを形成する模様を示す模式図である。
コアを形成する模様を示す模式図である。
【図５】図５中（Ａ）ないし（Ｃ）は一次成形コアを加
圧カプセル内に入れる様子を示す断面図である。
圧カプセル内に入れる様子を示す断面図である。
【図６】図５の加圧カプセルを高温下で加圧する熱間静
水圧プレスの概念図である。
水圧プレスの概念図である。
【図７】加圧カプセル内から磁気ヘッドコアを取り出す
状態を示す模式図である。
状態を示す模式図である。
Ａ 軟磁性合金粉末
Ｂ 一次成形コア
Ｃ 圧力媒体粉末
Ｄ 磁気ヘッドコア
１０ 圧力カプセル
１１ 本体
１２ 蓋体
１３ 脱気パイプ
２０ 熱間静水圧プレス
２１ 高圧円筒
２４ 高圧ガス導入管
２６ ヒータ
３０ ワーク（加圧カプセル）
Claims (9)
- 【請求項１】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。 - 【請求項２】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。 - 【請求項３】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。 - 【請求項４】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。 - 【請求項５】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。 - 【請求項６】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。 - 【請求項７】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。 - 【請求項８】 次式で示される組成を有する高飽和磁
束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を圧密してなることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金圧粉体。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。 - 【請求項９】 請求項１，２，３，４，５，６，７ま
たは８に記載の高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金粉末を
製造する際に、請求項１，２，３，４，５，６，７また
は８に記載の組成を有する高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性
合金を結晶化温度以上の温度に加熱して脆化させ、粉砕
することを特徴とするＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3078645A JPH04289152A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体およびＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法およびＦｅ系軟磁性合金圧粉体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3078645A JPH04289152A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体およびＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法およびＦｅ系軟磁性合金圧粉体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04289152A true JPH04289152A (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=13667604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3078645A Pending JPH04289152A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体およびＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法およびＦｅ系軟磁性合金圧粉体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04289152A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1850334A1 (en) * | 2006-04-27 | 2007-10-31 | Heraeus, Inc. | Soft magnetic underlayer in magnetic media and soft magnetic alloy based sputter target |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01156451A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-20 | Hitachi Metals Ltd | 高飽和磁束密度軟磁性合金 |
| JPH01242755A (ja) * | 1988-03-23 | 1989-09-27 | Hitachi Metals Ltd | Ｆｅ基磁性合金 |
| JPH01294847A (ja) * | 1988-05-23 | 1989-11-28 | Toshiba Corp | 軟磁性合金 |
| JPH02125801A (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-14 | Hitachi Metals Ltd | 扁平状Ｆｅ基軟磁性合金微粉末およびその製造方法 |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP3078645A patent/JPH04289152A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01156451A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-20 | Hitachi Metals Ltd | 高飽和磁束密度軟磁性合金 |
| JPH01242755A (ja) * | 1988-03-23 | 1989-09-27 | Hitachi Metals Ltd | Ｆｅ基磁性合金 |
| JPH01294847A (ja) * | 1988-05-23 | 1989-11-28 | Toshiba Corp | 軟磁性合金 |
| JPH02125801A (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-14 | Hitachi Metals Ltd | 扁平状Ｆｅ基軟磁性合金微粉末およびその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1850334A1 (en) * | 2006-04-27 | 2007-10-31 | Heraeus, Inc. | Soft magnetic underlayer in magnetic media and soft magnetic alloy based sputter target |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0455113B1 (en) | Fe based soft magnetic alloy, magnetic material containing same, and magnetic apparatus using the magnetic materials | |
| US7622011B2 (en) | Spherical particles of Fe base metallic glass alloy, Fe base sintered alloy soft magnetic material in bulk form produced by sintering the same, and method for their production | |
| JP4591633B2 (ja) | ナノコンポジットバルク磁石およびその製造方法 | |
| JP5305126B2 (ja) | 軟磁性粉末、圧粉磁心の製造方法、圧粉磁心、及び磁性部品 | |
| JP6088192B2 (ja) | 圧粉磁芯の製造方法 | |
| JP2713363B2 (ja) | Ｆｅ基軟磁性合金圧粉体及びその製造方法 | |
| US5509975A (en) | Soft magnetic bulky alloy and method of manufacturing the same | |
| JPH0851010A (ja) | 軟磁性合金圧密体とその製造方法および軟磁性合金圧密体形成用コーティング粉末 | |
| JP2868121B2 (ja) | Ｆｅ基磁性合金磁心の製造方法 | |
| JPH05335129A (ja) | Ｆｅ基軟磁性合金粉末およびその製造方法 | |
| JP2812573B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2925349B2 (ja) | Ｆｅ基軟磁性合金磁心 | |
| JPH04289152A (ja) | Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体およびＦｅ系軟磁性合金粉末の製造方法およびＦｅ系軟磁性合金圧粉体の製造方法 | |
| JPH04272104A (ja) | 高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金圧粉体 | |
| JP3534218B2 (ja) | Ｆｅ基軟磁性金属ガラス焼結体の製造方法 | |
| US5976273A (en) | Hard magnetic material | |
| JPH04289503A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH04213804A (ja) | Ｆｅ基軟磁性合金磁心 | |
| JP2740692B2 (ja) | 金 型 | |
| JPH09263913A (ja) | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 | |
| JP2731454B2 (ja) | 力センサ | |
| JPH08337839A (ja) | 軟磁性合金圧密体およびその製造方法 | |
| JP3532392B2 (ja) | バルク磁心 | |
| JP2004339527A (ja) | 熱間成形型ナノコンポジット磁石の製造方法 | |
| JP2580066B2 (ja) | 異方性永久磁石 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981222 |