JPH04277625A - チップ型電子部品の加工方法 - Google Patents
チップ型電子部品の加工方法Info
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- JPH04277625A JPH04277625A JP6541591A JP6541591A JPH04277625A JP H04277625 A JPH04277625 A JP H04277625A JP 6541591 A JP6541591 A JP 6541591A JP 6541591 A JP6541591 A JP 6541591A JP H04277625 A JPH04277625 A JP H04277625A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- type electronic
- edges
- chip
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
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- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば圧電チップの
ようなチップ型電子部品の加工方法に関するものである
。
ようなチップ型電子部品の加工方法に関するものである
。
【０００２】
【従来の技術】図５は表面実装用チップ型電子部品の一
例としての圧電チップを示すもので、圧電基板１の両面
に封止基板２を貼り合わせて積層体５を構成し、両端部
には該圧電基板１に電気的に導通する外部電極３をメッ
キ等の手段で設けたものである。
例としての圧電チップを示すもので、圧電基板１の両面
に封止基板２を貼り合わせて積層体５を構成し、両端部
には該圧電基板１に電気的に導通する外部電極３をメッ
キ等の手段で設けたものである。
【０００３】上記のような圧電チップを構成する積層体
５は、平板状の母基板をカットしたものであるから、そ
のままではカットした部分のエッジ部に形成される電極
膜の膜厚は他の部分に比べ非常に薄く、外部での摩擦や
接触による軽微な衝撃によっても断線してしまう可能性
があった。
５は、平板状の母基板をカットしたものであるから、そ
のままではカットした部分のエッジ部に形成される電極
膜の膜厚は他の部分に比べ非常に薄く、外部での摩擦や
接触による軽微な衝撃によっても断線してしまう可能性
があった。
【０００４】そのため図６に示すように、外部電極３を
付与する前の積層体５の多数をバレル６に研磨材と共に
入れてバレル６を回転させて研磨材により積層体５のコ
ーナー部４を磨滅させてエッジを除去していた。
付与する前の積層体５の多数をバレル６に研磨材と共に
入れてバレル６を回転させて研磨材により積層体５のコ
ーナー部４を磨滅させてエッジを除去していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来方法
は、多数の積層体を一度に処理できる特徴があるが、バ
レル６内において各積層体５がバラバラになるので、加
工後の整列に手数がかかる。
は、多数の積層体を一度に処理できる特徴があるが、バ
レル６内において各積層体５がバラバラになるので、加
工後の整列に手数がかかる。
【０００６】又、母基板の状態で外部電極を形成し、そ
の後母基板をカットして得られた積層体は、図７のよう
に積層体５の上下面に電極７が形成されてしまっており
、バレル加工によりエッジと共に外部電極７も削る結果
となってしまい、電極強度の劣化となって、電極剥離を
ひき起こすという問題がある。
の後母基板をカットして得られた積層体は、図７のよう
に積層体５の上下面に電極７が形成されてしまっており
、バレル加工によりエッジと共に外部電極７も削る結果
となってしまい、電極強度の劣化となって、電極剥離を
ひき起こすという問題がある。
【０００７】この発明の課題は上記従来方法のようなバ
レルを用いずに、圧電チップのようなチップ型電子部品
を整列させたままで、しかも電極を損なうことなく加工
できる方法を提供することを目的としている。
レルを用いずに、圧電チップのようなチップ型電子部品
を整列させたままで、しかも電極を損なうことなく加工
できる方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な課題を解決するために、側面に外部電極を付与する前
のチップ型電子部品を複数個並列せしめて、サンドブラ
ストにより該各電子部品に微細砥粒を吹きつけて、各電
子部品のコーナー部のエッジを除去するチップ型電子部
品の加工方法を採用したものである。
な課題を解決するために、側面に外部電極を付与する前
のチップ型電子部品を複数個並列せしめて、サンドブラ
ストにより該各電子部品に微細砥粒を吹きつけて、各電
子部品のコーナー部のエッジを除去するチップ型電子部
品の加工方法を採用したものである。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１はこの発明の実施例を示すもので、圧
電基板１の両面を封止基板２で封止した平板状の母基板
をカットして得られた多数の積層体５を、封止基板２が
隣り合うように並列させ、サンドブラストノズル１１か
ら噴出する微細砥粒１２を各積層体５の隣接しているコ
ーナー部４に向けて吹きつける。
電基板１の両面を封止基板２で封止した平板状の母基板
をカットして得られた多数の積層体５を、封止基板２が
隣り合うように並列させ、サンドブラストノズル１１か
ら噴出する微細砥粒１２を各積層体５の隣接しているコ
ーナー部４に向けて吹きつける。
【００１１】これにより図２に示すようにコーナー部の
エッジが除去される。尚、エッジの除去と共に、積層体
表面には微少凹凸が形成され、又、圧電基板１の端部も
若干凹入する。
エッジが除去される。尚、エッジの除去と共に、積層体
表面には微少凹凸が形成され、又、圧電基板１の端部も
若干凹入する。
【００１２】前記加工を終えた積層体５に、従来のメッ
キ等の手段で外部電極を形成すれば、コーナー部のエッ
ジが除去されているので、コーナー部での断線のおそれ
がなく、又、積層体表面の凹凸により電極の密着強度が
向上する。
キ等の手段で外部電極を形成すれば、コーナー部のエッ
ジが除去されているので、コーナー部での断線のおそれ
がなく、又、積層体表面の凹凸により電極の密着強度が
向上する。
【００１３】図３、図４は母基板をカットした状態で積
層体５の上下基板面に外部電極７が既に形成されている
場合の実施例を示すものである。
層体５の上下基板面に外部電極７が既に形成されている
場合の実施例を示すものである。
【００１４】この場合、両端の外部電極７が両側に揃う
ように並列させ、前記実施例と同様のサンドブラストに
より処理を行なう。すると、外部電極７は基板２の端部
に至る部分にまで形成されているので、エッジ４と共に
その部分に形成された外部電極７の一部も微細砥粒によ
って除去される。しかし、外部電極７にはバレル加工の
際におけるような強い機械的外力は加わらず、エッジ部
が削り取られるのみであるので、外部電極７の大部分に
おいては電極剥離は生じない。
ように並列させ、前記実施例と同様のサンドブラストに
より処理を行なう。すると、外部電極７は基板２の端部
に至る部分にまで形成されているので、エッジ４と共に
その部分に形成された外部電極７の一部も微細砥粒によ
って除去される。しかし、外部電極７にはバレル加工の
際におけるような強い機械的外力は加わらず、エッジ部
が削り取られるのみであるので、外部電極７の大部分に
おいては電極剥離は生じない。
【００１５】
【効果】この発明は上記のように、端部側面に外部電極
を形成してなるチップ型電子部品において、外部電極形
成前の電子部品を複数個並列させ、サンドブラストによ
り該電子部品に微細砥粒を吹き付けて各電子部品のコー
ナー部のエッジを除去するものであるから、外部電極形
成後のコーナー部での断線不良をなくすことができる。 又、同時に微細砥粒による研磨で生じた表面の凹凸によ
り、電極の密着強度が向上するという効果も果たす。
を形成してなるチップ型電子部品において、外部電極形
成前の電子部品を複数個並列させ、サンドブラストによ
り該電子部品に微細砥粒を吹き付けて各電子部品のコー
ナー部のエッジを除去するものであるから、外部電極形
成後のコーナー部での断線不良をなくすことができる。 又、同時に微細砥粒による研磨で生じた表面の凹凸によ
り、電極の密着強度が向上するという効果も果たす。
【００１６】又、この発明の場合、電子部品を整然と並
列させた状態で加工できるので、従来のバレル加工のよ
うに、加工の際にバラバラとならない。従って、加工後
にチップ型電子部品を並列させる手数がなくなる等の効
果がある。
列させた状態で加工できるので、従来のバレル加工のよ
うに、加工の際にバラバラとならない。従って、加工後
にチップ型電子部品を並列させる手数がなくなる等の効
果がある。
【００１７】更に、母基板から切り出した状態で既に上
下基板面に外部電極が形成されているチップ型電子部品
において、電極が剥離してしまうことなく加工をするこ
とができる。
下基板面に外部電極が形成されているチップ型電子部品
において、電極が剥離してしまうことなく加工をするこ
とができる。
【図１】この発明の実施例を示す斜視図。
【図２】この発明の実施例を示す正面図。
【図３】この発明の他の実施例の斜視図。
【図４】この発明の他の実施例の正面図。
【図５】チップ型電子部品の斜視図。
【図６】バレル加工を示す断面図。
【図７】積層体の一例を示す斜視図。
１ 圧電基板
２ 封止基板
３ 外部電極
４ コーナー部
５ 積層体
１１ サンドブラストノズル
１２ 微細砥粒
Claims (1)
- 【請求項１】 端部側面に外部電極を形成してなるチ
ップ型電子部品において、外部電極付与前の電子部品を
複数個並列せしめ、サンドブラストにより該各電子部品
に微細砥粒を吹きつけて、該各電子部品のコーナー部の
エッジを除去することを特徴とするチップ型電子部品の
加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6541591A JPH04277625A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | チップ型電子部品の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6541591A JPH04277625A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | チップ型電子部品の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04277625A true JPH04277625A (ja) | 1992-10-02 |
Family
ID=13286391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6541591A Pending JPH04277625A (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | チップ型電子部品の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04277625A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010035176A (ja) * | 2009-08-21 | 2010-02-12 | Seiko Epson Corp | 圧電素子片及び圧電振動片の製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5067592A (ja) * | 1973-10-11 | 1975-06-06 | ||
| JPS5648148A (en) * | 1979-09-27 | 1981-05-01 | Nec Home Electronics Ltd | Manufacture of semiconductor device |
| JPH01243434A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-28 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
1991
- 1991-03-05 JP JP6541591A patent/JPH04277625A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5067592A (ja) * | 1973-10-11 | 1975-06-06 | ||
| JPS5648148A (en) * | 1979-09-27 | 1981-05-01 | Nec Home Electronics Ltd | Manufacture of semiconductor device |
| JPH01243434A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-28 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010035176A (ja) * | 2009-08-21 | 2010-02-12 | Seiko Epson Corp | 圧電素子片及び圧電振動片の製造方法 |
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