JPH04275078A - アクチュエータ素子 - Google Patents

アクチュエータ素子

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JPH04275078A
JPH04275078A JP3059793A JP5979391A JPH04275078A JP H04275078 A JPH04275078 A JP H04275078A JP 3059793 A JP3059793 A JP 3059793A JP 5979391 A JP5979391 A JP 5979391A JP H04275078 A JPH04275078 A JP H04275078A
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exchange membrane
ion exchange
voltage
actuator element
membrane
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Keisuke Oguro
小黒　啓介
Hirotaka Takenaka
竹中　啓恭
Yoji Kawami
川見　洋二
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N11/00—Generators or motors not provided for elsewhere; Alleged perpetua mobilia obtained by electric or magnetic means
    • H02N11/006—Motors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S310/00—Electrical generator or motor structure
    • Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野】本発明はアクチュエータ素子に関
し、より詳細にはイオン交換膜に湾曲および変形を生ぜ
しめることから成る超小型のアクチュエータ素子に関す
る。
【従来の技術】アクチュエータを小型化すると慣性力よ
りも摩擦や粘性力が支配的となるため、モータやエンジ
ンのような慣性力を利用してエネルギーを運動に変える
機構は、超小型機械用のアクチュエータとしては用いる
ことが困難であると言われている。これまでに提案され
ている超小型アクチュエータの作動原理としては、静電
引力型、圧電型、超音波式、形状記憶合金式、高分子伸
縮式等が知られている。静電引力型アクチュエータは電
極となる板や棒を対極に引きつけるもので、数十μｍ離
れた対極との間に１００Ｖ程度の電圧をかけて、電極を
たわませるものが知られている。圧電型アクチュエータ
はチタン酸バリウムなどセラミックの圧電素子に数Ｖの
電圧をかけて素子を伸縮させるもので、ナノメートル単
位の変位を制御できるものが知られている。また超音波
式は圧電素子などで発生させた超音波振動と摩擦力の組
み合わせで、ずれを生じさせることで駆動するものが知
られている。形状記憶合金式アクチュエータは温度によ
って形状が大きく変化するため、温度を変化させること
で作動する。高分子伸縮式アクチュエータは高分子の繊
維が、温度あるいはｐＨの変化や周囲の化学物質の濃度
変化によって伸縮するものである。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これま
での超小型アクチュエータにはそれぞれ作動環境に制限
があったり、応答性が不十分であったり、また構造が複
雑であったり、柔軟性が欠如しているなどの問題点を有
している。例えば、これまでの高分子伸縮式アクチュエ
ータを作動させるには、高分子繊維が接触している溶液
を他の塩類を含む溶液に交換する必要があり、小型で速
い応答を必要とする用途には利用困難であった。本発明
は構造が単純で、小型化が容易であり、応答も速く、小
電力で作動し、かつ柔軟であるようなアクチュエータ素
子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のアクチュエータ素子は、イオン交換膜と、このイオ
ン交換膜の両面に接合した電極とから成り、前記イオン
交換膜の含水状態において、前記イオン交換膜に電位差
をかけて前記イオン交換膜に湾曲および変形を生ぜしめ
ることを特徴とする。以下、本発明のアクチュエータ素
子を図面にもとづき説明する。図１に示すとおり、本発
明のアクチュエータ素子１はイオン交換膜２と、このイ
オン交換膜２の両面に接した電極３，　３’とから成る
。イオン交換膜２としては、陽イオン交換膜、陰イオン
交換膜のいづれも使用することができ、たとえば陽イオ
ン交換膜としてポリスチレンスルホン酸膜やスルホン基
やカルボキシル基を持つフッ素樹脂系イオン交換膜を挙
げることができる。かかるイオン交換膜の両面に接合す
る電極３，　３’には白金、イリジウム、パラジウム、
ルテニウム等の貴金属が好ましいが、そのほか導電性高
分子や黒鉛などの導電性と耐食性を合わせ持つ物質が利
用できる。接合方法には化学メッキ、電気メッキ、真空
蒸着、スパッタリング、塗布、圧着、溶着等の電極材料
を高分子膜に付着させるための既知の方法が全て利用で
きる。 そして、電極３，　３’をリード線を介して直流電源５
に連結すると本発明のアクチュエータ素子が得られる。 本発明においてはアクチュエータ素子の作動時には、イ
オン交換膜が含水状態である必要がある。ここで含水状
態とは、アクチュエータが水中で、または高湿度の大気
中でも作動することを意味する。水中においては、周囲
の水中に含まれるイオンは動作に影響する場合があるが
、種々のイオンや溶質を含んだ液中でも作動できる。本
発明によるアクチュエータ素子の作動機構あるいは原理
は明確ではないが、膜の表裏に電位差がかかることで、
図２に示すようにイオン交換膜２中の正イオン４が陰極
３’側に移動し、このイオンに伴なわれて水分子が膜内
で移動するために陽極側と陰極側で水分量に差ができる
と推定される。従って含水率が高まれば膨潤し、含水率
が低下すれば収縮するので、膜の表裏で水分量に差が付
けば膜は湾曲すると考えられる。ただし、イオンの分布
に差が付いても、その状態でイオンの動きが止まれば、
膜の外部からの水の拡散によって次第に水分分布は元の
均一状態に近づくと推定される。すなわち一定電圧をか
けていても膜内の電流が減少すれば、一端生じた含水率
の分布は徐々に平均化されて行くために、湾曲は元に戻
ると考えられる。陽イオン交換膜を純水中で用いた場合
、移動するイオンはＨ＋　イオンであり、食塩水中で用
いた場合はＮａ＋　であると考えられるため、電圧をか
けるとそれらのイオンは水分子と共に陰極側へ移動する
。このように考察すれば、陰極側の高分子膜の含水率が
上がり、陽極側の含水率は下がるので、陰極側が伸びて
陽極側が縮むため、膜は陽極側へ湾曲することになり、
この傾向は実施例の結果と一致する。以下、本発明の実
施例を述べる。
【実施例】実施例１ 厚さ０．２ｍｍのフッ素樹脂系イオン交換膜Ｎａｆｉｏ
ｎ　（登録商標、デュポン社製）　に化学メッキにより
白金を３ｍｇ／ｃｍ２　ずつ両面に接合させた。この接
合体を幅２ｍｍ長さ２０ｍｍに裁断し、その一端に２ｍ
ｍ角の白金箔に白金リード線の付いた給電体を両面から
押しつけて、プラスチック製持具で挟んだ。純水中に持
具を固定して、この接合体小片を釣り下げ、リード線は
直流定電圧電源に接続した。 リード線間に０．２Ｖ印加すると、接合体は瞬時に湾曲
し、先端は陽極方向に約０．１ｍｍ移動した。電圧印加
時には過渡的な電流が流れるが、１秒後には１０μＡ以
下になり、ほとんど電流は流れなくなる。印加電圧を０
Ｖにすると、接合体の湾曲は瞬時に元に戻った。さらに
逆方向に０．２Ｖの電圧をかけると、逆方向に湾曲した
。印加電圧を１Ｖにすると湾曲は大きくなり、先端部分
の変位は約０．５ｍｍであった。印加電圧を上げると接
合体の湾曲はさらに大きくなったが、１．３Ｖをこえる
と電気分解が生じ、電流が流れ続けてガス発生が見られ
た。 実施例２ 約３％の食塩水に実施例１の接合体を２時間浸漬させた
後に電圧をかけた。１Ｖ印加した場合、先端は瞬時に陽
極方向に１ｍｍ移動したが、電圧を印加したままでも１
秒程度かけて徐々に元の位置に戻った。この状態で電圧
を０Ｖに戻すと、逆方向に１ｍｍ移動し、さらに逆向き
に１Ｖ印加すると、さらに１ｍｍ移動して、合計２ｍｍ
の変位が得られた。この場合にも約１秒後には元の中央
位置に戻った。また電圧を１．６Ｖに上げると２ｍｍの
変位が得られたが、電気分解はほとんど生じず電流が流
れ続けることもなかった。 実施例３ 厚さ約０．１５ｍｍのポリスチレンスルホン酸膜に化学
メッキにより両面に白金１ｍｇ／ｃｍ２　とイリジウム
２ｍｇ／ｃｍ２　ずつを接合させた。この接合体を幅０
．３ｍｍ長さ３ｍｍに裁断し、その一端に白金リード線
を両面から押しつけて、プラスチック製持具で挟んだ。 約３％の食塩水中に持具を固定して、この接合体小片を
釣り下げ、リード線は直流定電圧電源に接続した。リー
ド線間に１．６Ｖ印加すると、接合体は瞬時に湾曲し、
先端は陽極方向に約０．３ｍｍ移動した。また逆方向に
１．６Ｖの電圧をかけると、逆方向に湾曲した。
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、下記
特長を有するアクチュエータ素子が得られる。 １）　単純な構造であり、超小型化できる。 ２）　超小型化しても水の粘性抵抗や表面の摩擦力に打
ち勝つだけの大きな力が発生できる。 ３）　生体内などの液中で作動する。 ４）　１Ｖ程度の低電圧で作動する。 ５）　超小型であれば微少な電流でも作動する。 ６）　比較的応答が速い。 ７）　電圧によってアクチュエータの動作が制御できる
。 ８）　比較的大きな力を発生する反面、素子自体は柔軟
である。 すなわち本発明によれば、電極間に０．１〜３Ｖの直流
電圧をかけることにより、１秒以内に素子長の１／１０
もの変位が得られ、かつ水中で作動する柔軟な素子を作
製できる。素子を細長い棒状にすれば、大きく湾曲させ
ることができ、大きな変位を得ることができる。従って
本発明によれば、従来のアクチュエータでは不可能であ
った水中での超小型動力発生機構が可能になるので、特
に水中で作動する超小型ロボット用の人工筋肉として利
用でき、また生体内で使用される医療用器具の動力にも
応用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアクチュエータ素子の電圧無印加状態
の概要断面図である。
【図２】本発明のアクチュエータ素子の電圧印加状態の
概要断面図である。
【符号の説明】
１　　アクチュエータ素子　　　　　　　　　　　　　
　　　２　　陽イオン交換膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　イオン交換膜と、このイオン交換膜の
    両面に接合した電極とから成り、前記イオン交換膜の含
    水状態において、前記イオン交換膜に電位差をかけて前
    記イオン交換膜に湾曲および変形を生ぜしめることを特
    徴とするアクチュエータ素子。
JP3059793A 1991-02-28 1991-02-28 アクチュエータ素子 Expired - Lifetime JPH074075B2 (ja)

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Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1193827A (ja) * 1997-09-18 1999-04-06 Toshiba Corp 機能素子およびアクチュエータ
EP0924033A2 (en) 1997-12-15 1999-06-23 Keiichi Kaneto Artificial muscles
JPH11198069A (ja) * 1998-01-09 1999-07-27 Agency Of Ind Science & Technol 首振り可能なマイクロデバイスおよびそれを備えたマイクロマシン
US6762210B1 (en) 1998-02-20 2004-07-13 Eamex Corporation Process for producing polymeric actuators
JP2004260995A (ja) * 2003-02-07 2004-09-16 Eamex Co アクチュエータの駆動方法及び水槽
US6881307B2 (en) 2001-10-26 2005-04-19 Minolta Co., Ltd. Image creating apparatus and image recording apparatus
WO2005057010A1 (ja) * 2003-12-11 2005-06-23 Daikin Industries, Ltd. 圧縮機
US7033318B2 (en) 2002-11-29 2006-04-25 Pentax Corporation Photothermal actuator and apparatus comprising photothermal actuator
WO2007088746A1 (ja) * 2006-02-03 2007-08-09 Daikin Industries, Ltd. アクチュエータ素子
WO2008044546A1 (en) 2006-10-06 2008-04-17 Kuraray Co., Ltd. Polymer solid electrolyte, electrochemical device, and actuator element
JP2010127772A (ja) * 2008-11-27 2010-06-10 Kuraray Co Ltd 繊維状変形センサおよび布帛状変形センサ
US8012628B2 (en) 2006-06-19 2011-09-06 Kuraray Co., Ltd. Polymer electrochemical device
WO2013021903A1 (ja) * 2011-08-11 2013-02-14 ソニー株式会社 駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置
TWI470298B (zh) * 2011-04-28 2015-01-21 Sony Corp 驅動單元，透鏡模組，影像拾取單元，燃料電池及離子交換樹脂
US8952594B2 (en) 2010-04-14 2015-02-10 Seiko Epson Corporation Actuator
US9316211B2 (en) 2011-09-14 2016-04-19 Seiko Epson Corporation Actuator and method for manufacturing the same
US11767437B2 (en) 2020-11-19 2023-09-26 Korea Institute Of Science And Technology Porous polymer actuator and method for fabricating the same

Families Citing this family (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5419312A (en) * 1993-04-20 1995-05-30 Wildflower Communications, Inc. Multi-function endoscope apparatus
US5406951A (en) * 1993-10-15 1995-04-18 Ten Hoff; Harm Intra-luminal ultrasonic instrument
US5671905A (en) * 1995-06-21 1997-09-30 Hopkins, Jr.; Dean A. Electrochemical actuator and method of making same
CA2243527A1 (en) * 1996-01-18 1997-07-24 University Of New Mexico Soft actuators and artificial muscles
US6475639B2 (en) 1996-01-18 2002-11-05 Mohsen Shahinpoor Ionic polymer sensors and actuators
CA2255984A1 (en) * 1997-12-15 1999-06-15 Keisuke Oguro Process for producing an actuator element and microdevice
US6610007B2 (en) 2000-04-03 2003-08-26 Neoguide Systems, Inc. Steerable segmented endoscope and method of insertion
US6468203B2 (en) 2000-04-03 2002-10-22 Neoguide Systems, Inc. Steerable endoscope and improved method of insertion
US8517923B2 (en) 2000-04-03 2013-08-27 Intuitive Surgical Operations, Inc. Apparatus and methods for facilitating treatment of tissue via improved delivery of energy based and non-energy based modalities
US8888688B2 (en) 2000-04-03 2014-11-18 Intuitive Surgical Operations, Inc. Connector device for a controllable instrument
DE10026540A1 (de) * 2000-05-27 2001-11-29 Gfe Met & Mat Gmbh Gegenstand, insbesondere Implantat
EP1172408A1 (de) * 2000-07-14 2002-01-16 Abb Research Ltd. Volumenmodifizierte Vergussmassen auf der Basis polymerer Matrixharze
US6514237B1 (en) * 2000-11-06 2003-02-04 Cordis Corporation Controllable intralumen medical device
US20020138926A1 (en) † 2001-04-02 2002-10-03 Braun Gmbh Electric toothbrush head
US6835173B2 (en) * 2001-10-05 2004-12-28 Scimed Life Systems, Inc. Robotic endoscope
US6770027B2 (en) 2001-10-05 2004-08-03 Scimed Life Systems, Inc. Robotic endoscope with wireless interface
US6749556B2 (en) 2002-05-10 2004-06-15 Scimed Life Systems, Inc. Electroactive polymer based artificial sphincters and artificial muscle patches
US7063671B2 (en) * 2002-06-21 2006-06-20 Boston Scientific Scimed, Inc. Electronically activated capture device
US6679836B2 (en) 2002-06-21 2004-01-20 Scimed Life Systems, Inc. Universal programmable guide catheter
US6969395B2 (en) * 2002-08-07 2005-11-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Electroactive polymer actuated medical devices
US20040068224A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-08 Couvillon Lucien Alfred Electroactive polymer actuated medication infusion pumps
US20040068161A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-08 Couvillon Lucien Alfred Thrombolysis catheter
US7371223B2 (en) * 2002-10-02 2008-05-13 Boston Scientific Scimed, Inc. Electroactive polymer actuated heart-lung bypass pumps
WO2004032798A1 (en) * 2002-10-04 2004-04-22 Brooks Stephen N System and method for preventing closure of passageways
US7077808B2 (en) * 2003-07-31 2006-07-18 Boston Scientific Scimed. Inc. Ultrasonic imaging catheter
US8172998B2 (en) * 2003-08-21 2012-05-08 Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. Ionic solvents used in ionic polymer transducers, sensors and actuators
AU2004288711A1 (en) * 2003-11-05 2005-05-26 Pavad Medical, Inc. Electrically activated alteration of body tissue stiffness for breathing disorders
US7338509B2 (en) * 2003-11-06 2008-03-04 Boston Scientific Scimed, Inc. Electroactive polymer actuated sheath for implantable or insertable medical device
US8398693B2 (en) * 2004-01-23 2013-03-19 Boston Scientific Scimed, Inc. Electrically actuated medical devices
US7744619B2 (en) 2004-02-24 2010-06-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Rotatable catheter assembly
US7922740B2 (en) 2004-02-24 2011-04-12 Boston Scientific Scimed, Inc. Rotatable catheter assembly
US7999435B2 (en) 2004-06-14 2011-08-16 Massachusetts Institute Of Technology Electrochemical actuator
US7994686B2 (en) 2004-06-14 2011-08-09 Massachusetts Institute Of Technology Electrochemical methods, devices, and structures
US7872396B2 (en) 2004-06-14 2011-01-18 Massachusetts Institute Of Technology Electrochemical actuator
US8247946B2 (en) 2004-06-14 2012-08-21 Massachusetts Institute Of Technology Electrochemical actuator
EP1784890A4 (en) 2004-06-14 2010-04-07 Massachusetts Inst Technology ELECTROCHEMICAL METHODS, DEVICES AND STRUCTURES
US8578937B2 (en) 2004-09-21 2013-11-12 Medtronic Xomed, Inc. Smart mandibular repositioning system
US7882842B2 (en) 2004-09-21 2011-02-08 Pavad Medical, Inc. Airway implant sensors and methods of making and using the same
US7836888B2 (en) * 2004-09-21 2010-11-23 Pavad Medical, Incorporated Airway implant and methods of making and using
JP5079244B2 (ja) * 2006-03-09 2012-11-21 セーレン株式会社 複合材料
JP2007318933A (ja) * 2006-05-26 2007-12-06 Olympus Corp 高分子アクチュエータの駆動方法及び高分子アクチュエータ
US7695389B2 (en) 2006-06-07 2010-04-13 Brose Fahrzeugteile GmbH & Co. Kommanditgesellschaft, Würzburg Conductive polymer drive for actuating eccentric members of a motor
US20080245624A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-09 Shaw Schuyler S Latching device for electro-mechanical actuators
FR2916897A3 (fr) * 2007-05-30 2008-12-05 Renault Sas Unite active a deformation rapide et siege a deformation rapide correspondant.
KR101707924B1 (ko) 2008-02-06 2017-02-17 인튜어티브 서지컬 오퍼레이션즈 인코포레이티드 제동 능력을 가지고 있는 체절식 기구
US8133199B2 (en) 2008-08-27 2012-03-13 Boston Scientific Scimed, Inc. Electroactive polymer activation system for a medical device
US8372145B2 (en) * 2009-05-19 2013-02-12 Hisham M. F. SHERIF Implantable artificial ventricle having low energy requirement
JP5631042B2 (ja) * 2009-08-27 2014-11-26 キヤノン株式会社 アクチュエータ
US8088162B1 (en) * 2009-09-28 2012-01-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Membrane pump for synthetic muscle actuation
EE200900080A (et) 2009-10-26 2011-06-15 Tartu �likool Kihiline aktuaator
WO2011052842A1 (ko) * 2009-10-30 2011-05-05 (주)엘켐텍 구형 전극 및 이를 포함하는 전기분해 셀
FR2952748B1 (fr) * 2009-11-17 2011-12-09 Thales Sa Dispositif de surveillance de bon fonctionnement d'une pluralite de dispositifs, notamment d'actionneurs
JP5495744B2 (ja) * 2009-12-08 2014-05-21 キヤノン株式会社 アクチュエータ
WO2011140359A2 (en) 2010-05-05 2011-11-10 Springleaf Therapeutics, Inc. Systems and methods for delivering a therapeutic agent
US8368285B2 (en) 2010-12-17 2013-02-05 Massachusette Institute Of Technology Electrochemical actuators
EE05663B1 (et) 2011-03-05 2013-06-17 Tartu Ülikool Sensormaterjal
JP5870705B2 (ja) * 2012-01-19 2016-03-01 セイコーエプソン株式会社 圧力センサーおよびロボットハンド
DE102014115852A1 (de) 2014-10-30 2016-05-04 Halla Visteon Climate Control Corporation Stellglied für eine Kraftfahrzeugklimaanlage zur Absperrung oder Regelung des Durchflusses von Fluiden

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4191618A (en) * 1977-12-23 1980-03-04 General Electric Company Production of halogens in an electrolysis cell with catalytic electrodes bonded to an ion transporting membrane and an oxygen depolarized cathode
US4272353A (en) * 1980-02-29 1981-06-09 General Electric Company Method of making solid polymer electrolyte catalytic electrodes and electrodes made thereby

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1193827A (ja) * 1997-09-18 1999-04-06 Toshiba Corp 機能素子およびアクチュエータ
EP0924033A2 (en) 1997-12-15 1999-06-23 Keiichi Kaneto Artificial muscles
JPH11198069A (ja) * 1998-01-09 1999-07-27 Agency Of Ind Science & Technol 首振り可能なマイクロデバイスおよびそれを備えたマイクロマシン
US7169822B2 (en) 1998-02-20 2007-01-30 Eamex Corporation Polymeric actuator
US6762210B1 (en) 1998-02-20 2004-07-13 Eamex Corporation Process for producing polymeric actuators
US6881307B2 (en) 2001-10-26 2005-04-19 Minolta Co., Ltd. Image creating apparatus and image recording apparatus
US7033318B2 (en) 2002-11-29 2006-04-25 Pentax Corporation Photothermal actuator and apparatus comprising photothermal actuator
JP2004260995A (ja) * 2003-02-07 2004-09-16 Eamex Co アクチュエータの駆動方法及び水槽
JP2005171870A (ja) * 2003-12-11 2005-06-30 Daikin Ind Ltd 圧縮機
WO2005057010A1 (ja) * 2003-12-11 2005-06-23 Daikin Industries, Ltd. 圧縮機
US7789634B2 (en) 2003-12-11 2010-09-07 Daikin Industries, Ltd. Compressor
JP4552432B2 (ja) * 2003-12-11 2010-09-29 ダイキン工業株式会社 圧縮機
WO2007088746A1 (ja) * 2006-02-03 2007-08-09 Daikin Industries, Ltd. アクチュエータ素子
US8123983B2 (en) 2006-02-03 2012-02-28 Daikin Industries, Ltd. Actuator element
US8012628B2 (en) 2006-06-19 2011-09-06 Kuraray Co., Ltd. Polymer electrochemical device
US8138246B2 (en) 2006-10-06 2012-03-20 Kuraray Co., Ltd. Polymer electrolyte, electrochemical device, and actuator element
WO2008044546A1 (en) 2006-10-06 2008-04-17 Kuraray Co., Ltd. Polymer solid electrolyte, electrochemical device, and actuator element
JP2010127772A (ja) * 2008-11-27 2010-06-10 Kuraray Co Ltd 繊維状変形センサおよび布帛状変形センサ
US8952594B2 (en) 2010-04-14 2015-02-10 Seiko Epson Corporation Actuator
TWI470298B (zh) * 2011-04-28 2015-01-21 Sony Corp 驅動單元，透鏡模組，影像拾取單元，燃料電池及離子交換樹脂
WO2013021903A1 (ja) * 2011-08-11 2013-02-14 ソニー株式会社 駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置
JP2013037315A (ja) * 2011-08-11 2013-02-21 Sony Corp 駆動装置、レンズモジュールおよび撮像装置
US9590169B2 (en) 2011-08-11 2017-03-07 Dexterials Corporation Drive device, lens module, and image pickup unit
TWI596884B (zh) * 2011-08-11 2017-08-21 Dexerials Corp Drive, lens module and camera
US9316211B2 (en) 2011-09-14 2016-04-19 Seiko Epson Corporation Actuator and method for manufacturing the same
US11767437B2 (en) 2020-11-19 2023-09-26 Korea Institute Of Science And Technology Porous polymer actuator and method for fabricating the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPH074075B2 (ja) 1995-01-18
US5268082A (en) 1993-12-07

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