JP4265972B2 - バイモルフ型板状アクチュエータ - Google Patents
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Description
そのため、従来の適用例では、複数のICPFアクチュエータを組み合わせて所望の動作を行わせる必要が生じ、各アクチュエータへの電圧印可のため各電極対までの結線ラインが複数必要となり、全体として複雑な構造にならざるを得ない問題点があった。
また、イオン交換樹脂膜と金属薄膜が、その屈曲方向を制御するための貫通スリット(切断線)を同一箇所に有するので、全体の屈曲はそれぞれの部分ごとの屈曲の集合として動作することになる。従って、あらかじめ適切な位置に適切な貫通スリット(切断線)を設けることで、アクチュエータの形状にかかわりなく、屈曲方向を自由に設定できる。
また複数の直線の貫通スリットを設けることにより、その貫通スリットの方向に屈曲させることができる。従って、矩形の辺に平行に設けることにより、全体を円筒状に屈曲させることができる。また細長い矩形の辺に斜めに設けることにより、全体を捩じれた形状に変形させることができる。
パーフルオロスルホン酸膜(PFS)は、燃料電池を構成する電解質膜として知られるフッ素樹脂系のイオン交換樹脂であり、例えば、米国デュポン社からNafion(登録商標)の名称で市販されている。
PFSは、電場がかかった時、樹脂内の動くことができるイオン(フッ素樹脂系はカチオン交換樹脂が通常なのでプラスイオン)が水分子を伴って電極に引き寄せられ、それによってイオンの動いた電極の側(この場合マイナス)が膨潤することによって屈曲する。
このICPFアクチュエータは、駆動電圧が1.5V程度と低く、耐久性が高く10万回以上の屈曲が確認されており、応答時間が0.1s以下と速く、100Hz以上の動作が可能である、等の特徴を有している。
この場合、電極に一様に電圧をかけた場合、屈曲の曲率半径Rはほぼ一定となる。また、かけた電圧と曲率(1/R)はおおむね比例する関係にある。電圧Vを高くするほど屈曲の曲率半径Rは小さくなる。
このとき屈曲の仕方は、正の電圧がかかった方が縮み、負の電圧がかかった方が伸びる。すなわち、アクチュエータ全体として、ある一方向の屈曲を得たい場合は、短冊上の形状にすればよい。こうすれば短冊の長さ方向が円弧を描くように曲がる。
そのため、この場合には、屈曲方向が定まらず、屈曲方向を自由に制御することはできなかった。
電源装置16は、各対の金属薄膜間にそれぞれ電圧を印加し、その間に電場を形成する。
制御装置18は、例えばコンピュータであり、各対の金属薄膜間に印加する電圧を制御する。
すなわち正方形に近い形状の場合、中に何本かの切れ目を入れておけば、球の一部としてではなく、円筒の一部のように曲がるようになる。
この例において、6対の金属薄膜14a-1,14b-1〜14a-6,14b-6が、同一面上で6箇所に間隔を隔てて区分されている。各金属薄膜14a-1,14b-1〜14a-6,14b-6の隣接する端面間には、薄膜のない絶縁部が形成され、この図で下端に設けた給電部17から6対の金属薄膜14a-1,14b-1〜14a-6,14b-6にそれぞれ異なる電圧を印加できるようになっている。このような、金属薄膜は、薄膜形成後にスポットレーザを照射し、熱による金属面の蒸散を利用するレーザー加工、エッチング処理、プリント基板を形成するプリント技術、等により容易に形成することができる。
またこの例では、3対の金属薄膜14a-1,14b-1〜14a-3,14b-3の間に2本の貫通スリット15(切れ目)を設け、3対の金属薄膜14a-1,14b-1〜14a-3,
10 バイモルフ型板状アクチュエータ、12 イオン交換樹脂膜、
14a,14b、14a-1,14b-1〜14a-6,14b-6 金属薄膜、
15 貫通スリット(切れ目)、16 電源装置、18 制御装置
Claims (3)
- 内部にイオンと水分子を有し、電場によりイオンが水分子を伴って移動して膨潤するイオン交換樹脂膜と、
該イオン交換樹脂膜の両面に密着して形成され、導電性を有する1対または複数対の金属薄膜と、
該各対の金属薄膜間にそれぞれ電圧を印加し、その間に電場を形成する電源装置と、
前記電圧を制御する制御装置とを備え、
前記イオン交換樹脂膜と金属薄膜とで平板状のアクチュエータ本体部を成し、
前記イオン交換樹脂膜と金属薄膜は、その屈曲方向を制御するための貫通スリットを同一箇所に有し、
前記貫通スリットは、前記アクチュエータ本体部の端辺部を切断しない範囲に形成された複数の直線状のスリットである、ことを特徴とするバイモルフ型板状アクチュエータ。 - 前記イオン交換樹脂膜は、パーフルオロスルホン酸膜(PFS)であり、
前記金属薄膜は、無電解メッキした金または白金の膜である、ことを特徴とする請求項1に記載のバイモルフ型板状アクチュエータ。 - 前記複数対の金属薄膜は、同一面上で複数箇所に間隔を隔てて区分されている、ことを特徴とする請求項1に記載のバイモルフ型板状アクチュエータ。
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