JPH04273426A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】〔発明の目的〕

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は、被照射物として例えば
基板に紫外線を照射してＩＣ、ＬＳＩなどの回路素子を
形成する紫外線照射装置に関する。

【０００３】

【従来の技術】この種の紫外線照射装置は、紫外線を下
方から照射する照射開口を設け、この照射開口の両側上
部に沿って複数のガイドローラを配置した搬送手段を設
けている。そして、基板の幅方向両側縁部を搬送手段の
両側のガイドローラ上に載せて、ガイドローラの回転に
より照射開口上に搬送し、基板の下面に照射開口を通じ
て紫外線を照射するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、大きさの異
なる基板に対応する場合には、基板の大きさ、つまり幅
方向寸法に対応して、搬送手段の両側のガイドローラ間
の間隔を可変すればよい。

【０００５】しかし、基板の幅方向寸法に対応して搬送
手段の両側のガイドローラが内方に可変移動させると、
このガイドローラが照射開口の上方域に侵入するため、
そのガイドローラに紫外線が照射されて乱反射が生じ、
乱反射した紫外線が基板に照射され、基板に紫外線の照
射むらが発生する。

【０００６】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、被照射物の適性な範囲に紫外線を照射できるよ
うにして、照射むらなどが生じるのを防止し、被照射物
に対して一定に紫外線を照射することができる紫外線照
射装置を提供することを目的とするものである。

【０００７】〔発明の構成〕

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、被照射物を支
持して搬送する搬送手段と、前記被照射物の搬送域下方
に開口され被照射物に紫外線を照射する照射開口と、こ
の照射開口の開口幅を前記被照射物の大きさに応じて可
変する開口幅可変手段とを備えたものである。

【０００９】

【作用】本発明では、開口幅可変手段により照射開口の
開口幅を可変し、被照射物の適性な範囲に照射開口を通
じて紫外線を照射できるようにしている。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例の構成を図面を参照
して説明する。

【００１１】図５は紫外線照射装置の全体を示し、紫外
線を放射するランプなどを含む光学系を内蔵した光源部
１と、被照射物に紫外線を照射する露光部２と、露光部
２に外部から基板を搬入する搬入部３と、露光部２から
外部に基板を搬出する搬出部４とから構成されている。

【００１２】なお、本実施例の被照射物としては、図１
、図３および図４に示すように、紫外線を照射してＩＣ
、ＬＳＩなどの回路素子を形成する基板５とする。

【００１３】図１は光源部１および露光部２の構造を示
し、光源部１の機体１１の内部には、上部に、紫外線を
放射するランプ１２、このランプ１２から上方に放射さ
れる紫外線を下方に集光反射させる反射板１３、ランプ
１２に送風あるいはランプ１２の周囲の暖められた空気
を排気してランプ１２を冷却する送風機１４がそれぞれ
配設されている。 また、中間部に、反射板１３の集光点に位置してフライ
アイレンズ１５およびその下方にレンズ１６が配設され
、かつ、フライアイレンズ１５に入射する紫外線を遮断
可能とするシャッター１７およびこのシャッター１７を
選択的に開閉させるモータ１８が配設されている。さら
に、下部に、レンズ１６を通過した紫外線を露光部２に
向けて反射する反射板１９が配設されている。

【００１４】前記露光部２の機体２１の内部には、光源
部１の反射板１９で反射してくる紫外線を上方に反射す
る反射板２２が配設されている。また、機体２１の上面
板２３には、図３に示すように、反射板２２で反射する
紫外線を被照射物に照射する照射開口２４が開口形成さ
れている。この照射開口２４は、処理可能とする最も大
きな基板５に対応した寸法の長方形に形成され、図４に
示すように、紫外線が透過可能とするガラス板２５が嵌
め込まれている。

【００１５】また、図１に示すように、機体２１の上面
板２３の上側には基板５を搬送する搬送手段３１が配設
され、下側には照射開口２４の開口幅を可変する開口幅
可変手段３２が配設されている。

【００１６】まず、搬送手段３１は、図３および図４に
示すように、照射開口２４の両側つまり基板５の搬送方
向（Ｙ方向）と直交した両側に沿って、断面ほぼＬ字状
の可動枠３３が幅方向（Ｘ方向）に平行に摺動可能にそ
れぞれ配置され、図示しない駆動手段でそれぞれ平行移
動されるようになっている。

【００１７】各可動枠３３には軸受３４が所定間隔毎に
設けられ、この各軸受３４に回転軸３５を介してガイド
ローラ３６が回転自在に支持されている。このガイドロ
ーラ３６には、内端側に基板５の縁部を載せるだけの間
隔を空けて基板５の縁部をガイドするガイド環３７が設
けられている。また、各ガイドローラ３６の回転軸３５
の外端にはプーリ３８が固定され、隣接するガイドロー
ラ３６間のプーリ３８間にベルト３９が張設されている
。したがって、各可動枠３３に設けられた複数のガイド
ローラ３６は一体的に回転する。

【００１８】そして、搬送方向端部側において、両可動
枠３３のガイドローラ３６間が連動軸４０で連結され、
この連動軸４０の一端の回転受部４１と図２に示すモー
タ４２の回転部４３とがベルトなどで連結されており、
モータ４２の回転によりガイドローラ３６が一体的に同
方向に回転して基板５が搬送される。なお、連動軸４０
は、ガイドローラ３６、軸受３４およびプーリ３８を貫
通し、ブラケット４４で上面板２３上に回転自在に支持
されており、そのガイドローラ３６、軸受３４およびプ
ーリ３８に対しては軸方向にスライド可能で可動枠３３
の移動を可能とし、回転方向にはガイドローラ３６およ
びプーリ３８と結合して回転伝達するようになっている
。

【００１９】また、図４に示すように、各可動枠３３の
相対する内面には、先端をガイドローラ３６の先端部と
ほぼ同一としてそのガイドローラ３６の下方に位置する
紫外線吸収作用する有する遮光板４５が取付けられてい
る。

【００２０】次に、前記開口幅可変手段３２は、図２に
示すように、照射開口２４の下方において、照射開口２
４の幅方向両側にそれぞれ配置される幅方向（Ｘ方向）
の絞り板５１と、搬送方向両側にそれぞれ配置される搬
送方向（Ｙ方向）の絞り板５２とを備え、図４に示すよ
うに、幅方向の絞り板５１を下側に、搬送方向の絞り板
５２を上側に配置している。

【００２１】そして、各幅方向の絞り板５１の上面両側
縁部において、例えば機体２１の上面板２３に固定され
た支持部５３によりガイド軸５４が幅方向に沿って架設
され、このガイド軸５４にガイド部材５５がスライド自
在に嵌合され、このガイド部材５５が絞り板５１の上面
に固定されている。 したがって、各絞り板５１は、スライド軸５４に沿って
幅方向に平行移動可能に支持されている。

【００２２】一方、各搬送方向の絞り板５２の下面両側
縁部において、機体２１の図示しないシャーシなどに固
定された支持部５６によりガイド軸５７が搬送方向に沿
って架設され、このガイド軸５７にガイド部材５８がス
ライド自在に嵌合され、このガイド部材５８が絞り板５
２の下面に固定されている。したがって、各絞り板５２
は、スライド軸５７に沿って搬送方向に平行移動可能に
支持されている。

【００２３】また、各幅方向の絞り板５１の側部にモー
タ５９が配置され、このモータ５９の駆動軸に取付けら
れたプーリ６０と幅方向他側に配設されたプーリ６１と
の間にタイミングベルト６２が張設され、このタイミン
グベルト６２が絞り板５１に連結されている。そして、
各モータ５９の正逆回転により、各絞り板５１が幅方向
に移動される。

【００２４】一方、各搬送方向の絞り板５２のほぼ側部
にモータ６３が配置され、このモータ６３の駆動軸に取
付けられたプーリ６４と複数のプーリ６５との間にタイ
ミングベルト６６が搬送方向に沿って張設され、このタ
イミングベルト６６が絞り板５２に連結されている。そ
して、各モータ６３の正逆回転により、各絞り板５２が
幅方向に移動される。

【００２５】なお、図１に示すように、照射開口２４上
への塵埃の落下を防止するための蓋体７１が搬送手段３
１の上方に載置され、さらに、露光部２の上面を全体的
に覆う透明カバー７２が取付けられている。

【００２６】次に、本実施例の作用を説明する。

【００２７】まず、紫外線照射装置で紫外線照射処理さ
れる基板５の全体的な流れは、図５に示すように、外部
から搬入部３に搬入された基板５を露光部２に搬送し、
この露光部２で基板５に紫外線を照射し、露光部２から
基板５を搬出部４に搬送して外部に搬出する。

【００２８】次に、露光部２での紫外線照射処理につい
て説明する。

【００２９】搬入部３に搬入された基板５は、搬送手段
３１の両側のガイドローラ３６間上に載せられ、このガ
イドローラ３６の回転により露光部２に搬送され、照射
開口２４の上方の所定位置に達したときに図示しないセ
ンサなどで検知して搬送が停止される。このとき、紫外
線の放射を安定させるためにランプ１２は点灯されてい
るが、シャッター１７が閉じられているので、照射開口
２４から紫外線は出ていない。

【００３０】基板５の停止後、シャッター１７が開放さ
れ、ランプ１２から放射された紫外線がレンズ１５，１
６および反射板１９，２２からなる光学系を通じて照射
開口２４から基板５の下面に照射される。

【００３１】紫外線の照射完了後、再び搬送手段３１の
ガイドローラ３６が回転され、基板５が搬出部４に搬出
される。

【００３２】ところで、照射開口２４は、開口幅可変手
段３２により、基板５の大きさに応じた開口幅に調整さ
れている。すなわち、図４に示すように、幅方向の絞り
板５１の内端部がガイドローラ３６の先端部位置よりわ
ずかに内方に突出した位置に位置されている。そのため
、絞り板５１でガイドローラ３６に照射される紫外線を
遮光し、しかも、ガイドローラ３６の下側に配設した遮
光板４５でも紫外線を遮光するので、ガイドローラ３６
で紫外線の乱反射が生じて基板５に紫外線の照射むらが
生じるのを防止できる。なお、搬送方向の絞り板５２も
同様に調整され、基板５への紫外線の露光量が適性に保
たれる。

【００３３】次に、大きさの異なる基板５の紫外線照射
処理を行う場合について説明する。

【００３４】まず、基板５の幅方向および搬送方向の寸
法とも前回の処理時よりも小さい場合には、搬送手段３
１の両側の可動枠３３が相対する内方に移動され、両側
のガイドローラ３６間が基板５の幅方向寸法に対応した
寸法に調整される。

【００３５】また、開口幅可変手段３２によって照射開
口２４の開口幅が基板５の大きさに応じて調整される。 すなわち、幅方向の各絞り板５１が相対する内方に移動
され、絞り板５１の内端部が基板５の幅方向位置つまり
ガイドローラ３６の先端部位置に対応した位置に調整さ
れる。また、搬送方向の各絞り板５２が相対する内方に
移動され、絞り板５２の先端部が基板５の搬送方向寸法
に対応した位置に調整される。

【００３６】したがって、照射開口２４は開口幅可変手
段３２により基板５の大きさに応じた開口幅に調整され
、紫外線の照射むらが生じるのを防止できるとともに、
紫外線の露光量が適性に保たれる。

【００３７】また、基板５の幅方向および搬送方向の寸
法とも前回の処理時よりも大きい場合には、前述とは逆
に、両側のガイドローラ３６が相反する外方に移動され
、その両側のガイドローラ３６間が基板５の幅方向寸法
に対応した寸法に調整される。かつ、各絞り板５１，５
２が相反する外方に移動され、照射開口２４が基板５の
大きさに応じた開口幅に調整される。

【００３８】

【発明の効果】本発明によれば、開口幅可変手段により
照射開口の開口幅を可変し、被照射物の適性な範囲に照
射開口を通じて紫外線を照射できるため、照射むらなど
が生じるのを防止し、被照射物に対して一定に紫外線を
照射することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の紫外線照射装置の一実施例を示す断面
図である。

【図２】開口幅可変手段の平面図である。

【図３】搬送手段の平面図である。

【図４】搬送手段の一部の側面図である。

【図５】紫外線照射装置全体の斜視図である。

【符号の説明】

５　　　　被照射物 ２４　　　　照射開口 ３１　　　　搬送手段 ３２　　　　開口幅可変手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　被照射物を支持して搬送する搬送手段
   と、前記被照射物の搬送域下方に開口され被照射物に紫
   外線を照射する照射開口と、この照射開口の開口幅を前
   記被照射物の大きさに応じて可変する開口幅可変手段と
   を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。