JPH0553211A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被照射物Ｐの両側縁部に紫外線を照射する。 【構成】 被照射物Ｐの両側縁部を支持し、この被照射
物Ｐを搬送する搬送手段31を設ける。搬送手段31にて搬
入される被照射物Ｐに対して、下方から紫外線を照射す
る主照射部２を設ける。主照射部２から被照射物Ｐを搬
出する際、光ファイバーを有する光導体81で紫外線を導
いて、被照射物Ｐの両側縁部に照射する補助照射部５を
設ける。 【効果】 工程を増加させることなく、被照射物Ｐの全
面に紫外線を照射し、製造コストを低減する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被照射物として例えば
基板に紫外線を照射してＬＣＤ等の電極印刷、ＩＣ、Ｌ
ＳＩなどの回路素子等の露光を行なう紫外線照射装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の紫外線照射装置は、紫外線を下
方から照射する照射開口を有する照射部を設け、この照
射部の照射開口の両側上部に沿って複数のガイドローラ
を配置した搬送手段を設けている。

【０００３】そして、紫外線の照射にあたっては、基板
の搬送方向と直交する両側縁部を搬送手段の両側のガイ
ドローラ上に載せて、ガイドローラの回転により照射開
口上に搬入する。搬入停止された基板の下面に照射開口
を通じて紫外線を照射する。照射後は、基板をガイドロ
ーラの回転により照射開口上から搬出する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、基板の両側
縁部をガイドローラで支持した状態で紫外線を照射する
ため、基板の両側縁部には紫外線を照射できず、基板に
未露光部分ができてしまう。

【０００５】この基板の未露光部分にも紫外線を照射す
るためには、別の紫外線照射装置に基板を搬送して、基
板の両側縁部にのみ紫外線を照射する必要があり、工程
が増加し、製造コストが高くなる。

【０００６】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、工程を増加することなく、被照射物の両側縁部
にも紫外線を照射でき、製造コストを低減することがで
きる紫外線照射装置を提供することを目的とするもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被照
射物の搬送方向と直交する両側縁部を支持して搬送する
搬送手段と、この搬送手段にて搬入される前記被照射物
に対して下方から紫外線を照射する主照射部と、前記搬
送手段による被照射物の前記主照射部への搬入時および
主照射部からの搬出時のいずれかにおいて、光ファイバ
ーを有する複数の光導体により紫外線を導き被照射物の
両側縁部に照射する補助照射部とを備えたものである。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、補助照射部に接続される１つの入射部で紫外線を分
岐して複数の光導体の出射部から出射する。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１および請求項
２の発明において、光導体の紫外線を出射する出射部
は、被照射物の搬送方向に対して直交する方向に長い矩
形状の出射開口を設けたものである。

【００１０】請求項４の発明は、請求項１、請求項２お
よび請求項３の発明において、光導体の出射部が着脱可
能で、その出射部を被照射物の両側縁部に対して位置決
め保持するホルダを設けたものである。

【００１１】

【作用】請求項１の発明では、搬送手段により被照射物
の両側縁部を支持して、被照射物を主照射部に搬入し、
主照射部で被照射物に紫外線を照射し、主照明部から被
照射物を搬出する。この被照射物の主照射部への搬入時
および主照射部からの搬出時のいずれかにおいて、補助
照射部から光ファイバーを有する複数の光導体により紫
外線を導いて、被照射物の両側縁部に照射する。

【００１２】請求項２の発明では、請求項１の発明にお
いて、補助照射部に接続される１つの入射部で紫外線を
分岐して複数の光導体の出射部から出射することによ
り、補助照射部の紫外線を放射するランプ等が共用さ
れ、各光導体からの紫外線出射量が均等になる。

【００１３】請求項３の発明では、請求項１および請求
項２の発明において、出射部の出射開口を被照射物の搬
送方向と直交する幅方向に長い矩形状とすることによ
り、被照射物の両側縁部に対して幅方向に一定量の紫外
線を照射する。また、出射開口の搬送方向に対応する開
口幅を調整することにより、紫外線照射量を調整する。

【００１４】請求項４の発明では、請求項１、請求項２
および請求項３の発明において、各光導体の出射部をホ
ルダに装着することにより、出射部を被照射物の両側縁
部に対して位置決めし、紫外線照射状態を安定化する。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の一実施例の構成を図面を参照
して説明する。

【００１６】図１０は紫外線照射装置の全体を示し、紫
外線を放射するランプなどを含む光学系を内蔵した光源
部１と、被照射物に紫外線を照射する主照射部２と、主
照射部２に被照射物を搬入する搬入部３と、主照射部２
から被照射物を搬出する搬出部４と、被照射物の搬送方
向と直交する両側縁部に紫外線を照射する補助照射部５
とから構成されている。

【００１７】なお、本実施例の被照射物としては、図
１、図７および図９に示すように、紫外線を照射してＩ
Ｃ、ＬＳＩなどの回路素子を形成する基板Ｐとする。

【００１８】図１および図２は光源部１および主照射部
２の構造を示し、光源部１の機体11の内部には、上部
に、紫外線を放射するランプ12、このランプ12から上方
に放射される紫外線を下方に集光反射させる反射板13、
ランプ12に送風あるいはランプ12の周囲の暖められた空
気を排気してランプ12を冷却する送風機14がそれぞれ配
設されている。

【００１９】また、機体11の内部の中間部に、反射板13
の集光点に位置してフライアイレンズ15およびその下方
にレンズ16が配設され、かつ、フライアイレンズ15に入
射する紫外線を遮断可能とするシャッター17およびこの
シャッター17を選択的に開閉させるモータ18が配設され
ている。さらに、下部に、レンズ16を通過した紫外線を
主照射部２に向けて反射する反射板19が配設されてい
る。

【００２０】前記主照射部２の機体21の内部には、光源
部１の反射板19で反射してくる紫外線を上方に反射する
反射板22が配設されている。また、機体21の上面板23に
は、図７に示すように、反射板22で反射する紫外線を基
板Ｐに照射する照射開口24が開口形成されている。この
照射開口24は、処理可能とする最も大きな基板Ｐに対応
した寸法の長方形に形成され、図９に示すように、紫外
線が透過可能とするガラス板25が嵌め込まれている。

【００２１】また、図１に示すように、機体21の上面板
23の上側には基板Ｐを搬送する搬送手段31が配設され、
下側には照射開口24の開口幅を可変する開口幅可変手段
32が配設されている。

【００２２】まず、搬送手段31は、図７および図９に示
すように、照射開口24の両側つまり基板Ｐの搬送方向
（Ｙ方向）と直交した両側に沿って、断面ほぼＬ字状の
可動枠33が幅方向（Ｘ方向）に平行に摺動可能にそれぞ
れ配置され、手動または図示しない駆動手段でそれぞれ
平行移動されるようになっている。

【００２３】各可動枠33には軸受34が所定間隔毎に設け
られ、この各軸受34に回転軸35を介してガイドローラ36
が回転自在に支持されている。このガイドローラ36に
は、内端側に基板Ｐの縁部を載せるだけの間隔を空けて
基板Ｐの縁部をガイドするガイド環37が設けられてい
る。また、各ガイドローラ36の回転軸35の外端にはプー
リ38が固定され、隣接するガイドローラ36間のプーリ38
間にベルト39が張設されている。したがって、各可動枠
33に設けられた複数のガイドローラ36は一体的に回転す
る。

【００２４】そして、搬送方向始端側において、両可動
枠33のガイドローラ36間に連動軸40で連結され、この連
動軸40の一端の回転受部41と図８に示すモータ42の回転
部43とがベルトなどで連結されており、モータ42の回転
によりガイドローラ36が一体的に同方向に回転して基板
Ｐが搬送される。なお、連動軸40は、ガイドローラ36、
軸受34およびプーリ38を貫通し、ブラケット44で上面板
23上に回転自在に支持されており、そのガイドローラ3
6、軸受34およびプーリ38に対しては軸方向にスライド
可能で可動枠33の移動を可能とし、回転方向にはガイド
ローラ36およびプーリ38と結合して回転伝達するように
なっている。

【００２５】次に、前記開口幅可変手段32は、図８に示
すように、照射開口24の下方において、照射開口24の幅
方向両側にそれぞれ配置される幅方向（Ｘ方向）の絞り
板51と、搬送方向両側にそれぞれ配置される搬送方向
（Ｙ方向）の絞り板52とを備え、図９に示すように、幅
方向の絞り板51を下側に、搬送方向の絞り板52を上側に
配置している。

【００２６】そして、各幅方向の絞り板51の上面両側縁
部において、例えば機体21の上面板23に固定された支持
部53によりガイド軸54が幅方向に沿って架設され、この
ガイド軸54にガイド部材55がスライド自在に嵌合され、
このガイド部材55が絞り板51の上面に固定されている。
したがって、各絞り板51は、スライド軸54に沿って幅方
向に平行移動可能に支持されている。

【００２７】一方、各搬送方向の絞り板52の下面両側縁
部において、機体21の図示しないシャーシなどに固定さ
れた支持部56によりガイド軸57が搬送方向に沿って架設
され、このガイド軸57にガイド部材58がスライド自在に
嵌合され、このガイド部材58が絞り板52の下面に固定さ
れている。したがって、各絞り板52は、スライド軸57に
沿って搬送方向に平行移動可能に支持されている。

【００２８】また、各幅方向の絞り板51の側部にモータ
59が配置され、このモータ59の駆動軸に取付けられたプ
ーリ60と幅方向他側に配設されたプーリ61との間にタイ
ミングベルト62が張設され、このタイミングベルト62が
絞り板51に連結されている。そして、各モータ59の正逆
回転により、各絞り板51が幅方向に移動される。

【００２９】一方、各搬送方向の絞り板52のほぼ側部に
モータ63が配置され、このモータ63の駆動軸に取付けら
れたプーリ64と複数のプーリ65との間にタイミングベル
ト66が搬送方向に沿って張設され、このタイミングベル
ト66が絞り板52に連結されている。そして、各モータ63
の正逆回転により、各絞り板52が幅方向に移動される。

【００３０】前記補助照射部５は、図２に示すように、
機体11の搬送方向側の側部の支持台71上に配設されてい
る。機体72内には、紫外線を放射するランプ73、このラ
ンプ73から上方に放射される紫外線を下方に集光反射さ
せる反射板74、紫外線を前方の光コネクタ75に向けて反
射する反射板75、光コネクタ75に入射する紫外線を遮断
可能とするシャッター76およびこのシャッター76を選択
的に開閉させるモータ77がそれぞれ配設されている。

【００３１】また、補助照射部５は紫外線を基板Ｐの両
側縁部に導くための一対の光導体81を有している。この
各光導体81は、同一長さとし、図４に示すように、フレ
キシブルチューブ82内に図示しない複数の光ファイバー
素線を収納している。

【００３２】各光導体81の一端は紫外線の入射部83の分
岐パイプ部84に接続されており、この入射部83は、前記
光コネクタ75に光結合状態に接続されるコネクタ部85が
形成され、コネクタ部85から入射する紫外線を分岐パイ
プ部84で各光導体81に分岐する。

【００３３】各光導体81の他端には紫外線の出射部86が
形成され、この出射部86はスリーブ87を有し、このスリ
ーブ87の端面には紫外線を出射する矩形状の出射開口88
（図５に示す）が形成され、スリーブ87の側面には出射
開口88の長手方向と直交して溝状の基準ライン89が形成
されている。

【００３４】また、各光導体81の出射部86を基板Ｐの両
側縁部に対して位置決め保持するホルダ91を有してい
る。この各ホルダ91は、図６に示すように、搬送手段31
の可動枠33に立設される支柱部92、出射部86のスリーブ
87を挿脱可能に保持する円筒状のホルダ部93とからな
り、ホルダ部93にはスリット94が形成されている。そし
て、ホルダ部93にスリーブ87を挿入するとともにスリー
ブ87の基準ライン89をスリット94に合わせることによ
り、出射部86の端面と基板Ｐとの距離が一定に保たれる
とともに、照射開口88の長手方向が基板Ｐの搬送方向と
直交する方向に一致するように位置決めされる。

【００３５】なお、各光導体81による紫外線の照射位置
Ａを、図７に示す。

【００３６】また、図７には、搬送手段31によって搬送
される基板Ｐの搬送位置を検知するための複数のセンサ
Ｓ1 ，Ｓ2 ，Ｓ3 が搬送方向に沿って設けられている。

【００３７】また、図１に示すように、照射開口24上へ
の塵埃の落下を防止するための透明な蓋体101 が搬送手
段31の上方に載置され、さらに、主照射部２の上面を全
体的に覆う透明なカバー102 が取付けられている。な
お、このカバー102 を挿通して各光導体81がホルダ91に
取付けられる。

【００３８】次に、本実施例の作用を説明する。

【００３９】まず、紫外線照射装置で紫外線照射処理さ
れる基板Ｐの全体的な流れは、図１０において、搬入部
３にセットされた基板Ｐを主照射部２に搬入し、この主
照射部２で基板Ｐに紫外線を照射し、主照射部２から基
板Ｐを搬出する際に補助照射部５で基板Ｐの両側縁部に
紫外線を照射し、基板Ｐを搬出部４に搬出する。

【００４０】次に、紫外線照射処理について具体的に説
明する。

【００４１】搬入部３から主照射部２に搬入される基板
Ｐは、搬送手段31の両側のガイドローラ36間上に載せら
れ、このガイドローラ36の回転により照射開口24上に搬
入される。そして、基板Ｐの搬送位置をセンサＳ1 ，Ｓ
2 で検知し、照射開口24の上方の所定位置で基板Ｐが停
止される。

【００４２】このとき、紫外線の放射を安定させるため
に主照射部２のランプ12は点灯されているが、シャッタ
ー17が閉じられているので、照射開口24から紫外線は出
ていない。同様に、補助反射部５のランプ73も点灯され
ているが、シャッター76が閉じられているので、各光導
体81から紫外線は出ていない。

【００４３】基板Ｐの停止後、シャッター17が所定時間
開放され、ランプ12から放射された紫外線がレンズ15，
16および反射板19，22からなる光学系を通じて照射開口
24から基板Ｐに照射される。

【００４４】ところで、照射開口24は、開口幅可変手段
32により、基板Ｐの大きさに応じた開口幅に調整されて
いる。すなわち、図９に示すように、幅方向の絞り板51
の内端部がガイドローラ36の先端部位置よりわずかに内
方に突出した位置に位置されている。そのため、絞り板
51でガイドローラ36に照射される紫外線が遮光され、ガ
イドローラ36で紫外線の乱反射が生じて基板Ｐに紫外線
の照射むらが生じるのが防止される。なお、搬送方向の
絞り板52も同様に調整され、基板Ｐへの紫外線の露光量
が適性に保たれる。

【００４５】したがって、主照射部２では、基板Ｐのガ
イドローラ36で支持された両側縁部を除く部分に紫外線
が照射され、その基板Ｐの両側縁部に未露光部分ができ
る。

【００４６】主照射部２での紫外線の照射完了後、再び
搬送手段31のガイドローラ36が回転され、基板Ｐの搬出
部４への搬出が開始される。

【００４７】センサＳ3 が基板Ｐの搬送方向先端部を検
知すると、補助照射部５のシャッター76が開放され、ラ
ンプ73から放射された紫外線がコネクタ75、入射部83、
各光導体81を通じて各出射部86の出射開口88から出射さ
れ、搬送中の基板Ｐの両側縁部に紫外線が照射される。

【００４８】そして、基板Ｐは搬出部４に搬出され、セ
ンサＳ3 が基板Ｐを検知しなくなってから所定時間後
に、シャッター76が閉じられる。

【００４９】したがって、基板Ｐの搬出途中で基板Ｐの
未露光部分である両側縁部に紫外線を照射するため、紫
外線照射工程を増加させることなく、基板Ｐの全面に紫
外線を照射することができ、製造コストを低減すること
ができる。

【００５０】また、一対の光導体81に対して入射部83を
１つとし、この入射部83で紫外線を各光導体81に分岐さ
せるため、ランプ73等を含む補助照射部５を共用でき、
装置を簡略かつ安価にできるとともに、各光導体81から
の紫外線出射量を均等にすることができる。

【００５１】また、出射部86の出射開口88を基板Ｐの搬
送方向と直交する方向に長い矩形状としたため、基板Ｐ
の両側縁部に対して幅方向に一定量の紫外線を照射する
ことができる。しかも、出射開口88の搬送方向に対応す
る開口幅を調整することにより、紫外線照射量を容易に
調整することができる。

【００５２】また、主照射部２の保守点検等の際にカバ
ー102 を着脱するのに伴って、各光導体81の出射部86も
ホルダ91に対して着脱しなければならないが、各光導体
81の出射部86をホルダ91に装着するだけで、出射部86を
基板Ｐの両側縁部に対して容易に位置決めすることがで
き、紫外線照射状態の安定化を図ることができる。

【００５３】次に、大きさの異なる基板Ｐの紫外線照射
処理を行う場合には、搬送手段31の両側の可動枠33を移
動し、両側のガイドローラ36間を基板Ｐの幅方向寸法に
対応した寸法に調整する。このとき、可動枠33と一体的
にホルダ91が移動し、このホルダ91で保持された光導体
81の出射部86と基板Ｐの両側縁部との位置関係は一定に
保たれる。

【００５４】さらに、開口幅可変手段32によって照射開
口24の開口幅が基板Ｐの大きさに応じて調整される。す
なわち、幅方向の各絞り板51が移動され、絞り板51の内
端部が基板Ｐの幅方向位置つまりガイドローラ36の先端
部位置に対応した位置に調整される。また、搬送方向の
各絞り板52が移動され、絞り板52の先端部が基板Ｐの搬
送方向寸法に対応した位置に調整される。

【００５５】したがって、照射開口24は開口幅可変手段
32により基板Ｐの大きさに応じた開口幅に調整され、紫
外線の照射むらが生じるのを防止できるとともに、紫外
線の露光量が適性に保たれる。

【００５６】なお、長さの異なる光導体81を用いる場
合、各光導体81からの紫外線の出射量がわずかに異な
る。このような場合には、各光導体81の光ファイバー素
線の数を変えたり、各光導体81の出射開口88の開口幅を
変えることにより、各光導体81からの紫外線の出射量が
均等になるように調整する。

【００５７】また、前記実施例では、主照射部２での照
射が完了した基板Ｐの搬出時において補助照射部５によ
り基板Ｐの両側縁部に紫外線を照射したが、主照射部２
で照射を行う前の基板Ｐの搬入時において補助照射部５
により基板Ｐの両側縁部に紫外線を照射してもよい。

【００５８】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、被照射物の主
照射部への搬入時および主照射部からの搬出時のいずれ
かにおいて、補助照射部から光ファイバーを有する複数
の光導体により紫外線を導き、搬送手段により支持され
ているために主照射部では紫外線が照射されない被照射
物の両側縁部に紫外線を照射することができるため、紫
外線照射工程を増加させることなく、被照射物の全面に
紫外線を照射することができ、製造コストを低減するこ
とができる。

【００５９】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
において、補助照射部に接続される１つの入射部で紫外
線を分岐して複数の光導体の出射部から出射することに
より、補助照射部の紫外線を放射するランプ等を共用
し、装置を簡略かつ安価にできるとともに、各光導体か
らの紫外線出射量を均等にすることができる。

【００６０】請求項３の発明によれば、請求項１および
請求項２の発明において、出射部の出射開口を被照射物
の搬送方向と直交する幅方向に長い矩形状とすることに
より、被照射物の両側縁部に対して幅方向に一定量の紫
外線を照射することができ、また、出射開口の搬送方向
に対応する開口幅を調整することにより、紫外線照射量
を容易に調整することができる。

【００６１】請求項４の発明によれば、請求項１、請求
項２および請求項３の発明において、各光導体の出射部
をホルダに装着するだけで、出射部を被照射物の両側縁
部に対して位置決め保持することができ、紫外線照射状
態の安定化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の紫外線照射装置の一実施例を示す断面
図である。

【図２】その正面図である。

【図３】補助照射部の一部を切り欠いた側面図である。

【図４】光導体の側面図である。

【図５】光導体の出射部の端面図である。

【図６】ホルダの斜視図である。

【図７】搬送手段の平面図である。

【図８】開口幅可変手段の平面図である。

【図９】搬送手段の一部の断面図である。

【図１０】紫外線照射装置全体の斜視図である。

【符号の説明】

２ 主照射部 ５ 補助照射部 31 搬送手段 81 光導体 83 入射部 86 出射部 88 出射開口 91 ホルダ Ｐ 被照射物

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被照射物の搬送方向と直交する両側縁部
   を支持して搬送する搬送手段と、 この搬送手段にて搬入される前記被照射物に対して下方
   から紫外線を照射する主照射部と、 前記搬送手段による被照射物の前記主照射部への搬入時
   および主照射部からの搬出時のいずれかにおいて、光フ
   ァイバーを有する複数の光導体により紫外線を導き被照
   射物の両側縁部に照射する補助照射部とを備えたことを
   特徴とする紫外線照射装置。
2. 【請求項２】 補助照射部に接続される１つの入射部で
   紫外線を分岐して複数の光導体の出射部から出射するこ
   とを特徴とする請求項１記載の紫外線照射装置。
3. 【請求項３】 光導体の紫外線を出射する出射部は、被
   照射物の搬送方向に対して直交する方向に長い矩形状の
   出射開口を設けたことを特徴とする請求項１または請求
   項２記載の紫外線照射装置。
4. 【請求項４】 光導体の出射部が着脱可能で、その出射
   部を被照射物の両側縁部に対して位置決め保持するホル
   ダを設けたことを特徴とする請求項１、請求項２または
   請求項３記載の紫外線照射装置。