JPH04268535A - 液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ゲートバスラインとソ
ースバスラインが格子状に配線された透明絶縁性基板と
対向電極を備えた基板とを貼り合わせ、両基板間に液晶
を封入した液晶表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の液晶表示装置の一例として、ア
クティブマトリクス型液晶表示装置があり、この液晶表
示装置は、アクティブマトリクス基板と対向電極が配設
された対向基板を貼り合わせ、両基板間に液晶を封入し
て形成される。該アクティブマトリクス基板には、ゲー
トバスラインとソースバスラインが格子状に配線され、
両バスラインで囲まれた領域に絵素電極がマトリクス状
に配設される。各ゲートバスラインにはＴＦＴ（薄膜ト
ランジスタ）が形成されるゲート電極が分岐され、ＴＦ
Ｔによって各絵素電極を選択的に駆動することにより液
晶表示装置の表示動作が行われるようになっている。

【０００３】なお、各ソースバスラインにはこれにソー
ス信号を入力する入力端子がそれぞれ接続され、該入力
端子の接続位置によって、千鳥取り出し端子構造の液晶
表示装置と片側取り出し端子構造の液晶表示装置とに大
別される。前者は隣接するソースバスライン毎に入力端
子の接続位置を違えた構造、すなわち、あるソースバス
ラインの一端側に入力端子を接続すると、次のソースバ
スラインにはこれの他端に入力端子を接続する構造をと
り、後者は全てのソースバスラインの同一の端部位置に
入力端子を接続する構造をとる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の液
晶表示装置において、ソースバスラインに断線が１本で
も発生すると、ソースバスラインの断線箇所より先端側
（入力端子を基準とする先端側）に接続されているＴＦ
Ｔが動作不能となる表示不良を生じるため、液晶表示装
置自体の商品価値がなくなってしまい製品として出荷で
きないという問題がある。

【０００５】そこで、このような表示不良を防止するた
め、従来例では、ソースバスラインの配線構造を異金属
での２層構造としたり、ソースバスラインをその下地配
線より幅広に形成したりしていた。すなわち、従来例で
は、ソースバスラインに断線が発生するのを予防すべく
、ソースバスラインそのものの構造に工夫を凝らしてい
た。

【０００６】しかしながら、上記のような断線予防対策
を講じたとしても、ソースバスラインの断線を防止する
には限界がある。すなわち、スパッタリング法により金
属層を積層してソースバスラインを形成する工程時にフ
レークやピンホールに起因してソースバスラインが断線
することがあり、また、ソースバスラインの下地配線膜
に異物が混入してソースバスラインが断線することがあ
るからである。

【０００７】本発明はこのような従来技術の欠点を解決
するものであり、ソースバスラインの断線に伴う表示不
良をその後に解消できる液晶表示装置を提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示装置は
、ゲートバスラインとソースバスラインが格子状に配線
された透明絶縁性基板と対向電極を備えた基板とを貼り
合わせ、両基板間に液晶を封入した液晶表示装置におい
て、隣接するソースバスラインの内の一方のソースバス
ラインの一端部および他方のソースバスラインの他端部
に、該ソースバスラインに対してソース信号を入力する
入力端子を接続すると共に、該ソースバスラインの両端
部に該ソースバスラインに交差する方向の補助配線を重
畳してなり、そのことにより上記目的が達成される。

【０００９】また、本発明の液晶表示装置は、ゲートバ
スラインとソースバスラインが格子状に配線された透明
絶縁性基板と対向電極を備えた基板とを貼り合わせ、両
基板間に液晶を封入した液晶表示装置において、全ての
ソースバスラインの一端部に、該ソースバスラインに対
してソース信号を入力する入力端子を接続すると共に、
該ソースバスラインの他端部に該ソースバスラインに交
差する方向の補助配線を重畳して成り、そのことにより
上記目的が達成される。

【００１０】

【作用】上記構成において、ソースバスラインに断線を
生じると、該当箇所に表示不良が発生するので、表示状
態を視認すれば、いずれのソースバスラインに断線が発
生しているのかを検出できる。断線を検出すると、断線
したソースバスラインおよびこれに隣接するソースバス
ラインと補助配線との交差部にレーザー光を照射する。 そうすると、両交差部が溶融し、補助配線を介して隣接
するソースバスライン同士が電気的に接続される。この
結果、断線したソースバスラインの断線箇所の先端側に
は、隣接したソースバスラインからソース信号が入力さ
れるので、断線がない場合と殆ど同様の表示が可能にな
る。

【００１１】

【実施例】本発明の実施例について以下に説明する。

【００１２】図１は本発明の一実施例にかかる液晶表示
装置の逆スタガー構造のアクティブマトリクス基板を示
しており、ガラス基板（透明絶縁性基板）１上にはゲー
トバスライン１０、１０…およびソースバスライン２０
、２０…が格子状に配線され、両バスラインで囲まれる
領域には絵素電極がマトリクス状に配設される。加えて
、各ソースバスライン２０、２０…の一端部には該ソー
スバスライン２０にソース信号を入力する入力端子２１
、２１…が接続される。

【００１３】この液晶表示装置は前記した千鳥取り出し
端子構造をとり、隣接するソースバスライン２０毎に入
力端子２１の接続位置を違えてある。すなわち、図１に
おいて、隣接するソースバスライン２０ａ、２０ｂの内
、一方のソースバスライン２０ｂには基端末に入力端子
２１を接続し、他方のソースバスライン２０ｂには先端
末に入力端子２１を接続してある。更に、各ソースバス
ライン２０、２０…の両端部にはソースバスライン２０
、２０…と交差する方向に補助配線３０、３０…が重畳
される。図１において、符号４０、４０ａおよび４０ｂ
は両者の交差部を示している。

【００１４】次に、交差部４０（４０ａ、４０ｂ）の断
面構造を示す図２に従い液晶表示装置の製造工程を説明
する。まずガラス基板１上にＴａ２Ｏ５からなるベース
コート層１１を形成し、このベースコート層１１上にス
パッタリング法によりＴａ膜を形成する。次いで、この
Ｔａ膜をフォトリソグラフィによりパターニングしてゲ
ートバスライン１０およびソースバスライン２０の端子
部に相当する部分に補助配線３０を形成する。

【００１５】次に、ゲート電極１０および補助配線３０
の表面を陽極酸化し、Ｔａ２Ｏ５膜からなる酸化絶縁膜
３１を形成する。次いで、プラズマＣＶＤ法により酸化
絶縁膜３１の上にＳｉＮｘ膜からなるゲート絶縁膜１３
を形成し、このゲート絶縁膜１３に連続してａ−Ｓｉ（
アモルファスシリコン）層およびＳｉＮｘからなるエッ
チングストッパ層１５を積層した後に、上部のエッチン
グストッパ層１５を図示する形状にパターニングする。 そして、プラズマＣＶＤ法によりガラス基板１上の全面
にＰ（リン）をドーピングしたｎ＋ａ−Ｓｉを積層し、
これをフォトリソグラフィによりパターニングして、半
導体層１４およびｎ＋ａ−Ｓｉ層１６を交差部４０に形
成する。この時、同時にゲートバスライン１０から分岐
されたゲート電極（図示せず）に形成されるＴＦＴ部に
同様の半導体層１４およびｎ＋ａ−Ｓｉ層１６が形成さ
れる。

【００１６】次いで、スパッタリング法によりガラス基
板１上の全面にＴｉ膜を積層し、フォトリソグラフィに
よってソースバスライン２０をパターニングする。そし
て、スパッタリング法によりガラス基板１の全面にＩＴ
Ｏ（Ｉｎｄｉｕｍ　　Ｔｉｎ　　Ｏｘｉｄｅ）膜を積層
し、これをフォトリソグラフィによりパターニングして
ソースバスライン２０およびこれに連設される絵素電極
を形成する。

【００１７】次いで、ＳｉＮｘ膜からなる保護膜１８を
ガラス基板１上の全面に積層し、その後、入力端子２１
部分の保護膜１８をエッチングにより除去し、これによ
りアクティブマトリクス基板を作成する。

【００１８】そして、このアクティブマトリクス基板に
、対向電極が配設された対向基板を貼り合わせ、両基板
間に液晶を封入してアクティブマトリクス型液晶表示装
置を得る。

【００１９】次に、図３に従いソースバスライン２０に
断線が発生した場合の表示不良を修復する方法について
説明する。なお、ソースバスライン２０の断線は、液晶
表示装置を駆動して表示動作を行わせると、断線を発生
したソースバスライン２０に接続される絵素電極の所に
おいて絵素欠陥を生じるので、表示状態を視認すること
により、いずれのソースバスライン２０に断線が発生し
ているのかを容易に検出できる。

【００２０】今、図３において、ソースバスライン２０
ａに記号×で示す断線部５０が発生している状態を想定
すると、この場合には、該ソースバスライン２０ａの入
力端子２１〜断線部５０迄の部分、すなわち、この間に
接続される絵素電極にはソース信号が入力されるため、
正常な表示動作が行われる。これに対して、断線部５０
〜ソースバスライン２０ａの先端部間に接続される絵素
電極にはソース信号が入力されないため、正常な表示動
作が行われず、ライン欠陥が発生する。

【００２１】そこで、ライン欠陥を修復するために、断
線を発生したソースバスライン２０ａと補助配線３０と
の交差部４０ａおよび該ソースバスライン２０ａに隣接
する正常状態のソースバスライン２０ｂと補助配線３０
との交差部４０ｂにレーザー光を照射する。これにより
、交差部４０ａ、４０ｂに対応した部分の半導体層１４
およびゲート絶縁膜１３が溶融し、補助配線３０とソー
スバスライン２０ａおよび２０ｂが溶着され、結局、ソ
ースバスライン２０ａとソースバスライン２０ｂが補助
配線３０を介して電気的に導通する。

【００２２】従って、断線が発生しているソースバスラ
イン２０ａの断線部５０〜先端部間の部分にはソースバ
スライン２０ｂに接続された入力端子２１からソース信
号が入力されることになる。それ故、この間に接続され
る絵素電極にも隣接するソースバスライン２０ａからの
ソース信号が入力されるので、見栄え上気にならない表
示動作が行われ、ライン欠陥が解消されることになる。

【００２３】なお、レーザーとしては、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１
２（ＹＡＧ）レーザーを用いればよく、ガラス基板１越
しにレーザー光を照射すればよい。

【００２４】図４および図５は本発明の他の実施例を示
しており、この実施例では前記した片側取り出し端子構
造の液晶表示装置に本発明を適用する。すなわち、図示
のように、全てのソースバスライン２０、２０…の一端
には入力端子２１、２１…が接続される。一方、ソース
バスライン２０、２０…の他端部には、これらと交差す
る方向に補助配線３０、３０…が重畳され、前記同様の
交差部４０ａ、４０ｂが形成される。

【００２５】この実施例においても、前記同様に断線部
５０を発生しているソースバスライン２０ａと補助配線
３０との交差部４０ａおよび隣接する正常状態のソース
バスライン２０ｂと補助配線３０との交差部４０ｂにレ
ーザー光を照射し、これによりソースバスライン２０ａ
と２０ｂを電気的に導通させて断線に伴う表示不良を解
消することができる。

【００２６】

【発明の効果】以上の本発明によれば、補助配線をソー
スバスラインと交差するように重畳する構成をとるので
、ソースバスラインに断線が発生すると、断線したソー
スバスラインと補助配線との交差部および隣接する正常
状態のソースバスラインと補助配線との交差部にレーザ
ー光を照射することにより、断線を生じたソースバスラ
インと正常状態のソースバスラインを電気的に導通させ
ることができる。従って、断線を発生したソースバスラ
インの断線部から先の部分にもソース信号が入力される
ので、断線に伴う表示不良をその後に解消できる。この
結果、液晶表示装置の歩留りを格段に向上できることに
なり、コストダウンに大いに寄与できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す液晶表示装置の平面図
。

【図２】図１の液晶表示装置における交差部の構造を示
す断面図。

【図３】図１に示す液晶表示装置の断線に伴う表示不良
を解消する方法を示す図面。

【図４】本発明の他の実施例を示す液晶表示装置の平面
図。

【図５】図２に示す液晶表示装置の断線に伴う表示不良
を解消する方法を示す図面。

【符号の説明】

１　　ガラス基板 １０　　ゲートバスライン ２０、２０ａ、２０ｂ　　ソースバスライン２１　　入
力端子 ３０　　補助配線 ４０、４０ａ、４０ｂ　　交差部 ５０　　断線部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ゲートバスラインとソースバスラインが格
   子状に配線された透明絶縁性基板と対向電極を備えた基
   板とを貼り合わせ、両基板間に液晶を封入した液晶表示
   装置において、隣接するソースバスラインの内の一方の
   ソースバスラインの一端部および他方のソースバスライ
   ンの他端部に、該ソースバスラインに対してソース信号
   を入力する入力端子を接続すると共に、該ソースバスラ
   インの両端部に該ソースバスラインに交差する方向の補
   助配線を重畳した液晶表示装置。
2. 【請求項２】ゲートバスラインとソースバスラインが格
   子状に配線された透明絶縁性基板と対向電極を備えた基
   板とを貼り合わせ、両基板間に液晶を封入した液晶表示
   装置において、全てのソースバスラインの一端部に、該
   ソースバスラインに対してソース信号を入力する入力端
   子を接続すると共に、該ソースバスラインの他端部に該
   ソースバスラインに交差する方向の補助配線を重畳した
   液晶表示装置。