JPH04254313A - 希土類磁石の製造方法 - Google Patents
希土類磁石の製造方法Info
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- JPH04254313A JPH04254313A JP3015323A JP1532391A JPH04254313A JP H04254313 A JPH04254313 A JP H04254313A JP 3015323 A JP3015323 A JP 3015323A JP 1532391 A JP1532391 A JP 1532391A JP H04254313 A JPH04254313 A JP H04254313A
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- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 21
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 title claims abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- -1 nitrogen ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 6
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 229910001047 Hard ferrite Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/0253—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing permanent magnets
- H01F41/026—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing permanent magnets protecting methods against environmental influences, e.g. oxygen, by surface treatment
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、Ｒ（但し、ＲはＹ
を含む希土類元素の１種または２種以上の組み合わせ）
−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石において、耐酸化性を改善した
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石に関するものである。
を含む希土類元素の１種または２種以上の組み合わせ）
−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石において、耐酸化性を改善した
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】 Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石は、
その優れた磁気特性の為に、従来のアルニコ、ハードフ
ェライト、Ｓｍ−Ｃｏ系磁石に代わる永久磁石材料とし
て注目されている。このＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石は、
粉末焼結法、鋳造熱間加工法、超急冷法等により作製さ
れる。これらのなかで、粉末焼結法による永久磁石が最
も高い磁気特性を示し、Ｓｍ−Ｃｏ系磁石の代替えとし
て広がりつつある。
その優れた磁気特性の為に、従来のアルニコ、ハードフ
ェライト、Ｓｍ−Ｃｏ系磁石に代わる永久磁石材料とし
て注目されている。このＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石は、
粉末焼結法、鋳造熱間加工法、超急冷法等により作製さ
れる。これらのなかで、粉末焼結法による永久磁石が最
も高い磁気特性を示し、Ｓｍ−Ｃｏ系磁石の代替えとし
て広がりつつある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、Ｒ
−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石には、希土類元素及び鉄を主成
分として含むため、その磁石体の表面は空気中で容易に
酸化され安定な酸化物を形成する。従って、このＲ−Ｆ
ｅ−Ｂ系希土類磁石を磁気回路に組み込んだ場合に、磁
石表面の酸化物により特性の劣化及び磁気回路間の特性
のばらつきを生じる。また、磁石表面の酸化物の脱落に
よる周辺機器への汚染の問題があった。
−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石には、希土類元素及び鉄を主成
分として含むため、その磁石体の表面は空気中で容易に
酸化され安定な酸化物を形成する。従って、このＲ−Ｆ
ｅ−Ｂ系希土類磁石を磁気回路に組み込んだ場合に、磁
石表面の酸化物により特性の劣化及び磁気回路間の特性
のばらつきを生じる。また、磁石表面の酸化物の脱落に
よる周辺機器への汚染の問題があった。
【０００４】従来、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石の耐酸化
性を改善する方法として、磁石体表面にＴｉＮ膜を被覆
する方法が提案されているが、長時間での使用または過
酷な条件化においては、ＴｉＮ被覆膜が磁石体表面から
剥離してしまうという問題を生じるため、より優れた密
着性を有する被覆膜の開発が望まれている。そこで本発
明は、上記の課題に鑑みなされたもので、耐酸化性の優
れたＲ（但し、ＲはＹを含む希土類元素の１種または２
種以上の組み合わせ）−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石を提供す
ることを目的とする。
性を改善する方法として、磁石体表面にＴｉＮ膜を被覆
する方法が提案されているが、長時間での使用または過
酷な条件化においては、ＴｉＮ被覆膜が磁石体表面から
剥離してしまうという問題を生じるため、より優れた密
着性を有する被覆膜の開発が望まれている。そこで本発
明は、上記の課題に鑑みなされたもので、耐酸化性の優
れたＲ（但し、ＲはＹを含む希土類元素の１種または２
種以上の組み合わせ）−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 本発明では、上記課
題を解決するために、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ（但し、ＲはＹを含
む希土類元素の１種または２種以上の組み合わせ）系希
土類焼結磁石体の表面に、Ｔｉを真空蒸着すると同時に
窒素イオンをイオン注入し、ついで１００〜２００℃で
熱処理することを特徴とする。Ｔｉの蒸着と窒素イオン
の注入を同時に行うことにより、磁石体とＴｉ蒸着膜と
の界面にＲ−Ｆｅ−Ｂ、Ｔｉ及びＮの混合層が形成され
、Ｔｉ蒸着膜全体に窒素イオンが混入する。この場合、
イオン注入のエネルギーを調節することにより混合層の
厚みを調節することができる。この永久磁石を１００〜
２００℃で熱処理することにより、上記の混合層はＲ−
Ｆｅ−ＢとＴｉＮの混合層に変化し、Ｔｉ蒸着膜はＴｉ
Ｎ膜に変化する。このように混合層が界面に存在するこ
とにより、ＴｉＮの密着性が極めて高まり、長時間の使
用又は過酷な条件化においても、全く剥離しない。
題を解決するために、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ（但し、ＲはＹを含
む希土類元素の１種または２種以上の組み合わせ）系希
土類焼結磁石体の表面に、Ｔｉを真空蒸着すると同時に
窒素イオンをイオン注入し、ついで１００〜２００℃で
熱処理することを特徴とする。Ｔｉの蒸着と窒素イオン
の注入を同時に行うことにより、磁石体とＴｉ蒸着膜と
の界面にＲ−Ｆｅ−Ｂ、Ｔｉ及びＮの混合層が形成され
、Ｔｉ蒸着膜全体に窒素イオンが混入する。この場合、
イオン注入のエネルギーを調節することにより混合層の
厚みを調節することができる。この永久磁石を１００〜
２００℃で熱処理することにより、上記の混合層はＲ−
Ｆｅ−ＢとＴｉＮの混合層に変化し、Ｔｉ蒸着膜はＴｉ
Ｎ膜に変化する。このように混合層が界面に存在するこ
とにより、ＴｉＮの密着性が極めて高まり、長時間の使
用又は過酷な条件化においても、全く剥離しない。
【０００６】
【作用】 上記の手段によれば、極めて密着性に優れ
たＴｉＮ被膜を作製することができ、耐酸化性を改善し
た希土類永久磁石を得ることができる。
たＴｉＮ被膜を作製することができ、耐酸化性を改善し
た希土類永久磁石を得ることができる。
【０００７】
【実施例】 Ｎｄ１６Ｆｅ７７Ｂ７ の組成になるよ
うに、高周波溶解炉を用いアルゴンガス雰囲気中で溶解
、鋳造し、Ｎｄ１６Ｆｅ７７Ｂ７ 合金インゴットを得
た。この合金インゴットをスタンプミル、ボールミルを
用い粉砕し、平均粒径で約３μｍの磁性粉末を得た。こ
の磁性粉末を金型に充填し、１０ｋＯｅの磁場で磁場配
向させ、２０ｋｇ／ｍｍ２ の成形圧で圧縮成形し、こ
の成形体を真空雰囲気中で１０８０℃で焼結を行い、得
られた焼結体を６００℃で熱処理を施し、永久磁石を作
製した。得られた永久磁石体の表面に、本発明による方
法によりＴｉを蒸着すると同時に窒素イオンをイオン注
入し、ついで２００℃で熱処理を施した。この時のイオ
ン注入のエネルギーは２０ｋｅＶとした。得られたＴｉ
Ｎ被覆膜の膜厚は約４μｍであった。得られた永久磁石
の磁気特性を表１に示す。
うに、高周波溶解炉を用いアルゴンガス雰囲気中で溶解
、鋳造し、Ｎｄ１６Ｆｅ７７Ｂ７ 合金インゴットを得
た。この合金インゴットをスタンプミル、ボールミルを
用い粉砕し、平均粒径で約３μｍの磁性粉末を得た。こ
の磁性粉末を金型に充填し、１０ｋＯｅの磁場で磁場配
向させ、２０ｋｇ／ｍｍ２ の成形圧で圧縮成形し、こ
の成形体を真空雰囲気中で１０８０℃で焼結を行い、得
られた焼結体を６００℃で熱処理を施し、永久磁石を作
製した。得られた永久磁石体の表面に、本発明による方
法によりＴｉを蒸着すると同時に窒素イオンをイオン注
入し、ついで２００℃で熱処理を施した。この時のイオ
ン注入のエネルギーは２０ｋｅＶとした。得られたＴｉ
Ｎ被覆膜の膜厚は約４μｍであった。得られた永久磁石
の磁気特性を表１に示す。
【０００８】
【発明の効果】 本発明による永久磁石は、イオンプ
レーティング法により、ＴｉＮを同膜厚形成した比較材
と同等の磁気特性を有することがわかる。また、８０℃
×９０％の恒温恒湿槽に１０００時間保持する耐食性試
験の結果（図１）では、比較材の全表面の２〜３割のＴ
ｉＮ被覆膜が剥離しているのに対し、本発明による永久
磁石では全く剥離していない。
レーティング法により、ＴｉＮを同膜厚形成した比較材
と同等の磁気特性を有することがわかる。また、８０℃
×９０％の恒温恒湿槽に１０００時間保持する耐食性試
験の結果（図１）では、比較材の全表面の２〜３割のＴ
ｉＮ被覆膜が剥離しているのに対し、本発明による永久
磁石では全く剥離していない。
【図１】本発明の耐食性試験結果である。
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｒ−Ｆｅ−Ｂ（但し、ＲはＹを含む希
土類元素の１種または２種以上の組み合わせ）系希土類
焼結磁石体の表面に、Ｔｉを真空蒸着すると同時に窒素
イオンをイオン注入し、ついで１００〜２００℃で熱処
理することを特徴とする希土類磁石の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3015323A JPH04254313A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 希土類磁石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3015323A JPH04254313A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 希土類磁石の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04254313A true JPH04254313A (ja) | 1992-09-09 |
Family
ID=11885568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3015323A Pending JPH04254313A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 希土類磁石の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04254313A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003059741A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 蒸着被膜を表面に有する希土類系永久磁石の製造方法 |
| JP2022078952A (ja) * | 2020-11-13 | 2022-05-25 | コマディール・エス アー | 携行型時計用磁石、特に、ネオジム－鉄－ホウ素磁石、のための耐腐食保護 |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP3015323A patent/JPH04254313A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003059741A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 蒸着被膜を表面に有する希土類系永久磁石の製造方法 |
| JP2022078952A (ja) * | 2020-11-13 | 2022-05-25 | コマディール・エス アー | 携行型時計用磁石、特に、ネオジム－鉄－ホウ素磁石、のための耐腐食保護 |
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