JP2001093715A - 永久磁石材料およびその製造方法 - Google Patents
永久磁石材料およびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成の希土類焼結永久磁石に
関し、研削加工による磁気特性劣化を防止した永久磁石
材料およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 研削加工を行ったＮｄ−Ｆｅ−Ｂ組成か
らなる焼結磁石材料の被研削加工面に、ＳｍとＣｏを主
成分とする組成からなる薄膜層を形成する。
関し、研削加工による磁気特性劣化を防止した永久磁石
材料およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 研削加工を行ったＮｄ−Ｆｅ−Ｂ組成か
らなる焼結磁石材料の被研削加工面に、ＳｍとＣｏを主
成分とする組成からなる薄膜層を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組
成（Ｒは希土類元素）の希土類焼結永久磁石に関し、特
に研削加工等による磁気特性劣化を防止した永久磁石材
料とその製造方法に関する。
成（Ｒは希土類元素）の希土類焼結永久磁石に関し、特
に研削加工等による磁気特性劣化を防止した永久磁石材
料とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる希土類永久
磁石は、非常に優れた磁気特性を持ち、特にその最大エ
ネルギー積はＳｍＣｏ系磁石を凌ぎ、最近では５０ＭＧ
Ｏｅを越える高性能磁石が量産化されており、現在の情
報エレクトロニクス社会に必要不可欠な機能性材料とし
て活躍している。
磁石は、非常に優れた磁気特性を持ち、特にその最大エ
ネルギー積はＳｍＣｏ系磁石を凌ぎ、最近では５０ＭＧ
Ｏｅを越える高性能磁石が量産化されており、現在の情
報エレクトロニクス社会に必要不可欠な機能性材料とし
て活躍している。
【０００３】近年、磁石を応用したコンピュータ関連機
器やＣＤプレーヤー、ミニディスクシステム、携帯電話
をはじめとする電子機器の軽薄短小化、高密度化、高容
量化、高性能化、省電力・省エネルギー化に伴い、Ｎｄ
−Ｆｅ−Ｂ組成からなる希土類永久磁石、特に、Ｎｄ−
Ｆｅ−Ｂ組成の焼結磁石の小型化、薄型化が要求されて
いる。
器やＣＤプレーヤー、ミニディスクシステム、携帯電話
をはじめとする電子機器の軽薄短小化、高密度化、高容
量化、高性能化、省電力・省エネルギー化に伴い、Ｎｄ
−Ｆｅ−Ｂ組成からなる希土類永久磁石、特に、Ｎｄ−
Ｆｅ−Ｂ組成の焼結磁石の小型化、薄型化が要求されて
いる。
【０００４】小型化あるいは薄型のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼
結磁石を実用形状に加工し、磁気回路に実装するために
は、成形焼結したブロック状の焼結磁石を研削加工する
必要があり、この加工にはワイヤーソー等の切断機や表
面研削機、センタレス研磨機、ラッピングマシン等が使
用される。
結磁石を実用形状に加工し、磁気回路に実装するために
は、成形焼結したブロック状の焼結磁石を研削加工する
必要があり、この加工にはワイヤーソー等の切断機や表
面研削機、センタレス研磨機、ラッピングマシン等が使
用される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような研削加工を行うと加工表面に加工歪みや微小クラ
ック、粒界相の欠落が発生し、これが原因となって減磁
曲線で示される磁石全体の磁気特性が大幅に劣化する問
題が生じた。
ような研削加工を行うと加工表面に加工歪みや微小クラ
ック、粒界相の欠落が発生し、これが原因となって減磁
曲線で示される磁石全体の磁気特性が大幅に劣化する問
題が生じた。
【０００６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成の希土類焼結永
久磁石に関し、研削加工による磁気特性劣化を防止した
永久磁石材料およびその製造方法を提供することにあ
る。
ので、その目的は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成の希土類焼結永
久磁石に関し、研削加工による磁気特性劣化を防止した
永久磁石材料およびその製造方法を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による永久磁石材料およびその製造方法は、
下記記載の手段を採用する。本発明の永久磁石材料は、
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の被研削加工
面に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層が
形成されていることを特徴とする。
め、本発明による永久磁石材料およびその製造方法は、
下記記載の手段を採用する。本発明の永久磁石材料は、
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の被研削加工
面に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層が
形成されていることを特徴とする。
【０００８】本発明による永久磁石材料の製造方法は、
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料を研削加工
後、被研削加工面に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成か
らなる薄膜層を形成することを特徴とする。
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料を研削加工
後、被研削加工面に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成か
らなる薄膜層を形成することを特徴とする。
【０００９】本発明の永久磁石材料の製造方法は、Ｓｍ
とＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形成中ある
いは形成後に、真空中あるいは不活性雰囲気中で、３０
０℃から１１００℃の範囲で熱処理をすることを特徴と
する。
とＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形成中ある
いは形成後に、真空中あるいは不活性雰囲気中で、３０
０℃から１１００℃の範囲で熱処理をすることを特徴と
する。
【００１０】（作用）本発明者は研削加工を行ったＮｄ
−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の磁気特性劣化を
回復する手段について種々検討した結果、被研削加工面
に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形
成することによって磁気特性が回復することを見い出し
た。この原因については現在、解析中であるが、恐らく
この薄膜層を被覆することによって微小クラックや高保
持力を出現させるために必要なミクロレベルでの粒界相
が補修されること、あるいは加工によって生じた加工歪
みを有する被研削加工面の組成、結晶構造がＳｍとＣｏ
を主成分とする組成からなる薄膜層を形成することによ
って改質されることが要因であると推察している。尚、
形成したＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層
は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の内部へ
拡散していないことが本発明者によって確認されてい
る。
−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の磁気特性劣化を
回復する手段について種々検討した結果、被研削加工面
に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形
成することによって磁気特性が回復することを見い出し
た。この原因については現在、解析中であるが、恐らく
この薄膜層を被覆することによって微小クラックや高保
持力を出現させるために必要なミクロレベルでの粒界相
が補修されること、あるいは加工によって生じた加工歪
みを有する被研削加工面の組成、結晶構造がＳｍとＣｏ
を主成分とする組成からなる薄膜層を形成することによ
って改質されることが要因であると推察している。尚、
形成したＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層
は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の内部へ
拡散していないことが本発明者によって確認されてい
る。
【００１１】ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄
膜層の形成には真空蒸着、イオンプレーティング、スパ
ッタ等のＰＶＤ法（物理的気相成長法）から各種薄膜形
成手段を適用できるが、これに限るものではない。
膜層の形成には真空蒸着、イオンプレーティング、スパ
ッタ等のＰＶＤ法（物理的気相成長法）から各種薄膜形
成手段を適用できるが、これに限るものではない。
【００１２】本発明の薄膜層の膜厚は特に限定するもの
ではないが、膜厚が５μｍを越えると形成した薄膜層の
内部応力によって剥離する可能性が生ずる。従って、薄
膜層の膜厚は５μｍ以下が好ましく、更には１μｍ程度
でも効果があり、加工寸法精度の面からも薄膜層の膜厚
は薄い方が有利であると考えられる。
ではないが、膜厚が５μｍを越えると形成した薄膜層の
内部応力によって剥離する可能性が生ずる。従って、薄
膜層の膜厚は５μｍ以下が好ましく、更には１μｍ程度
でも効果があり、加工寸法精度の面からも薄膜層の膜厚
は薄い方が有利であると考えられる。
【００１３】本発明においてＳｍとＣｏを主成分とする
組成からなる薄膜層を形成中あるいは形成後に、真空中
あるいは不活性雰囲気中で熱処理をするのは薄膜層の密
着性を向上させるためである。
組成からなる薄膜層を形成中あるいは形成後に、真空中
あるいは不活性雰囲気中で熱処理をするのは薄膜層の密
着性を向上させるためである。
【００１４】また、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁
石材料は通常、腐食しやすく、空気中の水分と反応し、
容易に錆びて磁気特性も大幅に劣化してしまう。しかし
ながら本発明の薄膜層を被研削加工面を含む焼結磁石材
料全面に被覆することにより特別なコーティング等の処
理を行わずとも高耐食性を同時に付与することが可能と
なる。
石材料は通常、腐食しやすく、空気中の水分と反応し、
容易に錆びて磁気特性も大幅に劣化してしまう。しかし
ながら本発明の薄膜層を被研削加工面を含む焼結磁石材
料全面に被覆することにより特別なコーティング等の処
理を行わずとも高耐食性を同時に付与することが可能と
なる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例により詳細に説明する。 （実施例１）以下、本発明の実施例における永久磁石材
料およびその製造方法について説明する。本発明で用い
るＮｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の製造方法
はまず、高周波溶解により所定組成のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ合
金を溶解しインゴットを作製する。このインゴットを粗
粉砕機と微粉砕機との組み合わせにより、平均粒径３μ
ｍまで粉砕し、微粉末を得る。この微粉末を磁場中でプ
レスして、ｃ軸方向が揃った成形体を作製する。この成
形体をアルゴン雰囲気中、１１００℃付近の温度で焼結
し、その後、アルゴン雰囲気中で約６００℃で熱処理す
ることにより長さ４０ｍｍ、幅３０ｍｍ、厚み２０ｍｍ
の高磁気エネルギー積、（ＢＨ）ｍａｘを有するブロッ
ク状の焼結磁石材料を得た。
例により詳細に説明する。 （実施例１）以下、本発明の実施例における永久磁石材
料およびその製造方法について説明する。本発明で用い
るＮｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の製造方法
はまず、高周波溶解により所定組成のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ合
金を溶解しインゴットを作製する。このインゴットを粗
粉砕機と微粉砕機との組み合わせにより、平均粒径３μ
ｍまで粉砕し、微粉末を得る。この微粉末を磁場中でプ
レスして、ｃ軸方向が揃った成形体を作製する。この成
形体をアルゴン雰囲気中、１１００℃付近の温度で焼結
し、その後、アルゴン雰囲気中で約６００℃で熱処理す
ることにより長さ４０ｍｍ、幅３０ｍｍ、厚み２０ｍｍ
の高磁気エネルギー積、（ＢＨ）ｍａｘを有するブロッ
ク状の焼結磁石材料を得た。
【００１６】その後、上記のブロック状の焼結体をワイ
ヤーソーを用いて切断し、その後、表面研削機やラッピ
ングマシン等により研削し、各辺が長さ１ｍｍ、幅１ｍ
ｍ、厚さ０．５ｍｍ寸法の直方体を作製し、試験用サン
プルとした。このサンプルを１−５系サマリウム・コバ
ルト焼結磁石として知られているＳｍＣｏ5 の組成から
成る合金をターゲット材とする直流放電型スパッタリン
グ装置に設置し、アルゴンガス雰囲気下、５×１０-4Ｔ
ｏｒｒの真空度で片面に１μｍの薄膜層を形成し、その
後、反対の面に同様にして１μｍの薄膜層を形成した。
この方法によれば側面にも約１．２μｍの薄膜層が形成
されていることが断面のＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観
察から確認することができた。そして、薄膜層を形成
後、真空中で６００℃、１時間の熱処理を行うことによ
って、本発明による永久磁石材料を作製した。
ヤーソーを用いて切断し、その後、表面研削機やラッピ
ングマシン等により研削し、各辺が長さ１ｍｍ、幅１ｍ
ｍ、厚さ０．５ｍｍ寸法の直方体を作製し、試験用サン
プルとした。このサンプルを１−５系サマリウム・コバ
ルト焼結磁石として知られているＳｍＣｏ5 の組成から
成る合金をターゲット材とする直流放電型スパッタリン
グ装置に設置し、アルゴンガス雰囲気下、５×１０-4Ｔ
ｏｒｒの真空度で片面に１μｍの薄膜層を形成し、その
後、反対の面に同様にして１μｍの薄膜層を形成した。
この方法によれば側面にも約１．２μｍの薄膜層が形成
されていることが断面のＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観
察から確認することができた。そして、薄膜層を形成
後、真空中で６００℃、１時間の熱処理を行うことによ
って、本発明による永久磁石材料を作製した。
【００１７】熱処理の温度は３００℃から１１００℃が
適当である。これは３００℃以下であるとＳｍとＣｏを
主成分とする組成からなる薄膜層の密着性は改善され
ず、衝撃により剥離を生ずる場合がある。また、１１０
０℃を越えると焼結磁石中の成分が溶融、更には蒸発
し、磁気特性が劇的に低下するためである。
適当である。これは３００℃以下であるとＳｍとＣｏを
主成分とする組成からなる薄膜層の密着性は改善され
ず、衝撃により剥離を生ずる場合がある。また、１１０
０℃を越えると焼結磁石中の成分が溶融、更には蒸発
し、磁気特性が劇的に低下するためである。
【００１８】本実施例においてＳｍとＣｏを主成分とす
る組成からなる薄膜層の形成はＳｍＣｏ5 合金をターゲ
ット材とする直流放電型スパッタリングによって行った
が、この時、形成された薄膜層の組成は必ずしもターゲ
ット材の組成と等しいものではなく、本実施例で形成し
た薄膜層中のＣｏ含有量は約９０原子％であった。ま
た、ターゲット組成はＳｍＣｏ5 に限るものではなく、
Ｓｍ1-xＣｏx（０＜ｘ＜１）の組成を有する合金で良
い。更には、たとえば２−１７系サマリウム・コバルト
焼結磁石として知られているＳｍ2（ＣｏＦｅＣｕＺ
ｒ）17 の様なＳｍやＣｏ以外の元素を微量に含む組成
の合金でも良い。またこれらの合金はスパッタリングに
限らず、真空蒸着やイオンプレーティングの蒸着源にも
適用できる。
る組成からなる薄膜層の形成はＳｍＣｏ5 合金をターゲ
ット材とする直流放電型スパッタリングによって行った
が、この時、形成された薄膜層の組成は必ずしもターゲ
ット材の組成と等しいものではなく、本実施例で形成し
た薄膜層中のＣｏ含有量は約９０原子％であった。ま
た、ターゲット組成はＳｍＣｏ5 に限るものではなく、
Ｓｍ1-xＣｏx（０＜ｘ＜１）の組成を有する合金で良
い。更には、たとえば２−１７系サマリウム・コバルト
焼結磁石として知られているＳｍ2（ＣｏＦｅＣｕＺ
ｒ）17 の様なＳｍやＣｏ以外の元素を微量に含む組成
の合金でも良い。またこれらの合金はスパッタリングに
限らず、真空蒸着やイオンプレーティングの蒸着源にも
適用できる。
【００１９】ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄
膜層の組成比は特に限定するものではないが、ＳｍとＣ
ｏが全体の約７０原子％以上含むことが本発明の効果発
現に必須であることが本発明者により明らかとなってい
る。
膜層の組成比は特に限定するものではないが、ＳｍとＣ
ｏが全体の約７０原子％以上含むことが本発明の効果発
現に必須であることが本発明者により明らかとなってい
る。
【００２０】なお、本実施例に対する比較例１として、
ブロック状の焼結体を切断、研削して試験用サンプルと
した後、ＳｍとＣｏを主成分とする薄膜層を形成せず、
更には熱処理も行わずに作製した永久磁石材料と、比較
例２としてブロック状の焼結体を切断、研削して試験用
サンプルとした後、ＳｍとＣｏを主成分とする薄膜層を
形成せずに本実施例と同じ条件で熱処理だけを行った永
久磁石材料を作製した。
ブロック状の焼結体を切断、研削して試験用サンプルと
した後、ＳｍとＣｏを主成分とする薄膜層を形成せず、
更には熱処理も行わずに作製した永久磁石材料と、比較
例２としてブロック状の焼結体を切断、研削して試験用
サンプルとした後、ＳｍとＣｏを主成分とする薄膜層を
形成せずに本実施例と同じ条件で熱処理だけを行った永
久磁石材料を作製した。
【００２１】このようにして得られた実施例および比較
例１と２の永久磁石材料の磁気特性を振動試料型磁力計
（ＶＳＭ）を用いて測定した。その結果、図１に示す減
磁曲線を得た。また、この時、同時に得られた主な測定
値を表１に示す。
例１と２の永久磁石材料の磁気特性を振動試料型磁力計
（ＶＳＭ）を用いて測定した。その結果、図１に示す減
磁曲線を得た。また、この時、同時に得られた主な測定
値を表１に示す。
【００２２】これらの結果から、比較例１及び２と比
べ、本発明による永久磁石材料では高い磁気特性を示
し、その減磁曲線も肩部に角形性のある良好な曲線であ
ることが明らかとなった。
べ、本発明による永久磁石材料では高い磁気特性を示
し、その減磁曲線も肩部に角形性のある良好な曲線であ
ることが明らかとなった。
【００２３】（実施例２）実施例１と同様にブロック状
の焼結体をワイヤーソーを用いて切断し、その後、表面
研削機やラッピングマシン等により研削し、試験用サン
プルとした。このサンプルを１−５系サマリウム・コバ
ルト焼結磁石として知られているＳｍＣｏ5 の組成から
成る合金をターゲット材とする直流放電型スパッタリン
グ装置に設置し、アルゴンガス雰囲気下、５×１０-4Ｔ
ｏｒｒの真空度で片面に１μｍの薄膜層を形成し、その
後、反対の面に同様にして１μｍの薄膜層を形成した。
この時、スパッタリングを行う前にサンプルを設置基板
裏面にあるヒーターにより加熱し、サンプル表面温度を
６００℃に設定し、スパッタリング中も同じ温度に保持
しながら薄膜層を形成した。この方法によっても側面に
は約１．２μｍの薄膜層が形成されていることが断面の
ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観察から確認することがで
きた。このようにして、本発明による永久磁石材料を作
製した。
の焼結体をワイヤーソーを用いて切断し、その後、表面
研削機やラッピングマシン等により研削し、試験用サン
プルとした。このサンプルを１−５系サマリウム・コバ
ルト焼結磁石として知られているＳｍＣｏ5 の組成から
成る合金をターゲット材とする直流放電型スパッタリン
グ装置に設置し、アルゴンガス雰囲気下、５×１０-4Ｔ
ｏｒｒの真空度で片面に１μｍの薄膜層を形成し、その
後、反対の面に同様にして１μｍの薄膜層を形成した。
この時、スパッタリングを行う前にサンプルを設置基板
裏面にあるヒーターにより加熱し、サンプル表面温度を
６００℃に設定し、スパッタリング中も同じ温度に保持
しながら薄膜層を形成した。この方法によっても側面に
は約１．２μｍの薄膜層が形成されていることが断面の
ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）観察から確認することがで
きた。このようにして、本発明による永久磁石材料を作
製した。
【００２４】その後、実施例１と同様に実施例２で得ら
れた永久磁石材料の磁気特性を振動試料型磁力計（ＶＳ
Ｍ）を用いて測定した結果、実施例１とほぼ等しい図１
に示す減磁曲線と表１に示す測定値が得られた。
れた永久磁石材料の磁気特性を振動試料型磁力計（ＶＳ
Ｍ）を用いて測定した結果、実施例１とほぼ等しい図１
に示す減磁曲線と表１に示す測定値が得られた。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による永久
磁石材料およびその製造方法では、研削加工を行ったＮ
ｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の被研削加工面
に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形
成することによって加工によって劣化した磁気特性が回
復し、その結果、優れた磁気特性を有する永久磁石材料
の提供が可能となった。
磁石材料およびその製造方法では、研削加工を行ったＮ
ｄ−Ｆｅ−Ｂ組成からなる焼結磁石材料の被研削加工面
に、ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形
成することによって加工によって劣化した磁気特性が回
復し、その結果、優れた磁気特性を有する永久磁石材料
の提供が可能となった。
【図１】本発明の一実施の形態に係わる実施例と比較例
の永久磁石材料の減磁曲線である。
の永久磁石材料の減磁曲線である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｆ 41/22 Ｈ０１Ｆ 1/04 Ｈ
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（Ｒは希土類元素）
からなる焼結磁石材料の被研削加工面に、ＳｍとＣｏを
主成分とする組成からなる薄膜層が形成されていること
を特徴とする永久磁石材料。 - 【請求項２】 Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系組成（Ｒは希土類元素）
からなる焼結磁石材料を研削加工後、被研削加工面に、
ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる薄膜層を形成す
ることを特徴とする永久磁石材料の製造方法。 - 【請求項３】 ＳｍとＣｏを主成分とする組成からなる
薄膜層を形成中あるいは形成後に、真空中あるいは不活
性雰囲気中で、３００℃から１１００℃の範囲で熱処理
をすることを特徴とする請求項２に記載の永久磁石材料
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26721799A JP2001093715A (ja) | 1999-09-21 | 1999-09-21 | 永久磁石材料およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26721799A JP2001093715A (ja) | 1999-09-21 | 1999-09-21 | 永久磁石材料およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001093715A true JP2001093715A (ja) | 2001-04-06 |
Family
ID=17441773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26721799A Pending JP2001093715A (ja) | 1999-09-21 | 1999-09-21 | 永久磁石材料およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001093715A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7402226B2 (en) | 2003-03-31 | 2008-07-22 | Japan Science And Technology Agency | Minute high-performance rare earth magnet for micromini product and process for producing the same |
| US7655325B2 (en) | 2005-12-28 | 2010-02-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Rare earth magnet and method for producing same |
| JP2015008295A (ja) * | 2014-07-11 | 2015-01-15 | 株式会社東芝 | モータおよび発電機 |
| JP2015008294A (ja) * | 2014-07-11 | 2015-01-15 | 株式会社東芝 | 永久磁石 |
-
1999
- 1999-09-21 JP JP26721799A patent/JP2001093715A/ja active Pending
Cited By (4)
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