JP2002075716A - 永久磁石材料およびその製造方法 - Google Patents

永久磁石材料およびその製造方法

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JP2002075716A
JP2002075716A JP2000266604A JP2000266604A JP2002075716A JP 2002075716 A JP2002075716 A JP 2002075716A JP 2000266604 A JP2000266604 A JP 2000266604A JP 2000266604 A JP2000266604 A JP 2000266604A JP 2002075716 A JP2002075716 A JP 2002075716A
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permanent magnet
polishing
sintered magnet
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Nobuyuki Yoshino
吉野  信幸
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Citizen Watch Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 R−Fe−B組成(Rは希土類元素)の希土
類焼結永久磁石に関し、機械加工による磁気特性劣化を
引き起こさずに、更には加工後の熱処理工程を省略し
て、製品品質及び製造コストに優れ、耐食性被膜の薄膜
化を可能にする永久磁石材料およびその製造方法を提供
することにある。 【解決手段】 R−Fe−B系組成からなる焼結磁石材
料の表面を非水系溶媒に分散した遊離砥粒を用いて研磨
し、被加工面の凹凸の表面粗さRmaxが3μm未満なる
ようにして、その後、被加工面上に薄膜層を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、R−Fe−B系組
成(Rは希土類元素)の希土類焼結永久磁石に関し、特
に、加工による磁気特性劣化を引き起こさない永久磁石
材料およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】R−Fe−B系組成の希土類焼結永久磁
石、その中でもNd−Fe−B組成からなる希土類焼結
永久磁石は、非常に優れた磁気特性を持ち、特に、その
最大エネルギー積はSmCo系磁石を凌ぎ、最近では5
0MGOeを越える高性能磁石が量産化されており、現
在の情報エレクトロニクス社会に必要不可欠な機能性材
料として活躍している。
【0003】近年、磁石を応用したコンピュータ関連機
器やCDプレーヤー、ミニディスクシステム、携帯電話
をはじめとする電子機器の軽薄短小化、高密度化、高容
量化、高性能化、省電力・省エネルギー化に伴い、R−
Fe−B組成からなる希土類永久磁石、特に、Nd−F
e−B組成の焼結磁石の小型化、薄型化が要求されてい
る。
【0004】R−Fe−B系焼結磁石を小型化あるいは
薄型の実用形状に加工し、磁気回路に実装するために
は、成形焼結したブロック状の焼結磁石を切断、研削あ
るいは研磨加工などの機械加工をする必要があり、この
加工には一般にはブレードソーやワイヤーソー等の切断
機やダイヤモンド砥石等による表面研削機が使用され
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような機械加工を行うと加工表面に加工歪みや微小クラ
ックの発生、粒界相の欠落を含む加工変質層が形成さ
れ、これが原因となって減磁曲線で示される磁石全体の
磁気特性が大幅に劣化する問題が生ずる。この現象は実
用形状の体積が小さくなるほど顕著に現れる。
【0006】この対策として例えば、特公平5−801
21号公報には実用形状に加工後、500〜900℃で
時効熱処理をすることによって、表面層の加工歪みを原
因とする磁気特性の劣化を改善するという方法が開示さ
れている。しかしながら、この方法を試みた結果、特に
小型形状の磁石の場合、磁気特性を完全に回復させるこ
とは困難であることが明らかとなった。
【0007】その理由は、このような高温領域での熱処
理を行うと、磁石表面の一部が溶融し、熱処理時に磁石
を設置する容器に付着、結合する。また、量産性向上の
要求から、小型形状の磁石の場合、一度に多量の小型磁
石を磁石同士が接触する状態で時効熱処理する場合が生
ずるが、このような場合、熱処理条件によっては磁石同
士が溶融、結合する現象が生じ、熱処理終了後、磁石を
一つ一つに取り外す際に磁石表面に応力が加わり、極端
な場合、磁石表面層の欠けや割れが発生する。その結
果、熱処理によって回復した磁気特性は再び劣化してし
まう。また、欠けや割れの発生は製品としての品質を著
しく低下させるものであり、最終的に歩留まりの低下を
伴うなどの生産上の問題を生ずる。また、900℃付近
以上の熱処理ではR−Fe−B系焼結磁石を構成する成
分の一部が溶融、蒸発し、磁気特性を完全に回復させる
ことが困難になる可能性が生ずる。
【0008】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、R−Fe−B組成の希土類焼結永久
磁石に関し、機械加工による磁気特性劣化を引き起こさ
ずに、更には加工後の熱処理工程を省略して、製品品質
及び製造コストに優れた永久磁石材料およびその製造方
法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による永久磁石材料は、R−Fe−B系組成
からなる加工した焼結磁石材料(Rは希土類元素)であ
って、被加工面の凹凸の表面粗さRmaxが3μm未満で
あり、被加工面上に薄膜層が形成されていることを特徴
とする。
【0010】また、本発明による永久磁石材料は、R−
Fe−B系組成からなる加工した焼結磁石材料であっ
て、被加工面上の薄膜層がメッキ法、電着塗装法、気相
成長法、塗装法のいずれかの方法によって形成した薄膜
層であることを特徴とする。
【0011】また、本発明による永久磁石材料の製造方
法は、R−Fe−B系組成からなる焼結磁石材料の表面
を研磨する加工方法であって、上記焼結磁石材料の表面
を非水系溶媒に分散させた遊離砥粒を用いて研磨するこ
とを特徴とする。
【0012】(作用)本発明者は、機械加工によるR−
Fe−B組成からなる焼結磁石材料の磁気特性劣化を引
き起こさない手段について種々の検討を行った結果、焼
結磁石材料を切断、研削後、焼結磁石材料の表面を非水
系溶媒に分散させた遊離砥粒を用いて研磨し、被加工面
の凹凸の表面粗さRmaxを3μm未満にすることが最適
であることを見い出した。この時、用いる遊離砥粒とし
ては、ダイヤモンド粒子、酸化物粒子、炭化物粒子、あ
るいは窒化物粒子のいずれでもよいが、本発明者の検討
の結果、より凹凸の少ない被加工面を得るには直径0.
1μm以上の最も硬度の高いダイヤモンド粒子が優れて
いることが明らかとなった。また、非水系溶媒に分散さ
せた遊離砥粒を用いる理由としては、水系溶媒に分散さ
せた遊離砥粒を用いて研磨すると、R−Fe−B組成か
らなる焼結磁石材料は水分の存在下では錆びやすく、腐
食しやすい性質を有し、磁気特性は著しく劣化する。特
に研磨工程中では錆びや腐食が顕著に進行するため、こ
れを防ぐ効果がある。更に、研磨時の発熱を抑制する冷
却媒体としては非水系溶媒である、例えば切削油や有機
溶媒などが水よりも優れていること明らかであるためで
ある。
【0013】通常、焼結磁石材料を切断、研削後によっ
て生じた磁気特性劣化の大きな原因である焼結磁石表面
に存在する加工歪みや微小クラック、粒界相の欠落を含
む加工変質層は1〜10μm程度と推定されており、こ
の加工変質層を上記の加工手段により被加工面の凹凸の
表面粗さRmaxを3μm未満になるまで平坦化すると、
加工変質層が薄層化し、更に加工歪みが緩和されて、磁
気特性の劣化に影響を及ぼさなくなることが本発明者に
より明らかとなった。
【0014】また、この時の研磨速度および研磨時の荷
重は特に限定するものではないが、1m/秒以上の研磨
速度で、15kg/mm2 以下の圧力で当接させ、研磨
することが望ましい。
【0015】また、この時の表面粗さRmaxが小さいこ
とは表面の凹凸が小さいことを意味し、このことはメッ
キ法、電着塗装法、気相成長法、塗装法の被覆性の向上
につながり、ピンホールの少ない被膜の形成が可能とな
る。すなわち、従来はR−Fe−B組成からなる焼結磁
石材料の完全な耐食性を得るためには、焼結磁石材料の
表面の凹凸が大きいために膜厚10μm以上の被膜形成
を必要としたが、本発明では膜厚が2μm以上であれ
ば、実用可能な耐食性が得られることが本発明者によっ
て確認された。
【0016】このことは、例えば、R−Fe−B組成か
らなる焼結磁石材料をモーターに応用する場合、磁石の
軽量化につながり、しいてはモーター、特に時計に使用
するローター磁石のような小型モーターの消費電力の低
減化に寄与する効果もある。ここでRmaxが3μmとは
JIS規格B0610に定義された表面粗さの指標であ
り、一般には基準長さ(L)1mmで凹凸の最高高さと
最低高さの差が3μm未満であることを意味する。
【0017】また、この時の表面粗さRmaxを3μm未
満にするための手段として、遊離砥粒を用いて研磨する
以外の方法、たとえば固定砥粒(砥石)を用いた研削方
法や放電加工などを採用する場合は、焼結磁石表面への
ダメージが大きく、加工変質層や加工歪みを完全に除去
することは困難であることが本発明者によって明らかと
なっている。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0019】図1は本発明の永久磁石材料とその製造方
法を表すものである。この図では直方体状の焼結磁石材
料10の一つの面を、例えば鋳鉄製の研磨定盤12上
に、非水系溶媒に分散させた遊離砥粒11として、例え
ば粒径3μmのダイヤモンド油性スラリーを滴下し、研
磨定盤12の表面に垂直に当てるようにして、研磨す
る。
【0020】この時の研磨は、研磨定盤12に直方体状
の焼結磁石材料10の一つの面を例えば10kg/mm
2 の圧力で当接させ、例えば毎分100回転の速度で研
磨定盤12を回転させながら研磨する。
【0021】ここで、研磨定盤への当接圧力、回転速度
等は、上記条件に限るものではない。
【0022】また、研磨定盤12は鋳鉄製に限るもので
はなく、ステンレス鋼製や他の平行平面の金属あるいは
セラミックスからなるプレートでも良い。
【0023】以上のようにして、直方体の各面を研磨し
た後、焼結磁石材料全面にメッキ法、電着塗装法、気相
成長法、塗装法の被覆性のいずれかの方法で薄膜層を形
成し、目的とする永久磁石材料が完成する。
【0024】
【実施例】以下に本発明の具体的な実施例について説明
する。 (実施例1)本発明のR−Fe−B組成からなる焼結磁
石材料およびその製造方法はまず、高周波溶解により所
定組成のNd−Fe−B合金を溶解しインゴットを作製
する。このインゴットを粗粉砕機と微粉砕機との組み合
わせにより、平均粒径3μmまで粉砕し、微粉末を得
る。この微粉末を磁場中でプレスして、c軸方向が揃っ
た成形体を作製する。この成形体をアルゴン雰囲気中、
1100℃付近の温度で焼結し、その後、アルゴン雰囲
気中で約600℃で熱処理することにより長さ40m
m、幅30mm、厚み20mmの高磁気エネルギー積、
(BH)maxを有するブロック状の焼結磁石材料を得
た。
【0025】その後、上記のブロック状の焼結磁石材料
をブレードソーを用いて切断し、長さ52mm、幅32
mm、厚さ22mm寸法の直方体を作製した。この時の
Rmaxは8.5μmであった。その後、図1に示すよう
に直方体の一つの面を、粒径3μmのダイヤモンド油性
スラリーを滴下した鋳鉄製の研磨定盤12の表面に垂直
に当てるようにして、各面を研磨代が1mmなるように
研磨した。
【0026】この時の研磨は、研磨定盤12に直方体状
の焼結磁石材料の一つの面を10kg/mm2 の圧力で
当接させ、毎分100回転の速度で研磨定盤12を回転
させながら60分間研磨した。
【0027】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0028】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、実施例1の永久
磁石材料を得た。
【0029】(実施例2)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら30分間
研磨した。
【0030】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0031】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、実施例2の永久
磁石材料を得た。
【0032】(実施例3)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら20分間
研磨した。
【0033】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0034】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、実施例3の永久
磁石材料を得た。
【0035】(実施例4)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら10分間
研磨した。
【0036】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0037】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、実施例4の永久
磁石材料を得た。
【0038】(実施例5)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら5分間研
磨した。
【0039】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0040】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、実施例5の永久
磁石材料を得た。以上の実施例1〜5の研磨条件および
メッキ前の表面粗さRmaxを表1に示す。
【0041】
【表1】
【0042】(比較例1)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら3分間研
磨した。
【0043】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0044】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、比較例1の永久
磁石材料を得た。
【0045】(比較例2)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら2分間研
磨した。
【0046】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0047】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、比較例2の永久
磁石材料を得た。
【0048】(比較例3)実施例1と同様の方法で直方
体状の焼結磁石を形成後、鋳鉄製の研磨定盤12に遊離
砥粒11として粒径3μmのダイヤモンド油性スラリー
を滴下し、研磨定盤12に直方体状の焼結磁石材料の一
つの面を10kg/mm2 の圧力で当接させ、毎分10
0回転の速度で研磨定盤12を回転させながら1分間研
磨した。
【0049】以上のようにして、得られた試験用サンプ
ルは長さ50mm、幅30mm、厚さ20mm寸法の直
方体である。
【0050】その後、メッキ前処理を行い、無電解メッ
キ法により膜厚2ミクロンのNiP合金からなるメッキ
層を試験用サンプルの全面に被覆して、比較例3の永久
磁石材料を得た。
【0051】(比較例4)また、実施例と同様に、高周
波溶解により所定組成のNd−Fe−B合金を溶解しイ
ンゴットを作製し、その後、磁場中プレス、焼結によっ
てブロック状の焼結磁石材料を得た。これをブレードソ
ーを用いて切断し、長さ52mm、幅32mm、厚さ2
2mm寸法の直方体を作製後、各面を研磨代が1mmな
るように平面研削盤のテーブルに磁気チャックした後、
粒度#600の研削砥石を用いて毎分100回転の速度
で研削砥石を回転させながら研削時間30分間で、加工
した。この時のRmaxは2.8μmであった。その後、
メッキ前処理を行い、無電解メッキ法により膜厚2ミク
ロンのNiP合金からなるメッキ層を直方体の全面に被
覆し、比較例4の永久磁石材料を得た。
【0052】(比較例5)また、実施例1と同様に、高
周波溶解により所定組成のNd−Fe−B合金を溶解し
インゴットを作製し、その後、磁場中プレス、焼結によ
ってブロック状の焼結磁石材料を得た。これをブレード
ソーを用いて切断し、長さ52mm、幅32mm、厚さ
22mm寸法の直方体を作製後、実施例1と同条件で研
磨し、その後、タンタル製の容器に入れ、真空中で90
0℃、3時間の時効熱処理を行い、その後、メッキ前処
理を行い、無電解メッキ法により膜厚10ミクロンのN
iP合金からなるメッキ層を直方体の全面に被覆し、比
較例5の永久磁石材料を得た。
【0053】以上の比較例の作製条件とメッキ前の表面
粗さRmaxを表1に示す。
【0054】このようにして得られた実施例および比較
例の永久磁石材料の磁気特性を振動試料型磁力計(VS
M)を用いて測定した。また、各永久磁石材料について
温度60℃、相対湿度95%の雰囲気に曝す4日間の耐
食試験を行った。その結果を表2に示す。
【0055】
【表2】
【0056】表2から分かるように実施例の方法で遊離
砥粒による研磨方法で作製した永久磁石材料は比較例と
比較すると明らかなように、優れた磁気特性を示すこと
が確認された。また、本実施例で作製した永久磁石材料
は、メッキ膜厚2μmでも優れた耐食性を示すことが確
認された。比較例5は特公平5−80121号公報を参
考に実用形状に加工後、500〜900℃で時効熱処理
をすることによって、表面層の加工歪みを原因とする磁
気特性の劣化を回復するという方法を試みたものである
が、Rmaxが3μm未満にもかかわらず、磁気特性が劣
化した。これは、永久磁石材料が容器に融着し、取り外
す際に磁石の一部が破損あるいは磁石の表面にクラック
が発生したことが原因と考えられる。実際、顕微鏡観察
によって表面の一部が欠落していることが確認された。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による永久
磁石材料およびその製造方法では、R−Fe−B系組成
からなる焼結磁石材料の表面を遊離砥粒を用いて研磨し
て、被加工面の凹凸の表面粗さRmaxが3μm未満であ
り、被加工面上に薄膜層を形成することによって、機械
加工による磁気特性劣化を引き起こさずに、更には加工
後の熱処理工程を省略して、製品品質及び製造コストに
優れ、高度の磁気特性を保持し、耐食性被膜の薄膜化を
可能にする永久磁石材料の提供が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係わる実施例の研磨方
法を示す模式図である。
【符号の説明】
10 焼結磁石材料 11 遊離砥粒 12 研磨定盤 13 研磨治具

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁石基材の表面に薄膜層を有するR−F
    e−B系組成からなる永久磁石材料(Rは希土類元素)
    であって、磁石基材の表面粗さRmaxが3μm未満であ
    る永久磁石材料。
  2. 【請求項2】 薄膜層がメッキ法、電着塗装法、気相成
    長法、塗装法のいずれかの方法によって形成された薄膜
    層であることを特徴とする請求項1に記載の永久磁石材
    料。
  3. 【請求項3】 磁石基材の表面に薄膜層を有するR−F
    e−B系組成からなる永久磁石材料(Rは希土類元素)
    の製造方法であって、磁石基材の表面を非水系溶媒に分
    散させた遊離砥粒を用いて研磨する工程を有する永久磁
    石材料の製造方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2004041477A1 (ja) * 2002-11-06 2006-03-02 株式会社野村鍍金 真空用部材の表面処理方法
JP2006128426A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Tdk Corp 希土類焼結磁石及びその製造方法
JPWO2006085581A1 (ja) * 2005-02-10 2008-06-26 日立金属株式会社 超小型希土類磁石およびその製造方法
WO2011125900A1 (ja) * 2010-03-31 2011-10-13 Tdk株式会社 焼結磁石及び焼結磁石の製造方法
JP4915349B2 (ja) * 2005-12-28 2012-04-11 日立金属株式会社 希土類磁石およびその製造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2004041477A1 (ja) * 2002-11-06 2006-03-02 株式会社野村鍍金 真空用部材の表面処理方法
JP2006128426A (ja) * 2004-10-29 2006-05-18 Tdk Corp 希土類焼結磁石及びその製造方法
JP4539288B2 (ja) * 2004-10-29 2010-09-08 Tdk株式会社 希土類焼結磁石
JPWO2006085581A1 (ja) * 2005-02-10 2008-06-26 日立金属株式会社 超小型希土類磁石およびその製造方法
JP4915349B2 (ja) * 2005-12-28 2012-04-11 日立金属株式会社 希土類磁石およびその製造方法
US8323806B2 (en) 2005-12-28 2012-12-04 Hitachi Metals, Ltd. Rare earth magnet and method for producing same
WO2011125900A1 (ja) * 2010-03-31 2011-10-13 Tdk株式会社 焼結磁石及び焼結磁石の製造方法
JP5382206B2 (ja) * 2010-03-31 2014-01-08 Tdk株式会社 焼結磁石及び焼結磁石の製造方法

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