JPH04206602A - 厚膜抵抗組成物 - Google Patents

厚膜抵抗組成物

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JPH04206602A
JPH04206602A JP2333545A JP33354590A JPH04206602A JP H04206602 A JPH04206602 A JP H04206602A JP 2333545 A JP2333545 A JP 2333545A JP 33354590 A JP33354590 A JP 33354590A JP H04206602 A JPH04206602 A JP H04206602A
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Yoshiisa Takahashi
高橋 義功
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は絶縁基板上に印刷し焼成して該基板上に印刷抵
抗体を形成するための厚膜抵抗組成物に関する。
[従来の技術] 従来の厚膜回路においては印刷抵抗体形成に導電粒子と
して酸化ルテニウムないしはパイロクロア型のルテニウ
ム酸鉛又は、ルテニウム酸ビスマスを用いたルテニウム
系抵抗ペーストか一般に広く使用されている。ルテニウ
ム系の抵抗ペーストは、上記の導電成分とガラスフリッ
トを有機ビヒクルに分散させてなり、導電成分とガラス
の配合比を変えることにより所望の抵抗値を得ることが
できる。又、抵抗の温度係数(以後TC,Rと呼ぶ)を
調整する目的で、CLI20.MnO2,A I20+
 、  T + Or 、  Z r 02等の無機添
加物を加えることが一般に行われている。
[発明か解決しようとする課題] しかしなから、ルテニウム系ペーストを用いて抵抗形成
する場合、低い抵抗値の限界が3〜5Ω/口/10μm
までである。それ故、抵抗値として低いものか要求され
る電気回路の配線においては膜厚を厚くしたり、スクエ
ア数を少なくしている。そのため抵抗体を広い面積で印
刷しなければならず厚膜配線板の小型化・高密度が困難
である。
一方、ルテニウム系抵抗ペーストの代わりにAgPd系
導体ペーストを用いることも考えられるが、TCRか大
きすぎて、抵抗体として望まれる精度が得られにくい。
本発明は上記の問題点を解決し、シート抵抗値が0.−
1〜30Ω/口/10μmの範囲であり、かつTCRが
士soppmを有する印刷抵抗体を形成する為の厚膜抵
抗組成物を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明は貴金属粉末と無機結合剤とが有機ヒヒクルに分
散されてなる厚膜抵抗組成物において、(A)貴金属粉
末が、銀44〜47重量%とパラジウム53〜56重量
%の組成を有し、(B)無機結合剤が、軟化点750〜
900℃のガラスフリットと必要に応じてチタニアもし
くはアルミナを含ませることを特徴とする厚膜抵抗組成
物である。
本発明における抵抗組成物は銀及びパラジウムからなる
貴金属粉末を含有している。これらの金属成分比は重量
比で銀/パラジウムが47153〜44156である。
又、銀とパラジウムは、銀粉末とパラジウム粉末の混合
物を用いてもよく、銀とパラジウムの合金粉末でもよい
。使用される銀粉末は平均粒径が0. 5〜7μmで表
面積か05〜3m2/gのものが、パラジウム粉末は平
均粒径が0. 1〜1.5μmでその表面積か0.5〜
20m2/gのものかそれぞれ好ましい。
又、合金粉末の場合は、平均粒径か01〜5μmで表面
積か1〜10m’/gのものかふされしい。
該貴金属粉末とともに本発明に係わる抵抗組成物を構成
する無機結合剤粉末は少なくともガラスフリットを含ん
でおり、必要に応じてチタニアないしはアルミナを含ん
でもよい。
前記無機結合剤の配合量は、所望の抵抗値を得るように
増減すればよいが本発明の用途では、貴金属粉末100
重量部に対し10〜120重量部の範囲が好ましい。
本発明で使用されるガラスフリットは750〜900℃
に軟化点がある非晶質ガラスでその組成が重量%で5i
n240〜60. A I20,10〜20.B20i
 3〜12.MgO0,5〜5゜Ca 0.15〜30
であり更に好ましくは重量%で5iOp50〜60.A
12 oi 12〜16゜B、035〜103MgO2
〜5.CaO18〜30のもので750〜850℃の軟
化点を有するものである。
金属酸化物としてはチタニアないしはアルミナのどちら
でもよいが粒径が0.1μm以下の微細粉が効果的であ
る。しかしながら多少粒径か大きいものを用いても、さ
らにアルコキシド、キレート等の有機化合物を用いても
所望の特性は十分確保される。
また、金属酸化物の含有量は、1〜25重量部が効果的
である。
貴金属粉及び無機結合剤を分散させる有機ビヒクルは、
エチルセルロース、アクリル樹脂等の樹脂をターピネオ
ール、ブチルカルピトール、パインオイル等の有機溶剤
に溶解したものが好ましく用いられ、配合量は、20〜
120重量部程度が望ましい。
[作用] このような構成から成る本発明の抵抗組成物をアルミナ
セラミックス基板上へ印刷し、乾燥の後ピーク温度80
0〜900℃で約5〜30分焼成して抵抗組成物が被覆
された回路基板が作製される。
このように作製された本発明の抵抗組成物が被覆された
回路基板では抵抗値レンジ0.1〜30Ω/口/ 10
 μmでかつTCRか±50ppmIJ内におさまって
いる。
一般にAgPd合金のTCR特性においてAgPd比が
40/60前後で極めてTCRか低くなる領域がある。
本発明ではこの性質を利用してAg及びPdからなる貴
金属粉末を導電粒子とし、抵抗値調整に特定な高軟化点
ガラス及び金属酸化物を組み合せ無機結合剤とすること
により抵抗値範囲0.1〜30ΩでTCRか±sopp
mを有する抵抗ペーストを提供せんとするものである。
ここにおいて特定なガラスフリットを用いた理由として
は850℃前後で焼成される際、抵抗値の変動をできる
だけ小さく抑えるためであり、0.1〜30Ωの範囲で
TCRを安定して小さく抑えるためである。この無機酸
化物を必要に応じて用いる理由として焼成時の抵抗膜の
発泡等による異常値の発生を防止するためである。
[実施例コ 以下実施例に基ついて本発明をより詳細に説明するが、
該実施例は本発明を限定するものではない。
エチルセルロースをターピネオールに溶解したビヒクル
中に微細に分割された貴金属粉末と無機結合剤粉末を第
2表に示すような配合比で混合し、混線分散した厚膜抵
抗組成物を96%アルミナセラミックス基板上に印刷し
、コンベア炉中ピーク温度850℃における10分間の
焼成を1回行い、膜厚7〜14μの電気回路を形成した
。ガラスフリットとして第1表B、  C,Dの組成を
有するS i 02−A +203−B20g −Mg
O−CaO系ガラスを用いた組成物(実施例)と低軟化
点を有するガラスフリットAを用いた組成物及びA g
/P cl比を44156〜47153以外の範囲で作
成した組成物(比較例)を使用した。
(以下余白) 第3表 第3表から明らかな通り、本実施例によるAg/Pd比
(重量%)44156〜47153の範囲において75
0〜900℃の高軟化点を有するS 102−At20
.−B、Ot −MgO−CaO系ガラスフリットを用
いた抵抗体組成物はTCRが±50ppm以内である。
一方、A g / P d比が44156〜47153
の範囲以外の組成の抵抗体組成物はTCPか±5opp
mの範囲を越えている。さらにA g / P d比は
45155とし、ガラスフリットとして従来まで厚膜ペ
ーストに広く使用されてきた低軟化点ガラスを用いた抵
抗体組成物では、同じ<TCRが±5oppmを越えて
しまう。
[発明の効果コ 本発明ではAg/Pd粉を導電粒子として用い、高軟化
点を有するガラスフリットとを含んで成る抵抗体組成物
が焼成により抵抗値か0.1〜30Ω/口/ 1. O
tt m、及びTCRか±50ppm以内の特性を有す
る。
これにより、厚膜配線において抵抗体として低い抵抗値
が要求される場合においても従来までのルテニウム系で
行っていたような膜厚を厚<L。
スクエア数を少なくすることなく小型かつ高密度な配線
か可能とする。
特許出願人  田中マッセイ株式会社

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.貴金属粉末と無機結合剤とが有機ビヒクルに分散さ
    れてなる厚膜抵抗組成物において、(A)貴金属粉末が
    、銀44〜47重量%とパラジウム53〜56重量%の
    組成を有し、 (B)無機結合剤が、軟化点750〜900℃のガラス
    フリットと必要に応じてチタニアもしくはアルミナを含
    ませることを特徴とする厚膜抵抗組成物。
  2. 2.無機結合剤が、貴金属粉末100重量部に対し、1
    0〜120重量部のガラスフリットであることを特徴と
    する請求項1に記載の厚膜抵抗組成物。
  3. 3.ガラスフリットが、重量表示でSiO_240〜6
    0%、Al_2O_310〜20%、B_2O_33〜
    12%、MgO0.5〜5%、及びCaO15〜30%
    の組成を有することを特徴とする請求項1〜2に記載の
    厚膜抵抗組成物。
  4. 4.無機結合剤が、ガラスフリットに加えて、チタニア
    又はアルミナを1〜25重量部含有していることを特徴
    とする請求項1〜3に記載の厚膜抵抗組成物。
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