JPH0419154A - サーマルヘッド及びその製造方法 - Google Patents
サーマルヘッド及びその製造方法Info
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- JPH0419154A JPH0419154A JP12328090A JP12328090A JPH0419154A JP H0419154 A JPH0419154 A JP H0419154A JP 12328090 A JP12328090 A JP 12328090A JP 12328090 A JP12328090 A JP 12328090A JP H0419154 A JPH0419154 A JP H0419154A
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- Japan
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- substrate
- film
- thermal head
- glaze
- glass
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- Pending
Links
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Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、プリンタ、ファクシミリ、ビデオプリンタ等
に使用されるサーマルヘッドに関する。
に使用されるサーマルヘッドに関する。
［従来の技術］
従来は例えば、第２面に示すように、基板１上に溝加工
部２を施しくａ）、この溝加工による傾斜面２１と基板
表面との境界部２２に接触、或いはかかるようにグレー
ズを形成する場合、スクリーンメツシュ１１と印刷不要
部をマスキングするための乳剤１２とからなるスクリー
ンマスク１３とスキージ１４を用い、ガラスフリットを
含んだペースト１５を所定位置に印刷しくｂ）、焼成し
て、ガラスグレーズ３の形成されたサーマルヘッド用基
板を得るという方法がとられていた。 （Ｃ）［発明が
解決しようとする課題及び目的］しかしこのようにして
形成されたグレーズは、発熱部の曲率半径が大きく、さ
らに、焼成時に溝加工部２への溶融したガラスの流れ込
み量にばらつきがあるため、発熱部形成部分のガラスグ
レーズの厚さにばらつきがあった。このため発熱部のイ
ンクフィルムへの接触圧力に差が生じ、特にグレーズの
凹部では、ヘッドの押しつけ圧力が低下するため、印字
に欠損部が多くなってしまうという課題があった。本発
明によるサーマルヘッドはかかる課題を解決するもので
あり、特に溝加工等を施した基板に対して、より小さな
曲率半径で、安定した厚さのガラスグレーズを施し、印
字品質の良好なサーマルヘッドを得る事を目的としてい
る。
部２を施しくａ）、この溝加工による傾斜面２１と基板
表面との境界部２２に接触、或いはかかるようにグレー
ズを形成する場合、スクリーンメツシュ１１と印刷不要
部をマスキングするための乳剤１２とからなるスクリー
ンマスク１３とスキージ１４を用い、ガラスフリットを
含んだペースト１５を所定位置に印刷しくｂ）、焼成し
て、ガラスグレーズ３の形成されたサーマルヘッド用基
板を得るという方法がとられていた。 （Ｃ）［発明が
解決しようとする課題及び目的］しかしこのようにして
形成されたグレーズは、発熱部の曲率半径が大きく、さ
らに、焼成時に溝加工部２への溶融したガラスの流れ込
み量にばらつきがあるため、発熱部形成部分のガラスグ
レーズの厚さにばらつきがあった。このため発熱部のイ
ンクフィルムへの接触圧力に差が生じ、特にグレーズの
凹部では、ヘッドの押しつけ圧力が低下するため、印字
に欠損部が多くなってしまうという課題があった。本発
明によるサーマルヘッドはかかる課題を解決するもので
あり、特に溝加工等を施した基板に対して、より小さな
曲率半径で、安定した厚さのガラスグレーズを施し、印
字品質の良好なサーマルヘッドを得る事を目的としてい
る。
［課題を解決するための手段］
そこで本発明のサーマルヘッドは、グレーズが溶媒に分
散されたガラスフリットを基板にスプレー方式で成膜し
た後に、焼成して形成されている事を特徴とする。また
、本発明のサーマルヘッドの製造方法は、基板に予め溝
加工を施し１、該溝の傾斜面と基板表面の境界部近傍に
前記発熱部を形成後、所定部で切断してサーマルヘッド
を得る事を特徴とする。
散されたガラスフリットを基板にスプレー方式で成膜し
た後に、焼成して形成されている事を特徴とする。また
、本発明のサーマルヘッドの製造方法は、基板に予め溝
加工を施し１、該溝の傾斜面と基板表面の境界部近傍に
前記発熱部を形成後、所定部で切断してサーマルヘッド
を得る事を特徴とする。
［実施例コ
本発明による実施例を図面に基づいて説明するが、サー
マルヘッドはシリアルタイプ、ラインタイプを問わず、
適用が可能である。第１図は本発明によるサーマルヘッ
ドの製造工程を示す断面図である。まず、アルミナ等の
絶縁性基板１に溝加工２を施す（ａ）。その後、基板表
面に溶媒に分散したガラスフリットを所定の膜厚になる
ようにスプレー方式で吹き付け、乾燥、焼成を行い、グ
レーズ３の形成されたサーマルヘッド用基板を得る（ｂ
）。以下は通常の薄膜プロセスによるバタニング工程に
なる。
マルヘッドはシリアルタイプ、ラインタイプを問わず、
適用が可能である。第１図は本発明によるサーマルヘッ
ドの製造工程を示す断面図である。まず、アルミナ等の
絶縁性基板１に溝加工２を施す（ａ）。その後、基板表
面に溶媒に分散したガラスフリットを所定の膜厚になる
ようにスプレー方式で吹き付け、乾燥、焼成を行い、グ
レーズ３の形成されたサーマルヘッド用基板を得る（ｂ
）。以下は通常の薄膜プロセスによるバタニング工程に
なる。
■発熱抵抗体成膜
スパッタ等の成膜手段により、前記の基板にＴａ−８ｉ
○２−Ｎｉ等の発熱抵抗体膜４を成膜する。 （ｃ） ■電極層成膜 同様にスパッタ等の成膜手段により、Ａ１等の導電体膜
５を成膜する。 （ｄ） ■パターン形成 導電体膜の一部をエツチングする事により、発熱部６、
セグメント電極５１、コモン電極５２を形成する。 （
ｅ） ■保護層成膜 サーマルヘッドの酸化防止、対摩耗性向上を目的する保
護層７を形成する。（ｆ） ■カッティング 基板１を所定のカット位置８で分割する。
○２−Ｎｉ等の発熱抵抗体膜４を成膜する。 （ｃ） ■電極層成膜 同様にスパッタ等の成膜手段により、Ａ１等の導電体膜
５を成膜する。 （ｄ） ■パターン形成 導電体膜の一部をエツチングする事により、発熱部６、
セグメント電極５１、コモン電極５２を形成する。 （
ｅ） ■保護層成膜 サーマルヘッドの酸化防止、対摩耗性向上を目的する保
護層７を形成する。（ｆ） ■カッティング 基板１を所定のカット位置８で分割する。
以上のようにして得られたサーマルヘッドの形状につい
て従来のようにして作成したサーマルヘッドと比較を行
った。第３図（ａ）は本発明のサーマルヘッドの横断面
の形状、第３図（ｂ）には従来のヘッドの横断面の形状
をそれぞれ測定した結果を示す。本発明のサーマルヘッ
ドの発熱部は、傾斜面と基板表面の境界部に形成されて
いるため、発熱部での曲率半径が３００μ程度と小さく
できている。それに対し、従来のサーマルヘッドの発熱
部の曲率半径は１０００μ程度あることがわかる。発熱
部での曲率半径を小さくする事は、ヘッドの押しつけ力
が一定の場合、接触部での圧力を高くすることが可能で
ある。これは、発熱部の接触面積が小さくなるためであ
る。その結果一般にラフ紙と呼ばれる表面粗度の大きい
紙により品質の良い印字が行えることになる。また、第
４図（ａ）には、本発明のサーマルヘッドの発熱部上の
グレーズの縦方向（複数の発熱体の配列方向）の断面の
形状、第４図（ｂ）には従来のサーマルヘッドの発熱部
上のグレーズの縦方向の断面の形状の測定結果を示す。
て従来のようにして作成したサーマルヘッドと比較を行
った。第３図（ａ）は本発明のサーマルヘッドの横断面
の形状、第３図（ｂ）には従来のヘッドの横断面の形状
をそれぞれ測定した結果を示す。本発明のサーマルヘッ
ドの発熱部は、傾斜面と基板表面の境界部に形成されて
いるため、発熱部での曲率半径が３００μ程度と小さく
できている。それに対し、従来のサーマルヘッドの発熱
部の曲率半径は１０００μ程度あることがわかる。発熱
部での曲率半径を小さくする事は、ヘッドの押しつけ力
が一定の場合、接触部での圧力を高くすることが可能で
ある。これは、発熱部の接触面積が小さくなるためであ
る。その結果一般にラフ紙と呼ばれる表面粗度の大きい
紙により品質の良い印字が行えることになる。また、第
４図（ａ）には、本発明のサーマルヘッドの発熱部上の
グレーズの縦方向（複数の発熱体の配列方向）の断面の
形状、第４図（ｂ）には従来のサーマルヘッドの発熱部
上のグレーズの縦方向の断面の形状の測定結果を示す。
（ｂ）の従来のヘッドはうねりが大きく、Ｒｍａｘで５
〜８μ程度あるのに対し、 （ａ）の本発明のヘッドで
は１〜３μ程度となっている。このことにより、本発明
のサーマルヘッドは、より欠損の少ない印字が行えるこ
とになる。
〜８μ程度あるのに対し、 （ａ）の本発明のヘッドで
は１〜３μ程度となっている。このことにより、本発明
のサーマルヘッドは、より欠損の少ない印字が行えるこ
とになる。
［発明の効果］
以上、本発明のようにガラスグレーズをスプレー方式に
よって構成することにより、より曲率半径が小さいガラ
スグレーズを安定的に得ることが可能になるため、ラフ
紙に対する印字品質がより良好なサーマルヘッドを提供
することが可能になる。
よって構成することにより、より曲率半径が小さいガラ
スグレーズを安定的に得ることが可能になるため、ラフ
紙に対する印字品質がより良好なサーマルヘッドを提供
することが可能になる。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明によるサーマルヘッドの
製造工程を示す断面図。 １ ・・・−・ 基板 ２ ・・・・・ 溝加工部 ３ ・・・・・ グレーズ ４ ・・・・・ 発熱抵抗体展 ５ ・・・・・ 導電体膜 ５１ ・・・・・ セグメント電極 ５２ ・・・・・ コモン電極 ６ ・・・・・ 発熱部 ７ ・・・・・ 保護膜 ８ ・・・・・ カット位置 第２図（ａ）〜（Ｃ）は従来のサーマルへラド用爪板の
製造工程を示す断面図。 ２１ ・・・・−傾斜面 ２２ ・・・・・ 境界部 １１ ・・・・・ スクリーンメツシュ１２ ・・・・
・ 乳剤 １３ ・・・・・ スクリーンマスク １４ ・・・・・ スキージ １５ ・・・・・ ガラスペースト 第３図（ａ）、 （ｂ）はそれぞれ、本発明のサーマル
ヘッドの横断面の形状の測定結果と、従来のサーマルヘ
ッドの横断面の形状を測定した結果を示す図。 第４図（ａ）、 （ｂ）はそれぞれ、本発明のサーマル
ヘッドの縦方向の断面の形状の測定結果と、従来のサー
マルヘッドの縦方向の断面の形状を測定した結果を示す
図。 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理土鈴木裏三部 化１名 （Ｑ） 一一一″−一） 第１図 （ａ） （ｂ） ｍ ／。 賢丙
製造工程を示す断面図。 １ ・・・−・ 基板 ２ ・・・・・ 溝加工部 ３ ・・・・・ グレーズ ４ ・・・・・ 発熱抵抗体展 ５ ・・・・・ 導電体膜 ５１ ・・・・・ セグメント電極 ５２ ・・・・・ コモン電極 ６ ・・・・・ 発熱部 ７ ・・・・・ 保護膜 ８ ・・・・・ カット位置 第２図（ａ）〜（Ｃ）は従来のサーマルへラド用爪板の
製造工程を示す断面図。 ２１ ・・・・−傾斜面 ２２ ・・・・・ 境界部 １１ ・・・・・ スクリーンメツシュ１２ ・・・・
・ 乳剤 １３ ・・・・・ スクリーンマスク １４ ・・・・・ スキージ １５ ・・・・・ ガラスペースト 第３図（ａ）、 （ｂ）はそれぞれ、本発明のサーマル
ヘッドの横断面の形状の測定結果と、従来のサーマルヘ
ッドの横断面の形状を測定した結果を示す図。 第４図（ａ）、 （ｂ）はそれぞれ、本発明のサーマル
ヘッドの縦方向の断面の形状の測定結果と、従来のサー
マルヘッドの縦方向の断面の形状を測定した結果を示す
図。 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理土鈴木裏三部 化１名 （Ｑ） 一一一″−一） 第１図 （ａ） （ｂ） ｍ ／。 賢丙
Claims (2)
- （１）基板と、基板上に形成されたガラスグレーズと、
該ガラスグレーズ上に形成された発熱部とを有するサー
マルヘッドに於いて、前記ガラスグレーズが溶媒に分散
されたガラスフリットを前記基板にスプレー方式で成膜
した後に、焼成して形成されている事を特徴とするサー
マルヘッド。 - （２）前記基板は予め溝加工されており、該溝の傾斜面
と基板表面の境界部近傍に前記発熱部を形成後、所定部
で切断してサーマルヘッドを得る事を特徴とする請求項
１記載のサーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12328090A JPH0419154A (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12328090A JPH0419154A (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0419154A true JPH0419154A (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=14856664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12328090A Pending JPH0419154A (ja) | 1990-05-14 | 1990-05-14 | サーマルヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0419154A (ja) |
-
1990
- 1990-05-14 JP JP12328090A patent/JPH0419154A/ja active Pending
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