JPH0782921B2 - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH0782921B2 JPH0782921B2 JP63184355A JP18435588A JPH0782921B2 JP H0782921 B2 JPH0782921 B2 JP H0782921B2 JP 63184355 A JP63184355 A JP 63184355A JP 18435588 A JP18435588 A JP 18435588A JP H0782921 B2 JPH0782921 B2 JP H0782921B2
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- Japan
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- thermal head
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- paste
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はサーマルヘッド、特にペーストを印刷焼成して
発熱抵抗体層などを構成する厚膜型サーマルヘッドに関
する。
発熱抵抗体層などを構成する厚膜型サーマルヘッドに関
する。
従来の技術 サーマルヘッドは基板上の一方の電極と、この間の発熱
抵抗体層、この発熱抵抗体層の上に形成された耐磨耗層
とから基本的に構成され、従来は薄膜型と厚膜型とが存
在する。薄膜型は電極、発熱抵抗体層、耐磨耗層をスパ
ッタリング、蒸着などの真空プロセスにより形成したも
のである。厚膜型は例えば金メタルオルガニックペース
ト、RuO2−ガラスフリットペースト、ホウケイ酸ガラス
フリットペースト、の印刷により金電極、RuO2発熱抵抗
体層、耐磨耗層、を得るもので、薄膜型より低コストで
高性能サーマルヘッドを得ることができる。第２図は得
られたサーマルヘッドの断面図であり、アルミナグレー
ズ基板、ホーロ基板、などの絶縁基板（１）上に金電極
（２），（３）、発熱抵抗体層（４），耐磨耗層（５）
が存在する。金電極はフォトリソエッチング法によりパ
ターンニングされる。
抵抗体層、この発熱抵抗体層の上に形成された耐磨耗層
とから基本的に構成され、従来は薄膜型と厚膜型とが存
在する。薄膜型は電極、発熱抵抗体層、耐磨耗層をスパ
ッタリング、蒸着などの真空プロセスにより形成したも
のである。厚膜型は例えば金メタルオルガニックペース
ト、RuO2−ガラスフリットペースト、ホウケイ酸ガラス
フリットペースト、の印刷により金電極、RuO2発熱抵抗
体層、耐磨耗層、を得るもので、薄膜型より低コストで
高性能サーマルヘッドを得ることができる。第２図は得
られたサーマルヘッドの断面図であり、アルミナグレー
ズ基板、ホーロ基板、などの絶縁基板（１）上に金電極
（２），（３）、発熱抵抗体層（４），耐磨耗層（５）
が存在する。金電極はフォトリソエッチング法によりパ
ターンニングされる。
上に述べたサーマルヘッドでの重要特性のひとつは、印
字品質である。すなわち、ライン状に配列した抵抗体層
の個々のドットから、均一に発熱したエネルギを印画紙
に伝達し、個々の印字されたドットの印字濃度をできる
だけ均一にしなければならない。個々の印字、ドットの
濃度が不均一であると印画に濃度のスジが生じ印字品質
が悪くなり、とくに階調印字の要求されるフルカラープ
リンタ用のサーマルヘッドとしては、この特性が重視さ
れる。このような印字濃度ムラの原因としては個々の抵
抗体ドットの抵抗値のばらつきが考えられる。
字品質である。すなわち、ライン状に配列した抵抗体層
の個々のドットから、均一に発熱したエネルギを印画紙
に伝達し、個々の印字されたドットの印字濃度をできる
だけ均一にしなければならない。個々の印字、ドットの
濃度が不均一であると印画に濃度のスジが生じ印字品質
が悪くなり、とくに階調印字の要求されるフルカラープ
リンタ用のサーマルヘッドとしては、この特性が重視さ
れる。このような印字濃度ムラの原因としては個々の抵
抗体ドットの抵抗値のばらつきが考えられる。
このような個々の抵抗体ドットの抵抗値ばらつきを小さ
くするために、従来は、トリミング工程が採用されてい
る。この工程は印刷焼成により形成された抵抗体層の個
々のドットに過負荷パルスを印加することにより抵抗値
を目標の値にする方法である。この方法により抵抗値は
Ｐ−P1％以内にまですることが可能であり、この結果印
字品質も改善される。
くするために、従来は、トリミング工程が採用されてい
る。この工程は印刷焼成により形成された抵抗体層の個
々のドットに過負荷パルスを印加することにより抵抗値
を目標の値にする方法である。この方法により抵抗値は
Ｐ−P1％以内にまですることが可能であり、この結果印
字品質も改善される。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、このような過負荷パルスによるトリミン
グではミクロな視点での抵抗値の均一化は達成されな
い。第３図はこの様子を示すものである。トリミングに
よる抵抗値の変化（低下）は、一つの抵抗体ドット（1
0）のながの特にトリミグされやすい部分で優先的に起
こる。（11），（12）は、それぞれ抵抗体および電極で
ある。例えば、（13）に示すパスで抵抗値の部分的優先
的変化が起きドット抵抗値が目標値に達した場合所期の
トリミグ目標は達成されたことになるが、実際の印字で
は一つのドットの一部分（13）に発熱が集中することに
なり、正常なドット形状が得られなくなる。第４図の
（20）が正常なドット形状であるときこのようなトリミ
ングではドット内の熱集中により（21）のようなドット
形状になり、このドットの印字濃度が濃くなり他のドッ
トとの濃度差から印字スジとなってしまい印字品質が非
常に悪くなる。一つの発熱抵抗体ドットの中の電流パス
のかたより、すなはち抵抗値の不均一分布は抵抗体層中
のRuO2のような導電性要素の不均一分布に起因する。
グではミクロな視点での抵抗値の均一化は達成されな
い。第３図はこの様子を示すものである。トリミングに
よる抵抗値の変化（低下）は、一つの抵抗体ドット（1
0）のながの特にトリミグされやすい部分で優先的に起
こる。（11），（12）は、それぞれ抵抗体および電極で
ある。例えば、（13）に示すパスで抵抗値の部分的優先
的変化が起きドット抵抗値が目標値に達した場合所期の
トリミグ目標は達成されたことになるが、実際の印字で
は一つのドットの一部分（13）に発熱が集中することに
なり、正常なドット形状が得られなくなる。第４図の
（20）が正常なドット形状であるときこのようなトリミ
ングではドット内の熱集中により（21）のようなドット
形状になり、このドットの印字濃度が濃くなり他のドッ
トとの濃度差から印字スジとなってしまい印字品質が非
常に悪くなる。一つの発熱抵抗体ドットの中の電流パス
のかたより、すなはち抵抗値の不均一分布は抵抗体層中
のRuO2のような導電性要素の不均一分布に起因する。
課題を解決するための手段 本発明は、白金族元素のレジネートとガラスフリットと
からなるペーストの印刷焼成により抵抗体を形成するこ
とを特徴とするサーマルヘッドの製造方法である。
からなるペーストの印刷焼成により抵抗体を形成するこ
とを特徴とするサーマルヘッドの製造方法である。
作用 本発明によれば抵抗体層で発熱した熱エネルギが効率良
く、かつドット間での差が少なく均一に感熱紙に伝わる
高効率、高印字品質のサーマルヘッドを得ることができ
る。
く、かつドット間での差が少なく均一に感熱紙に伝わる
高効率、高印字品質のサーマルヘッドを得ることができ
る。
実施例 具体的な本発明の実施例を示す前に、本発明の要点を述
べる。第１図は、抵抗体層の任意の断面をＸ−Ｙ直交座
標を用いて単位要素を分割したとき任意のXn−Yn要素の
範囲内の抵抗体層に含まれる白金族元素の量と他の任意
のXm−Ym要素に含まれる白金族元素の量との比率（Ａ）
を横軸に、最大印字ドット面積に対する印字ドット面積
比（Ｂ）を縦軸にプロットしたものである。ただし
（Ａ）の値は、XMA分析などによる定量値である。この
図に示すように（Ａ）の値が1.0からの偏差が大きくな
るに従って（Ｂ）の値は１から離れてくる。すなわち印
字ドット形状が異常なものになってくる。このような異
常な印字ドット形状は既述のように印字品質の以下につ
ながる。種々検討の結果，第１図に示すように0.8＜
（Ａ）＜1.2の時に高階調印字が可能になることが解っ
た。
べる。第１図は、抵抗体層の任意の断面をＸ−Ｙ直交座
標を用いて単位要素を分割したとき任意のXn−Yn要素の
範囲内の抵抗体層に含まれる白金族元素の量と他の任意
のXm−Ym要素に含まれる白金族元素の量との比率（Ａ）
を横軸に、最大印字ドット面積に対する印字ドット面積
比（Ｂ）を縦軸にプロットしたものである。ただし
（Ａ）の値は、XMA分析などによる定量値である。この
図に示すように（Ａ）の値が1.0からの偏差が大きくな
るに従って（Ｂ）の値は１から離れてくる。すなわち印
字ドット形状が異常なものになってくる。このような異
常な印字ドット形状は既述のように印字品質の以下につ
ながる。種々検討の結果，第１図に示すように0.8＜
（Ａ）＜1.2の時に高階調印字が可能になることが解っ
た。
以下に本発明の具体的な実施例を示す。
実施例１ ホーロ基板（厚さ1mm）の上に金のレジネートペースト
の印刷焼成法、およびホトリソエッチング法により電極
パターン（0.8μｍ）を形成する。
の印刷焼成法、およびホトリソエッチング法により電極
パターン（0.8μｍ）を形成する。
ルテニウムの有機金属化合物とほう珪酸ガラスフリット
との混合ペースト（重量比1/10）で、これにエチルセル
ロースとテルピネオールを加えたペーストを用いて200
μｍ幅の抵抗体を印刷する。次にこれを800℃/10minの
昇温速度で800℃まで加熱し、さらにこの温度で5min間
保持する。引続き、800℃→室温までの10分で行った。
この様にして形成された抵抗体層の上に鉛系ガラスの耐
磨耗層を形成する。
との混合ペースト（重量比1/10）で、これにエチルセル
ロースとテルピネオールを加えたペーストを用いて200
μｍ幅の抵抗体を印刷する。次にこれを800℃/10minの
昇温速度で800℃まで加熱し、さらにこの温度で5min間
保持する。引続き、800℃→室温までの10分で行った。
この様にして形成された抵抗体層の上に鉛系ガラスの耐
磨耗層を形成する。
実施例２ 実施例１と同じ要領で抵抗ペーストの印刷を行う。ただ
し本実施例で用いたペーストは実施例１で用いたと同じ
硼珪酸ガラスフリット粒子の表面に予めルテニウムの有
機化合物をコーチングし300℃で予備焼成し、これと前
記ルテニウムの有機化合物と、エチルセルロース、テル
ピネオールとを混合したものである。焼成パターンなど
は実施例２と同じである。
し本実施例で用いたペーストは実施例１で用いたと同じ
硼珪酸ガラスフリット粒子の表面に予めルテニウムの有
機化合物をコーチングし300℃で予備焼成し、これと前
記ルテニウムの有機化合物と、エチルセルロース、テル
ピネオールとを混合したものである。焼成パターンなど
は実施例２と同じである。
比較例１ 実施例１で用いたものと同じペーストを印刷し50℃/min
の昇温および降温速度で焼成する。最高保持温度は800
℃である。この例では連続トンネル焼成炉を使用した。
の昇温および降温速度で焼成する。最高保持温度は800
℃である。この例では連続トンネル焼成炉を使用した。
以上の実施例および比較例の結果を表に示す。
発明の効果 以上のように本発明のサーマルヘッドは抵抗体層中のRu
などの白金族元素の分布が均一である。このため、一つ
のドット内の抵抗値分布が均一になり均一発熱が得られ
ると共に、個々のドット間での発熱も均一になり印字濃
度ムラが非常に少なくなる。
などの白金族元素の分布が均一である。このため、一つ
のドット内の抵抗値分布が均一になり均一発熱が得られ
ると共に、個々のドット間での発熱も均一になり印字濃
度ムラが非常に少なくなる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の実施例における抵抗体層中の白金族元
素の均一分散性と印字ドットの形状との関係図、第２図
は従来例における厚膜サーマルヘッドの代表例の断面
図、第３図は抵抗体層中の元素の不均一分布による電流
パスの偏在を示す模式図、第４図は正常および異常な印
字ドットの形状を示す図である。
素の均一分散性と印字ドットの形状との関係図、第２図
は従来例における厚膜サーマルヘッドの代表例の断面
図、第３図は抵抗体層中の元素の不均一分布による電流
パスの偏在を示す模式図、第４図は正常および異常な印
字ドットの形状を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 善博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 竹内 康弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭50−30094（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−124501（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−9543（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−61216（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−220402（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】白金族元素のレジネートとガラスフリット
とからなるペーストの印刷焼成により抵抗体を形成する
ことを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項２】抵抗体ペースト中のガラスフリットの粒径
が１μ以下であることを特徴とする請求項１記載のサー
マルヘッドの製造方法。 - 【請求項３】表面を白金族元素の有機化合物で覆われた
ガラスフリット粒子と白金族元素の有機化合物と、有機
ビヒクル、溶剤との混合ペーストの印刷焼成により抵抗
体を形成することを特徴とするサーマルヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63184355A JPH0782921B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63184355A JPH0782921B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233901A JPH0233901A (ja) | 1990-02-05 |
| JPH0782921B2 true JPH0782921B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=16151798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63184355A Expired - Fee Related JPH0782921B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782921B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021200869A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5510823A (en) * | 1991-03-07 | 1996-04-23 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Paste for resistive element film |
| JP2555536B2 (ja) * | 1993-09-24 | 1996-11-20 | コーア株式会社 | 白金温度センサの製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2233654A1 (de) * | 1972-07-08 | 1974-01-24 | Degussa | Thermisch zersetzbare masse zur herstellung von elektrischen widerstaenden |
| JPH0812802B2 (ja) * | 1986-11-14 | 1996-02-07 | 株式会社日立製作所 | サ−マルヘツド用厚膜抵抗体材料，サ−マルヘツド用厚膜抵抗体，並びにサ−マルヘツド |
| JP2617110B2 (ja) * | 1988-02-29 | 1997-06-04 | 富士ゼロックス株式会社 | 抵抗体の製造方法 |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP63184355A patent/JPH0782921B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021200869A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0233901A (ja) | 1990-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |