JPH04176556A - 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法 - Google Patents
磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法Info
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- JPH04176556A JPH04176556A JP2306431A JP30643190A JPH04176556A JP H04176556 A JPH04176556 A JP H04176556A JP 2306431 A JP2306431 A JP 2306431A JP 30643190 A JP30643190 A JP 30643190A JP H04176556 A JPH04176556 A JP H04176556A
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 70
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 21
- 238000005551 mechanical alloying Methods 0.000 claims description 16
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 abstract 2
- QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N B#[Ti]#B Chemical compound B#[Ti]#B QYEXBYZXHDUPRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910004217 TaSi2 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910033181 TiB2 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910034327 TiC Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910026551 ZrC Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 241001070941 Castanea Species 0.000 description 1
- 235000014036 Castanea Nutrition 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 229910000601 superalloy Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は磁気研摩方法に関し、その方法の実施に使用す
る砥粒と、その製造方法をも包含する。 ［従来の技術］ 磁気研摩法として知られる研摩技術は、研摩材たとえば
アルミナの粒子を強磁性物質たとえば鉄の粉末と混合し
、真空下に焼結して得た焼結体を粉砕し、整粒して製造
した砥粒を使用している。 この種の磁気研摩砥粒は、使用寿命が短かいのか欠点で
ある。 発明者らの一部は、こうした従来の磁気研摩砥粒の欠点
を改良するために研究し、研摩材の粒子を強磁性物質を
含有する金属の溶融体からなるマトリクスで結合したも
のが、研摩効果が高く、かつ使用寿命が長く使用中に特
性が変化しにくいことを見出すとともに、このような磁
気研摩用砥粒をプラズマアークを利用して製造する技術
を確立して、すでに開示した（特開平２−２２４９６７
＠）。 その後の研究により、発明者らは、磁気研摩においては
個々の砥粒が磁場により動くものでなくても、砥粒が集
団として動くものであればよいこと、すなわち、強磁性
物質の粒子と非磁性でおって研摩材としての性能を有す
る粒子とを配合した研摩材組成物を使用しても、研摩の
効果は得られることがわかった。 ざらに研究を進めた結果、メカニカルアロイイング法と
して知られる金属−非金属粒子複合材料の製造方法が、
磁気研摩用砥粒の製造に好適であることを見出した。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的は、上記の新しい知見を利用して、まず、
砥粒を簡単かつ安価に用意でき、かつそれが使用中に特
性を変えることが少い、新しい磁気研摩の方法を提供す
ることにある。 次に、メカニカルアロイイングの方法
を利用した高性能の磁気研摩砥粒とその製造方法、およ
びそれを使用した磁気研摩方法を提供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 本発明の新しい磁気研摩方法は、研摩材の粒子と強磁性
物質の粒子との混合物を砥粒組成物として使用すること
を特徴とする。 砥粒組成物として好適なものは、研摩材の粒子として、
Ａ、ｌ！２０３．ｚｒｏ２．Ｓ：Ｃ，ＴＩＣ。 ＺｒＣ，ＶＣ，ＮｂＣ，ＷＣ，ＴａＣ，Ｓｉ３Ｎ４、Ｔ
ｉＢ２およびＴ ａ Ｓ ｉ ２の１種または２種以上
の粉末またはウィスカー、またはダイヤモンドの粉末を
えらび、強磁性物質の粒子としてＦｅまたはその合金の
粉末をえらび、砥粒組成物として、研摩材粒子５〜５０
％（体積％）、強磁性物質粒子９５〜５０％を配合して
なるものを使用する。 本発明の磁気研摩用砥粒は、メ
カニカルアロイイングの方法により形成された強磁性物
質の粒子中に、研摩材の粒子が結合されて存在している
ことを特徴とする。 この磁気研摩用砥粒の製造方法は、強磁性物質の粉末と
研摩材の粒子とをボールミルに入れ、非酸化性条件下に
ミルを回転または振動させるメカニカルアロイインク操
作を行なうことにより、研間材の粒子をとり込んだ形態
で強磁性物質の粉末を結合させて粒子とすることを特徴
とする。 磁気研摩用砥粒を形成する研摩材の粒子と強磁性物質の
粒子については、両者を混合して使用する磁気研摩方法
に関して記したところを参考にすればよい。 ただし、
好適な配合割合は、研摩材と強磁性物質の組み合わせや
それらの粒度の組み合わせ、ざらには研摩の対象物や仕
上げ面に要求される精粗の程度などの条件によって異な
るから、それぞれの場合において、必要により多少の実
験を行なって、最適なものを決定することが望ましい。 メカニカルアロイイングの技術は、たとえばＮｉ基の超
合金に酸化物粒子を分散させて高温強度を向上させた酸
化物強化合金の製造をはじめとして、種々の分野で利用
されつつある。 非酸化性の環境は、たとえばボールミ
ル内を不活性ガス雰囲気下に置くが、またはアルコール
などの液体を加えた湿式操作条件を採用することにより
、容易に実現できる。
る砥粒と、その製造方法をも包含する。 ［従来の技術］ 磁気研摩法として知られる研摩技術は、研摩材たとえば
アルミナの粒子を強磁性物質たとえば鉄の粉末と混合し
、真空下に焼結して得た焼結体を粉砕し、整粒して製造
した砥粒を使用している。 この種の磁気研摩砥粒は、使用寿命が短かいのか欠点で
ある。 発明者らの一部は、こうした従来の磁気研摩砥粒の欠点
を改良するために研究し、研摩材の粒子を強磁性物質を
含有する金属の溶融体からなるマトリクスで結合したも
のが、研摩効果が高く、かつ使用寿命が長く使用中に特
性が変化しにくいことを見出すとともに、このような磁
気研摩用砥粒をプラズマアークを利用して製造する技術
を確立して、すでに開示した（特開平２−２２４９６７
＠）。 その後の研究により、発明者らは、磁気研摩においては
個々の砥粒が磁場により動くものでなくても、砥粒が集
団として動くものであればよいこと、すなわち、強磁性
物質の粒子と非磁性でおって研摩材としての性能を有す
る粒子とを配合した研摩材組成物を使用しても、研摩の
効果は得られることがわかった。 ざらに研究を進めた結果、メカニカルアロイイング法と
して知られる金属−非金属粒子複合材料の製造方法が、
磁気研摩用砥粒の製造に好適であることを見出した。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的は、上記の新しい知見を利用して、まず、
砥粒を簡単かつ安価に用意でき、かつそれが使用中に特
性を変えることが少い、新しい磁気研摩の方法を提供す
ることにある。 次に、メカニカルアロイイングの方法
を利用した高性能の磁気研摩砥粒とその製造方法、およ
びそれを使用した磁気研摩方法を提供することにある。 ［課題を解決するための手段］ 本発明の新しい磁気研摩方法は、研摩材の粒子と強磁性
物質の粒子との混合物を砥粒組成物として使用すること
を特徴とする。 砥粒組成物として好適なものは、研摩材の粒子として、
Ａ、ｌ！２０３．ｚｒｏ２．Ｓ：Ｃ，ＴＩＣ。 ＺｒＣ，ＶＣ，ＮｂＣ，ＷＣ，ＴａＣ，Ｓｉ３Ｎ４、Ｔ
ｉＢ２およびＴ ａ Ｓ ｉ ２の１種または２種以上
の粉末またはウィスカー、またはダイヤモンドの粉末を
えらび、強磁性物質の粒子としてＦｅまたはその合金の
粉末をえらび、砥粒組成物として、研摩材粒子５〜５０
％（体積％）、強磁性物質粒子９５〜５０％を配合して
なるものを使用する。 本発明の磁気研摩用砥粒は、メ
カニカルアロイイングの方法により形成された強磁性物
質の粒子中に、研摩材の粒子が結合されて存在している
ことを特徴とする。 この磁気研摩用砥粒の製造方法は、強磁性物質の粉末と
研摩材の粒子とをボールミルに入れ、非酸化性条件下に
ミルを回転または振動させるメカニカルアロイインク操
作を行なうことにより、研間材の粒子をとり込んだ形態
で強磁性物質の粉末を結合させて粒子とすることを特徴
とする。 磁気研摩用砥粒を形成する研摩材の粒子と強磁性物質の
粒子については、両者を混合して使用する磁気研摩方法
に関して記したところを参考にすればよい。 ただし、
好適な配合割合は、研摩材と強磁性物質の組み合わせや
それらの粒度の組み合わせ、ざらには研摩の対象物や仕
上げ面に要求される精粗の程度などの条件によって異な
るから、それぞれの場合において、必要により多少の実
験を行なって、最適なものを決定することが望ましい。 メカニカルアロイイングの技術は、たとえばＮｉ基の超
合金に酸化物粒子を分散させて高温強度を向上させた酸
化物強化合金の製造をはじめとして、種々の分野で利用
されつつある。 非酸化性の環境は、たとえばボールミ
ル内を不活性ガス雰囲気下に置くが、またはアルコール
などの液体を加えた湿式操作条件を採用することにより
、容易に実現できる。
研摩材の粒子と強磁性物質の粒子とを単に混合した砥粒
組成物を用いても磁気研摩が行なわれる機構は、おそら
く、磁場の変化（通常は研摩軸とする磁極の回転により
もたらされる）に伴って強磁性物質の粒子が移動する際
、各粒子はバラバラに挙動するわけではなく、粒子間で
相互に引き合いながら集団として挙動するためであると
考えられる。 すなわち、研摩材の粒子は、相互に連な
って動く強磁性物質の粒子の移動につれて被加工物表面
を移動する。 そこへ磁力による強磁性物質粒子の被加
工物表面への押圧力が加わり、この表面を研摩する効果
が生じる。 一方、メカニカルアロイイングにより製造した磁気研摩
用砥粒は、強磁性物質たとえばＦｅのような金属の粉末
が、ボールミル内でボールの衝撃のために粉砕される一
方で小粒が結合して新しい粒を形成するときに、その結
合面に研摩材粒子をとり込んだり、金属に対して研摩材
粒子が強く打ちつけられて粒の表面に埋め込まれるなど
する結果、表面に多量の研摩材粒子が付着した砥粒とな
る。 とくに、研摩材としてＳｉＣウィスカーのような
ウィスカーを使用すると、栗のイガのような形でウィス
カーをとり込んだ砥粒ができることが、顕微鏡観察によ
り確められている。 このような砥粒を磁気研摩に使用
したとき、研摩性能がすぐれていることは想像に難くな
いであろう。
組成物を用いても磁気研摩が行なわれる機構は、おそら
く、磁場の変化（通常は研摩軸とする磁極の回転により
もたらされる）に伴って強磁性物質の粒子が移動する際
、各粒子はバラバラに挙動するわけではなく、粒子間で
相互に引き合いながら集団として挙動するためであると
考えられる。 すなわち、研摩材の粒子は、相互に連な
って動く強磁性物質の粒子の移動につれて被加工物表面
を移動する。 そこへ磁力による強磁性物質粒子の被加
工物表面への押圧力が加わり、この表面を研摩する効果
が生じる。 一方、メカニカルアロイイングにより製造した磁気研摩
用砥粒は、強磁性物質たとえばＦｅのような金属の粉末
が、ボールミル内でボールの衝撃のために粉砕される一
方で小粒が結合して新しい粒を形成するときに、その結
合面に研摩材粒子をとり込んだり、金属に対して研摩材
粒子が強く打ちつけられて粒の表面に埋め込まれるなど
する結果、表面に多量の研摩材粒子が付着した砥粒とな
る。 とくに、研摩材としてＳｉＣウィスカーのような
ウィスカーを使用すると、栗のイガのような形でウィス
カーをとり込んだ砥粒ができることが、顕微鏡観察によ
り確められている。 このような砥粒を磁気研摩に使用
したとき、研摩性能がすぐれていることは想像に難くな
いであろう。
【実施例１】
カルボニルＦｅ粉（粒径６５〜１５０μｍ）とＳ ｉ
ＣライスフＪ−（径０．３〜１．４μｍ、長さ５〜３０
μ雇、アスペクト比１０〜４０）を、種々の体積比で混
合した砥粒組成物を用いて、８５５Ｃ鋼の表面の磁気研
摩を行なった。 研摩条件は、研摩軸の径２ｏＩＩＩＩＩ＆、回転数１１
００Ｑｒｐ、磁束密度０．４５Ｔ、被加工物との間隙０
．６ｇｍであって、砥粒組成物１．（ｌにステアリン酸
０．３ｇを加えて用いた。 研摩時間は１５分間。 砥粒組成物の配合（Ｓ ｉ Ｃウィスカーの体積％）と
研摩量との関係をしらへて、第１図に示す結果を得た。 研摩量の多い２例について、被加工物の表面粗さの変
化を図に付記して示す。 ［実施例２］ 実施例１において、ＳｉＣウィスカーに代えてダイヤモ
ンド粉末（４００〜５００メツシユ）を使用し、砥粒組
成物の配合を変えて研摩を行なった。 研摩条件および
被加工物は、実施例１と同じである。 砥粒組成物の配合と研摩量との関係は、第２図に示すと
おりであった。 （実施例３１ 実施例１で使用したものと同じカルボニルＦｅ粉とＳｉ
Ｃウィスカーとを、体積比で９３．５：６．５の割合で
配合し、アルコールを加えたボールミル中で、８０ｒｐ
ｍの速度で１０時間、メカニカルアロイイング処理をし
た。 得られた砥粒を用いて、実施例１と同様に、ただし磁極
の回転数５００ ｒｌ）ｍで磁気研摩を行なった。 ８
５５Ｃ鋼の被加工物の表面は、研摩前の粗さが、Ｒｍａ
ｘ ： ２．５ｔ１ｍ、Ｒａ ：０．２ｔ１ｍから、Ｒ
ｍａｘ ：０．２ｕｍ、Ｒａ ： ０．０６μｍに変
化した。なあ、表面粗さは、ミツトヨ味製のｒｓＵＲＦ
ＴＥＳＴ−４０１ｊで測定した。
ＣライスフＪ−（径０．３〜１．４μｍ、長さ５〜３０
μ雇、アスペクト比１０〜４０）を、種々の体積比で混
合した砥粒組成物を用いて、８５５Ｃ鋼の表面の磁気研
摩を行なった。 研摩条件は、研摩軸の径２ｏＩＩＩＩＩ＆、回転数１１
００Ｑｒｐ、磁束密度０．４５Ｔ、被加工物との間隙０
．６ｇｍであって、砥粒組成物１．（ｌにステアリン酸
０．３ｇを加えて用いた。 研摩時間は１５分間。 砥粒組成物の配合（Ｓ ｉ Ｃウィスカーの体積％）と
研摩量との関係をしらへて、第１図に示す結果を得た。 研摩量の多い２例について、被加工物の表面粗さの変
化を図に付記して示す。 ［実施例２］ 実施例１において、ＳｉＣウィスカーに代えてダイヤモ
ンド粉末（４００〜５００メツシユ）を使用し、砥粒組
成物の配合を変えて研摩を行なった。 研摩条件および
被加工物は、実施例１と同じである。 砥粒組成物の配合と研摩量との関係は、第２図に示すと
おりであった。 （実施例３１ 実施例１で使用したものと同じカルボニルＦｅ粉とＳｉ
Ｃウィスカーとを、体積比で９３．５：６．５の割合で
配合し、アルコールを加えたボールミル中で、８０ｒｐ
ｍの速度で１０時間、メカニカルアロイイング処理をし
た。 得られた砥粒を用いて、実施例１と同様に、ただし磁極
の回転数５００ ｒｌ）ｍで磁気研摩を行なった。 ８
５５Ｃ鋼の被加工物の表面は、研摩前の粗さが、Ｒｍａ
ｘ ： ２．５ｔ１ｍ、Ｒａ ：０．２ｔ１ｍから、Ｒ
ｍａｘ ：０．２ｕｍ、Ｒａ ： ０．０６μｍに変
化した。なあ、表面粗さは、ミツトヨ味製のｒｓＵＲＦ
ＴＥＳＴ−４０１ｊで測定した。
【実施例４】
実施例３において、メカニカルアロイイング処理の時間
を、１０時間、２０時間および３０時間と変え、かつ研
摩時間を１２０分間までの範囲で種々変化させ、研摩量
の変化をしらべた。 結果は第３図にみるとおりであっ
て、研摩量は長時間のメカニカルアロイイング処理をし
て得た砥粒はど多いが、研摩時間の増大に伴ってそれが
飽和してくることがわかる。 ［実施例５］ 実施例４において、メカニカルアロイイング処理の時間
が１０時間および２０時間の砥粒を用い、被加工物との
ギャップを変化させて研摩量を測定した。 結果は第４図に示すとおりであって、０．５〜０、６１
Ｒ１ｒ１が最適の結果を与えた。
を、１０時間、２０時間および３０時間と変え、かつ研
摩時間を１２０分間までの範囲で種々変化させ、研摩量
の変化をしらべた。 結果は第３図にみるとおりであっ
て、研摩量は長時間のメカニカルアロイイング処理をし
て得た砥粒はど多いが、研摩時間の増大に伴ってそれが
飽和してくることがわかる。 ［実施例５］ 実施例４において、メカニカルアロイイング処理の時間
が１０時間および２０時間の砥粒を用い、被加工物との
ギャップを変化させて研摩量を測定した。 結果は第４図に示すとおりであって、０．５〜０、６１
Ｒ１ｒ１が最適の結果を与えた。
【実施例６】
実施例５において、ギャップを０．６＃に固定し、一方
で砥粒の回転速度を変化させて研摩量をしらべた。 そのデータを第５図に示す。 回転速度の増大に伴い、
研摩量も増加している。 ［実施例７］ カルボニルＦｅ粉（粒径６５〜１５０μｍ）とアルミナ
粉末（平均粒径２μｍ）とを体積で各５０％ずつ配合し
、ボールミル中で］０時間、メカニカルアロイイング処
理した。 得られた砥粒２．Ｏｇを使用し、実施例１の装置（磁極
の径２０ｍ、磁束密度０．４５Ｔ、ギャップ０．６ｍ＞
において１１００Ｏｒｐで、３５５Ｃ鋼の磁気研摩を行
なった。 研摩前のＲｍａｘ ： １ 、６！１ｍが研摩後１．１
μｍになった。 研摩量は４．４ＩＩｔｇ。 ［実施例８］ カルボニルＦｅ （上記）とＳｉＣ粉末（粒径５３μ
ｍ以下）とを、体積で各５０％ずつ配合し、ボールミル
中で５時間、メカニカルアロイイング処理した。 得られた砥粒２．０９を使用し、実施例１の装置を用い
３２０ ｒｌ）ｍで、同じく８５５Ｃ鋼の磁気研摩を行
なった。 Ｒｍａｘ：１．８μ７ｎ→１．３μｍの変化をみた。 研摩量６７．６１Ｉ１ｇ。 ［発明の効果］ 本発明の砥粒組成物を使用する磁気研摩方法は、研摩材
の粒子と強磁性体の粒子とを単に配合しただけで使用す
るから、砥粒の調製に費用と手数がかからず容易に実施
でき、かつ砥粒の摩滅などに起因する研摩条件の変化が
少く、安定した磁気研摩を続けることができる。 メカニカルアロイイングの手法を利用して製造した本発
明の磁気研摩砥粒は、研摩の性能がすぐれている。 メ
カニカルアロイイングは、従来の磁気研摩砥粒の製造に
用いられて来た真空焼結やプラズマアーク加熱のような
特殊な装置を必要としないから、容易に実施できて費用
も低額で済む。 このように、本発明の磁気研摩技術は、プラスチック金
型の鏡面仕上げをはじめとするさまざまな場面に適用す
ることができる。
で砥粒の回転速度を変化させて研摩量をしらべた。 そのデータを第５図に示す。 回転速度の増大に伴い、
研摩量も増加している。 ［実施例７］ カルボニルＦｅ粉（粒径６５〜１５０μｍ）とアルミナ
粉末（平均粒径２μｍ）とを体積で各５０％ずつ配合し
、ボールミル中で］０時間、メカニカルアロイイング処
理した。 得られた砥粒２．Ｏｇを使用し、実施例１の装置（磁極
の径２０ｍ、磁束密度０．４５Ｔ、ギャップ０．６ｍ＞
において１１００Ｏｒｐで、３５５Ｃ鋼の磁気研摩を行
なった。 研摩前のＲｍａｘ ： １ 、６！１ｍが研摩後１．１
μｍになった。 研摩量は４．４ＩＩｔｇ。 ［実施例８］ カルボニルＦｅ （上記）とＳｉＣ粉末（粒径５３μ
ｍ以下）とを、体積で各５０％ずつ配合し、ボールミル
中で５時間、メカニカルアロイイング処理した。 得られた砥粒２．０９を使用し、実施例１の装置を用い
３２０ ｒｌ）ｍで、同じく８５５Ｃ鋼の磁気研摩を行
なった。 Ｒｍａｘ：１．８μ７ｎ→１．３μｍの変化をみた。 研摩量６７．６１Ｉ１ｇ。 ［発明の効果］ 本発明の砥粒組成物を使用する磁気研摩方法は、研摩材
の粒子と強磁性体の粒子とを単に配合しただけで使用す
るから、砥粒の調製に費用と手数がかからず容易に実施
でき、かつ砥粒の摩滅などに起因する研摩条件の変化が
少く、安定した磁気研摩を続けることができる。 メカニカルアロイイングの手法を利用して製造した本発
明の磁気研摩砥粒は、研摩の性能がすぐれている。 メ
カニカルアロイイングは、従来の磁気研摩砥粒の製造に
用いられて来た真空焼結やプラズマアーク加熱のような
特殊な装置を必要としないから、容易に実施できて費用
も低額で済む。 このように、本発明の磁気研摩技術は、プラスチック金
型の鏡面仕上げをはじめとするさまざまな場面に適用す
ることができる。
図面はいずれも本発明の実施例のデータを掲げたグラフ
である。 第１図はＳｉＣウィスカーとＦｅ粉からなる砥粒組成物
を、第２図はダイヤモンド粉末とＦｅ粉とからなる砥粒
組成物をそれぞれ使用したときの、研摩材の配合量と研
摩量との関係を示す。 第３図は、メカニカルアロイイングにより３ｉＣウイス
カーとＦｅ粉とを結合させて得た砥粒を使用した磁気研
摩における、研摩時間と研摩量との関係を示す。 第４
図は、第３図にデータを示した砥粒を用いた磁気研摩に
おける、研摩軸と被加工物とのギャップを増減したとき
の研摩量の変化を、また第５図は、研摩軸の回転速度を
増減したときの研摩量の変化をあられす。 第１図 ＳｉＣウィχｔＪ−Ｔ＞日Ｎ［り判１％）第２図 ダ砧揮讃上１逢（食指％） 第３１！Ｉ 潮寺吟省（今） ［４１！１ ギτゝ７デ（ｍｍ） 第５に！１ 杆 平成２年１２月２９日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １、事件の表示 平成２年特許願第３０６４３１号 ２、発明の名称 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法３、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 愛知県名古屋市中区錦−丁目１１番１８号名
称 （３γ１）大同特殊鋼株式会社住 所 神奈
川県用崎市中原区市の坪２２３−４−氏名 中用威雄 ４、代理人 住 所 東京都中央区築地二丁目１５番１４号図面 第 ５ 図 回軸を束（１９ｍ）
である。 第１図はＳｉＣウィスカーとＦｅ粉からなる砥粒組成物
を、第２図はダイヤモンド粉末とＦｅ粉とからなる砥粒
組成物をそれぞれ使用したときの、研摩材の配合量と研
摩量との関係を示す。 第３図は、メカニカルアロイイングにより３ｉＣウイス
カーとＦｅ粉とを結合させて得た砥粒を使用した磁気研
摩における、研摩時間と研摩量との関係を示す。 第４
図は、第３図にデータを示した砥粒を用いた磁気研摩に
おける、研摩軸と被加工物とのギャップを増減したとき
の研摩量の変化を、また第５図は、研摩軸の回転速度を
増減したときの研摩量の変化をあられす。 第１図 ＳｉＣウィχｔＪ−Ｔ＞日Ｎ［り判１％）第２図 ダ砧揮讃上１逢（食指％） 第３１！Ｉ 潮寺吟省（今） ［４１！１ ギτゝ７デ（ｍｍ） 第５に！１ 杆 平成２年１２月２９日 特許庁長官 植 松 敏 殿 １、事件の表示 平成２年特許願第３０６４３１号 ２、発明の名称 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法３、
補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 愛知県名古屋市中区錦−丁目１１番１８号名
称 （３γ１）大同特殊鋼株式会社住 所 神奈
川県用崎市中原区市の坪２２３−４−氏名 中用威雄 ４、代理人 住 所 東京都中央区築地二丁目１５番１４号図面 第 ５ 図 回軸を束（１９ｍ）
Claims (7)
- （１）研磨材の粒子と強磁性物質の粒子との混合物を砥
粒組成物として使用することを特徴とする磁気研摩方法
。 - （２）研磨材の粒子として、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＺｒＯ＿
２、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＶＣ、ＮｂＣ、ＷＣ、Ｔ
ａＣ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、ＴｉＢ＿２およびＴａＳｉ＿２
の１種または２種以上の粉末またはウィスカー、または
ダイヤモンドの粉末をえらび、強磁性物質の粒子として
Ｆｅまたはその合金の粉末をえらび、砥粒組成物として
、研摩材粒子５〜５０％（体積％）、強磁性物質粒子９
５〜５０％を配合してなるものを使用する請求項１の磁
気研摩方法。 - （３）メカニカルアロイイングの方法により形成された
強磁性物質の粒子中に、研摩材の粒子が結合されて存在
していることを特徴とする磁気研摩用砥粒。 - （４）研摩材の粒子として、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＺｒＯ＿
２、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＶＣ、ＮｂＣ、ＷＣ、Ｔ
ａＣ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、ＴｉＢ＿２およびＴａＳｉ＿２
の１種または２種以上の粉末またはウィスカー、または
ダイヤモンドの粉末をえらび、強磁性物質の粒子として
Ｆｅまたはその合金の粉末をえらび、砥粒が、研摩材粒
子５〜５０％（体積％）、強磁性物質粒子９５〜５０％
を配合してなるものである請求項３の砥粒。 - （５）請求項３または４に記載の砥粒を使用して実施す
る磁気研摩方法。 - （６）強磁性物質の粉末と研摩材の粒子とをボールミル
に入れ、非酸化性条件下にミルを回転または振動させる
メカニカルアロイイング操作を行なうことにより、研摩
材の粒子をとり込んだ形態で強磁性物質の粉末を結合さ
せて粒子とすることを特徴とする磁気研摩用砥粒の製造
方法。 - （７）研摩材の粒子として、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＺｒＯ＿
２、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＶＣ、ＮｂＣ、ＷＣ、Ｔ
ａＣ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、ＴｉＢ＿２およびＴａＳｉ＿２
の１種または２種以上の粉末またはウィスカー、または
ダイヤモンドの粉末をえらび、強磁性物質の粒子として
Ｆｅまたはその合金の粉末をえらび、砥粒が、研摩材粒
子５〜５０％（体積％）、強磁性物質粒子９５〜５０％
の組成をもつように配合して実施する請求項６の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2306431A JPH04176556A (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2306431A JPH04176556A (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04176556A true JPH04176556A (ja) | 1992-06-24 |
Family
ID=17956937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2306431A Pending JPH04176556A (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 磁気研摩方法、磁気研摩用砥粒およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04176556A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002210648A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-30 | Japan Science & Technology Corp | 磁性材の加工方法およびその装置 |
| KR100415787B1 (ko) * | 2001-03-27 | 2004-01-24 | 대한민국(관리청:특허청장, 승계청:경상대학교총장) | 철-탄화니오브 자성연마재의 제조방법 |
| WO2015118927A1 (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-13 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置とスラリー |
| JP2015147922A (ja) * | 2014-11-26 | 2015-08-20 | アサヒ化成工業株式会社 | 複合砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置 |
| JP2015165001A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-09-17 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置とスラリー |
| JP2016025136A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨部材とスラリー |
| CN105940076A (zh) * | 2014-02-06 | 2016-09-14 | 旭日化成工业株式会社 | 研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨装置及浆料 |
| JP2018141057A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒 |
-
1990
- 1990-11-13 JP JP2306431A patent/JPH04176556A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002210648A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-30 | Japan Science & Technology Corp | 磁性材の加工方法およびその装置 |
| KR100415787B1 (ko) * | 2001-03-27 | 2004-01-24 | 대한민국(관리청:특허청장, 승계청:경상대학교총장) | 철-탄화니오브 자성연마재의 제조방법 |
| WO2015118927A1 (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-13 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置とスラリー |
| JP2015165001A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-09-17 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置とスラリー |
| CN105940076A (zh) * | 2014-02-06 | 2016-09-14 | 旭日化成工业株式会社 | 研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨装置及浆料 |
| KR20160119082A (ko) * | 2014-02-06 | 2016-10-12 | 아사히 가세이 고교 가부시키가이샤 | 연마용 연마입자와 그 제조 방법과 연마 방법과 연마 장치와 슬러리 |
| CN105940076B (zh) * | 2014-02-06 | 2017-12-29 | 旭日化成工业株式会社 | 研磨用磨粒、及其制造方法、研磨方法、研磨装置及浆料 |
| TWI661039B (zh) * | 2014-02-06 | 2019-06-01 | 日商旭日化成工業股份有限公司 | 研磨用磨粒、其之製造方法、研磨方法、研磨裝置及漿料 |
| JP2016025136A (ja) * | 2014-07-17 | 2016-02-08 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨部材とスラリー |
| JP2015147922A (ja) * | 2014-11-26 | 2015-08-20 | アサヒ化成工業株式会社 | 複合砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨装置 |
| JP2018141057A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | アサヒ化成工業株式会社 | 研磨用砥粒 |
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