JP2002210648A - 磁性材の加工方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 不可能とされていた磁性体内部に磁力線を透
過させることによって磁性パイプ内面の鏡面仕上げを磁
気研磨法によって行うことを可能にした磁性体の加工方
法およびその装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 磁性体からなるパイプ等ワーク４におけ
る磁性材料部分を強力磁気印加装置１により強力な磁気
を印加して、磁気的に過飽和状態として磁性材料内の磁
区（磁力線）６の方向を一定方向に固定するとともに、
パイプ等ワーク４内に収容した磁性砥粒５に前記磁区の
方向を乱さない程度の磁石３による磁界を印加し、前記
ワーク４と磁界とを相対運動させることによって、ワー
ク４の内面を研磨することを特徴とするもので、ワーク
４である磁性体が恰も非磁性体であるかのような挙動を
呈している間に、磁性工具５に磁界を印加して磁性体の
ワーク４の内面を加工することができ、これまで不可能
とされていた半導体・医療機器・分析機器製造等の各種
産業における微細径パイプや屈曲パイプ等の磁性材にお
ける磁気研磨法が適用できて、磁気研磨法の加工分野の
裾野が格段に広がることとなった。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、不可能とされてい
た磁性パイプ内面の鏡面仕上げを磁気研磨法によって行
う磁性材の加工方法およびその装置に関し、マンガンク
ロム鋼パイプを用いる半導体・医療機器・分析機器製造
等の各種産業における微細径パイプや屈曲パイプ等の複
雑な形状、あるいは入口が狭く従来の加工工具が挿入不
可能な容器等磁性体ワークの内面を精密に鏡面仕上げす
る磁気研磨方法およびその装置に関する。本発明の磁気
加工方法およびその装置は、磁性体ワークの内面を精密
に鏡面仕上げするものであるが、磁性体ワークの外面を
加工する場合にも適用され得る。

【０００２】

【従来の技術】「磁気研磨法」とは磁性砥粒を用いた磁
気援用の新しい表面研磨技術であり、特に、長さ４ｍ程
度の細長いパイプ内面（真っ直ぐなパイプ内面および曲
がりパイプ内面）に対する新しい鏡面仕上げ技術として
注目され、既に実用化されている。例えば、半導体製造
関連装置に使用されるクリーンパイプ内面研磨への実用
化以外に、宇宙ステーション用として利用されるステン
レス鋼（ＳＵＳ３０４）製の直径１０ｍｍ、長さ１５０
０ｍｍの複雑曲がりパイプ内面の鏡面仕上げ技術として
実用された実績がある。いずれもステンレス鋼や銅合金
などの非磁性材料からなるパイプであり、Ｘ線が物体を
容易に透過する現象と同じように、磁気における磁力線
が非磁性物体を容易に透過する現象とその効果に着目し
た特色ある内面研磨技術として注目される。

【０００３】具体的な手法としては、図６に示すよう
に、非磁性体パイプの外側に永久磁石を設置し、パイプ
内に投入した磁性砥粒に磁界による研磨圧力を与えると
同時に、磁石の回転に追従させて磁性砥粒を回転させる
ことで、パイプ内面との間に相対運動を与えて内面を鏡
面仕上げする方法である。図６の例では、静止した非磁
性体パイプであるワーク２４に対して磁界すなわちヨー
ク２７により連結された複数の磁極側２３Ｓ、２３Ｎを
回転させることによって、一対の磁極Ｓ、Ｎが２個配置
された磁極間に形成された不均一集中磁場により発生し
た多数の磁性砥粒２５のワーク２４内面への加工圧力
と、ワーク２４と磁界との間の相対回転により生ずる磁
性砥粒２５の遠心力によって発生するワーク２４内面へ
の研磨圧力により、ワーク２４の内面が精密に鏡面仕上
げされるものである。

【０００４】図７に示すように、非磁性体パイプの外部
に設置した永久磁石から発する磁力線からなる磁界がパ
イプを透過してパイプ内部に磁気を作用させる現象を加
工の原理とするものである。加工圧力および球形磁性粒
子の磁気追従回転磁気力について、磁性粒子に作用する
磁気力Ｆは、一般に次式にて表される（磁気力の基本
式）。 Ｆ＝ｋＤ³ χＨ（∂Ｈ／∂ｘ） ここで、ｋ：定数、Ｄ：粒子径、χ：粒子の磁化率、
Ｈ：磁場強度、（∂Ｈ／∂ｘ）：磁場強度の変化率であ
る。すなわち、粒子に作用する磁気力は、粒子径の３乗
に、粒子の磁化率に比例して大きくなり、磁場強度Ｈと
その変化率の積に比例して大きくなる。ガラスあるいは
銅、アルミニウム材料等の非磁性材料で、変化率がゼロ
の場合には磁気力もゼロとなる。この原理により、学習
ロボットを利用して発明者が製作した研磨装置としての
非磁性細管の内面磁気研磨装置を使用して行った結果を
図８に示す。非磁性パイプであるＳＵＳ３０４ステンレ
ス鋼曲がり管内面の加工結果であり、２０．６ミクロン
の加工前粗さを０．３７ミクロンに仕上げることが可能
であることが知見された。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在ま
での長い期間にわたって、「磁力線は磁性体を透過しな
い」という固定観念に基づき、前述した特色ある内面磁
気研磨技術は、ワークがクリーンパイプ等のステンレス
鋼製パイプ、セラミックスパイプ等の非磁性体に限られ
て適用されるものであり、鉄パイプ等の磁性パイプには
適用できないとされて、研究開発の努力も行われないま
ま今日に至っている。

【０００６】そこで、本発明では、不可能とされていた
磁性体内部に磁力線を透過させることによって磁性パイ
プ内面の鏡面仕上げを磁気研磨法によって行うことを可
能にした磁性体の加工方法およびその装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このため本発明は、磁性
体からなるパイプ等ワークにおける磁性材料部分を強力
磁気の印加により磁気的に過飽和状態として磁性材料内
の磁区の方向を一定方向に固定するとともに、パイプ等
ワーク内に収容した磁性砥粒に前記磁区の方向を乱さな
い程度の磁界を印加し、前記ワークと磁界とを相対運動
させることによって、ワークの内面を研磨することを特
徴とする。また本発明は、磁性体からなるパイプ等ワー
クにおける磁性材料部分をキュリー温度以上に昇温させ
て常磁性体に磁気転移させるとともに、パイプ等ワーク
内に収容した磁性砥粒に磁界を印加し、前記ワークと磁
界とを相対運動させることによって、ワークの内面を研
磨することを特徴とする。また本発明は、磁性体からな
るパイプ等ワークと、該ワークに近接配置されてその磁
性材料部分を磁気的に過飽和状態とするための強力磁気
印加装置と、前記ワーク内に収容した磁性砥粒に磁界を
印加する磁石と、前記ワークと磁界とを相対運動させる
駆動装置とからなることを特徴とする。また本発明は、
磁性体からなるパイプ等ワークと、該ワークに近接配置
されてその磁性材料部分をキュリー点以上に加熱して常
磁性体に磁気転移させる昇温装置と、前記ワーク内に収
容した磁性砥粒に磁界を印加する磁石と、前記ワークと
磁界とを相対運動させる駆動装置とからなることを特徴
とする。また本発明は、前記昇温装置が高周波誘導加熱
装置であることを特徴とする。また本発明は、前記ワー
クにおける少なくとも加工部を不活性ガス雰囲気中に配
設したことを特徴とするもので、これらを課題解決のた
めの手段とするものである。

【０００８】

【実施の形態】以下、本発明における磁性材の加工方法
およびその装置の１実施の形態を図面に基づいて説明す
る。図１は本発明の磁性材の加工方法およびその装置の
模式図、図２は磁性材料の磁気的過飽和状態の説明図、
図３は磁性材料の磁界の強さと磁束密度との関係図、図
４は細長い磁性パイプ内面の磁気研磨原理図、図５は磁
性材料をキュリー点以上に加熱して常磁性体に磁気転移
させる昇温装置を使用した磁性材の加工方法およびその
装置の模式図である。本発明は、従来からの固定観念に
疑問を抱き、磁性パイプ等の磁性材に対する新しい内面
磁気研磨法と研磨装置を提案するもので、着想の原点
は、「磁力線は磁性体に対して透過しない」という単純
な発想に物理学的根拠が何もないという考え方による。
つまり、磁力線は、少なくとも磁気的に過飽和状態に置
かれれば磁性体の内部から外部へと作用するとの知見に
基づくものである。

【０００９】第１番目の発明は、図１に示すように、磁
性体からなるパイプ等ワーク４における磁性材料部分を
強力磁気印加装置１による強力磁気の印加により磁気的
に過飽和状態として磁性材料内の磁区（磁力線６）の方
向を一定方向に固定するとともに、パイプ等ワーク４内
に収容した磁性砥粒５に前記磁区６の方向を乱さない程
度の磁石３による磁界を印加し（磁極２Ｎ、２Ｓから磁
性パイプ４内に向かう磁力線を利用してもよい。）、前
記ワーク４と磁界（により吸引される磁性砥粒５）とを
相対運動させることによって、ワーク４の内面を研磨す
ることを特徴とするものである。磁性材料を磁気的に過
飽和状態にすることとは、図３に示すＢ−Ｈ曲線（磁性
材料の磁化曲線）の飽和磁束密度Ｂｍ以上の磁場を印可
することをいう。そして、磁性パイプ内面加工のため
に、永久磁石から磁力線を磁性パイプ内部に透過させる
（図６、図７、図２を参照）。このためには、磁性パイ
プ４の材料部分を磁気的に過飽和状態として予め一方向
に完全固定した磁区６（図２）が、外部からの照射磁力
線によって磁区方向が乱れない値（図３のＢｍ以下の磁
束密度）の磁気を印加することを特徴とする。前述した
ように、本発明では、ワークである磁気的に過飽和状態
となった磁性材料の内面磁気研磨加工は、従来から利用
している非磁性パイプ内面磁気研磨方法・加工条件およ
び加工装置をそのまま用いて実現することができる。

【００１０】磁性パイプを磁気研磨する条件は、従来の
非磁性体パイプの研磨加工と同様に、図７に示すよう
に、パイプ外部の永久磁石から発する磁力線をパイプ内
部に透過させ、パイプ内部に磁気作用させることが必要
である。（前述したように、非磁性パイプの場合には磁
力線が簡単に透過するので容易に実現できる）。磁性体
が磁化する物理現象は、アト・ランダムに配列している
磁性体内の磁区の方向が外部磁場によって一定方向（磁
力線方向）に強制的に傾かせられ、このとき磁性体は磁
化されたといわれる。磁性材料を磁化するための外部磁
界の強さを次第に高め、ある値以上の強力な外部磁界に
すると、磁性体内の磁区の方向が完全に一方向に固定さ
れる過飽和状態になる。このとき、図２のように、全て
の磁区方向は一定方向に固定されて動かなくなる（図３
に示す飽和磁束密度Ｂｍ以上の過飽和領域の磁界強
度）。この状態で、磁性体内における磁区の方向を全て
一方向に完全固定するための磁界強度よりも幾分か低い
磁界（図３のＢｍ以下の値）を直角方向に照射する（図
２参照）。このときの磁力線は、予め照射した他の強力
な外部磁界によって一定方向に固定された磁区方向を変
化させることができないため、磁力線は容易に磁性パイ
プを透過する。

【００１１】このようにして、磁性パイプをパイプ軸方
向に過飽和磁化状態にすれば（図２）見掛け上、磁性パ
イプは非磁性パイプのような挙動を示す。磁性パイプの
磁気的過飽和状態の度合いは、図３に示す磁性材料のＢ
−Ｈ曲線（磁化特性曲線）に依存して決まる。一般に薄
肉磁性パイプは簡単に飽和磁束密度に達し易く、過飽和
状態にし易いので、内面磁気研磨加工に適する。図４
は、具体例としての長尺の磁性体パイプの内面研磨装置
の模式図を示す。磁性パイプ４の磁気的過飽和状態は電
磁コイル（または永久磁石）９−ヨーク７−磁性パイプ
４から構成される閉磁気回路によって実現される。約４
ｍの長尺の磁性パイプ４については、加工ユニット全体
を磁性パイプ４の軸方向に移動させることによって研磨
される。回転磁極装置および加工条件は、従来からの非
磁性パイプ内面磁気研磨装置および研磨条件をそのまま
用いることができる。

【００１２】例えば、磁性砥粒を駆動する磁界として一
様な均一磁場分布を採用せざるを得ないパイプ等のワー
ク径がきわめて小さいものの内表面の精密仕上げにおい
ては、前記磁性砥粒に加えて磁気的異方性あるいは形状
異方性を有する磁性粒子を混入させることによって、ワ
ークと磁界とが相対回転した場合に、磁性粒子が研磨抵
抗に打ち勝って回転磁極に追従して容易に回転して、磁
性砥粒を研磨材とした研磨加工を効果的に行わせたり、
前記磁界を印加するところの磁石が永久磁石あるいは電
磁コイルもしくはこれらの組合せから構成して、永久磁
石における回転数制御による磁場変動制御に優先させて
電磁石の電流制御により励磁力を変動させて磁場を変動
制御させて、より精密な磁場制御も可能となる。

【００１３】さらに、前記磁性砥粒等の工具として、磁
性工具を樹脂等の非磁性材料にてコーティングするか、
あるいは非磁性工具を磁性材料にてコーティングして、
種々の素材を工具として用いて設計の自由度を向上させ
たり、工作物加工面に対する影響を微妙に調整すること
も可能となる。また、パイプ状のワークに油等の液状潤
滑剤を封入して湿式研磨がなされるように構成した場合
は、研磨が円滑になされて散塵も抑制され、作業終了後
の工具と工作物との分離の手間を少なくするように構成
してもよい。また、前記磁性砥粒や磁性工具および液状
潤滑剤等のスラリーをポンプ等により強制循環させて、
常に研磨材を新しいものに代えて研磨能力を維持し、か
つ研磨面の冷却によって研磨時の焼付きを効果的に防止
することもできる。

【００１４】次に、第２番目の発明として、磁性材料の
キュリー点を利用する実施の形態を説明する。すなわ
ち、磁性材料のキュリー温度（磁性イオンの磁気モーメ
ントが一方向に揃っている強磁性状態の磁性体における
自発磁化は温度上昇とともに減少し、ある温度以上では
常磁性体に戻るというキュリーの法則に基づく）を利用
し、加工部を局所的に強磁性体またはフェリ磁性体から
常磁性体に磁気転移させ、従来から提案された非磁性工
作物を加工対象とする内面磁気研磨法を利用して磁性工
作物内面を精密研磨する方法を提案するものである。図
５に示すように、磁性体からなるパイプ等ワーク４にお
ける磁性材料部分を、昇温装置例えば高周波誘導加熱装
置１０によってキュリー温度以上に昇温させることで、
常磁性体に磁気転移させるとともに、パイプ等ワーク４
内に収容した磁性砥粒５に磁石（電磁コイルが好まし
い）３による磁界を印加し、前記ワーク４と磁界とを相
対運動させることによって、ワーク４の内面を研磨する
ことを特徴とする。

【００１５】前記高周波誘導加熱技術等を利用して磁性
ワークの加工部を局所的に磁気転移する温度にまで加熱
して高温状態で研磨が行われて、ワークおよび加工部に
供給した磁性砥粒等の工具表面は酸化が進行するため、
少なくとも加工部の雰囲気を不活性ガス等で制御する等
の酸化防止対策を施す必要がある。図示の例ではワーク
を含めた加工装置全体を不活性ガス雰囲気中に閉じ込め
た室内が構成されている。一方、磁性工具を駆動する磁
界発生源である磁石についても高温雰囲気に耐熱性の低
い永久磁石を設置した場合には、永久磁石は強磁性を喪
失してしまい、磁性工具への作用磁力（加工力）を低下
させて加工不能に陥らせる。したがって、好適には永久
磁石に代えて電磁コイルが磁界発生源として採用され
る。

【００１６】Ｎｉ−Ｆｅ合金におけるキュリー温度を例
に採れば、キュリー点はＮｉ含有量によって左右される
が、１５０〜９００°Ｋの範囲で変化する。このこと
は、磁性パイプを室温から徐々に昇温することによって
透磁率が低下することを意味しており、透磁率の低下に
よって磁気飽和の程度が低くなり、磁性管における磁力
線の透過度を昇温化することによって高められる。ワー
ク４と磁界とを相対運動させる形態として、静止したワ
ーク４に対して電磁コイル３を矢印のように振動させた
り、ワーク４の軸回りに揺動させてもよいし、静止した
電磁コイル３に対してワーク４を軸心回りに回転させて
もよい。あるいは、通電ブラシを介して電磁コイル３を
回転させることにより屈曲パイプにも対応した研磨も可
能となる。以上の動作を組み合わせることもできる。

【００１７】以下、本発明における磁性材料の磁気的過
飽和現象を加工原理とした実験装置による実験結果の確
証を順を追って説明する。前記図１に示した磁性パイプ
内面の磁気研磨装置において、Ｎ・Ｓ磁極間の磁性パイ
プ材４に磁力線が流れるため、磁性パイプ４内空間に磁
気は作用せず、内面研磨は不可能である。しかし、Ｎ・
Ｓ磁極間の磁場強度を高めてＮ極から発する磁力線の本
数を増大していくことで磁性パイプ４は磁気的飽和状態
におかれ、パイプ４中を流れる磁力線の本数が限界値に
達し、これ以上の本数の磁力線は流れなくなる。したが
って、残りの磁力線は否応なしに磁性パイプ４内の空間
に作用して、内面磁気研磨加工に関与することになる。

【００１８】この磁気的過飽和状態における磁性パイプ
４内の磁区６の方向と、パイプ４を透過してパイプ４内
空間へ透過していく磁石による磁力線の方向を直交させ
る。この事象は図２の状態に類似している。電磁コイル
を使用して実験し、磁性平板（ＳＰＣＣ）を透過する磁
束密度と距離Ｚの関係を求めた結果を図９に示す。非磁
性材料のステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）が最大透過度を
示すことはいうまでもない。磁性材料（ＳＰＣＣ）の場
合は、薄手平板ほど磁束の透過度が高いことが分かる。
厚さ４ｍｍの磁性平板は磁力線を全く透過しない。

【００１９】図１０に、磁性パイプ４内の空間に磁性砥
粒５のモデルとして４ｍｍ径の鋼球を設置し、鋼球に作
用する磁気吸引力を測定した結果を示す。この磁気吸引
力は磁性砥粒５がパイプ４内面に作用する加工力に相当
する。非磁性材料のステンレス鋼が大きな磁気吸引力を
示すことは当然ながら、反面、磁性パイプの場合の磁気
吸引力はパイプ肉厚が厚くなるほど逆に小さくなること
が分かる。磁力線がパイプ内空間に透過し難くなるため
である。しかし、パイプ肉厚が０．４ｍｍ〜０．６ｍｍ
では相応の磁力線透過量があり、磁性パイプ内面の面積
との集積で与えられる磁気吸引力の合力はステンレス鋼
の値よりも高くなっている。このことは、磁性パイプの
加工の可能性を示唆する。

【００２０】図１２は、図１に示した実験方法にしたが
い、図１１の加工条件で内面加工したときの結果であ
る。加工時間は２分間である。加工前の表面粗さ２μｍ
Ｒｙ（０．２８μｍＲａ）が、ステンレス鋼の非磁性材
パイプでは０．２５μｍＲｙ（０．０５μｍＲａ）に仕
上げられる。一方、磁性パイプの場合には、非磁性材料
のステンレス鋼ほど研磨速度は速くないが、次第に鏡面
化していることが分かる。パイプ肉厚が厚くなるほど仕
上げ面粗さは粗くなっている。磁力線の透過量が小さく
なるため加工圧力が低下し、前加工面の粗面が除去し難
くなったためと考えられる。充分な加工時間を経過すれ
ば鏡面磁気研磨が可能と推測できる。以上の実験結果か
ら、磁性パイプ肉厚部（磁性材料）を磁気的過飽和状態
に置くことによって、見掛け上、磁性パイプを非磁性化
して内面磁気研磨加工できることが実証できた。

【００２１】以上、本発明の実施の形態について説明し
てきたが、本発明の趣旨の範囲内で、磁性体ワークの形
状、種類、材質、強力磁気印加装置の形状、形式、磁性
砥粒あるいは磁性砥粒とともに混入される磁性工具や液
状潤滑剤の形状、材質、これら磁性砥粒等に磁界を印加
する磁石の形状、形式および配置形態、前記ワークと磁
界とを相対運動させる駆動装置の形式、相対運動の形態
（回転、スライドおよびそれらの組合せ等）、磁性材料
部分をキュリー点以上に加熱する昇温装置の形状、形
式、加工部の酸化を防止するための対策形態（不活性ガ
ス雰囲気室内への加工装置の設置の他、加工部への不活
性ガスの供給等）、強力磁気印加装置と昇温装置との併
用、ヨークの形状、磁極の形状、およびこれらの間の関
連構成磁界の強さ、研磨時間等は適宜選定できる。

【００２２】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明で
は、磁性体からなるパイプ等ワークにおける磁性材料部
分を強力磁気の印加により磁気的に過飽和状態として磁
性材料内の磁区の方向を一定方向に固定するとともに、
パイプ等ワーク内に収容した磁性砥粒に前記磁区の方向
を乱さない程度の磁界を印加し、前記ワークと磁界とを
相対運動させることによって、ワークの内面を研磨する
ように構成したので、ワークである磁性体が恰も非磁性
体であるかのような挙動を呈している間に、磁性工具に
磁界を印加して磁性体の加工面を加工することができ、
これまで不可能とされていた半導体・医療機器・分析機
器製造等の各種産業における微細径パイプや屈曲パイプ
等の磁性材への磁気研磨法が適用でき、磁気研磨法の加
工分野の裾野が格段に広がることとなった。

【００２３】また、磁性体からなるパイプ等ワークにお
ける磁性材料部分をキュリー温度以上に昇温させて常磁
性体に磁気転移させるとともに、パイプ等ワーク内に収
容した磁性砥粒に磁界を印加し、前記ワークと磁界とを
相対運動させることによって、ワークの内面を研磨する
ように構成したので、磁性体からなるパイプ等ワークに
おける磁性材料部分に昇温装置を適用するだけで、ワー
クである磁性体が恰も非磁性体であるかのような挙動を
呈している間に、磁性工具に磁界を印加して磁性体の加
工面を加工することができる。

【００２４】さらに、前記昇温装置が高周波誘導加熱装
置である場合は、加熱、昇温のための熱源が清潔で安全
であり、温度制御も確実かつ精密に行える。さらにま
た、前記ワークにおける少なくとも加工部を不活性ガス
雰囲気中に配設した場合は、工具を含む加工部の酸化を
有効に防止できるとともに、局部的に加工部のみに不活
性ガスを噴射するもののような面倒な工程が不要とな
る。このように本発明によれば、不可能とされていた磁
性体内部に磁力線を透過させることによって磁性パイプ
内面の鏡面仕上げを磁気研磨法によって行うことを可能
にした磁性体の加工方法およびその装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁性材の加工方法およびその装置の模
式図である。

【図２】同、磁性材料の磁気的過飽和状態の説明図であ
る。

【図３】同、磁性材料の磁界の強さと磁束密度との関係
図である。

【図４】同、細長い磁性パイプ内面の磁気研磨原理図で
ある。

【図５】同、昇温装置を使用した磁性材の加工装置の模
式図である。

【図６】非磁性パイプの内面磁気研磨の原理図である。

【図７】同、磁力線分布である。

【図８】非磁性パイプの内面磁気研磨装置を使用して行
った結果図である。

【図９】非磁性および磁性板における磁気透過度測定値
図である。

【図１０】非磁性および磁性パイプ内に設置した鋼球に
作用する磁気吸引力図である。

【図１１】図１の実験装置における加工条件図である。

【図１２】非磁性および磁性パイプ内面の磁気研磨結果
図である。

【符号の説明】

１ 強力磁気印加装置 ２ 磁極 ３ 磁石 ４ 磁性パイプ ５ 磁性砥粒 ６ 磁力線（磁区） ７ ヨーク ８ 鉄心 ９ コイル １０ 高周波誘導加熱装置（昇温装置） Ｖ 直流電源

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性体からなるパイプ等ワークにおける
   磁性材料部分を強力磁気の印加により磁気的に過飽和状
   態として磁性材料内の磁区の方向を一定方向に固定する
   とともに、パイプ等ワーク内に収容した磁性砥粒に前記
   磁区の方向を乱さない程度の磁界を印加し、前記ワーク
   と磁界とを相対運動させることによって、ワークの内面
   を研磨することを特徴とする磁性材の加工方法。
2. 【請求項２】 磁性体からなるパイプ等ワークにおける
   磁性材料部分をキュリー温度以上に昇温させて常磁性体
   に磁気転移させるとともに、パイプ等ワーク内に収容し
   た磁性砥粒に磁界を印加し、前記ワークと磁界とを相対
   運動させることによって、ワークの内面を研磨すること
   を特徴とする磁性材の加工方法。
3. 【請求項３】 磁性体からなるパイプ等ワークと、該ワ
   ークに近接配置されてその磁性材料部分を磁気的に過飽
   和状態とするための強力磁気印加装置と、前記ワーク内
   に収容した磁性砥粒に磁界を印加する磁石と、前記ワー
   クと磁界とを相対運動させる駆動装置とからなることを
   特徴とする磁性材の加工装置。
4. 【請求項４】 磁性体からなるパイプ等ワークと、該ワ
   ークに近接配置されてその磁性材料部分をキュリー点以
   上に加熱して常磁性体に磁気転移させる昇温装置と、前
   記ワーク内に収容した磁性砥粒に磁界を印加する磁石
   と、前記ワークと磁界とを相対運動させる駆動装置とか
   らなることを特徴とする磁性材の加工装置。
5. 【請求項５】 前記昇温装置が高周波誘導加熱装置であ
   ることを特徴とする請求項４に記載の磁性材の加工装
   置。
6. 【請求項６】 前記ワークにおける少なくとも加工部を
   不活性ガス雰囲気中に配設したことを特徴とする請求項
   ４または５に記載の磁性材の加工装置。