JPH04155609A - 複合型磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高密度磁気記録用の磁気ヘッドに関し。

特に記録専用のヘッドとして磁気誘導型ヘッド（以下Ｍ
Ｃ，ヘッドと記述する）を、再生専用のヘッドとして磁
気抵抗効果型ヘッド（以下ＭＲヘッドと記述する）を併
せて備えた複合型磁気ヘッドおよびその製造方法に関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来、磁気記録装置に使用される磁気ヘッドとしては、
記録用ヘッドと再生用ヘッドとを兼用しているものが広
く使用されている。しかしながら近年においては、−段
と向上を要請されている磁気記録の高密度化を図るため
に、上記の磁気ヘッドとして記録用ヘッドと再生用ヘッ
ドとを分離した構成の複合型磁気ヘッドが提案されてい
る。

この提案の目的は、磁気ヘッドにおける記録性能と再生
性能とが、必ずしも同一の構成若しくは仕様によっては
最適化が困難である点を解決しようとするものである。

すなわち記録用ヘッドと再生用ヘッドとを分離して専用
化し、各々の性能を向上させ、前記要請の高磁気記録密
度を達成しようとするものである。このような目的を達
成する磁気ヘッドの構成に関しては１例えば特開昭５０
−９０３５５号公報やＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓ、　Ｍａｇ
ｎｅｔｉｃｓ、　ＭＡＧ　１７（１９８７）、　Ｐ、２
８９０〜２８９２において論じられている。

また、記録再生分離型の磁気ヘッドを具現化する手段と
しては、２通りのものが考えられる。その一つとしては
１例えば特開昭６４−８２３１２号公報に記載されてい
るように９両ヘッドを薄膜プロセスによって同一基板上
に順次積層することにより。

分離形成する手段である。他の一つの手段としては１例
えばＤｉｇｅｓｔ　ｏｆ　Ｉｎｔｅｒｍａｇ　Ｃｏｎｆ
ｅｒｅｎｃｅ、　ＥＢ−１０（１９８７）に開示されて
いるように１両ヘッドを基板上に並置して分離形成する
ものが考えられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記特開昭６４−８２３１２号公報記載のものにおいて
は、製造工程が記録再生兼用型の磁気ヘッドのものより
長くなる欠点がある。また薄膜プロセスによって再生用
の磁気抵抗素子（以下ＭＲ素子と記述する）の上層に記
録用ヘッドを積層する構成であるため、積層時の段差が
大になることにより。

パターンの合わせ精度の維持、薄膜加工等が困難である
という問題点がある。このため良品率の低下を招来する
のみならず、記録ヘッドの上下磁極層にも前記段差が反
映されるため、記録性能が劣化するという問題点も併存
する。

一方、　Ｄｉｇｅｓｔ　ｏｆ　Ｉｎｔｅｒｎａｌ　Ｃｏ
ｎｆｅｒｅｎｃｅに記載の磁気ヘッドにおいては、記録
用ヘッドと再生用ヘッドのトラック位置が異なるために
、記録再生兼用型の磁気ヘッドの使用を前提として構成
しである磁気ディスク装置にそのまま使用することは。

アクセス方法に支障があるため困難であるという問題点
がある。

本発明は上記従来技術に存在する問題点を解決し、近年
の要請に応え得る高磁気記録密度の、しかも信鯨性の高
い記録再生性能を有し、かつ良品率の高い複合型磁気ヘ
ッドを提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、第１の発明においては、磁
気誘導型ヘッド部と磁気抵抗効果型ヘッド部とを有する
複合型磁気ヘッドにおいて、少なくとも略Ｕ字形の開口
部を高透磁率材料によって形成してなるＣコア部材の開
口部に非磁性材料からなり略Ｉ字形に形成した基板を接
合し、Ｃコア部材および基板のトレーリングエツジ側に
非磁性材料からなる薄膜を部分的に介在させて高透磁率
材料からなるｆｌＭを被着して磁気誘導型ヘッドを形成
し、高透磁率材料からなる薄膜上に絶縁膜を介して磁気
抵抗素子を設けて磁気抵抗効果型ヘッドを形成し、これ
らのヘッド部の磁気ギャップを同一トラスフ上に臨むよ
うに配置する。という技術的手段を採用した。

上記の発明において、Ｃコア部材をフェライトのような
高透磁率材料で形成してもよく、また非磁性材料によっ
て形成した後に、開口部に高透磁率材料からなる薄膜を
被着して形成してもよい。

次に第２の発明においては、磁気誘導型ヘッド部と磁気
抵抗効果型ヘッド部とを有する複合型磁気ヘッドの製造
方法において、少なくとも略Ｕ字形の開口部を高透磁率
材料によって形成してなるＣコア部材の開口部に非磁性
材料からなり略■字形に形成した基板をガラスボンディ
ング接合した後、基板の余剰部分を切断除去し、Ｃコア
部材および基板のトレーリングエツジ側を鏡面ラッピン
グ加工し、このトレーリングエツジ側に非磁性材料から
なる薄膜を部分的に介在させて高透磁率材料からなる薄
膜を被着して磁気誘導型ヘッドを形成し、高透磁率材料
からなる薄膜上に絶縁膜を介しかつ磁気ギャップが前記
誘導型ヘッド部の磁気ギャップと同一トラック上に臨む
ように磁気抵抗素子を設けて磁気抵抗効果型ヘッド部を
形成する。

という技術的手段を採用した。

上記の発明においても、Ｃコア部材の構成を前記第１の
発明と同様にすることができる。

〔作　用〕

上記の構成により、記録専用のＭＧヘッド部と再生専用
のＭＲヘッド部とが各々別個の工程で形成されるため１
両ヘッド部をｉＷＩプロセスによって同一基板上に順次
積層することによって形成する手段に比べて、　Ｉ！！
！プロセスの工数が少なくて済むと共に、薄膜加工が容
易であり、良品率を高めることが可能である。またＭＧ
ヘッド部を形成するガラスボンディングを先の工程で行
なった後に、若しくは別工程においてＭＲヘッド部を形
成する構成であるため、ガラスボンディング時の加熱に
よりＭＲヘッド部を損壊する懸念は全くない。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例を示す要部側面図である。第１
図において、１はＣコア部材であり１例えばＭｎ−Ｚｎ
フェライトにより、略Ｕ字形の開口部１ａを有するブロ
ック状体に形成する。２は基板であり９例えばＭｎＯ・
ＮｉＯのような非磁性材料によって形成し、前記Ｃコア
部材１の開口部１ａに嵌着する０次に３はガラスであり
、Ｃコア部材１と基板２とを接合固着しており１例えば
５５０°Ｃに加熱した際の棒状ガラス（図示せず）の溶
融によって形成され、所謂ガラスボンディング手段によ
る。４は薄膜であり２例えばＳｉＯｏ、からなる非磁性
材料をスパッタ等の手段によって基板２のトレーリング
エツジ２ａの一部に被着させる。この薄ｌ！１４はＭＧ
ヘッド部を構成する磁気ギャップを形成する。５は薄膜
であり１例えばＦｅ−へ１−５ｉ合金のような高透磁率
材料からなり、基板２のトレーリングエツジ２ａおよび
薄膜４の表面にスパッタ等の手段によって被着し、ＭＧ
ヘッド部を形成する。６はＭＲ素子であり１絶縁層７を
介して前記薄膜５上に設け、ＭＲヘッド部を形成する。

なお薄Ｍ４によって形成されるＭＧヘッド部の磁気ギャ
ップと、ＭＲヘッド部の磁気ギャップ（何れも図示せず
）とは、磁気記録媒体（図示せず）の同一トラック上に
臨むように配置する。

上記の構成により、Ｃコア部材１にコイル（図示せず）
を巻装し、ＭＧヘッド部を構成する磁気ギャップ（薄膜
４の部分）と、ＭＲヘッド部を構成する磁気ギャップ（
図示せず）とを磁気記録媒体に臨ませて作動させれば、
コイルへの信号電流と対応する磁束が磁気ギャップから
磁気記録媒体に漏洩するから、磁気記録媒体の記録を行
なうことができる。一方再生の際は、磁気記録媒体から
の磁束の変化がＭＲヘッド部を構成する磁気ギャップか
らＭＲ素子６に作用し、これをＭＲ素子６からの電気的
出力として検出することができるから、磁気記録媒体中
の記録を再生することができる。

第２図（ａ）Φ）は各々第１図に示す複合型磁気ヘッド
を製造する工程の一部を説明する要部側面図であり、同
一部分は前記第１図と同一の参照符号で示す、まず第２
図（ａ）に示すように、　　Ｍｎ（ｌＮｉｏからなる非
磁性材料により、基板素材２１を作製した後、その突部
２１ａ（後に基板２を形成する部位）をＣコア部材１の
開口部ｌａ内に嵌合させて。

ボイドその他の欠陥を発生しない高品質のガラス３によ
り、５５０〜６００℃のガラスボンディングで一体に接
合固着する０次に第２図（ハ）に示すように。

基板素材２１の余剰部２１ｂを、Ｃコア部材１の端部近
傍において切断又は研削除去する。上記切断又は研削加
工後、Ｃコア部材１および基板２のトレーリングエツジ
２ａを鏡面ラッピング加工する。以後は第１図に示すよ
うに、ＩＩ膜４，５．絶縁層７を順次積層してＭＲ素子
６を設ければよい１第３図は本発明の他の実施例を示す
要部側面図であり、同一部分は前記第１図および第２図
（ａ）（ｂ）と同一の参照符号で示す、第３図において
、１１はＣコア基体であり１例えばＭｎＯ・ＮｉＯのよ
うな非磁性材料により、略Ｕ字形の開口部１１ａを有す
るブロック状に形成する。１１ｂは薄膜であり。

例えばＦｅ−Ａ　１．−５ｉ合金のような高透磁率材料
によって形成し、Ｃコア基体１１の開口部１１ａの内面
および端面部１１ｃにスパッタ等の手段によって被着し
、Ｃコア部材１を構成する。その他の構成は前記第１図
に示すものと同様であり、従って作用もまた同様である
。

第４図（ａ）（ｂ）　（Ｃ）は夫々第３図に示す複合型
磁気ヘッドを製造する工程の一部を説明する要部側面図
であり、同一部分は前記第１図、第２図（ａ）ら）およ
び第３図と同一の参照符号で示す。まず第４図（ａｌに
おいて、Ｃコア基体１１の開口部１２ａの内面および端
面部１１ｃに高透磁率材料からなる薄膜１１ｂを被着し
、Ｃコア部材１を製作する。以後、　　の工程は前記第
２図（ａ）（ｂ）と同様であり、第４図（ｂ）に示すよ
うに基板素材２１をＣコア部材１にガラスボンディング
した後、第４図（Ｃ）に示すように余剰部２１ｂを切断
又は研削除去し、Ｃコア部材１および基板２のトレーリ
ングエツジ２ａを鏡面ラッピング加工する。以後は第３
図に示すように薄膜４，５．絶縁層７を順次積層してＭ
Ｒ素子６を設ければよい。

本実施例においては、ＭＧヘッド部としてコンポリシッ
ク型のものを使用した例については記述したが、他の形
式のものを使用しても作用は同様である。またｌコアお
よびＣコアを形成する材料としてはＭｎ−Ｚｎフェライ
ト以外の高透磁率材料を使用してもよい。なおＭＲ素子
の形成手段としては、スパッタを初めとする公知の手段
を使用できる。

〔発明の効果〕

本発明は以上記述のような構成および作用であるから、
下記の効果を奏し得る。

（１）記録用ヘッドであるＭＧヘッド部を先に形成した
後にＭＲヘッド部を形成する構成としたことにより、ガ
ラスボンディング時の加熱により。

ＭＲヘッド部および／または薄膜を破壊することがなく
、高品質を維持できる。

（２）　　ＭＧヘッド部とＭＲヘッド部との間隔を小に
することができ、トラック上の両ヘッド部の位置ずれを
防止できる。

（３）ＭＧヘッド部とＭＲヘッド部とを別個の薄膜プロ
セスで形成するため、薄膜加工が容易であり、良品率を
高めることが可能である。

（４）記録用ヘッド部と再生用ヘッド部とを分離して形
成したため、高磁気記録密度であると共に。

信頼性の高い記録再生が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す要部側面図、第２図（ａ
）（ロ）は各々第１図に示す複合型磁気ヘッドを製造す
る工程の一部を説明する要部側面図、第３図は本発明の
他の実施例を示す要部側面図、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ
）は夫々第３図に示す複合型磁気ヘッドを製造する工程
の一部を説明する要部側面図である。 １：Ｃコア部材、２：基板、４，５：ｆｉ膜。 ６：ＭＲ素子。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気誘導型ヘッド部と磁気抵抗効果型ヘッド部と
   を有する複合型磁気ヘッドにおいて、少なくとも略Ｕ字
   形の開口部を高透磁率材料によって形成してなるＣコア
   部材の開口部に非磁性材料からなり略Ｉ字形に形成した
   基板を接合し、Ｃコア部材および基板のトレーリングエ
   ッジ側に非磁性材料からなる薄膜を部分的に介在させて
   高透磁率材料からなる薄膜を被着して磁気誘導型ヘッド
   を形成し、高透磁率材料からなる薄膜上に絶縁膜を介し
   て磁気抵抗素子を設けて磁気抵抗効果型ヘッドを形成し
   、これらのヘッド部の磁気ギャップを同一トラック上に
   臨むように配置したことを特徴とする複合型磁気ヘッド
   。
2. （２）磁気誘導型ヘッド部と磁気抵抗効果型ヘッド部と
   を有する複合型磁気ヘッドの製造方法において、少なく
   とも略Ｕ字形の開口部を高透磁率材料によって形成して
   なるＣコア部材の開口部に非磁性材料からなり略Ｉ字形
   に形成した基板をガラスボンディング接合した後、基板
   の余剰部分を切断除去し、Ｃコア部材および基板のトレ
   ーリングエッジ側を鏡面ラッピング加工し、このトレー
   リングエッジ側に非磁性材料からなる薄膜を部分的に介
   在させて高透磁率材料からなる薄膜を被着して磁気誘導
   型ヘッドを形成し、高透磁率材料からなる薄膜上に絶縁
   膜を介しかつ磁気ギャップが前記誘導型ヘッド部の磁気
   ギャップと同一トラック上に臨むように磁気抵抗素子を
   設けて磁気抵抗効果型ヘッド部を形成したことを特徴と
   する複合型磁気ヘッドの製造方法。