JPH04125806A

JPH04125806A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH04125806A
Application number: JP24627990A
Authority: JP
Inventors: Kazuyasu Kaneko; 金子　一康; Yuji Fujita; 雄二藤田; Riyouji Shirogami; 亮治白上; Hikoyata Abe; 阿部　彦弥太
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 1990-09-18
Filing date: 1990-09-18
Publication date: 1992-04-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は磁気ヘッドに関する。更に詳述すると、本発明
は高密度磁気記録に用いて好適なヘッドコアと強磁性金
属の薄膜とを組合せた磁気ヘッドに関する。

〈従来の技術）最近、磁気記録の高密度化に伴って記録再生信号の周波
数帯域を高くする傾向にある。これに対応する磁気へ・
ソドヒしては、従来、強磁性酸化物より成るコアに強磁
性金属の薄膜を形成し、非磁性材料を挾んでギャップを
形成する磁気ヘッドが知られている。このような磁気ヘ
ッドにおいては、非磁性材を挾んでギャップを構成する
金属薄膜に高周波領域において渦電流が発生するため、
渦電流損失に因る特性の劣化即ち出力低下が問題となる
。

そこで、従来、第６図（Ａ）に示すように、強磁性金属
材層１０１と絶縁材層１０２とを交互に積層させた多層
磁性膜１０３によって強磁性金属の薄膜を構成し、強磁
性膜の固有抵抗を上げて渦電流損失を低下させ高周波特
性を改善しようとする磁気ヘッドが提案されている（特
開昭６１−２１７９０１号）尚、符号１０４はコア半体
、１０６はコイルである。

また、第６図（Ｂ）に示すように、コイル窓２０５の近
傍の強磁性金属薄膜を、強磁性ｆＬ属の層２０１と非磁
性材の層２０２との多層磁性膜２０３で構成し、ギャッ
プＧのテープ摺動面２０６近傍及びバ・ツクギャップ部
分２０７を強磁性金属の単層磁性膜２０８で構成した磁
気ヘッドも提案されている（特開昭６３−２５９８１０
号）。尚、符号２０４はコア半体である。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、多層磁性膜１０３によってギャップＧを
構成する第６図（Ａ）の磁気ヘッドの場合、磁性層１０
１と非磁性層１０２とがギャップＧに対し平行であるた
め、各磁性層１０１部分において擬似ギャップが生じ、
擬似出力を起こす問題がある。

また、ギャップＧのテープ摺動面２０６近傍及びパック
ギャップ２０７部分のみに強磁性金属の単層膜２０８を
形成する第６図（Ｂ）のヘッドの場合には、この単層磁
性膜２０８と多層磁性Ｍ２Ｏ３との境界部分を設けた構
成の製造が難しいと共に疑似ギャップが生ずる構成とな
っている。

本発明は擬似出力の少ない磁気ヘッドを提供することを
目的とする。また、本発明の他の目的は広帯域において
記録・再生特性が良好な磁気へ・・ｌド、特に高周波特
性を向上させｆＳ磁気ヘッドを提供することを目的とす
る。

（課題を解決するための手段）かかる目的を達成するため、本発明は、トラ・ツク幅の
ポールピース部に強磁性金属の単層磁性膜を膜付けした
コア半体を対向させて前記単層磁性膜間でギャップを形
成すると共に、上記単層磁性展間にコイル窓を形成し該
コイル窓を利用して巻線をする磁気ヘッドにおいて、前
記ギャップ部におけるコア半体への単層磁性膜の膜付面
を前記ギャップとは非平行に形成すると共に上記単層磁
性膜上または膜下であって上記コイル窓を構成する部分
に非磁性材層と強磁性材層とを交互に積層した多層磁性
膜を設けるようにしている。

（作用）したがって、磁気ギャップ部分は単層磁性膜によって構
成して簡単な構成で疑似ギャップの発生を防止する一方
、コイル窓部は単層磁性膜と多層磁性膜によって磁路を
構成して渦電流損失を低減し、高周波特性を向上させて
いる。

（実施例）以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基づいて詳細
に説明する。

第１図に本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す。

この磁気ヘッドは、ギャップ対向面５に強磁性金属の薄
膜２．３．４を膜付けした一対のコア半体ｌａ、ｌｂを
５Ｌ０２等の低透磁率材料のスペーサ６を介在させて突
合せ、溶融ガラス７等で接合することによって両コア半
＃１ａ、１ｂの金属薄［４，４の間でギャップＧを形成
するように構成されている。

コア半体１ａ、ｌｂには必要に応じてセラミックス苓の
非磁性のヘッド基板材料みるいは高透磁率のフェライト
、センダスト合金等の磁性のヘッド基板材料が使用され
る。例えば、コア半体１ａ。

１ｂとしては、５　Ｍ　Ｈｚ程度の高域までの使用を前
提とする場合にはフェライト等の強磁性酸化物が使用さ
れるが、更に高域の周波数例えばＩＯＭＨｚ付近での使
用を前提とする場合にはセラミックス非磁性体が使用さ
れる２強磁性金属の薄膜は単層によって構成される磁性！［２
％分と多層磁性Ｗ！３．４によって構成される部分とが
ある。本実論例の場合、コイル窓８の周辺に形成された
第１の多層磁性膜３と、その上にポールピース部１０か
らコイル窓８を経てパックギャップ１１までに連続的に
形成された単層膜２と、更にその上にコイル窓８部分に
のみ形成された第２の多層磁性膜４とから成る。多層磁
性膜３．４は強磁性金属の層３ａ、４ａと非磁性材料の
層３ｂ、４ｂとを交互に積層したものである。

強磁性金属としては、例えばセンダストのようなものが
使用され、非磁性材料としてはガラス５ｉ０２のような
ものが使用されている。これら磁性材層３ａ、４ａと非
磁性材層３ｂ、４ｂとは公知の薄膜形成技術例えばスパ
ッタリングやイオングレーティング等によって均一な膜
厚となるように形成され、単層磁性膜を含めて全体とし
て磁気飽和を避けるために十分な膜厚に形成されている
。上記のように、コイル窓８と形成する部分か多層磁性
膜及び単層磁性膜で構成されていると、この部分では磁
束は主に多層磁性膜を流れるので、渦′Ｓ流損失か減少
し、高周波特性が向上する。

また、ポールピース部１０のギャップ対向面５は、ギャ
ップＧに対し傾いた斜面で構成される。

例えば、第１図（Ｃ）に示す拡大図のように、ギャップ
Ｇに対し＃Ｉ斜する“く”の字型のギャップ対向面５を
形成し、擬似ギャップの発生を防ぐようにしている。更
に、ディプスエンド付近におけるギャップ対向面５とコ
イル窓８を形成する多層磁性膜４との成すアペックス角
θ（第２図（Ａ）参照）は、１５°〜６５°の範囲、好
ましくは３０°〜４５°の範囲に設定されている。アペ
ックス角θを上述の範囲に設定する場合、第２図（Ｂ）
に示すように、比透磁率がｔｏｏｏ〜３０００の範囲に
収まるので、再生効率が向上する。

また、コイル窓８には記録信号及び再生信号を入出力さ
せるためのコイル９が巻回されている。

このコイル９はコイル窓８を利用して多層磁性膜４に巻
回される。コイル窓８は本実施例の場合、両方のコア半
＃ｌａ、ｌｂに対称に形成された両窓タイプとして磁束
伝達効率を上げているか、特にこれに限定されるもので
はなく、片息タイプであっても良い。

次に、上述の磁気ヘッドの製造方法について第３図（Ａ
）−（Ｅ）に基づいて説明する。尚、この製造方法はコ
イル窓８部分を単層磁性！ｌ！２とその上の多層磁性膜
４とで構成した場合の磁気ヘッドに適用されるものであ
る。

まず、結晶化ガラス等の非磁性物よりなる基板２０ａ、
２０ｂを用意し、この基板２０ａ、２０ｂのギャップ対
向面となる部分に所定の間隔でＶ形状の溝２２を研削な
どによって形成する（第３図（Ａ）参照）０次いで、こ
の基板２０ａ、２０ｂにＡ方向から上記Ｖ形状の渭２２
が埋まるように強磁性金属をスパッタリング等によって
成膜した後、上記基板２０ａ、２０ｂの面が露出するま
でラッピングして平坦化し、基板２０ａ、２０ｂにＶ形
状の第１の単層磁性膜２ａを形成し、そして、コイル窓
８を形成するための巻線溝２１を研削などによって加工
する（第３図（Ｂ）＃照）。

次に、第３図（Ｂ）におけるへ方自から、強磁性金属の
多層磁性膜２を成膜した後、磁性材層４ａと非磁性材層
４ｂとを交互に成膜して多層磁性膜４を形成する（第３
図（Ｃ）参照）。尚、単層磁性膜２ａと単層磁性膜２と
は同じ磁性膜同士であるからこの間に疑似ギャップが構
成されることはない。この後、第３図（Ｄ＞に二点鎖線
で示すようにトラック加工を行い、残った多層磁性膜４
をラヅピングして取除き、ギャップ対向面となる単層磁
性ＷＡ２を露出させれば、第３図（Ｅ）に示されるよう
に、巻線溝２１部分に成膜されている多層磁性ＷＡ４だ
けを残しギャップ対向面となる部分の多層磁性Ｉ！ｌ！
４が除去されたポールピース部１０を形成することがで
きる６次に、いずれか一方の基板のギャップ対向面側全
面に、即ち第３図（Ｂ）のＡ方向からギャップ材即ち５
ｉ０２等の非磁性材の薄ＷＡ６を成膜し、この非磁性材
の薄膜６を膜付けした基板２０ａと膜付けしていない基
板２０ｂとを溶融ガラス７で接合して一つのコアプロ・
ツクを得る。このコアブロックは図示していないが、そ
の後テープ摺接面を円筒研磨しチーブ摺接面を曲面に仕
上げると共に、コイル窓８に対応するコア側部に清を入
れる巻線外溝加工をして巻線の長さを短くできるように
した後、ギャップＧがテープ摺動方向に対して所定のア
ジマス角度を取るようにスライスして多数のへラドチッ
プを切出す。

そして、検査を経た後サポートヘッドベースに取付け、
必要に応じてトラック方向になじみを良くするための活
動面仕上げ加工等を施してから巻線される。尚、ギャッ
プ材たる非磁性材６の膜厚は、基板の一方にのみ形成す
る場合にはギャップ長さに相当させ、両基板に成膜する
場合には半分ずつとする。

また、第１図（Ｄ）に示すような、コイル窓部分を多層
磁性膜３と単層磁性Ｍ２と多層磁性膜４との三層構造の
磁気ヘッドとするには、第３図（Ｂ）の状態において、
第３図（Ｂ）におけるＡ方向から、単層磁性膜２ａの上
から磁性材層３ａと非磁性材層３ｂとを交互に成膜して
内側の多層磁性膜３を形成し、その後、内側の多層磁性
ＩＮ！３をラッピングしてギヤ・ツブ対向面となる単層
磁性Ｍ２ａを露出させる一方、巻線溝２１部分に成膜さ
れている多層磁性Ｍ３だけを残して他の部分を取除くよ
うにする。その後、第３図（Ｂ）におけるＡ方向から、
強磁性金属の単層磁性１！２を成膜した後、磁性材層４
ａと非磁性材層４ｂとを交互に成膜して外側の多層磁性
膜４を形成して第３図の工程を繰返せば、第１図（Ｄ＞
に示す磁気ヘッドを得ることができる。

また、結晶化ガラス等の非磁性物よりなる基板３０ａ、
３０ｂに、■形状の溝３２とコイル窓８を形成するため
の巻線溝３１とを研削などによって予め加工しておき（
第４図（Ａ）参照）、次いで、この基板３０ａ、３０ｂ
にＡ方向から上記■形状の溝３２が埋まるように強磁性
金属をスパッリング等によって成膜した後、上記基板３
０ａ。

３０ｂのギャップ対向面が露出するまでラッピングして
平坦化し、基板３０ａ、３０ｂに第１の単層磁性！！［
２ａを形成する（第４図（Ｂ）参照）。

次に、第４図（Ａ）におけるＡ方向から、単層磁性膜２
ａの上から強磁性金属の学層磁性＃２を成膜した後、磁
性材層４ａと非磁性材層４ｂとを交互に成膜して多層磁
性膜４を形成する（第４図（Ｃ）参照）、この後、第３
図の実施例と同様、トラック加工を行い、残った多層磁
性膜４をう・ソピングしてギャップ対向面となる単層磁
性膜２を露出させれば、第４図（Ｄ＞に示されるように
、巻線溝３１部分に成膜されている多層磁性膜４だけが
残り、ギャップ対向面となる部分の多層磁性膜４が除去
されたポールピース部１０を形成することができる。

尚、上述の実施例は本発明の好適な実施の一例ではある
がこれに限定されるものではなく本発明の要宮を逸脱し
ない範囲において種々変形実施可能である０例えば、本
実施例ではコイル窓８部分は多層磁性膜３と単層磁性！
Ｉ２と多層磁性膜４の三層構造としているが、いずれか
一方の多層磁性膜と単層磁性膜２の二層構造にしても良
い、この場合、多層磁性膜はコイル窓８の内側のもの、
即ち第１図において符号３で示される多層磁性膜を省き
、単層磁性膜２と多層磁性膜４とで形成することが好ま
しい、これによって、総研路長さを短くして低インダク
タンス化を図ることができる。

また、第５図（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第４図（Ａ
）の状態において磁性材層３ａと非磁性材層３ｂとを交
互に成膜して内側の多層磁性膜３を形成し、次いで、こ
の基板３０ａ、３０ｂＬ″−Ａ方向から上記Ｖ形状の溝
３２が埋まるように強磁性金属をスパッタリング蔓によ
って成膜して第１の単層磁性膜２ａを形成し、その後、
第４図（Ｃ）以降の工程を実施することによって、ポー
ルピース部ｌＯを多層磁性膜３と単層磁性膜２ａ及び単
層磁性膜２で構成するようにしてもよい、また、コイル
窓の形状は六角形に形成する場合に特に限定されず、円
弧状でも良い、このときギヤップディブス付近のアペッ
クス角度が１５゛〜６５°の範囲に収まるようにするこ
とが好ましい、また、コイル窓に巻かれるコイルは、コ
イル窓を通ってコアｆ＃の全体を巻回する場合に限らず
、磁気ヘッドとして充分な機械的強度が得られる範囲内
でコア半体に孔を開けあるいは清を入れ、巻回する巻線
の長さをできるだけ短くすることが好ましい。

（発明の効果）以上の説明より明らかなように、本発明は、磁気ギャッ
プ部分を単層磁性膜によって構成して簡単な構成で疑似
ギヤ・ｙグの発生を防止する一方、コイル窓部は単層磁
性膜と多層磁性膜によって磁路を構成しているので、渦
電流損失が低減し高周波特性を向上させることができる
。しかも、ギャップを構成する部位には金属磁性膜が多
量に付着しているので、記録再生特性が向上する。特に
、コイル窓部分に付着されている多層磁性膜のうち、内
側の多層磁性膜を極力薄くして総研路長さを短くする場
合、低インダクタンス化が図れ再生効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す図で、（
Ａ）は正面図、（Ｂ）はその平面図、（Ｃ）はポールピ
ース部分の拡大平面図、（Ｄ＋は多層磁性膜と単層磁性
膜との関係を説明する拡大正面図である。第２図（Ａ）はアペックス角の説明図、第２図（Ｂ）は
アペックス角と比透磁率との関係を示すグラフである。第３図（Ａ）−第３図（Ｅ）は本発明の磁気ヘッドの製
造方法の一例を示す工程図である。第４図（Ａ）−第４図（Ｄ）は他の磁気ヘッドの製造方
法の例を示す工程図である。第５図（Ａ）は本発明の他の実施例に係る磁気ヘッドの
要部を示す正面図及び第５図（Ｂ）はその平面図である
。第６図（Ａ）及び第６図（Ｂ）は各々従来の磁気ヘッド
の一例を示す斜視図である。ｌａ、ｌｂ・・・コア半体、２・・・単層磁性膜、２ａ・・・単層磁性膜、３．４・・・多層磁性膜、３ａ、４ａ・・・磁性材層、３ｂ、４ｂ・・・非磁性材層、５・・・ギャップ対向面、８・・・コイル窓、９・・・コイル、１０・・・ポールピース部。

Claims

【特許請求の範囲】

　トラック幅のポールピース部に強磁性金属の単層磁性
膜を膜付けしたコア半体を対向させて前記単層磁性膜間
でギャップを形成すると共に、上記単層磁性膜間にコイ
ル窓を形成し該コイル窓を利用して巻線をする磁気ヘッ
ドにおいて、前記ギャップ部におけるコア半体への単層
磁性膜の膜付面を前記ギャップとは非平行に形成すると
共に上記単層磁性膜上または膜下であって上記コイル窓
を構成する部分に非磁性材層と強磁性材層とを交互に積
層した多層磁性膜を設けたことを特徴とする磁気ヘッド
。