JPH04143946A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光磁気記録媒体、特にはシリコン基板を使用す
ることによって転送速度が早く、また信頼性にすぐれた
ものとした光磁気記録媒体に関するものである。

（従渫の技術） 近年、情報化社会の進展に伴なって大容量、媒体可換、
書換可能ということから光磁気記録媒体が注目を集めて
おり、この光磁気記録媒体についてはガラス、石英ガラ
ス、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリ
メチルメタクリレート樹脂などで作られた基板の上に誘
電体層、記録層、反射層などを設けたものが公知とされ
ている。

（発明が解決しようとする課題） しかし、この光磁気記録媒体において、この基板をガラ
スとするときにはこれが光学特性にすぐれているもので
あるけれども、これには重量が大きいためにディスクを
高速回転させることが難しいという不利があり、この基
板をポリカーボネート樹脂やポリメチルメタクリレート
樹脂製とすると、このものはガラスに比べて軽量である
だけに高速回転には有利であるが、これらは耐湿性、耐
熱性に劣るためにディスクが信頼性の欠けるものになる
という欠点がある。

また、これら従来公知の光磁気記録媒体では一般にレー
ザー光線が基板から入射されているが、これにはレーザ
ー光線が基板内を通過するために、基板材料の複屈折、
熱伝導といった光学特性、熱特性がこの光磁気記録媒体
の再生特性（Ｃ／Ｎ）や記録感度などのディスク特性に
悪影響を及ぼすという不利もある。

（課題を解決するための手段） 本発明はこのような課題を解決することのできる光磁気
記録媒体に関するもので、これは基板上に各種薄膜層を
設けてなる光磁気記録媒体において、この基板をシリコ
ン基板としてなることを特徴とするものである。

すなわち、本発明者らは従来公知の光磁気記録媒体にお
ける前記したような基板の選択による不利を解決する方
法について種々検討した結果、この基板をシリコン製の
ものとしたところ、シリコンがガラス基板に比べて軽い
のでディスクを高速回転させることができ、信号の転送
速度を上げることができるし、シリコンは従来公知のポ
リカーボネート樹脂に比べて耐湿性、耐熱性にすぐれて
いるので信頼性の高い媒体が得られることを見出すと共
に、シリコンを基板としたものはこの基板の反対側から
レーザー光線を入射すると、レーザー光線が基板内を通
過しないために基板材料の光学特性、熱特性を特徴とす
る特性の劣化を防止することができるということを確認
して本発明を完成させた。

以下にこれをさらに詳述する。

（作用） 本発明は基板としてシリコンを使用してなる光磁気記録
媒体に関するものである。

本発明の光磁気記録媒体は従来公知のガラス、石英ガラ
ス、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリ
メチルメタクリレート樹脂などからなる基板の上に誘電
体層、磁性層、反射層、保護層、コーティング層などの
ような各種薄膜層を設けてなる光磁気記録媒体における
基板をシリコン製のものとしたものである。

本発明の光磁気記録媒体で使用されるシリコン基板は公
知基板と同様にトラッキング用ガイドグループが形成さ
れたものとすることがよく、これは単結晶の場合はＣ２
法またはＦＺ法により、また多結晶の場合はトリクロロ
シランを用いたＣＶＤ法により製造された大きさが２〜
ｌＯインチで厚さが０．１〜１ｍ＋ａのものとすればよ
く、この上に保護層、誘電体層、磁性層、記録層、再生
層、反射層、コーティング層などを形成する。

したがフて、本発明の光磁気記録媒体は例えば第１図に
示したようにトラッキング用ガイドグループが形成され
たシリコン基板１の上に磁性層２、誘電体層３、コーテ
ィング層４が順次形成されたものとされる。この磁性層
２としては希土類元素−遷移金属元素からなるもの、例
えばＴｂ、　ｏｙ、Ｇｄ、　Ｎｄなどの希土類元素とＦ
ｅ、　に０１Ｎｉなとの遷移金属元素からなるＴｂＦｅ
、　ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅ、　ＧｄＤｙＦｅＣ。

などのような非晶質金属からなるものをスパッタリング
法や化学気相蒸着法などで厚さ２０−１．０００人に形
成させたものとすればよく、この誘電体層としてはＳｉ
Ｎ、　ＳｉＮ：８％ＳｉＣ：Ｈなどとすればよく、これ
はＳｔ、　ＳｉＮなどをターゲットとするスパッタリン
グ法または化学気相蒸着法で厚さ５０〜２，０００人の
ものとして形成させればよい。たま、このコーティング
層はオレフィン系樹脂、アクリル系樹脂を射出成形やス
ピンコード法でほこりやゴミに対して十分対応が可能な
膜厚に形成させたものとすればよい。

また、本発明の光磁気記録媒体は第２図に示したように
トラッキング用ガイドグループが形成されたシリコン基
板１と磁性層２との間に反射層５と誘電体層３を形成し
たもの、第３図に示したように第１図における磁性層２
を記録層６と再生層７とに分離して形成させたものであ
ってもよく、この場合の反射層５はＡｌｌ　Ｃｕ、　Ａ
ｇ、　Ｃｒまたはこれらの一元素を含む合金を厚さ５０
〜１，０００人に設けたものとすればよく、この記録層
６、再生層７は前記した磁性層と同じものとし、再生層
は５０〜１．０００人の厚さで形成したものとすればよ
い。

なお、本発明の光磁気記録媒体は上記した第１図〜第３
図に示したものに限定されず、これは例えばシリコン基
板の上に誘電体層と同じものからなる厚さが５０〜１，
０００人の保護層、磁性体層、誘電体層、コーティング
層が順次形成させたもの、シリコン基板上に反射層、磁
性層、誘電体層、コーティング層を順次形成させたもの
、シリコン基板上に保護層、記録層、再生層、誘電体層
、コーティング層を順次形成させたものであってもよい
。

本発明の光磁気記録媒体は上記したように従来公知のガ
ラス、石英ガラス、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフ
ィン樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂などから作ら
れた基板の代わりに、シリコン基板を使用するものであ
るが、これによればシリコンが従来のガラス基板に比べ
て軽いものであるためにディスクを高速回転させること
ができるので、信号の転送速度も大きくしたり、高密度
化をはかることができるという有利性が与えられるほか
、このシリコン基板がポリカーボネート樹脂のようなプ
ラスチック類に比べて耐湿性、耐熱性、耐久性にすぐれ
ているので、きわめて信頼性の高い光磁気記録媒体が得
られるという有利性も与えられる。

なお、従来公知の光磁気記録媒体ではレーザー光の入射
が基板側から入射されているために、レーザー光が基板
内を通過し、このときの基板材料の複屈折や熱伝導のた
めにこの光磁気記録媒体の光特性、再生信号のＣＡＮ、
記録感度に悪影響が見出されていたのであるが、本発明
の光磁気記録媒体では記録、再生のためのレーザー光線
の入射を基板の反対側から行なうことができ、この場合
にはレーザー光が基板を通過しないので、基板材料の複
屈折による再生信号のＣＡＮの低下、基板の熱伝導によ
る記録感度の低下ということが起こらないという有利性
も与えられる。

（実施例） つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。

実施例１ 表面にトラッキング用ガイドグループが形成された直径
３．５インチ、厚さ０．５　ａｍのシリコン基板に、厚
さが１００人の１反射層、厚さが３００人のＳｉＮ誘電
体層、厚さが２５０人の　ＴｂＦｅＣｏ磁性層および厚
さが１．０００人の５ｉＮＴＡ電体をスパッタリング法
で順次形成したのち、その上にアクリル樹脂からなるコ
ーティング層をスピンコード法でコーティングして光磁
気記録媒体を作り、この重量を測定すると共に、このも
のの再生特性（ＣＡＮ＞を測定したところ、３４１表に
示したとおりの結果が得られ、またこのものの８０℃、
８５％ＲＨでの耐久性試験を行なったところ、第４図に
示したような結果が得られた。

しかし、比較のために表面にトラッキング用ガイドグル
ープを形成した直径３．５インチ、厚さ０．５ｍｍのガ
ラス基板（比較例１）およびポリカーボネート樹脂基板
（比較例２）の上に、厚さ３００人のＳｉＮ誘電体層、
厚さが２５０人の　ＴｂＦｅＣｏ磁性層、厚さ１．００
０人のＳｉＮ　ｐｌ電体層および厚さが１００人の＾１
反射層を順次スパッタリング法で形成させて光磁気記録
媒体を作り、その重量と再生特性（ＣＡＮ）を測定した
ところ、第１表に併記したとお１づ結果が得られ、これ
らの８０℃、８５％ＲＨにおける耐久性試験を行なった
ところ、第４図に併記したとおりの結果が得られた。

′ｓｉ表 この結果、本発明の光磁気記録媒体はシリコン基板を使
用しているので比較例１のものにくらべて重量が軽く、
比較例のものにくらべて耐久性のすぐれたものであり、
これはまた比較例１．２のものにくらべて再生特性（Ｃ
／Ｎ）が大きいものであることが確認された。

（発明の効果） ４゜ 本発明は基板としてシリコン基板を用いてなる光磁気記
録媒体に関するものであるが、基板がシリコン基板とさ
れていると従来公知のガラス基板を用いたものに比べて
重量が軽くなるのでディスクを高速回転させること、信
号の転送速度を上げることができるし、シリコンは従来
公知のポリカーボネート樹脂などのプラスチックに比べ
て耐湿性、耐熱性、耐久性がすぐれているので信頼性の
高い媒体が得られるという有利性が与えられるほか、シ
リコンを基板としたものはこの基板の反対側からレーザ
ー光を入射させてもよく、これによればレーザー光線が
基板を通過しないので、基板材料の光学特性、熱特性を
特徴とする特性の劣化を防止することができるという有
利性も与えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明の光磁気記録媒体の構成図、第
４図は本発明の光磁気記録媒体と比較例１．２の光磁気
記録媒体の８０℃、８５％ＲＨにおける耐久性試験結果
を示したものである。 ｍ−保持時間（ｈ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光磁気記録媒体の基板をシリコン基板としてなるこ
   とを特徴とする光磁気記録媒体。２、シリコン基板がト
   ラッキング用ガイドグループを設けたものである請求項
   １に記載した光磁気記録媒体。 ３、シリコン基板上に磁性層、誘電体層、コーティング
   層が順次形成されてなる請求項１に記載した光磁気記録
   媒体。 ４、シリコン基板上に保護層、磁性層、誘電体層、コー
   ティング層が順次形成されてなる請求項１に記載した光
   磁気記録媒体。 ５、シリコン基板上に反射層、誘電体層、磁性層、誘電
   体層、コーティング層が順次形成されてなる請求項１に
   記載した光磁気記録媒体。 ６、シリコン基板上に反射層、磁性層、誘電体層、コー
   ティング層が順次形成されてなる請求項１に記載した光
   磁気記録媒体。 ７、シリコン基板上に記録層、再生層、誘電体層、コー
   ティング層が順次形成されてなる請求項１に記載した光
   磁気記録媒体。 ８、シリコン基板上に保護層、記録層、再生層、誘電体
   層、コーティング層が順次形成されてなる請求項１に記
   載した光磁気記録媒体。 ９、シリコン基板上に膜が形成されている請求項１に記
   載した光磁気記録媒体において、レーザー光線が基板の
   反対側から入射されることを特徴とする光磁気記録媒体
   。