JPH04118600A - Sor光装置におけるsor光出射用窓装置 - Google Patents
Sor光装置におけるsor光出射用窓装置Info
- Publication number
- JPH04118600A JPH04118600A JP2239476A JP23947690A JPH04118600A JP H04118600 A JPH04118600 A JP H04118600A JP 2239476 A JP2239476 A JP 2239476A JP 23947690 A JP23947690 A JP 23947690A JP H04118600 A JPH04118600 A JP H04118600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- light
- sor
- sor light
- swinging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007479 molecular analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、SOR光(シンクロトロン放射光)装置に
おいて、SOR光を出射するための窓装置に関し、SO
R光の透過率を向上させてSOR光出射強度を高めたも
のである。
おいて、SOR光を出射するための窓装置に関し、SO
R光の透過率を向上させてSOR光出射強度を高めたも
のである。
近年、シンクロトロン装置は、SOR光装置として、超
々LSI回路の作成、医療分野における診断、分子解析
、構造解析等様々な分野への適用か期待されている。
々LSI回路の作成、医療分野における診断、分子解析
、構造解析等様々な分野への適用か期待されている。
SOR光装置の概要を第2図に示す。SOR光装置1に
おいて、電子発生装置(電子銃等)10て発生した電子
ビームは直線加速器(ライナック)12て光速近くに加
速され、ビーム輸送部14の偏向電磁石16て偏向され
て、インフレクタ18を介してシンクロトロンの蓄積リ
ング22内に入射される。蓄積リング22に入射された
電子ビームは高周波加速空洞21てエネルギを与えられ
ながら収束電磁石23で収束され、偏向電磁石24で偏
向されて真空ダクト22内を周回し続ける。
おいて、電子発生装置(電子銃等)10て発生した電子
ビームは直線加速器(ライナック)12て光速近くに加
速され、ビーム輸送部14の偏向電磁石16て偏向され
て、インフレクタ18を介してシンクロトロンの蓄積リ
ング22内に入射される。蓄積リング22に入射された
電子ビームは高周波加速空洞21てエネルギを与えられ
ながら収束電磁石23で収束され、偏向電磁石24で偏
向されて真空ダクト22内を周回し続ける。
偏向電磁石24て偏向される時に発生するSOROR光
合9取り出しライン26を通して出射されて、例えば露
光装置28に送られて超々LS1回路作成用の光源等と
して利用される。
合9取り出しライン26を通して出射されて、例えば露
光装置28に送られて超々LS1回路作成用の光源等と
して利用される。
従来における光取り出しライン26の斜入射ミラ一部の
構造を第3図に示す。光取り出しライン26の途中には
、斜入射ミラー30が配設されている。斜入射ミラー3
0は、無酸素銅、5iC1AusPt等の平面もしくは
曲面鏡て構成され、SOROR光合9射して光取り出し
ライン26端部の窓32から出射させる。
構造を第3図に示す。光取り出しライン26の途中には
、斜入射ミラー30が配設されている。斜入射ミラー3
0は、無酸素銅、5iC1AusPt等の平面もしくは
曲面鏡て構成され、SOROR光合9射して光取り出し
ライン26端部の窓32から出射させる。
斜入射ミラー30は軸34を支点として、上下方向に揺
動自在に支持されている。斜入射ミラー30の端部には
ミラー揺動機構36のロッド38が取り付けられている
。ロッド38はモータ40で駆動されるカム42の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー30を上下方向
に揺動して、SOROR光合9下方向に揺動させる。
動自在に支持されている。斜入射ミラー30の端部には
ミラー揺動機構36のロッド38が取り付けられている
。ロッド38はモータ40で駆動されるカム42の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー30を上下方向
に揺動して、SOROR光合9下方向に揺動させる。
蓄積リング22(第2図)から出射されたSOROR光
合9来垂直方向の広かりが小さいか、この斜入射ミラー
30の揺動により垂直方向に拡大されて、LSI露光用
の露光面積か確保される。
合9来垂直方向の広かりが小さいか、この斜入射ミラー
30の揺動により垂直方向に拡大されて、LSI露光用
の露光面積か確保される。
SOROR光合9射用窓32は、内部の高真空と外部の
低真空を遮断しなからSOROR光合9射する働きを有
するもので、SOROR光合9過率か高くかつ機械的強
度が強いヘリリウム等の薄板が使用される。
低真空を遮断しなからSOROR光合9射する働きを有
するもので、SOROR光合9過率か高くかつ機械的強
度が強いヘリリウム等の薄板が使用される。
従来の窓32は、第4図に示すように、全露光範囲に対
応した面積を有するものか用いられていた。
応した面積を有するものか用いられていた。
前記従来の窓32ては、全露光範囲に対応する面積を有
するため、また機械的強度を確保するためには板厚を厚
くしなければならず、SOROR光合9過率か低く、出
射光強度か十分に得られなかった。
するため、また機械的強度を確保するためには板厚を厚
くしなければならず、SOROR光合9過率か低く、出
射光強度か十分に得られなかった。
この発明は、前記従来の技術における欠点を解決して、
板厚を薄くしても機械的強度か十分確保されるようにし
て、SOR光の透過率を向上させて出射光強度を高めた
SOR光装置におけるSOR光出射用窓装置を提供しよ
うとするものである。
板厚を薄くしても機械的強度か十分確保されるようにし
て、SOR光の透過率を向上させて出射光強度を高めた
SOR光装置におけるSOR光出射用窓装置を提供しよ
うとするものである。
この発明は、SOR光装置の光取り出しラインの端部に
ベローズを介して上下方向に揺動自在に取り付けられた
窓部と、この窓部を上下方向に揺動させる窓部揺動機構
と、SOR光の揺動幅より狭い上下方向の幅を有し、前
記窓部に取り付けられてSOR光を出射させる窓と、前
記窓部揺動機構を前記SOR光に同期して動作させるこ
とにより、揺動しているSOR光か前記窓から出射され
るようにする揺動制御手段とを具備してなるものである
。
ベローズを介して上下方向に揺動自在に取り付けられた
窓部と、この窓部を上下方向に揺動させる窓部揺動機構
と、SOR光の揺動幅より狭い上下方向の幅を有し、前
記窓部に取り付けられてSOR光を出射させる窓と、前
記窓部揺動機構を前記SOR光に同期して動作させるこ
とにより、揺動しているSOR光か前記窓から出射され
るようにする揺動制御手段とを具備してなるものである
。
この発明によれば、SOR光の揺動に同期して窓部を揺
動するようにしたので、窓は全露光範囲よりも狭い面積
で済む。したかって、板厚を薄くしても機械的強度を確
保てきるので、SOR光の透過率を高めて出射強度を高
めることかできる。
動するようにしたので、窓は全露光範囲よりも狭い面積
で済む。したかって、板厚を薄くしても機械的強度を確
保てきるので、SOR光の透過率を高めて出射強度を高
めることかできる。
この発明の一実施例を第1図に示す。光取り出しライン
26の途中には、斜入射ミラー30が配設されている。
26の途中には、斜入射ミラー30が配設されている。
斜入射ミラー30は、無酸素銅、SiC’、Au、Pt
等の平面もしくは曲面鏡で構成され、SOROR光合9
射して光取り出しライン26端部の窓44の方向に導く
。
等の平面もしくは曲面鏡で構成され、SOROR光合9
射して光取り出しライン26端部の窓44の方向に導く
。
斜入射ミラー30は軸34を支点として、上下方向に揺
動自在に支持されている。斜入射ミラー30の端部には
ミラー揺動機構36のロット38か取り付けられている
。ロッド38はモータ40て駆動されるカム42の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー30を上下方向
に揺動して、SOROR光合9下方向に揺動させて上下
方向の必要な露光面積を確保する。
動自在に支持されている。斜入射ミラー30の端部には
ミラー揺動機構36のロット38か取り付けられている
。ロッド38はモータ40て駆動されるカム42の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー30を上下方向
に揺動して、SOROR光合9下方向に揺動させて上下
方向の必要な露光面積を確保する。
光取り出しライン26の端部にはベローズ46を介して
窓部48が取り付けられている。窓部48には、窓部揺
動機構52のロッド54が取り付けられている。ロッド
54はモータ56て駆動されるカム58の回転により上
下方向に動作し、窓部48をベローズ46を介して上下
方向に揺動させる。
窓部48が取り付けられている。窓部48には、窓部揺
動機構52のロッド54が取り付けられている。ロッド
54はモータ56て駆動されるカム58の回転により上
下方向に動作し、窓部48をベローズ46を介して上下
方向に揺動させる。
窓部48のフラノンには窓板50か取り付けられ、窓板
50の中央部には窓44か取り付けられている。窓44
はベリリウム等の薄板で構成され、内部の高真空と外部
の低真空を遮断した状態でSOROR光合9射する。
50の中央部には窓44か取り付けられている。窓44
はベリリウム等の薄板で構成され、内部の高真空と外部
の低真空を遮断した状態でSOROR光合9射する。
窓44は、第5図に正面図で示すように、上下方向の幅
がSOROR光合9動範囲(つまり、全露光範囲)より
狭く形成されている。窓44は従来のもの(第4図)よ
りも薄く形成されているが、面積が従来のものよりも小
さいので、十分な機械的強度が確保されている。
がSOROR光合9動範囲(つまり、全露光範囲)より
狭く形成されている。窓44は従来のもの(第4図)よ
りも薄く形成されているが、面積が従来のものよりも小
さいので、十分な機械的強度が確保されている。
ミラー揺動機構36のカム42の回転位置は、パルスエ
ンコーダ等の位置検出器60で検出される。また、窓揺
動機構52のカム58の回転位置は、パルスエンコーダ
等の位置検出器62で検出される。
ンコーダ等の位置検出器60で検出される。また、窓揺
動機構52のカム58の回転位置は、パルスエンコーダ
等の位置検出器62で検出される。
揺動制御手段64は、位置検出器60.62の検出に基
づき、サーボアンプ66.68を介してモータ40.5
6を同期駆動することにより、斜入射ミラー30および
窓部48を連動させる。これにより、SOROR光合9
置に窓44か移動して、SOROR光合9射される。
づき、サーボアンプ66.68を介してモータ40.5
6を同期駆動することにより、斜入射ミラー30および
窓部48を連動させる。これにより、SOROR光合9
置に窓44か移動して、SOROR光合9射される。
ミラー揺動機構36および窓部托動機横52の動作を第
6図に示す。斜入射ミラー30の右部か上方向に揺動し
ている時は窓部48も上方向に揺動して、上方向に揺動
しているSOROR光合944から出射させる。斜入射
ミラー30の右部か下方向に揺動している時は窓部48
も下方向に揺動して、下方向に揺動しているSOROR
光合944から出射させる。
6図に示す。斜入射ミラー30の右部か上方向に揺動し
ている時は窓部48も上方向に揺動して、上方向に揺動
しているSOROR光合944から出射させる。斜入射
ミラー30の右部か下方向に揺動している時は窓部48
も下方向に揺動して、下方向に揺動しているSOROR
光合944から出射させる。
このようにして、全露光面積よりも小さい窓44を使用
して、SOROR光合9露光面積分出射させることがで
きる。したがって、窓44の板厚を薄くしても機械的強
度か十分に確保され、βOR光29の透過率を高めて出
射強度を高めることができる。
して、SOROR光合9露光面積分出射させることがで
きる。したがって、窓44の板厚を薄くしても機械的強
度か十分に確保され、βOR光29の透過率を高めて出
射強度を高めることができる。
前記実施例ではベローズ46を1段としたか、第6図に
示すようにベローズ46.47を2段配列としたりまた
はより多段に配列すれば、より大きな揺動距離を確保す
ることができる。
示すようにベローズ46.47を2段配列としたりまた
はより多段に配列すれば、より大きな揺動距離を確保す
ることができる。
また、前記実施例では、ミラー揺動機構36と窓部揺動
機構52を電気的制御により同期させるようにしたが、
同一駆動源を用いてメカ的に連動させて同期させること
もてきる。
機構52を電気的制御により同期させるようにしたが、
同一駆動源を用いてメカ的に連動させて同期させること
もてきる。
また、前記実施例ては窓部48の揺動を上下方向の回転
運動としたか、上下方向の平行移動とすることもてきる
。
運動としたか、上下方向の平行移動とすることもてきる
。
また、前記実施例では、この発明をミラー揺動によるS
OR光揺動方式に適用した場合について示したが、蓄積
リング内の電子ビームの揺動にょるSOR光揺動方式等
各種揺動力式に適用することもてきる。
OR光揺動方式に適用した場合について示したが、蓄積
リング内の電子ビームの揺動にょるSOR光揺動方式等
各種揺動力式に適用することもてきる。
以上説明したように、この発明によれば、s。
R光の揺動に同期して窓部を揺動するようにしたのて、
窓は全露光範囲よりも狭い面積で済む。したかって、板
厚を薄くしても機械的強度を確保てきるので、SOR光
の透過率を高めて出射強度を高めることかできる。
窓は全露光範囲よりも狭い面積で済む。したかって、板
厚を薄くしても機械的強度を確保てきるので、SOR光
の透過率を高めて出射強度を高めることかできる。
第1図は、この発明の一実施例を示す光取り出しライン
の縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック図
である。 第2図は、SOR光装置の概要を示す平面図である。 第3図は、従来の光取り出しラインの構造を示す縦断面
図である。 第4図は、第3図の窓32の形状を示す正面図である。 第5図は、第1図の窓44の形状を示す正面図である。 第6図は、第1図の揺動機構の揺動動作を示す縦断面図
である。 第7図は、この発明の他の実施例を示す縦断面図である
。 1・・SOR光装置、26・・・光取り出しライン、2
9・・・SOR光、30・・・斜入射ミラー 36・−
ミラー揺動機構、44・・窓、46.47・・ベローズ
、48・・・窓部、52・・窓部揺動機構、64・・・
揺動制御手段。 出願人 石川島播磨重工業株式会社
の縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック図
である。 第2図は、SOR光装置の概要を示す平面図である。 第3図は、従来の光取り出しラインの構造を示す縦断面
図である。 第4図は、第3図の窓32の形状を示す正面図である。 第5図は、第1図の窓44の形状を示す正面図である。 第6図は、第1図の揺動機構の揺動動作を示す縦断面図
である。 第7図は、この発明の他の実施例を示す縦断面図である
。 1・・SOR光装置、26・・・光取り出しライン、2
9・・・SOR光、30・・・斜入射ミラー 36・−
ミラー揺動機構、44・・窓、46.47・・ベローズ
、48・・・窓部、52・・窓部揺動機構、64・・・
揺動制御手段。 出願人 石川島播磨重工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 SOR光装置の光取り出しラインの端部にベローズを介
して上下方向に揺動自在に取り付けられた窓部と、 この窓部を上下方向に揺動させる窓部揺動機構と、 SOR光の揺動幅より狭い上下方向の幅を有し、前記窓
部に取り付けられてSOR光を出射させる窓と、 前記窓部揺動機構を前記SOR光に同期して動作させる
ことにより、揺動しているSOR光が前記窓から出射さ
れるようにする揺動制御手段とを具備してなるSOR光
装置におけるSOR光出射用窓装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2239476A JPH04118600A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Sor光装置におけるsor光出射用窓装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2239476A JPH04118600A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Sor光装置におけるsor光出射用窓装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04118600A true JPH04118600A (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=17045342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2239476A Pending JPH04118600A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Sor光装置におけるsor光出射用窓装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04118600A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04184300A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-01 | Toshiba Corp | X線露光装置 |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP2239476A patent/JPH04118600A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04184300A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-01 | Toshiba Corp | X線露光装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CZ61197A3 (en) | Apparatus for measuring distance by making use of light waves and method of determining a distance of a target object | |
JPH04118600A (ja) | Sor光装置におけるsor光出射用窓装置 | |
JPH0652680B2 (ja) | 光学的にパルス出力された電子の加速器 | |
WO2018138801A1 (ja) | 粒子加速システム及び粒子加速システムの調整方法 | |
JP4127742B2 (ja) | X線検査装置 | |
US20080310594A1 (en) | Scanning x-ray radiation | |
JP5625414B2 (ja) | X線発生方法 | |
JPH04194800A (ja) | X線リソグラフィにおける露光方法 | |
JP2584490Y2 (ja) | シンクロトロンにおけるsor光出射用窓装置 | |
JP5454837B2 (ja) | 硬x線ビーム走査装置および方法 | |
JPH04229998A (ja) | Sor光の露光方法 | |
JPH04213814A (ja) | Sor光装置の露光用ミラー装置 | |
JPH05180997A (ja) | シンクロトロンにおけるsor光出射装置 | |
JP5556027B2 (ja) | X線射出装置 | |
JPH04125500A (ja) | Sor光装置におけるsor光出射用窓装置 | |
JP2004227952A (ja) | X線発生装置及び発生方法 | |
JPH06269439A (ja) | X線ct装置及びx線発生装置 | |
JP2600075B2 (ja) | X線発生装置 | |
JPH04229999A (ja) | Sor光の露光方法 | |
JPH05180996A (ja) | シンクロトロンにおけるsor光出射装置 | |
JP3242576B2 (ja) | 2次元走査用ウィグラー | |
JP3217010B2 (ja) | 自由電子レーザ装置 | |
JPH04230000A (ja) | Sor光の露光方法 | |
JPH0636896A (ja) | 粒子加速器の偏向電磁石およびその制御装置 | |
JPS62213100A (ja) | 荷電粒子装置 |