JPH04118600A - Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 - Google Patents
Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置Info
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- JPH04118600A JPH04118600A JP2239476A JP23947690A JPH04118600A JP H04118600 A JPH04118600 A JP H04118600A JP 2239476 A JP2239476 A JP 2239476A JP 23947690 A JP23947690 A JP 23947690A JP H04118600 A JPH04118600 A JP H04118600A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ＳＯＲ光（シンクロトロン放射光）装置に
おいて、ＳＯＲ光を出射するための窓装置に関し、ＳＯ
Ｒ光の透過率を向上させてＳＯＲ光出射強度を高めたも
のである。
おいて、ＳＯＲ光を出射するための窓装置に関し、ＳＯ
Ｒ光の透過率を向上させてＳＯＲ光出射強度を高めたも
のである。
近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光装置として、超
々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、分子解析
、構造解析等様々な分野への適用か期待されている。
々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、分子解析
、構造解析等様々な分野への適用か期待されている。
ＳＯＲ光装置の概要を第２図に示す。ＳＯＲ光装置１に
おいて、電子発生装置（電子銃等）１０て発生した電子
ビームは直線加速器（ライナック）１２て光速近くに加
速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６て偏向され
て、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄積リ
ング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された
電子ビームは高周波加速空洞２１てエネルギを与えられ
ながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４で偏
向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
おいて、電子発生装置（電子銃等）１０て発生した電子
ビームは直線加速器（ライナック）１２て光速近くに加
速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６て偏向され
て、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄積リ
ング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された
電子ビームは高周波加速空洞２１てエネルギを与えられ
ながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４で偏
向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
偏向電磁石２４て偏向される時に発生するＳＯＲＯＲ光
合９取り出しライン２６を通して出射されて、例えば露
光装置２８に送られて超々ＬＳ１回路作成用の光源等と
して利用される。
合９取り出しライン２６を通して出射されて、例えば露
光装置２８に送られて超々ＬＳ１回路作成用の光源等と
して利用される。
従来における光取り出しライン２６の斜入射ミラ一部の
構造を第３図に示す。光取り出しライン２６の途中には
、斜入射ミラー３０が配設されている。斜入射ミラー３
０は、無酸素銅、５ｉＣ１ＡｕｓＰｔ等の平面もしくは
曲面鏡て構成され、ＳＯＲＯＲ光合９射して光取り出し
ライン２６端部の窓３２から出射させる。
構造を第３図に示す。光取り出しライン２６の途中には
、斜入射ミラー３０が配設されている。斜入射ミラー３
０は、無酸素銅、５ｉＣ１ＡｕｓＰｔ等の平面もしくは
曲面鏡て構成され、ＳＯＲＯＲ光合９射して光取り出し
ライン２６端部の窓３２から出射させる。
斜入射ミラー３０は軸３４を支点として、上下方向に揺
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光合９下方向に揺動させる。
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロッド３８が取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０で駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光合９下方向に揺動させる。
蓄積リング２２（第２図）から出射されたＳＯＲＯＲ光
合９来垂直方向の広かりが小さいか、この斜入射ミラー
３０の揺動により垂直方向に拡大されて、ＬＳＩ露光用
の露光面積か確保される。
合９来垂直方向の広かりが小さいか、この斜入射ミラー
３０の揺動により垂直方向に拡大されて、ＬＳＩ露光用
の露光面積か確保される。
ＳＯＲＯＲ光合９射用窓３２は、内部の高真空と外部の
低真空を遮断しなからＳＯＲＯＲ光合９射する働きを有
するもので、ＳＯＲＯＲ光合９過率か高くかつ機械的強
度が強いヘリリウム等の薄板が使用される。
低真空を遮断しなからＳＯＲＯＲ光合９射する働きを有
するもので、ＳＯＲＯＲ光合９過率か高くかつ機械的強
度が強いヘリリウム等の薄板が使用される。
従来の窓３２は、第４図に示すように、全露光範囲に対
応した面積を有するものか用いられていた。
応した面積を有するものか用いられていた。
前記従来の窓３２ては、全露光範囲に対応する面積を有
するため、また機械的強度を確保するためには板厚を厚
くしなければならず、ＳＯＲＯＲ光合９過率か低く、出
射光強度か十分に得られなかった。
するため、また機械的強度を確保するためには板厚を厚
くしなければならず、ＳＯＲＯＲ光合９過率か低く、出
射光強度か十分に得られなかった。
この発明は、前記従来の技術における欠点を解決して、
板厚を薄くしても機械的強度か十分確保されるようにし
て、ＳＯＲ光の透過率を向上させて出射光強度を高めた
ＳＯＲ光装置におけるＳＯＲ光出射用窓装置を提供しよ
うとするものである。
板厚を薄くしても機械的強度か十分確保されるようにし
て、ＳＯＲ光の透過率を向上させて出射光強度を高めた
ＳＯＲ光装置におけるＳＯＲ光出射用窓装置を提供しよ
うとするものである。
この発明は、ＳＯＲ光装置の光取り出しラインの端部に
ベローズを介して上下方向に揺動自在に取り付けられた
窓部と、この窓部を上下方向に揺動させる窓部揺動機構
と、ＳＯＲ光の揺動幅より狭い上下方向の幅を有し、前
記窓部に取り付けられてＳＯＲ光を出射させる窓と、前
記窓部揺動機構を前記ＳＯＲ光に同期して動作させるこ
とにより、揺動しているＳＯＲ光か前記窓から出射され
るようにする揺動制御手段とを具備してなるものである
。
ベローズを介して上下方向に揺動自在に取り付けられた
窓部と、この窓部を上下方向に揺動させる窓部揺動機構
と、ＳＯＲ光の揺動幅より狭い上下方向の幅を有し、前
記窓部に取り付けられてＳＯＲ光を出射させる窓と、前
記窓部揺動機構を前記ＳＯＲ光に同期して動作させるこ
とにより、揺動しているＳＯＲ光か前記窓から出射され
るようにする揺動制御手段とを具備してなるものである
。
この発明によれば、ＳＯＲ光の揺動に同期して窓部を揺
動するようにしたので、窓は全露光範囲よりも狭い面積
で済む。したかって、板厚を薄くしても機械的強度を確
保てきるので、ＳＯＲ光の透過率を高めて出射強度を高
めることかできる。
動するようにしたので、窓は全露光範囲よりも狭い面積
で済む。したかって、板厚を薄くしても機械的強度を確
保てきるので、ＳＯＲ光の透過率を高めて出射強度を高
めることかできる。
この発明の一実施例を第１図に示す。光取り出しライン
２６の途中には、斜入射ミラー３０が配設されている。
２６の途中には、斜入射ミラー３０が配設されている。
斜入射ミラー３０は、無酸素銅、ＳｉＣ’、Ａｕ、Ｐｔ
等の平面もしくは曲面鏡で構成され、ＳＯＲＯＲ光合９
射して光取り出しライン２６端部の窓４４の方向に導く
。
等の平面もしくは曲面鏡で構成され、ＳＯＲＯＲ光合９
射して光取り出しライン２６端部の窓４４の方向に導く
。
斜入射ミラー３０は軸３４を支点として、上下方向に揺
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロット３８か取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０て駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光合９下方向に揺動させて上下
方向の必要な露光面積を確保する。
動自在に支持されている。斜入射ミラー３０の端部には
ミラー揺動機構３６のロット３８か取り付けられている
。ロッド３８はモータ４０て駆動されるカム４２の回転
により上下方向に動作し、斜入射ミラー３０を上下方向
に揺動して、ＳＯＲＯＲ光合９下方向に揺動させて上下
方向の必要な露光面積を確保する。
光取り出しライン２６の端部にはベローズ４６を介して
窓部４８が取り付けられている。窓部４８には、窓部揺
動機構５２のロッド５４が取り付けられている。ロッド
５４はモータ５６て駆動されるカム５８の回転により上
下方向に動作し、窓部４８をベローズ４６を介して上下
方向に揺動させる。
窓部４８が取り付けられている。窓部４８には、窓部揺
動機構５２のロッド５４が取り付けられている。ロッド
５４はモータ５６て駆動されるカム５８の回転により上
下方向に動作し、窓部４８をベローズ４６を介して上下
方向に揺動させる。
窓部４８のフラノンには窓板５０か取り付けられ、窓板
５０の中央部には窓４４か取り付けられている。窓４４
はベリリウム等の薄板で構成され、内部の高真空と外部
の低真空を遮断した状態でＳＯＲＯＲ光合９射する。
５０の中央部には窓４４か取り付けられている。窓４４
はベリリウム等の薄板で構成され、内部の高真空と外部
の低真空を遮断した状態でＳＯＲＯＲ光合９射する。
窓４４は、第５図に正面図で示すように、上下方向の幅
がＳＯＲＯＲ光合９動範囲（つまり、全露光範囲）より
狭く形成されている。窓４４は従来のもの（第４図）よ
りも薄く形成されているが、面積が従来のものよりも小
さいので、十分な機械的強度が確保されている。
がＳＯＲＯＲ光合９動範囲（つまり、全露光範囲）より
狭く形成されている。窓４４は従来のもの（第４図）よ
りも薄く形成されているが、面積が従来のものよりも小
さいので、十分な機械的強度が確保されている。
ミラー揺動機構３６のカム４２の回転位置は、パルスエ
ンコーダ等の位置検出器６０で検出される。また、窓揺
動機構５２のカム５８の回転位置は、パルスエンコーダ
等の位置検出器６２で検出される。
ンコーダ等の位置検出器６０で検出される。また、窓揺
動機構５２のカム５８の回転位置は、パルスエンコーダ
等の位置検出器６２で検出される。
揺動制御手段６４は、位置検出器６０．６２の検出に基
づき、サーボアンプ６６．６８を介してモータ４０．５
６を同期駆動することにより、斜入射ミラー３０および
窓部４８を連動させる。これにより、ＳＯＲＯＲ光合９
置に窓４４か移動して、ＳＯＲＯＲ光合９射される。
づき、サーボアンプ６６．６８を介してモータ４０．５
６を同期駆動することにより、斜入射ミラー３０および
窓部４８を連動させる。これにより、ＳＯＲＯＲ光合９
置に窓４４か移動して、ＳＯＲＯＲ光合９射される。
ミラー揺動機構３６および窓部托動機横５２の動作を第
６図に示す。斜入射ミラー３０の右部か上方向に揺動し
ている時は窓部４８も上方向に揺動して、上方向に揺動
しているＳＯＲＯＲ光合９４４から出射させる。斜入射
ミラー３０の右部か下方向に揺動している時は窓部４８
も下方向に揺動して、下方向に揺動しているＳＯＲＯＲ
光合９４４から出射させる。
６図に示す。斜入射ミラー３０の右部か上方向に揺動し
ている時は窓部４８も上方向に揺動して、上方向に揺動
しているＳＯＲＯＲ光合９４４から出射させる。斜入射
ミラー３０の右部か下方向に揺動している時は窓部４８
も下方向に揺動して、下方向に揺動しているＳＯＲＯＲ
光合９４４から出射させる。
このようにして、全露光面積よりも小さい窓４４を使用
して、ＳＯＲＯＲ光合９露光面積分出射させることがで
きる。したがって、窓４４の板厚を薄くしても機械的強
度か十分に確保され、βＯＲ光２９の透過率を高めて出
射強度を高めることができる。
して、ＳＯＲＯＲ光合９露光面積分出射させることがで
きる。したがって、窓４４の板厚を薄くしても機械的強
度か十分に確保され、βＯＲ光２９の透過率を高めて出
射強度を高めることができる。
前記実施例ではベローズ４６を１段としたか、第６図に
示すようにベローズ４６．４７を２段配列としたりまた
はより多段に配列すれば、より大きな揺動距離を確保す
ることができる。
示すようにベローズ４６．４７を２段配列としたりまた
はより多段に配列すれば、より大きな揺動距離を確保す
ることができる。
また、前記実施例では、ミラー揺動機構３６と窓部揺動
機構５２を電気的制御により同期させるようにしたが、
同一駆動源を用いてメカ的に連動させて同期させること
もてきる。
機構５２を電気的制御により同期させるようにしたが、
同一駆動源を用いてメカ的に連動させて同期させること
もてきる。
また、前記実施例ては窓部４８の揺動を上下方向の回転
運動としたか、上下方向の平行移動とすることもてきる
。
運動としたか、上下方向の平行移動とすることもてきる
。
また、前記実施例では、この発明をミラー揺動によるＳ
ＯＲ光揺動方式に適用した場合について示したが、蓄積
リング内の電子ビームの揺動にょるＳＯＲ光揺動方式等
各種揺動力式に適用することもてきる。
ＯＲ光揺動方式に適用した場合について示したが、蓄積
リング内の電子ビームの揺動にょるＳＯＲ光揺動方式等
各種揺動力式に適用することもてきる。
以上説明したように、この発明によれば、ｓ。
Ｒ光の揺動に同期して窓部を揺動するようにしたのて、
窓は全露光範囲よりも狭い面積で済む。したかって、板
厚を薄くしても機械的強度を確保てきるので、ＳＯＲ光
の透過率を高めて出射強度を高めることかできる。
窓は全露光範囲よりも狭い面積で済む。したかって、板
厚を薄くしても機械的強度を確保てきるので、ＳＯＲ光
の透過率を高めて出射強度を高めることかできる。
第１図は、この発明の一実施例を示す光取り出しライン
の縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック図
である。 第２図は、ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。 第３図は、従来の光取り出しラインの構造を示す縦断面
図である。 第４図は、第３図の窓３２の形状を示す正面図である。 第５図は、第１図の窓４４の形状を示す正面図である。 第６図は、第１図の揺動機構の揺動動作を示す縦断面図
である。 第７図は、この発明の他の実施例を示す縦断面図である
。 １・・ＳＯＲ光装置、２６・・・光取り出しライン、２
９・・・ＳＯＲ光、３０・・・斜入射ミラー ３６・−
ミラー揺動機構、４４・・窓、４６．４７・・ベローズ
、４８・・・窓部、５２・・窓部揺動機構、６４・・・
揺動制御手段。 出願人 石川島播磨重工業株式会社
の縦断面図および揺動機構の制御系統を示すブロック図
である。 第２図は、ＳＯＲ光装置の概要を示す平面図である。 第３図は、従来の光取り出しラインの構造を示す縦断面
図である。 第４図は、第３図の窓３２の形状を示す正面図である。 第５図は、第１図の窓４４の形状を示す正面図である。 第６図は、第１図の揺動機構の揺動動作を示す縦断面図
である。 第７図は、この発明の他の実施例を示す縦断面図である
。 １・・ＳＯＲ光装置、２６・・・光取り出しライン、２
９・・・ＳＯＲ光、３０・・・斜入射ミラー ３６・−
ミラー揺動機構、４４・・窓、４６．４７・・ベローズ
、４８・・・窓部、５２・・窓部揺動機構、６４・・・
揺動制御手段。 出願人 石川島播磨重工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＳＯＲ光装置の光取り出しラインの端部にベローズを介
して上下方向に揺動自在に取り付けられた窓部と、 この窓部を上下方向に揺動させる窓部揺動機構と、 ＳＯＲ光の揺動幅より狭い上下方向の幅を有し、前記窓
部に取り付けられてＳＯＲ光を出射させる窓と、 前記窓部揺動機構を前記ＳＯＲ光に同期して動作させる
ことにより、揺動しているＳＯＲ光が前記窓から出射さ
れるようにする揺動制御手段とを具備してなるＳＯＲ光
装置におけるＳＯＲ光出射用窓装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2239476A JPH04118600A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2239476A JPH04118600A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04118600A true JPH04118600A (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=17045342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2239476A Pending JPH04118600A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Ｓｏｒ光装置におけるｓｏｒ光出射用窓装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04118600A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04184300A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-01 | Toshiba Corp | Ｘ線露光装置 |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP2239476A patent/JPH04118600A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04184300A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-01 | Toshiba Corp | Ｘ線露光装置 |
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