JPH04114972A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPH04114972A JPH04114972A JP2236482A JP23648290A JPH04114972A JP H04114972 A JPH04114972 A JP H04114972A JP 2236482 A JP2236482 A JP 2236482A JP 23648290 A JP23648290 A JP 23648290A JP H04114972 A JPH04114972 A JP H04114972A
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- aluminum nitride
- sintered body
- powder
- nitride sintered
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は窒化アルミニウム焼結体の製造方法に関する
。
。
（従来技術）
従来、窒化アルミニウム焼結体を製造するには、窒化ア
ルミニウム（Ａ ｆ Ｎ）粉末に酸化イツトリウム（Ｙ
ｚ Ｏ３）、酸化カルシウム（Ｃａｂ）などの焼結助剤
を添加し、焼成することによって製造していた。
ルミニウム（Ａ ｆ Ｎ）粉末に酸化イツトリウム（Ｙ
ｚ Ｏ３）、酸化カルシウム（Ｃａｂ）などの焼結助剤
を添加し、焼成することによって製造していた。
焼結助剤を添加する理由は、焼結助剤が焼結過程で／Ｉ
Ｎ粉末中の不純物酸素と反応して液相を形成し、焼結を
促進するためである。この液相は焼結中に外部に排出さ
れるため、結晶粒界に存在する液相が少なくなる。そし
て、ＡＩＮ結晶粒内への不純物酸素の固溶を妨げること
により、結晶粒内の酸素濃度を下げる作用がある。その
結果、緻密で熱伝導性の良い窒化アルミニウム焼結体を
得ることができる。
Ｎ粉末中の不純物酸素と反応して液相を形成し、焼結を
促進するためである。この液相は焼結中に外部に排出さ
れるため、結晶粒界に存在する液相が少なくなる。そし
て、ＡＩＮ結晶粒内への不純物酸素の固溶を妨げること
により、結晶粒内の酸素濃度を下げる作用がある。その
結果、緻密で熱伝導性の良い窒化アルミニウム焼結体を
得ることができる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、このような従来の方法で窒化アルミニウ
ム焼結体を製造する場合、Ｙ−Ａ Ａ−０あるいはＣａ
−Ａｊ２−０などの液相の融点が高いため、その焼結温
度が１８００〜１９００°Ｃと高温であった。そのため
、焼成に要するコストが高くなってしまう。
ム焼結体を製造する場合、Ｙ−Ａ Ａ−０あるいはＣａ
−Ａｊ２−０などの液相の融点が高いため、その焼結温
度が１８００〜１９００°Ｃと高温であった。そのため
、焼成に要するコストが高くなってしまう。
それゆえに、この発明の主たる目的は、熱伝導性が良く
、かつ安価な窒化アルミニウム焼結体を得ることができ
る、窒化アルミニウム焼結体の製造方法を従供すること
である。
、かつ安価な窒化アルミニウム焼結体を得ることができ
る、窒化アルミニウム焼結体の製造方法を従供すること
である。
（課題を解決するだめの手段）
この発明は、比表面積が８ｍ／ｇ以上の窒化アルミニウ
ム粉末を準備する工程と、窒化アルミニウム粉末１００
重量部に対して１〜１０重量部のフン化カルシウムと０
．５〜５重景重量酸化チタンとを添加して混合物を得る
工程と、混合物を成形して成形物を得る工程と、成形物
を１６００℃以下の温度で焼成する工程とを含む、窒化
アルミニウム焼結体の製造方法である。
ム粉末を準備する工程と、窒化アルミニウム粉末１００
重量部に対して１〜１０重量部のフン化カルシウムと０
．５〜５重景重量酸化チタンとを添加して混合物を得る
工程と、混合物を成形して成形物を得る工程と、成形物
を１６００℃以下の温度で焼成する工程とを含む、窒化
アルミニウム焼結体の製造方法である。
（作用）
原料として比表面積が８ ｒｄ ／ ｇ以上の窒化アル
ミニウム粉末を使用し、さらに焼結助剤として融点が１
４００℃以下のフン化カルシウムを使用しているので、
１６００℃以下の焼結温度で窒化アルミニウムが緻密化
する。さらに、酸化チタンを添加することにより、焼結
時に窒化アルミニウム中の不純物酸素との液相の反応性
が高まり、窒化アルミニウム焼結体の液相の熱伝導性が
向上する。
ミニウム粉末を使用し、さらに焼結助剤として融点が１
４００℃以下のフン化カルシウムを使用しているので、
１６００℃以下の焼結温度で窒化アルミニウムが緻密化
する。さらに、酸化チタンを添加することにより、焼結
時に窒化アルミニウム中の不純物酸素との液相の反応性
が高まり、窒化アルミニウム焼結体の液相の熱伝導性が
向上する。
（発明の効果）
この発明によれば、熱伝導性が良く、１６００°Ｃ以下
の低温で焼結できて焼結コス１−が小さい窒化アルミニ
ウム焼結体を得ることができる。
の低温で焼結できて焼結コス１−が小さい窒化アルミニ
ウム焼結体を得ることができる。
この発明の上述の目的、その他の目的２特徴および利点
は、以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう
。
は、以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう
。
（実施例）
まず、比表面積８ｍ２／ｇの窒化アルミニウム（Ａｌｘ
）粉末を準備した。このＡｒＮ粉末にフン化カルシウム
（ＣａＦｚ）と酸化チタン（Ｔ ｉ ０２）を別表に示
す割合となるように添加し、エタノール中で混合して混
合物を得た。この混合物に有機バインダを添加して造粒
し、直径１２Ｎ、厚さ５璽１の円盤状に成形して成形体
を得た。
）粉末を準備した。このＡｒＮ粉末にフン化カルシウム
（ＣａＦｚ）と酸化チタン（Ｔ ｉ ０２）を別表に示
す割合となるように添加し、エタノール中で混合して混
合物を得た。この混合物に有機バインダを添加して造粒
し、直径１２Ｎ、厚さ５璽１の円盤状に成形して成形体
を得た。
この成形体を窒素雰囲気中において８００℃で２時間脱
バインダ処理を行い、さらに窒素雰囲気中において１６
００℃で５時間焼成してＡｌ１Ｎ焼結体を得た。
バインダ処理を行い、さらに窒素雰囲気中において１６
００℃で５時間焼成してＡｌ１Ｎ焼結体を得た。
得られたＡＩＮ焼結体について、密度および熱伝導率を
測定し、その結果を表に示した。
測定し、その結果を表に示した。
さらに、比較例として、比表面積が４．５ｒｄ／ｇのＡ
ｒＮ粉末を用いて製造したＡρＮ焼結体の密度および熱
伝導率を測定して、別表の試料番号１１〜１６に示した
。
ｒＮ粉末を用いて製造したＡρＮ焼結体の密度および熱
伝導率を測定して、別表の試料番号１１〜１６に示した
。
次に、／ＩＮの比表面積を限定した理由およびＣａＦｚ
、ＴｉＯ□の添加量を限定した理由について説明する。
、ＴｉＯ□の添加量を限定した理由について説明する。
試料番号１のように、ＣａＦ２の添加量が１重量部より
少ない場合、または試料番号５のように、１０重量部よ
り多い場合１．ＭＩＮ焼結体の密度が３．１ｇ／ｃイ以
下と小さく、熱伝導率も小さい。
少ない場合、または試料番号５のように、１０重量部よ
り多い場合１．ＭＩＮ焼結体の密度が３．１ｇ／ｃイ以
下と小さく、熱伝導率も小さい。
また、試料番号６のように、Ｔ ｉＯｚの添加量が０．
５重量部より少ない場合、または試料番号１０のように
、５重量部より多い場合、焼結体密度は大きくなるが、
熱伝導率は１００Ｗ／ｍＫ未満と小さい。
５重量部より少ない場合、または試料番号１０のように
、５重量部より多い場合、焼結体密度は大きくなるが、
熱伝導率は１００Ｗ／ｍＫ未満と小さい。
さらに、試料番号１１〜１６のように、Ａｊ！Ｎ粉末と
して比表面積が４．５ｍ／ｇのものを用いた場合、／Ｉ
Ｎ焼結体の密度が２．５ｇ／ｃＪ以下と極端に小さく、
したがって熱伝導率も５０Ｗ／ｍＫ以下と小さい。
して比表面積が４．５ｍ／ｇのものを用いた場合、／Ｉ
Ｎ焼結体の密度が２．５ｇ／ｃＪ以下と極端に小さく、
したがって熱伝導率も５０Ｗ／ｍＫ以下と小さい。
それに対して、この発明の製造方法を用いれば、１６０
０°Ｃ以下の焼結温度でＡ７！Ｎ焼結体を緻密化するこ
とができる。このように、従来の方法に比べて低温で焼
成することができるため、焼成コストを下げることがで
きる。
０°Ｃ以下の焼結温度でＡ７！Ｎ焼結体を緻密化するこ
とができる。このように、従来の方法に比べて低温で焼
成することができるため、焼成コストを下げることがで
きる。
さらに、Ｔｉｅ、を添加することにより、焼結時にＡｌ
ｌ！Ｎ中の不純物酸素との液相の反応性が高まり、Ａ７
！Ｎ焼結体の熱伝導性を向上させることができる。
ｌ！Ｎ中の不純物酸素との液相の反応性が高まり、Ａ７
！Ｎ焼結体の熱伝導性を向上させることができる。
特許出願人 株式会社 村田製作所
代理人 弁理士 岡 １） 全 啓
表
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 比表面積が８ｍ＾２／ｇ以上の窒化アルミニウム粉末を
準備する工程、 前記窒化アルミニウム粉末１００重量部に対して１〜１
０重量部のフッ化カルシウムと０．５〜５重量部の酸化
チタンとを添加して混合物を得る工程、 前記混合物を成形して成形物を得る工程、および 前記成形物を１６００℃以下の温度で焼成する工程を含
む、窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2236482A JPH04114972A (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2236482A JPH04114972A (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114972A true JPH04114972A (ja) | 1992-04-15 |
Family
ID=17001387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2236482A Pending JPH04114972A (ja) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04114972A (ja) |
-
1990
- 1990-09-05 JP JP2236482A patent/JPH04114972A/ja active Pending
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