JPH0395709A - 磁気ヘッド用コアの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド用コアの製造方法Info
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- JPH0395709A JPH0395709A JP1231664A JP23166489A JPH0395709A JP H0395709 A JPH0395709 A JP H0395709A JP 1231664 A JP1231664 A JP 1231664A JP 23166489 A JP23166489 A JP 23166489A JP H0395709 A JPH0395709 A JP H0395709A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
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- C04B41/53—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone involving the removal of at least part of the materials of the treated article, e.g. etching, drying of hardened concrete
- C04B41/5338—Etching
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-
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- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気ヘッド用コアの製造方法に関し、特にレ
ーザーによって熱化学反応を誘起されるレーザー誘起エ
ッチングを用いたトラックの磁気ヘンド用コアを製造す
る方法に関するものである。
ーザーによって熱化学反応を誘起されるレーザー誘起エ
ッチングを用いたトラックの磁気ヘンド用コアを製造す
る方法に関するものである。
（従来の技術）
近年、フロッピーディスク装置（ＦＤＤ） 、固定磁気
ディスク装置（ＲＤＤ） 、ＶＴＲ等の磁気記録は高密
度化の一途をたどり、それに伴ない磁気ヘッドのトラッ
ク幅は狭く且つ高精度になる傾向にある。
ディスク装置（ＲＤＤ） 、ＶＴＲ等の磁気記録は高密
度化の一途をたどり、それに伴ない磁気ヘッドのトラッ
ク幅は狭く且つ高精度になる傾向にある。
現在、トラック幅の寸法精度は、ＶＴＲ， ＦＤＤで±
２μｍ以下、ＲＤＤでは±１μｍ以下が必要である。
２μｍ以下、ＲＤＤでは±１μｍ以下が必要である。
これらの磁気ヘッド用コアを形成するに際して、従来か
らトラック部を空気中においてレーザー加工で行うこと
が知られており、特開昭５１−２９１１８号公報，特開
昭５７−２１２６１７号公報等に開示されている。さら
に特開昭５５−１１７７２６号公報、特開昭６１一２６
０４０８号公報等には、センダスト等の高透磁率合金よ
りなる磁気ヘッド用コアや、フエライトと高透磁率合金
よりなる複合型磁気ヘッド用コアのトラック形成を空気
中においてレーザー加工で行うことが開示されている。
らトラック部を空気中においてレーザー加工で行うこと
が知られており、特開昭５１−２９１１８号公報，特開
昭５７−２１２６１７号公報等に開示されている。さら
に特開昭５５−１１７７２６号公報、特開昭６１一２６
０４０８号公報等には、センダスト等の高透磁率合金よ
りなる磁気ヘッド用コアや、フエライトと高透磁率合金
よりなる複合型磁気ヘッド用コアのトラック形成を空気
中においてレーザー加工で行うことが開示されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながらこれらの方法では、被加工物の加工温度は
被加工物の融点温度以上に達するため、加工面には熱に
よる加工歪やそれに伴うクランクを生じ、磁気ヘッドの
特性劣化を招いていた。また、加工面及びその周辺部に
は、被加工物の溶融凝固物や溶融飛散物の付着が起こる
とともに熱歪やクランク等の問題もあり、面粗度や寸法
精度が低下して近年要望の高い寸法精度±２μｍ以下の
高精度のトラック加工が行えない問題があった。
被加工物の融点温度以上に達するため、加工面には熱に
よる加工歪やそれに伴うクランクを生じ、磁気ヘッドの
特性劣化を招いていた。また、加工面及びその周辺部に
は、被加工物の溶融凝固物や溶融飛散物の付着が起こる
とともに熱歪やクランク等の問題もあり、面粗度や寸法
精度が低下して近年要望の高い寸法精度±２μｍ以下の
高精度のトラック加工が行えない問題があった。
ところで、特開昭６０ − ６０９９５号公報や昭和６
０年度精機学会春季大会学術講演会論文集（講演番号４
０４）、工業材料第３３巻第１４号（Ｐ．５７〜Ｐ．６
２）では、磁気ヘッド加工とは別の分野で水酸化カリウ
ム水溶液中でレーザーを照射し、レーザー誘起エッチン
グにより、フエライトやＳｉ３Ｎａ＋ ｓｔｃ等のセラ
ミックスを加工する方法が開示されている。しかしなが
ら、ここに開示されている３つの方法は、何れも磁気ヘ
ッド加工に必要な高い精度を得るための要件が欠落して
おり、磁気ヘッド加工に要求されるような精度での加工
はできなかった。
０年度精機学会春季大会学術講演会論文集（講演番号４
０４）、工業材料第３３巻第１４号（Ｐ．５７〜Ｐ．６
２）では、磁気ヘッド加工とは別の分野で水酸化カリウ
ム水溶液中でレーザーを照射し、レーザー誘起エッチン
グにより、フエライトやＳｉ３Ｎａ＋ ｓｔｃ等のセラ
ミックスを加工する方法が開示されている。しかしなが
ら、ここに開示されている３つの方法は、何れも磁気ヘ
ッド加工に必要な高い精度を得るための要件が欠落して
おり、磁気ヘッド加工に要求されるような精度での加工
はできなかった。
この発明は上記従来の課題の内、特にセンダストの侵食
の問題を解消するためになされたものであり、その目的
とするところは、レーザー誘起エッチング方法により高
精度のトランクを加工し、信頼性の高い磁気ヘッド用コ
アを製造し得る方法を提供することにある。
の問題を解消するためになされたものであり、その目的
とするところは、レーザー誘起エッチング方法により高
精度のトランクを加工し、信頼性の高い磁気ヘッド用コ
アを製造し得る方法を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明の磁気ヘッド用コアの製造方法は、フエライトと
センダストよりなる複合型磁気ヘッド用コアのトラック
幅をレーザー加工により形戒する製造方法において、ア
ルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカリ金属水
酸化物の水溶液中で、レーザー加工することを特徴とす
るものである。
センダストよりなる複合型磁気ヘッド用コアのトラック
幅をレーザー加工により形戒する製造方法において、ア
ルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカリ金属水
酸化物の水溶液中で、レーザー加工することを特徴とす
るものである。
（作 用）
上述した構戊において、コイル巻線孔と磁気ギャップを
有するギャップバーに対して、アルミン酸イオンを与え
る添加剤を加えたアルカリ金属水酸化物の水溶液中でギ
ャップバー表面にレーザー光を照射することにより、セ
ンダストの侵食がなく、フエライト部分のトラック幅と
センダスト部分のトラック幅の差が小さい高精度のトラ
ックを形成することができる。
有するギャップバーに対して、アルミン酸イオンを与え
る添加剤を加えたアルカリ金属水酸化物の水溶液中でギ
ャップバー表面にレーザー光を照射することにより、セ
ンダストの侵食がなく、フエライト部分のトラック幅と
センダスト部分のトラック幅の差が小さい高精度のトラ
ックを形成することができる。
トラック幅の寸法精度は±２μｍ以下が必要であり、好
ましくは±１μｍ以下が必要である。また、これに伴な
いフエライ１・部分のトラック幅とセンダスト部分のト
ラック幅の差は２μｍ以下が必要であり、好ましくは１
μｍ以下が必要である．本発明のレーザー誘起エッチン
グ法に於いて、アルカリ金属水酸化物の水溶液は被加工
物であるギャップバーのエッチング液として作用する。
ましくは±１μｍ以下が必要である。また、これに伴な
いフエライ１・部分のトラック幅とセンダスト部分のト
ラック幅の差は２μｍ以下が必要であり、好ましくは１
μｍ以下が必要である．本発明のレーザー誘起エッチン
グ法に於いて、アルカリ金属水酸化物の水溶液は被加工
物であるギャップバーのエッチング液として作用する。
フエライト及びセンダストの主生物である鉄は、高温の
アルカリ金属水酸化物水溶液に良好にエノチングされる
。ところが、センダストの組威のｌっであるアルごニウ
ムは、アルカリ金属水酸化物水溶液に過度にエッチング
されるためセンダストが侵食され、センダスト部分のト
ラック幅がフエライト部分のトラック幅より小さくなり
、寸法精度が低下して上述した条件を達成できない場合
がある。そこで、本発明では、このアルミニウムのエッ
チングを抑えるために、アルカリ金属水酸化物水溶液中
にアルミン酸イオンを与える添加剤を加えることにより
、フエライト部分のトラック幅とセンダスト部分のトラ
ック幅の差を２μｍ以下にすることができ、この問題を
解消することができる。
アルカリ金属水酸化物水溶液に良好にエノチングされる
。ところが、センダストの組威のｌっであるアルごニウ
ムは、アルカリ金属水酸化物水溶液に過度にエッチング
されるためセンダストが侵食され、センダスト部分のト
ラック幅がフエライト部分のトラック幅より小さくなり
、寸法精度が低下して上述した条件を達成できない場合
がある。そこで、本発明では、このアルミニウムのエッ
チングを抑えるために、アルカリ金属水酸化物水溶液中
にアルミン酸イオンを与える添加剤を加えることにより
、フエライト部分のトラック幅とセンダスト部分のトラ
ック幅の差を２μｍ以下にすることができ、この問題を
解消することができる。
アル旦ン酸イオンを与える添加剤として、アルミニウム
、水酸化アルミニウム、硝酸アルミニウム、塩化アルミ
ニウム、硫酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、硫
酸アルミニウムカリウム、硫酸アルミニウムナトリウム
が挙げられ、少なくとも１種類以上をアルカリ金属水酸
化物水溶液中に添加することにより効果が得られる。
、水酸化アルミニウム、硝酸アルミニウム、塩化アルミ
ニウム、硫酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、硫
酸アルミニウムカリウム、硫酸アルミニウムナトリウム
が挙げられ、少なくとも１種類以上をアルカリ金属水酸
化物水溶液中に添加することにより効果が得られる。
（実施例）
■ 装置構或
第１図は本発明を実施する装置の一例を示す図である。
本実施例では、Ｘ−Ｙテーブル１に加工容器２が載置さ
れており、その中には試料台３とその上に置かれた被加
工物であるギャップパー４が配置されている。加工容器
２の内部にはアルミン酸イオンを与える添加剤を加えた
水酸化カリウムや水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水
酸化物の水溶液５が満たされており、マイクロメータ６
でその位置を調整可能な石英窓７によって、ギャップパ
ー４上のアルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアル
カリ金属水酸化物の水溶？ｖｊ．５の液面高さをコント
ロールしている。液面高さは、小さ過ぎると液の流れが
遅《なり、水溶液は過度に温められて気泡が発生しやす
くなるため、加工深さは減少し寸法精度は低下する。液
面高さが２００μｍ以上ではこの影響はほとんどないが
、液面高さが大き過ぎるとレーザー光が水溶液中を通過
する間に損失する光量が増して加工深さが減少したり、
液の流れが液面の上下方向の対流となって発生するため
、加工点から排出された切削くずや気泡がこの対流にの
って巻き上げられ、レーザ光を散乱させ、加工深さの減
少や寸法精度の低下を招く。
れており、その中には試料台３とその上に置かれた被加
工物であるギャップパー４が配置されている。加工容器
２の内部にはアルミン酸イオンを与える添加剤を加えた
水酸化カリウムや水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水
酸化物の水溶液５が満たされており、マイクロメータ６
でその位置を調整可能な石英窓７によって、ギャップパ
ー４上のアルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアル
カリ金属水酸化物の水溶？ｖｊ．５の液面高さをコント
ロールしている。液面高さは、小さ過ぎると液の流れが
遅《なり、水溶液は過度に温められて気泡が発生しやす
くなるため、加工深さは減少し寸法精度は低下する。液
面高さが２００μｍ以上ではこの影響はほとんどないが
、液面高さが大き過ぎるとレーザー光が水溶液中を通過
する間に損失する光量が増して加工深さが減少したり、
液の流れが液面の上下方向の対流となって発生するため
、加工点から排出された切削くずや気泡がこの対流にの
って巻き上げられ、レーザ光を散乱させ、加工深さの減
少や寸法精度の低下を招く。
従って、液面高さは２００μｍ以上にすることが望まし
く、より好ましくは、３００〜１００００μｍにするこ
とが望ましい。
く、より好ましくは、３００〜１００００μｍにするこ
とが望ましい。
なお、石英窓７は液面高さをコントロールすると同時に
、液面のゆらぎをなくし加工精度を向上させている。レ
ーザー光８はレーザー光源９から放射され、レンズ系１
０、石英窓７を通してギャップパー４上に照射される。
、液面のゆらぎをなくし加工精度を向上させている。レ
ーザー光８はレーザー光源９から放射され、レンズ系１
０、石英窓７を通してギャップパー４上に照射される。
この時、Ｘ−Ｙテーブル１を動かすことによって所要の
形状の加工を行うことができる。
形状の加工を行うことができる。
■ 加工条件の決定
第２図に２５ｗ ｔ％の水酸化カリウム水溶液に何も添
加しなかった場合と、アルミン酸イオンを与える添加剤
として硝酸アルくニウム、硫酸アルミニウム、アルミン
酸ナトリウム、硫酸カリウムアル旦ニウム、塩化アルミ
ニウムを５ｗｔ％添加した場合に、ビーム径４μｍ、レ
ーザーパヮー８０ｍＷ、走査速度１０μｍ ／ｓｅｃで
加工した時のトラック幅の差（フェライト部分のトラッ
ク幅−センダスト部分のトラック幅）を示す。
加しなかった場合と、アルミン酸イオンを与える添加剤
として硝酸アルくニウム、硫酸アルミニウム、アルミン
酸ナトリウム、硫酸カリウムアル旦ニウム、塩化アルミ
ニウムを５ｗｔ％添加した場合に、ビーム径４μｍ、レ
ーザーパヮー８０ｍＷ、走査速度１０μｍ ／ｓｅｃで
加工した時のトラック幅の差（フェライト部分のトラッ
ク幅−センダスト部分のトラック幅）を示す。
第２図から、添加剤が無い場合は、トラック幅の差が３
μｍ以上であるのに対し、添加剤を加えた場合はトラン
ク幅の差が全て２μｍ以下となっており、塩化アルミニ
ウムに於いては、それが１μｍ以下であることがわかる
。
μｍ以上であるのに対し、添加剤を加えた場合はトラン
ク幅の差が全て２μｍ以下となっており、塩化アルミニ
ウムに於いては、それが１μｍ以下であることがわかる
。
第３図は、濃度２０ｗ ｔ％、２５ｗｔ％、３０ｗ ｔ
％の水酸化カリウム水溶液に塩化アルミニウムを添加量
を変化させて加えた場合に、ビーム径４μｍ、レーザー
パワー９０ｍｌｌ、走査速度１０ｕｍ ／ｓｅｃで加工
した時のトラック幅の差を示すグラフである。第３図に
おいて、○−○は水酸化カリウム水溶液濃度２〇一ｔ％
の塩化アルミニウム添加量とトラック幅の差の関係、ロ
ー口は水酸化カリウム水溶液濃度３０ｈ ｔ％の塩化ア
ルξニウム添加量とトラック幅の差の関係、Δ−Δは水
酸化カリウム水溶液濃度３０−ｔ％の塩化アルミニウム
添加量とトラソク幅の差の関係を示している。
％の水酸化カリウム水溶液に塩化アルミニウムを添加量
を変化させて加えた場合に、ビーム径４μｍ、レーザー
パワー９０ｍｌｌ、走査速度１０ｕｍ ／ｓｅｃで加工
した時のトラック幅の差を示すグラフである。第３図に
おいて、○−○は水酸化カリウム水溶液濃度２〇一ｔ％
の塩化アルミニウム添加量とトラック幅の差の関係、ロ
ー口は水酸化カリウム水溶液濃度３０ｈ ｔ％の塩化ア
ルξニウム添加量とトラック幅の差の関係、Δ−Δは水
酸化カリウム水溶液濃度３０−ｔ％の塩化アルミニウム
添加量とトラソク幅の差の関係を示している。
第３図から、トラック幅の差は添加量が多いほど小さく
なり、この傾向は水酸化カリウム水溶液濃度が２０ｗｔ
％、２５ｗｔ％、３０ｗ ｔ％と変化しても同じである
ことがわかる。また、添加量を一定とした時、トランク
幅の差は濃度が低いほど小さくなることがわかる。
なり、この傾向は水酸化カリウム水溶液濃度が２０ｗｔ
％、２５ｗｔ％、３０ｗ ｔ％と変化しても同じである
ことがわかる。また、添加量を一定とした時、トランク
幅の差は濃度が低いほど小さくなることがわかる。
このように、トラック幅の差は添加量が多いほど小さく
なるが、その値は水酸化カリウム水溶液濃度の違いによ
って異なるため、適切な添加量の範囲が変化することが
わかる。
なるが、その値は水酸化カリウム水溶液濃度の違いによ
って異なるため、適切な添加量の範囲が変化することが
わかる。
例えば、添加量を０．５ ｗｔ％とした時、水酸化カリ
ウム水溶液濃度２０ｗｔ％ではトラック幅の差１μｍ以
下を得ることができるが、濃度２５机％、３０−Ｌ％で
はトラック幅の差１μｍ以下を得ることができないこと
がわかる。添加量を４ｗｔ％とした時、濃度２０−ｔ％
、２５ｗ ｔ％ではトラック幅の差１μｍ以下を得るこ
とができるが、濃度３０ｗｔ％ではトラック幅の差１μ
ｍ以下を得ることができないことがわかる。また、添加
量を９ｗｔ％とした時、濃度２Ｑ＋ｙｔ％、２５ｗ ｔ
％、３０ｗｔ％でトラック幅の差１μｍ以下を得ること
ができることがわかる。
ウム水溶液濃度２０ｗｔ％ではトラック幅の差１μｍ以
下を得ることができるが、濃度２５机％、３０−Ｌ％で
はトラック幅の差１μｍ以下を得ることができないこと
がわかる。添加量を４ｗｔ％とした時、濃度２０−ｔ％
、２５ｗ ｔ％ではトラック幅の差１μｍ以下を得るこ
とができるが、濃度３０ｗｔ％ではトラック幅の差１μ
ｍ以下を得ることができないことがわかる。また、添加
量を９ｗｔ％とした時、濃度２Ｑ＋ｙｔ％、２５ｗ ｔ
％、３０ｗｔ％でトラック幅の差１μｍ以下を得ること
ができることがわかる。
従って、目的とするトラック幅の差に対する適切な添加
量は、アルカリ金属水酸化物水溶液濃度を考慮して選定
されなければならない。すなわち、ビーム径４μｍ、レ
ーザーパヮー９０ｍＷ、走査速度１０μｍ ／ｓｅｃで
水酸化カリウム水溶液に塩化アルミニウムを添加して加
工を行う場合、トラック幅の差が１μｍ以下である塩化
アルミニウムの添加量の範囲は、水酸化カリウム水溶液
濃度が２０ｗ ｔ％の時０．５ ｗｔ％以上、濃度２５
−ｔ％の時２ｗｔ％以上、濃度３０−ｔ％の時６．５
ｗｔ％以上である。
量は、アルカリ金属水酸化物水溶液濃度を考慮して選定
されなければならない。すなわち、ビーム径４μｍ、レ
ーザーパヮー９０ｍＷ、走査速度１０μｍ ／ｓｅｃで
水酸化カリウム水溶液に塩化アルミニウムを添加して加
工を行う場合、トラック幅の差が１μｍ以下である塩化
アルミニウムの添加量の範囲は、水酸化カリウム水溶液
濃度が２０ｗ ｔ％の時０．５ ｗｔ％以上、濃度２５
−ｔ％の時２ｗｔ％以上、濃度３０−ｔ％の時６．５
ｗｔ％以上である。
第４図は、濃度２５ｗ ｔ％水酸化カリウム水溶液にア
ルくン酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウム
を６れ％添加し、ビーム径４μｍ、走査速度１０ｕｍ
／ｓｅｃでレーザーバワーを変化させて加工した時のト
ラック幅の差を示すグラフである。
ルくン酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウム
を６れ％添加し、ビーム径４μｍ、走査速度１０ｕｍ
／ｓｅｃでレーザーバワーを変化させて加工した時のト
ラック幅の差を示すグラフである。
第４図から、トラック幅の差はレーザーパワーが高いほ
ど大きくなることがわかる。
ど大きくなることがわかる。
このようにレーザーパワーの違いによってトラック幅の
差が異なるため、適切な添加量の範囲が変化することが
わかる。例えば、レーザーバワー８５ｍＷではトラック
幅の差１μｍ以下を得ることができるが、レーザーパワ
ー９５ｍＷではトラック幅の差１μｍ以下を得ることが
できないことがわかる。
差が異なるため、適切な添加量の範囲が変化することが
わかる。例えば、レーザーバワー８５ｍＷではトラック
幅の差１μｍ以下を得ることができるが、レーザーパワ
ー９５ｍＷではトラック幅の差１μｍ以下を得ることが
できないことがわかる。
従って、目的とするトラック幅の差に対する適切な添加
量はアルカリ金属水酸化物水溶液濃度、更にレーザーパ
ワーを考慮して選定されなければならない。
量はアルカリ金属水酸化物水溶液濃度、更にレーザーパ
ワーを考慮して選定されなければならない。
第５図は、濃度２５−ｔ％の水酸化カリウム水溶液にア
ルミン酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウム
を９ｗｔ％添加し、ビーム径４μｍ、レーザーパワー８
５ｍＷで走査速度を変化させて加工した時のトラック幅
の差を示すグラフである。第５図から、トランク幅の差
は走査速度が大きいほど小さくなることがわかる。
ルミン酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウム
を９ｗｔ％添加し、ビーム径４μｍ、レーザーパワー８
５ｍＷで走査速度を変化させて加工した時のトラック幅
の差を示すグラフである。第５図から、トランク幅の差
は走査速度が大きいほど小さくなることがわかる。
このように走査速度の違いによってトラック幅の差が異
なるため、適切な添加量の範囲が変化することがわかる
。例えば、走査速度１５μｍ ／ｓｅｃではトラック幅
の差０．５ μｍ以下を得ることができるが、走査速度
１０μｍ ／ｓｅｃではトランク幅の差０．５μｍ以下
を得ることができないことがわかる。従って、目的とす
るトラック幅の差に対する適切な添加量はアルカリ金属
水酸化物水溶液濃度、レーザーパワー、更に走査速度を
考慮して選定されなければならない。
なるため、適切な添加量の範囲が変化することがわかる
。例えば、走査速度１５μｍ ／ｓｅｃではトラック幅
の差０．５ μｍ以下を得ることができるが、走査速度
１０μｍ ／ｓｅｃではトランク幅の差０．５μｍ以下
を得ることができないことがわかる。従って、目的とす
るトラック幅の差に対する適切な添加量はアルカリ金属
水酸化物水溶液濃度、レーザーパワー、更に走査速度を
考慮して選定されなければならない。
上記第３図に示すように、添加量が多いほどアルミニウ
ムのエッチングが抑えられ、トラック幅の差が小さくな
ることがわかる。ところが、添加量が多過ぎるとフエラ
イトのエッチングも抑えられるようになり、必要とする
加工深さが得られなかったり、寸法精度が低下したりす
る。従って、適切な添加量の選定は、目的とするトラッ
ク幅の差に対してだけでなく、目的とする加工深さ、目
的とする寸法精度に対しても考慮されなければならない
。
ムのエッチングが抑えられ、トラック幅の差が小さくな
ることがわかる。ところが、添加量が多過ぎるとフエラ
イトのエッチングも抑えられるようになり、必要とする
加工深さが得られなかったり、寸法精度が低下したりす
る。従って、適切な添加量の選定は、目的とするトラッ
ク幅の差に対してだけでなく、目的とする加工深さ、目
的とする寸法精度に対しても考慮されなければならない
。
第６図は、濃度２９ｗ ｔ％水酸化カリウム水溶液にア
ルミン酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウム
を添加量を変化させて加えた場合に、ビーム径４ ｕ
ｍ 、レーザーパワー８０ｍＷ、走査速度ｌＯμｍ ／
ｓｅｃで加工した時のトラック幅の差と加工深さを示す
グラフである。第６図において、〇一〇は添加量とトラ
ック幅の差の関係をΔ一Δは添加量と加工深さの関係を
示している。
ルミン酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウム
を添加量を変化させて加えた場合に、ビーム径４ ｕ
ｍ 、レーザーパワー８０ｍＷ、走査速度ｌＯμｍ ／
ｓｅｃで加工した時のトラック幅の差と加工深さを示す
グラフである。第６図において、〇一〇は添加量とトラ
ック幅の差の関係をΔ一Δは添加量と加工深さの関係を
示している。
第６図から、トラック幅の差はある添加量までは多いほ
ど小さくなるが、それ以上では一定となることがわかる
。また、加工深さはある添加量までは多くなっても一定
であるが、それ以上では多いほど小さくなることがわか
る。
ど小さくなるが、それ以上では一定となることがわかる
。また、加工深さはある添加量までは多くなっても一定
であるが、それ以上では多いほど小さくなることがわか
る。
このように、添加量の違いによってトランク幅の差、加
工深さが異なるため、適切な添加量の範囲は目的とする
トランク幅の差、目的とする加工深さによって変化する
ことがわかる。
工深さが異なるため、適切な添加量の範囲は目的とする
トランク幅の差、目的とする加工深さによって変化する
ことがわかる。
たとえば、添加量を１．４ ｗｔ％とした時、加工深さ
５μｍ以上は得ることができるが、１・ラック幅の差２
μｍ以下を得ることができないことがわかる。添加量を
４．１ ｗｔ％とした時、加工深さ５μｍ以上でトラン
ク幅の差２μｍ以下を得ることができることがわかる。
５μｍ以上は得ることができるが、１・ラック幅の差２
μｍ以下を得ることができないことがわかる。添加量を
４．１ ｗｔ％とした時、加工深さ５μｍ以上でトラン
ク幅の差２μｍ以下を得ることができることがわかる。
また、添加量を６．７ ｗｔ％とした時、加工深さ５μ
ｍ以上でトランク幅の差１μｍ以下を得ることができる
ことがわかる。添加量を１０ｗｔ％とした時、トラック
幅の差１μｍ以下は得ることができるが、加工深さ５μ
ｍ以上を得ることができないことがわかる。
ｍ以上でトランク幅の差１μｍ以下を得ることができる
ことがわかる。添加量を１０ｗｔ％とした時、トラック
幅の差１μｍ以下は得ることができるが、加工深さ５μ
ｍ以上を得ることができないことがわかる。
ビーム径４μｍ，レーザーパワー８０ｍＷ、走査速度１
０μｍ ／ｓｅｃで濃度２９ｗ ｔ％水酸化カリウム水
溶液に硝酸アルミニウムを添加して加工を行う場合、ト
ラック幅の差が２μｍ以下で加工深さ５μｍ以上の添加
量の範囲は、２ｗｔ％〜９ｗｔ％である。また、トラッ
ク幅の差がｌμｍ以下で加工深さ５μｍ以上の添加量の
範囲は、６．５ ｗｔ％〜９ｗＬ％である。
０μｍ ／ｓｅｃで濃度２９ｗ ｔ％水酸化カリウム水
溶液に硝酸アルミニウムを添加して加工を行う場合、ト
ラック幅の差が２μｍ以下で加工深さ５μｍ以上の添加
量の範囲は、２ｗｔ％〜９ｗｔ％である。また、トラッ
ク幅の差がｌμｍ以下で加工深さ５μｍ以上の添加量の
範囲は、６．５ ｗｔ％〜９ｗＬ％である。
第７図は、濃度２３ｗ ｔ％水酸化カリウム水溶液にア
ルミン酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウム
を添加量を変化させて加えた場合に、ビ一ム径４ｇｍ、
レーザーパワー８０ｍ一、走査速度１０μｍ ／ｓｅｃ
で加工した時のトラック幅の差と加工深さを示すグラフ
である。第７図において、〇一〇は添加量とトラック幅
の差の関係を、△一△は添加量と加工深さの関係を示し
ている。第７図から、トラック幅の差はある添加量まで
は多いはど小さくなるが、それ以上では一定となること
がわかる。
ルミン酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウム
を添加量を変化させて加えた場合に、ビ一ム径４ｇｍ、
レーザーパワー８０ｍ一、走査速度１０μｍ ／ｓｅｃ
で加工した時のトラック幅の差と加工深さを示すグラフ
である。第７図において、〇一〇は添加量とトラック幅
の差の関係を、△一△は添加量と加工深さの関係を示し
ている。第７図から、トラック幅の差はある添加量まで
は多いはど小さくなるが、それ以上では一定となること
がわかる。
また、フエライト部分のトラック幅寸法精度は、ある添
加量までは多くなっても一定であるが、それ以上では多
いほど低下することがわかる。このように添加量の違い
によってトラック幅の差、寸法精度が異なるため、適切
な添加量の範囲は目的とするトラック幅の差、目的とす
る寸法精度によって変化することがわかる。
加量までは多くなっても一定であるが、それ以上では多
いほど低下することがわかる。このように添加量の違い
によってトラック幅の差、寸法精度が異なるため、適切
な添加量の範囲は目的とするトラック幅の差、目的とす
る寸法精度によって変化することがわかる。
例えば、添加量を１．５ ｗｔ％とした時、寸法精度±
１μｍ以下は得ることができるが、トランク幅の差ｌμ
ｍ以下を得ることができないことがわかる。添加量を４
．４ ｗｔ％とした時、寸法精度±１μｍ以下でトラッ
ク幅の差１μｍ以下を得ることができることがわかる。
１μｍ以下は得ることができるが、トランク幅の差ｌμ
ｍ以下を得ることができないことがわかる。添加量を４
．４ ｗｔ％とした時、寸法精度±１μｍ以下でトラッ
ク幅の差１μｍ以下を得ることができることがわかる。
また、添加量を７．ｌｗｔ％とした時、寸法精度±１μ
ｍ以下でトラック幅の差０．５μｍ以下を得ることがで
きることがわかる。さらに、添加量を９．７ ｗｔ％と
した時、トラック幅の差０．５μｍ以下は得ることがで
きるが、寸法精度士１μｍ以下を得ることができないこ
とがわかる。
ｍ以下でトラック幅の差０．５μｍ以下を得ることがで
きることがわかる。さらに、添加量を９．７ ｗｔ％と
した時、トラック幅の差０．５μｍ以下は得ることがで
きるが、寸法精度士１μｍ以下を得ることができないこ
とがわかる。
すなわち、ビーム径４μｍ１レーザーパヮー８０ｍ一、
走査速度１０μｍ ／ｓｅｃで濃度２３ｗ ｔ％水酸化
カリウム水溶液に硝酸アルくニウムを添加して加工を行
う場合、トランク幅の差が１．５μｍ以下で寸法精度±
１．５μｍ以下の添加量の範囲は、１．５ｗｔ％〜１０
ｗｔ％である。また、トランク幅の差が１μｍ以下で寸
法精度±１μｍ以下の添加量の範囲は、４匈ｔ％〜７ｗ
ｔ％である。
走査速度１０μｍ ／ｓｅｃで濃度２３ｗ ｔ％水酸化
カリウム水溶液に硝酸アルくニウムを添加して加工を行
う場合、トランク幅の差が１．５μｍ以下で寸法精度±
１．５μｍ以下の添加量の範囲は、１．５ｗｔ％〜１０
ｗｔ％である。また、トランク幅の差が１μｍ以下で寸
法精度±１μｍ以下の添加量の範囲は、４匈ｔ％〜７ｗ
ｔ％である。
上記第３図〜第７図に示すように、適切なアルミン酸イ
オンを与える添加剤の添加量の範囲は、アルカリ金属水
酸化物水溶液濃度、レーザーパヮ、走査速度の違い、ま
た目的とするトラック幅の差、加工深さ、寸法精度によ
って変化することがわかる。
オンを与える添加剤の添加量の範囲は、アルカリ金属水
酸化物水溶液濃度、レーザーパヮ、走査速度の違い、ま
た目的とするトラック幅の差、加工深さ、寸法精度によ
って変化することがわかる。
上述のように適切なアルミン酸イオンを与える？加剤の
添加量の決定は、トランク幅の差、加工深さ、寸法精度
を考慮して、添加剤の種類、水溶液濃度、レーザーパワ
ー、走査速度、レーザービーム径を総合的に判断して行
うことが必要である。
添加量の決定は、トランク幅の差、加工深さ、寸法精度
を考慮して、添加剤の種類、水溶液濃度、レーザーパワ
ー、走査速度、レーザービーム径を総合的に判断して行
うことが必要である。
■ 磁気ヘンド用コアの作製
第８図（ａ）〜（ｇ）はそれぞれフエライトとセンダス
トよりなる複合型のＶＴＲ ４ｆｆ気ヘッド用コアの本
発明による製造工程の一例を示す斜視図である。
トよりなる複合型のＶＴＲ ４ｆｆ気ヘッド用コアの本
発明による製造工程の一例を示す斜視図である。
まず第８図（ａ）に示すように、フエライト棒材１１ａ
とコイル巻線孔に対応する溝１２を有するフエライト捧
材１ｌｂのギャップ対向面Ｉ３に、それぞれ５μｍの厚
さのセンダスト膜１４を第８図（ｂ）に示すように形威
し、さらにその上に磁気ギャップとなるＳｉＯ■等の非
磁性材料１５を所定の｛Ｒ気ギャップ長と等しい厚さで
第８図（Ｃ）に示すように形威した後、これらをつき合
わせガラス溶着により接合して、第８図（ｄ）に示すよ
うな磁気ギャップ１５を有するギャップパー４を形戊す
る。次に、レーザーバワー１５０ｍＷ、走査速度１０μ
ｍ ／ｓｅｃ、レーザービーム径４μｍ、水酸化カリウ
ム水溶液濃度２５−ｔ％、塩化アルくニウム添加量８ｗ
Ｌ％、液面高さ５００μｍの条件で、ギャップパー４に
第８図（ｅ）に示すように溝１６を加工し、第８図（ｆ
）に示すように溝ｌ６内にガラスｌ７を埋め込み、所定
の寸法まで研磨する。最後に、これを所定の幅に切り出
して第８図（ｇ）に示すような複合型ＶＴＩ？ヘソＦ用
コア１８を得た。かくして得られた磁気ヘッド用コア１
８は、クランクや｝容融物の付着がなくかつ腐食がなく
、フエライト部分の１一ランク幅とセンダスト部分のト
ランク幅の差が小さい高精度のトラックが形威され、信
頼性の高いものであった。
とコイル巻線孔に対応する溝１２を有するフエライト捧
材１ｌｂのギャップ対向面Ｉ３に、それぞれ５μｍの厚
さのセンダスト膜１４を第８図（ｂ）に示すように形威
し、さらにその上に磁気ギャップとなるＳｉＯ■等の非
磁性材料１５を所定の｛Ｒ気ギャップ長と等しい厚さで
第８図（Ｃ）に示すように形威した後、これらをつき合
わせガラス溶着により接合して、第８図（ｄ）に示すよ
うな磁気ギャップ１５を有するギャップパー４を形戊す
る。次に、レーザーバワー１５０ｍＷ、走査速度１０μ
ｍ ／ｓｅｃ、レーザービーム径４μｍ、水酸化カリウ
ム水溶液濃度２５−ｔ％、塩化アルくニウム添加量８ｗ
Ｌ％、液面高さ５００μｍの条件で、ギャップパー４に
第８図（ｅ）に示すように溝１６を加工し、第８図（ｆ
）に示すように溝ｌ６内にガラスｌ７を埋め込み、所定
の寸法まで研磨する。最後に、これを所定の幅に切り出
して第８図（ｇ）に示すような複合型ＶＴＩ？ヘソＦ用
コア１８を得た。かくして得られた磁気ヘッド用コア１
８は、クランクや｝容融物の付着がなくかつ腐食がなく
、フエライト部分の１一ランク幅とセンダスト部分のト
ランク幅の差が小さい高精度のトラックが形威され、信
頼性の高いものであった。
なお、本発明はＶＴＲヘッド用コアの製造方法に何等限
定されるものではなく、ＲＤＤ， ＦＤＤ等の各種磁気
ヘッド用コアにも好適に使用されるものである。また、
本発明はトラック加工に限定されるものではなく、フエ
ライトとセンダストの複合材料の各種加工にも好適に利
用されるものである。
定されるものではなく、ＲＤＤ， ＦＤＤ等の各種磁気
ヘッド用コアにも好適に使用されるものである。また、
本発明はトラック加工に限定されるものではなく、フエ
ライトとセンダストの複合材料の各種加工にも好適に利
用されるものである。
（発明の効果）
以上述べてきたところから明らかなように、本発明の製
造方法によれば、所定濃度のアルカリ金属水酸化物の水
溶液に所定量のアルミン酸イオンを与える添加剤を加え
た溶液中で所定のレーザービームを所定の走査速度で照
射することにより、フエライトとセンダストよりなる複
合型の磁気ギャップバーに対して、センダストの侵食が
なく、フエライト部分のトラック幅とセンダスト部分の
トラック幅の差が小さい幅の狭い高精度のトラックを形
威できるため、信頼性の高い複合型磁気ヘッド用コアを
製造することができる。
造方法によれば、所定濃度のアルカリ金属水酸化物の水
溶液に所定量のアルミン酸イオンを与える添加剤を加え
た溶液中で所定のレーザービームを所定の走査速度で照
射することにより、フエライトとセンダストよりなる複
合型の磁気ギャップバーに対して、センダストの侵食が
なく、フエライト部分のトラック幅とセンダスト部分の
トラック幅の差が小さい幅の狭い高精度のトラックを形
威できるため、信頼性の高い複合型磁気ヘッド用コアを
製造することができる。
第１図はこの発明を実施する装置の一例を示す概念図、
第２図は種々のアルミン酸イオンを与える添加剤を添加
したときと添加材を添加しなかったときの加工可能なト
ラック幅の差を比較するためのグラフ、 第３図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差との関係を示すグラフ、 第４図は本発明におけるレーザーバワーと加工可能なト
ラック幅との関係を示すグラフ、第５図は本発明におけ
る走査速度と加工可能なトラック幅の差との関係を示す
グラフ、第６図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添
加量と加工可能なトラック幅の差および加工深さとの関
係を示すグラフ、 第７図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差およびトラック幅の寸法精度と
の関係を示すグラフ、 第８図（ａ）〜（８）はそれぞれこの発明をフエライト
とセンダストよりなる複合型のＶＴＲ磁気ヘッド用コア
の製造に適用した場合の加工手順を示す斜視図である。 １・・・Ｘ−Ｙテーブル ２・・・加工容器３・・・
試料台 ４・・・ギャップパー５・・・アル
ξン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカリ金属水酸
化物水溶液 ６・・・マイクロメータ ７・・・石英窓８・・・レ
ーザー光 ９・・・レーザー光源ｌＯ・・・レン
ズ系
したときと添加材を添加しなかったときの加工可能なト
ラック幅の差を比較するためのグラフ、 第３図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差との関係を示すグラフ、 第４図は本発明におけるレーザーバワーと加工可能なト
ラック幅との関係を示すグラフ、第５図は本発明におけ
る走査速度と加工可能なトラック幅の差との関係を示す
グラフ、第６図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添
加量と加工可能なトラック幅の差および加工深さとの関
係を示すグラフ、 第７図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差およびトラック幅の寸法精度と
の関係を示すグラフ、 第８図（ａ）〜（８）はそれぞれこの発明をフエライト
とセンダストよりなる複合型のＶＴＲ磁気ヘッド用コア
の製造に適用した場合の加工手順を示す斜視図である。 １・・・Ｘ−Ｙテーブル ２・・・加工容器３・・・
試料台 ４・・・ギャップパー５・・・アル
ξン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカリ金属水酸
化物水溶液 ６・・・マイクロメータ ７・・・石英窓８・・・レ
ーザー光 ９・・・レーザー光源ｌＯ・・・レン
ズ系
Claims (1)
- １、フェライトとセンダストよりなる複合型磁気ヘッド
用コアのトラックをレーザー加工により形成する製造方
法において、アルミン酸イオンを与える添加剤を加えた
アルカリ金属水酸化物の水溶液中で、レーザー加工する
ことを特徴とする磁気ヘッド用コアの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231664A JPH0731780B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 磁気ヘッド用コアの製造方法 |
| EP90309817A EP0416939B1 (en) | 1989-09-08 | 1990-09-07 | Method of producing a core for magnetic head |
| DE69024288T DE69024288T2 (de) | 1989-09-08 | 1990-09-07 | Herstellungsverfahren eines Kernes für einen Magnetkopf |
| KR1019900014212A KR960002609B1 (ko) | 1989-09-08 | 1990-09-08 | 마그네틱 헤드용 코어의 제조방법 |
| US07/579,584 US5041189A (en) | 1989-09-08 | 1990-09-10 | Method of producing a core for magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231664A JPH0731780B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 磁気ヘッド用コアの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0395709A true JPH0395709A (ja) | 1991-04-22 |
| JPH0731780B2 JPH0731780B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=16927048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1231664A Expired - Lifetime JPH0731780B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 磁気ヘッド用コアの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5041189A (ja) |
| EP (1) | EP0416939B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0731780B2 (ja) |
| KR (1) | KR960002609B1 (ja) |
| DE (1) | DE69024288T2 (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5588152A (en) * | 1990-11-13 | 1996-12-24 | International Business Machines Corporation | Advanced parallel processor including advanced support hardware |
| US5590345A (en) * | 1990-11-13 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | Advanced parallel array processor(APAP) |
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