JPH0731780B2 - 磁気ヘッド用コアの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド用コアの製造方法Info
- Publication number
- JPH0731780B2 JPH0731780B2 JP1231664A JP23166489A JPH0731780B2 JP H0731780 B2 JPH0731780 B2 JP H0731780B2 JP 1231664 A JP1231664 A JP 1231664A JP 23166489 A JP23166489 A JP 23166489A JP H0731780 B2 JPH0731780 B2 JP H0731780B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track width
- difference
- less
- processing
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/53—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone involving the removal of at least part of the materials of the treated article, e.g. etching, drying of hardened concrete
- C04B41/5338—Etching
- C04B41/5353—Wet etching, e.g. with etchants dissolved in organic solvents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/91—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics involving the removal of part of the materials of the treated articles, e.g. etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気ヘッド用コアの製造方法に関し、特にレ
ーザーによって熱化学反応を誘起されるレーザー誘起エ
ッチングを用いたトラックの磁気ヘッド用コアを製造す
る方法に関するものである。
ーザーによって熱化学反応を誘起されるレーザー誘起エ
ッチングを用いたトラックの磁気ヘッド用コアを製造す
る方法に関するものである。
（従来の技術） 近年、フロッピーディスク装置（FDD）、固定磁気ディ
スク（RDD）、VTR等の磁気記録は高密度化の一途をたど
り、それに伴ない磁気ヘッドのトラック幅は狭く且つ高
精度になる傾向にある。現在、トラック幅の寸法精度
は、VTR,FDDで±２μｍ以下、RDDでは±１μｍ以下が必
要である。
スク（RDD）、VTR等の磁気記録は高密度化の一途をたど
り、それに伴ない磁気ヘッドのトラック幅は狭く且つ高
精度になる傾向にある。現在、トラック幅の寸法精度
は、VTR,FDDで±２μｍ以下、RDDでは±１μｍ以下が必
要である。
これらの磁気ヘッド用コアを形成するに際して、従来か
らトラック部を空気中においてレーザー加工で行うこと
が知られており、特開昭51−29118号公報，特開昭57−2
12617号公報等に開示されている。さらに特開昭55−117
726号公報、特開昭61−260408号公報等には、センダス
ト等の高透磁率合金よりなる磁気ヘッド用コアや、フェ
ライトと高透磁率合金よりなる複合型磁気ヘッド用コア
のトラック形成を空気中においてレーザー加工で行うこ
とが開示されている。
らトラック部を空気中においてレーザー加工で行うこと
が知られており、特開昭51−29118号公報，特開昭57−2
12617号公報等に開示されている。さらに特開昭55−117
726号公報、特開昭61−260408号公報等には、センダス
ト等の高透磁率合金よりなる磁気ヘッド用コアや、フェ
ライトと高透磁率合金よりなる複合型磁気ヘッド用コア
のトラック形成を空気中においてレーザー加工で行うこ
とが開示されている。
（発明が解決しようとする課題） しかしながらこれらの方法では、被加工物の加工温度は
被加工物の融点温度以上に達するため、加工面には熱に
よる加工歪やそれに伴うクラックを生じ、磁気ヘッドの
特性劣化を招いていた。また、加工面及びその周辺部に
は、被加工物の溶融凝固物や溶融飛散物の付着が起こる
とともに熱歪やクラック等の問題もあり、面粗度や寸法
精度が低下して近年要望の高い寸法精度±２μｍ以下の
高精度のトラック加工が行えない問題があった。
被加工物の融点温度以上に達するため、加工面には熱に
よる加工歪やそれに伴うクラックを生じ、磁気ヘッドの
特性劣化を招いていた。また、加工面及びその周辺部に
は、被加工物の溶融凝固物や溶融飛散物の付着が起こる
とともに熱歪やクラック等の問題もあり、面粗度や寸法
精度が低下して近年要望の高い寸法精度±２μｍ以下の
高精度のトラック加工が行えない問題があった。
ところで、特開昭60−60995号公報や昭和60年度精機学
会春季大会学術講演会文集（講演番号404）、工業材料
第33巻第14号（P.57〜P.62）では、磁気ヘッド加工とは
別の分野で水酸化カリウム水溶液中でレーザーを照射
し、レーザー誘起エッチングにより、フェライトやSi3N
4,SiC等のセラミックスを加工する方法が開示されてい
る。しかしながら、ここに開示されている３つの方法
は、何れも磁気ヘッド加工に必要な高い精度を得るため
の要件が欠落しており、磁気ヘッド加工に要求されるよ
うな精度での加工はできなかった。
会春季大会学術講演会文集（講演番号404）、工業材料
第33巻第14号（P.57〜P.62）では、磁気ヘッド加工とは
別の分野で水酸化カリウム水溶液中でレーザーを照射
し、レーザー誘起エッチングにより、フェライトやSi3N
4,SiC等のセラミックスを加工する方法が開示されてい
る。しかしながら、ここに開示されている３つの方法
は、何れも磁気ヘッド加工に必要な高い精度を得るため
の要件が欠落しており、磁気ヘッド加工に要求されるよ
うな精度での加工はできなかった。
この発明は上記従来の課題の内、特にセンダストの侵食
の問題を解消するためになされたものであり、その目的
とするところは、レーザー誘起エッチング方法により高
精度のトラックを加工し、信頼性の高い磁気ヘッド用コ
アを製造し得る方法を提供することにある。
の問題を解消するためになされたものであり、その目的
とするところは、レーザー誘起エッチング方法により高
精度のトラックを加工し、信頼性の高い磁気ヘッド用コ
アを製造し得る方法を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明の磁気ヘッド用コアの製造方法は、フェライトと
センダストよりなる複合型磁気ヘッド用コアのトラック
幅をレーザー加工により形成する製造方法において、ア
ルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカリ金属水
酸化物の水溶液中で、レーザー加工することを特徴とす
るものである。
センダストよりなる複合型磁気ヘッド用コアのトラック
幅をレーザー加工により形成する製造方法において、ア
ルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカリ金属水
酸化物の水溶液中で、レーザー加工することを特徴とす
るものである。
（作 用） 上述した構成において、コイル巻線孔と磁気ギャップを
有するギャップバーに対して、アルミン酸イオンを与え
る添加剤を加えたアルカリ金属水酸化物の水溶液中でギ
ャップバー表面にレーザー光を照射することにより、セ
ンダストの侵食がなく、フェライト部分のトラック幅と
センダスト部分のトラック幅の差が小さい高精度のトラ
ックを形成することができる。
有するギャップバーに対して、アルミン酸イオンを与え
る添加剤を加えたアルカリ金属水酸化物の水溶液中でギ
ャップバー表面にレーザー光を照射することにより、セ
ンダストの侵食がなく、フェライト部分のトラック幅と
センダスト部分のトラック幅の差が小さい高精度のトラ
ックを形成することができる。
トラック幅の寸法精度は±２μｍ以下が必要であり、好
ましくは±１μｍ以下が必要である。また、これに伴な
いフェライト部分のトラック幅とセンダスト部分のトラ
ック幅の差は２μｍ以下が必要であり、好ましくは１μ
ｍ以下が必要である。
ましくは±１μｍ以下が必要である。また、これに伴な
いフェライト部分のトラック幅とセンダスト部分のトラ
ック幅の差は２μｍ以下が必要であり、好ましくは１μ
ｍ以下が必要である。
本発明のレーザー誘起エッチング法に於いて、アルカリ
金属水酸化物の水溶液は被加工物であるギャップバーの
エッチング液として作用する。フェライト及びセンダト
の主生物である鉄は、高温のアルカリ金属水酸化物水溶
液に良好にエッチングされる。ところが、センダストの
組成の１つであるアルミニウムは、アルカリ金属水酸化
物水溶液に過度にエッチングされるためセンダストが侵
食され、センダスト部分のトラック幅がフェライト部分
のトラック幅より小さくなり、寸法精度が低下して上述
した条件を達成できない場合がある。そこで、本発明で
は、このアルミニウムのエッチングを抑えるために、ア
ルカリ金属水酸化物水溶液中にアルミン酸イオンを与え
る添加剤を加えることにより、フェライト部分のトラッ
ク幅とセンダスト部分のトラック幅の差を２μｍ以下に
することができ、この問題を解消することができる。
金属水酸化物の水溶液は被加工物であるギャップバーの
エッチング液として作用する。フェライト及びセンダト
の主生物である鉄は、高温のアルカリ金属水酸化物水溶
液に良好にエッチングされる。ところが、センダストの
組成の１つであるアルミニウムは、アルカリ金属水酸化
物水溶液に過度にエッチングされるためセンダストが侵
食され、センダスト部分のトラック幅がフェライト部分
のトラック幅より小さくなり、寸法精度が低下して上述
した条件を達成できない場合がある。そこで、本発明で
は、このアルミニウムのエッチングを抑えるために、ア
ルカリ金属水酸化物水溶液中にアルミン酸イオンを与え
る添加剤を加えることにより、フェライト部分のトラッ
ク幅とセンダスト部分のトラック幅の差を２μｍ以下に
することができ、この問題を解消することができる。
アルミン酸イオンを与える添加剤として、アルミニウ
ム、水酸化アルミニウム、硝酸アルミニウム、塩化アル
ミニウム、硫酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、
硫酸アルミニウムカリウム、硫酸アルミニウムナトリウ
ムが挙げられ、少なくとも１種類以上をアルカリ金属水
酸化物水溶液中に添加することにより効果が得られる。
ム、水酸化アルミニウム、硝酸アルミニウム、塩化アル
ミニウム、硫酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、
硫酸アルミニウムカリウム、硫酸アルミニウムナトリウ
ムが挙げられ、少なくとも１種類以上をアルカリ金属水
酸化物水溶液中に添加することにより効果が得られる。
（実施例） 装置構成 第１図は本発明を実施する装置の一例を示す図である。
本実施例では、Ｘ−Ｙテーブル１に加工容器２が載置さ
れており、その中には試料台３とその上に置かれた被加
工物であるギャップバー４が配置されている。加工容器
２の内部にはアルミン酸イオンを与える添加剤を加えた
水酸化カリウムや水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水
酸化物の水溶液５が満たされており、マイクロメータ６
でその位置を調整可能な石英窓７によって、ギャップバ
ー４上のアルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアル
カリ金属水酸化物の水溶液５の液面高さをコントロール
している。液面高さは、小さ過ぎると液の流れが遅くな
り、水溶液は過度に温められて気泡が発生しやすくなる
ため、加工深さは減少し寸法精度は低下する。液面高さ
が200μｍ以上ではこの影響はほとんどないが、液面高
さが大き過ぎるとレーザー光が水溶液中を通過する間に
損失する光量が増して加工深さが減少したり、液の流れ
が液面の上下方向の対流となって発生するため、加工点
から排出された切削くずや気泡がこの対流にのって巻き
上げられ、レーザ光を散乱させ、加工深さの減少や寸法
精度の低下を招く。従って、液面高さは200μｍ以上に
することが望ましく、より好ましくは、300〜10000μｍ
にすることが望ましい。
本実施例では、Ｘ−Ｙテーブル１に加工容器２が載置さ
れており、その中には試料台３とその上に置かれた被加
工物であるギャップバー４が配置されている。加工容器
２の内部にはアルミン酸イオンを与える添加剤を加えた
水酸化カリウムや水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水
酸化物の水溶液５が満たされており、マイクロメータ６
でその位置を調整可能な石英窓７によって、ギャップバ
ー４上のアルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアル
カリ金属水酸化物の水溶液５の液面高さをコントロール
している。液面高さは、小さ過ぎると液の流れが遅くな
り、水溶液は過度に温められて気泡が発生しやすくなる
ため、加工深さは減少し寸法精度は低下する。液面高さ
が200μｍ以上ではこの影響はほとんどないが、液面高
さが大き過ぎるとレーザー光が水溶液中を通過する間に
損失する光量が増して加工深さが減少したり、液の流れ
が液面の上下方向の対流となって発生するため、加工点
から排出された切削くずや気泡がこの対流にのって巻き
上げられ、レーザ光を散乱させ、加工深さの減少や寸法
精度の低下を招く。従って、液面高さは200μｍ以上に
することが望ましく、より好ましくは、300〜10000μｍ
にすることが望ましい。
なお、石英窓７は液面高さをコントロールすると同時
に、液面のゆらぎをなくし加工精度を向上させている。
レーザー光８はレーザー光源９から放射され、レンズ系
10、石英窓７を通してギャップバー４上に照射される。
この時、Ｘ−Ｙテーブル１を動かすことによって所要の
形状の加工を行うことができる。
に、液面のゆらぎをなくし加工精度を向上させている。
レーザー光８はレーザー光源９から放射され、レンズ系
10、石英窓７を通してギャップバー４上に照射される。
この時、Ｘ−Ｙテーブル１を動かすことによって所要の
形状の加工を行うことができる。
加工条件の決定 第２図に25wt％の水酸化カリウム水溶液に何も添加しな
かった場合と、アルミン酸イオンを与える添加剤として
硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、アルミン酸ナト
リウム、硫酸カリウムアルミニウム、塩化アルミニウム
を5wt％添加した場合に、ビーム径４μｍ、レーザーパ
ワー80mW、走査速度10μm/secで加工した時のトラック
幅の差（フェライト部分のトラック幅−センダスト部分
のトラック幅）を示す。
かった場合と、アルミン酸イオンを与える添加剤として
硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、アルミン酸ナト
リウム、硫酸カリウムアルミニウム、塩化アルミニウム
を5wt％添加した場合に、ビーム径４μｍ、レーザーパ
ワー80mW、走査速度10μm/secで加工した時のトラック
幅の差（フェライト部分のトラック幅−センダスト部分
のトラック幅）を示す。
第２図から、添加剤が無い場合は、トラック幅の差が３
μｍ以上であるのに対し、添加剤を加えた場合はトラッ
ク幅の差が全て２μｍ以下となっており、塩化アルミニ
ウムに於いては、それが１μｍ以下であることがわか
る。
μｍ以上であるのに対し、添加剤を加えた場合はトラッ
ク幅の差が全て２μｍ以下となっており、塩化アルミニ
ウムに於いては、それが１μｍ以下であることがわか
る。
第３図は、濃度20wt％、25wt％、30wt％の水酸化カリウ
ム水溶液に塩化アルミニウムを添加量を変化させて加え
た場合に、ビーム径４μｍ、レーザーパワー90mW、走査
速度10μm/secで加工した時のトラック幅の差を示すグ
ラフである。第３図において、○−○は水酸化カリウム
水溶液濃度20wt％の塩化アルミニウム添加量とトラック
幅の差の関係、□−□は水酸化カリウム水溶液濃度30wt
％の塩化アルミニウム添加量とトラック幅の差の関係、
△−△は水酸化カリウム水溶液濃度30wt％の塩化アルミ
ニウム添加量とトラック幅の差の関係を示している。
ム水溶液に塩化アルミニウムを添加量を変化させて加え
た場合に、ビーム径４μｍ、レーザーパワー90mW、走査
速度10μm/secで加工した時のトラック幅の差を示すグ
ラフである。第３図において、○−○は水酸化カリウム
水溶液濃度20wt％の塩化アルミニウム添加量とトラック
幅の差の関係、□−□は水酸化カリウム水溶液濃度30wt
％の塩化アルミニウム添加量とトラック幅の差の関係、
△−△は水酸化カリウム水溶液濃度30wt％の塩化アルミ
ニウム添加量とトラック幅の差の関係を示している。
第３図から、トラック幅の差は添加量が多いほど小さく
なり、この傾向は水酸化カリウム水溶液濃度が20wt％、
25wt％、30wt％と変化しても同じであることがわかる。
また、添加量を一定とした時、トラック幅の差は濃度が
低いほど小さくなることがわかる。
なり、この傾向は水酸化カリウム水溶液濃度が20wt％、
25wt％、30wt％と変化しても同じであることがわかる。
また、添加量を一定とした時、トラック幅の差は濃度が
低いほど小さくなることがわかる。
このように、トラック幅の差は添加量が多いほど小さく
なるが、その値は水酸化カリウム水溶液濃度の違いによ
って異なるため、適切な添加量の範囲が変化することが
わかる。
なるが、その値は水酸化カリウム水溶液濃度の違いによ
って異なるため、適切な添加量の範囲が変化することが
わかる。
例えば、添加量を0.5wt％とした時、水酸化カリウム水
溶液濃度20wt％ではトラック幅の差１μｍ以下を得るこ
とができるが、濃度25wt％、30wt％ではトラック幅の差
１μｍ以下を得ることができないことがわかる。添加量
を4wt％とした時、濃度20wt％、25wt％ではトラック幅
の差１μｍ以下を得ることができるが、濃度30wt％では
トラック幅の差１μｍ以下を得ることができないことが
わかる。また、添加量を9wt％とした時、濃度20wt％、2
5wt％、30wt％でトラック幅の差１μｍ以下を得ること
ができることがわかる。
溶液濃度20wt％ではトラック幅の差１μｍ以下を得るこ
とができるが、濃度25wt％、30wt％ではトラック幅の差
１μｍ以下を得ることができないことがわかる。添加量
を4wt％とした時、濃度20wt％、25wt％ではトラック幅
の差１μｍ以下を得ることができるが、濃度30wt％では
トラック幅の差１μｍ以下を得ることができないことが
わかる。また、添加量を9wt％とした時、濃度20wt％、2
5wt％、30wt％でトラック幅の差１μｍ以下を得ること
ができることがわかる。
従って、目的とするトラッ幅の差に対する適切な添加量
は、アルカリ金属水酸化物水溶液濃度を考慮して選定さ
れなければならない。すなわち、ビーム径４μｍ、レー
ザーパワー90mW、走査速度10μm/secで水酸化カリウム
水溶液に塩化アルミニウムを添加して加工を行う場合、
トラック幅の差が１μｍ以下である塩化アルミニウムの
添加量の範囲は、水酸化カリウム水溶液濃度が20wt％の
時0.5wt％以上、濃度25wt％の時2wt％以上、濃度30wt％
の時6.5wt％以上である。
は、アルカリ金属水酸化物水溶液濃度を考慮して選定さ
れなければならない。すなわち、ビーム径４μｍ、レー
ザーパワー90mW、走査速度10μm/secで水酸化カリウム
水溶液に塩化アルミニウムを添加して加工を行う場合、
トラック幅の差が１μｍ以下である塩化アルミニウムの
添加量の範囲は、水酸化カリウム水溶液濃度が20wt％の
時0.5wt％以上、濃度25wt％の時2wt％以上、濃度30wt％
の時6.5wt％以上である。
第４図は、濃度25wt％水酸化カリウム水溶液にアルミン
酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウムを6wt
％添加し、ビーム径４μｍ、走査速度10μm/secでレー
ザーパワーを変化させて加工した時のトラック幅の差を
示すグラフである。第４図から、トラック幅の差はレー
ザーパワーが高いほど大きくなることがわかる。
酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウムを6wt
％添加し、ビーム径４μｍ、走査速度10μm/secでレー
ザーパワーを変化させて加工した時のトラック幅の差を
示すグラフである。第４図から、トラック幅の差はレー
ザーパワーが高いほど大きくなることがわかる。
このようにレザーパワーの違いによってトラック幅の差
が異なるため、適切な添加量の範囲が変化することがわ
かる。例えば、レーザーパワー85mWではトラック幅の差
１μｍ以下を得ることができるが、レーザーパワー95mW
ではトラック幅の差１μｍ以下を得ることができないこ
とがわかる。従って、目的とするトラック幅の差に対応
する適切な添加量はアルカリ金属水酸化物水溶液濃度、
更にレーザーパワーを考慮して選定されなければならな
い。
が異なるため、適切な添加量の範囲が変化することがわ
かる。例えば、レーザーパワー85mWではトラック幅の差
１μｍ以下を得ることができるが、レーザーパワー95mW
ではトラック幅の差１μｍ以下を得ることができないこ
とがわかる。従って、目的とするトラック幅の差に対応
する適切な添加量はアルカリ金属水酸化物水溶液濃度、
更にレーザーパワーを考慮して選定されなければならな
い。
第５図は、濃度25wt％の水酸化カリウム水溶液にアルミ
ン酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウムを9w
t％添加し、ビーム径４μｍ、レーザーパワー8mWで走査
速度を変化させて加工した時のトラック幅の差を示すグ
ラフである。第５図から、トラック幅の差は走査速度が
大きいほど小さくなることがわかる。
ン酸イオンを与える添加剤として塩化アルミニウムを9w
t％添加し、ビーム径４μｍ、レーザーパワー8mWで走査
速度を変化させて加工した時のトラック幅の差を示すグ
ラフである。第５図から、トラック幅の差は走査速度が
大きいほど小さくなることがわかる。
このように走査速度の違いによってトラック幅の差が異
なるため、適切な添加量の範囲が変化することがわか
る。例えば、走査速度15μm/secではトラック幅の差0.5
μｍ以下を得ることができるが、走査速度10μm/secで
はトラック幅の差0.5μｍ以下を得ることができないこ
とがわかる。従って、目的とするトラック幅の差に対す
る適切な添加量はアルカリ金属水酸化物水溶液濃度、レ
ーザーパワー、更に走行速度を考慮して選定されなけれ
ばならない。
なるため、適切な添加量の範囲が変化することがわか
る。例えば、走査速度15μm/secではトラック幅の差0.5
μｍ以下を得ることができるが、走査速度10μm/secで
はトラック幅の差0.5μｍ以下を得ることができないこ
とがわかる。従って、目的とするトラック幅の差に対す
る適切な添加量はアルカリ金属水酸化物水溶液濃度、レ
ーザーパワー、更に走行速度を考慮して選定されなけれ
ばならない。
上記第３図に示すように、添加量が多いほどアルミニウ
ムのエッチングが抑えられ、トラック幅の差が小さくな
ることがわかる。ところが、添加量が多過ぎるとフェラ
イトのエッチングも抑えられるようになり、必要とする
加工深さが得られなかったり、寸法精度が低下したりす
る。従って、適切な添加量の選定は、目的とするトラッ
ク幅の差に対してだけでなく、目的とする加工深さ、目
的とする寸法精度に対しても考慮されなければならな
い。
ムのエッチングが抑えられ、トラック幅の差が小さくな
ることがわかる。ところが、添加量が多過ぎるとフェラ
イトのエッチングも抑えられるようになり、必要とする
加工深さが得られなかったり、寸法精度が低下したりす
る。従って、適切な添加量の選定は、目的とするトラッ
ク幅の差に対してだけでなく、目的とする加工深さ、目
的とする寸法精度に対しても考慮されなければならな
い。
第６図は、濃度29wt％水酸化カリウム水溶液にアルミン
酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウムを添加
量を変化させて加えた場合に、ビーム径４μｍ、レーザ
ーパワー80mW、走査速度10μm/secで加工した時のトラ
ック幅の差と加工深さを示すグラフである。第６図にお
いて、○−○は添加量とトラック幅の差の関係を△−△
は添加量と加工深さの関係を示している。
酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウムを添加
量を変化させて加えた場合に、ビーム径４μｍ、レーザ
ーパワー80mW、走査速度10μm/secで加工した時のトラ
ック幅の差と加工深さを示すグラフである。第６図にお
いて、○−○は添加量とトラック幅の差の関係を△−△
は添加量と加工深さの関係を示している。
第６図から、トラック幅の差はある添加量までは多いほ
ど小さくなるが、それ以上では一定となることがわか
る。また、加工深さはある添加量までは多くなっても一
定であるが、それ以上では多いほど小さくなることがわ
かる。
ど小さくなるが、それ以上では一定となることがわか
る。また、加工深さはある添加量までは多くなっても一
定であるが、それ以上では多いほど小さくなることがわ
かる。
このように、添加量の違いによってトラック幅の差、加
工深さが異なるため、適切な添加量の範囲は目的とする
トラック幅の差、目的とする加工深さによって変化する
ことがわかる。
工深さが異なるため、適切な添加量の範囲は目的とする
トラック幅の差、目的とする加工深さによって変化する
ことがわかる。
たとえば、添加量を1.4wt％とした時、加工深さ５μｍ
以上は得ることができるが、トラック幅の差２μｍ以下
を得ることができないことがわかる。添加量を4.1wt％
とした時、加工深さ５μｍ以上でトラック幅の差２μｍ
以下を得ることができることがわかる。また、添加量を
6.7wt％とした時、加工深さ５μｍ以上でトラック幅の
差１μｍ以下を得ることができることがわかる。添加量
を10wt％とした時、トラック幅の差１μｍ以下は得るこ
とができるが、加工深さ５μｍ以上を得ることができな
いことがわかる。
以上は得ることができるが、トラック幅の差２μｍ以下
を得ることができないことがわかる。添加量を4.1wt％
とした時、加工深さ５μｍ以上でトラック幅の差２μｍ
以下を得ることができることがわかる。また、添加量を
6.7wt％とした時、加工深さ５μｍ以上でトラック幅の
差１μｍ以下を得ることができることがわかる。添加量
を10wt％とした時、トラック幅の差１μｍ以下は得るこ
とができるが、加工深さ５μｍ以上を得ることができな
いことがわかる。
ビーム径４μｍ、レーザーパワー80mW、走査速度10μm/
secで濃度29wt％水酸化カリウム水溶液に硝酸アルミニ
ウムを添加して加工を行う場合、トラック幅の差が２μ
ｍ以下で加工深さ５μｍ以上の添加量の範囲は、2wt％
〜9wt％である。また、トラック幅の差が１μｍ以下で
加工深さ５μｍ以上の添加量の範囲は、6.5wt％〜9wt％
である。
secで濃度29wt％水酸化カリウム水溶液に硝酸アルミニ
ウムを添加して加工を行う場合、トラック幅の差が２μ
ｍ以下で加工深さ５μｍ以上の添加量の範囲は、2wt％
〜9wt％である。また、トラック幅の差が１μｍ以下で
加工深さ５μｍ以上の添加量の範囲は、6.5wt％〜9wt％
である。
第７図は、濃度23wt％水酸化カリウム水溶液にアルミン
酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウムを添加
量を変化させて加えた場合に、ビーム径４μｍ、レーザ
ーパワー80mW、走査速度10μm/secで加工した時のトラ
ック幅の差と加工深さを示すグラフである。第７図にお
いて、○−○は添加量とトラック幅の差の関係を、△−
△は添加量と加工深さの関係を示している。第７図か
ら、トラック幅の差はある添加量までは多いほど小さく
なるが、それ以上では一定となることがわかる。
酸イオンを与える添加剤として硝酸アルミニウムを添加
量を変化させて加えた場合に、ビーム径４μｍ、レーザ
ーパワー80mW、走査速度10μm/secで加工した時のトラ
ック幅の差と加工深さを示すグラフである。第７図にお
いて、○−○は添加量とトラック幅の差の関係を、△−
△は添加量と加工深さの関係を示している。第７図か
ら、トラック幅の差はある添加量までは多いほど小さく
なるが、それ以上では一定となることがわかる。
また、フェライト部分のトラック幅寸法精度は、ある添
加量までは多くなっても一定であるが、それ以上では多
いほど低下することがわかる。このように添加量の違い
によってトラック幅の差、寸法精度が異なるため、適切
な添加量の範囲は目的とするトラック幅の差、目的とす
る寸法精度によって変化することがわかる。
加量までは多くなっても一定であるが、それ以上では多
いほど低下することがわかる。このように添加量の違い
によってトラック幅の差、寸法精度が異なるため、適切
な添加量の範囲は目的とするトラック幅の差、目的とす
る寸法精度によって変化することがわかる。
例えば、添加量を1.5wt％とした時、寸法精度±１μｍ
以下は得ることができるが、トラック幅の差１μｍ以下
を得ることができないことがわかる。添加量を4.4wt％
とした時、寸法精度±１μｍ以下でトラック幅の差１μ
ｍ以下を得ることができることがわかる。また、添加量
を7.1wt％とした時、寸法精度±１μｍ以下でトラック
幅の差0.5μｍ以下を得ることができることがわかる。
さらに、添加量を9.7wt％とした時、トラック幅の差0.5
μｍ以下は得ることができるが、寸法精度±１μｍ以下
を得ることができないことがわかる。
以下は得ることができるが、トラック幅の差１μｍ以下
を得ることができないことがわかる。添加量を4.4wt％
とした時、寸法精度±１μｍ以下でトラック幅の差１μ
ｍ以下を得ることができることがわかる。また、添加量
を7.1wt％とした時、寸法精度±１μｍ以下でトラック
幅の差0.5μｍ以下を得ることができることがわかる。
さらに、添加量を9.7wt％とした時、トラック幅の差0.5
μｍ以下は得ることができるが、寸法精度±１μｍ以下
を得ることができないことがわかる。
すなわち、ビーム径４μｍ、レーザーパワー80mW、走査
速度10μm/secで濃度23wt％水酸化カリウム水溶液に硝
酸アルミニウムを添加して加工を行う場合、トラック幅
の差が1.5μｍ以下で寸法精度±1.5μｍ以下の添加量の
範囲は、1.5wt％〜10wt％である。また、トラック幅の
差が１μｍ以下で寸法精度±１μｍ以下の添加量の範囲
は、4wt％〜7wt％である。
速度10μm/secで濃度23wt％水酸化カリウム水溶液に硝
酸アルミニウムを添加して加工を行う場合、トラック幅
の差が1.5μｍ以下で寸法精度±1.5μｍ以下の添加量の
範囲は、1.5wt％〜10wt％である。また、トラック幅の
差が１μｍ以下で寸法精度±１μｍ以下の添加量の範囲
は、4wt％〜7wt％である。
上記第３図〜第７図に示すように、適切なアルミン酸イ
オンを与える添加剤の添加量の範囲は、アルカリ金属水
酸化物水溶液濃度、レーザーパワー、走査速度の違い、
また目的とするトラック幅の差、加工深さ、寸法精度に
よって変化することがわかる。
オンを与える添加剤の添加量の範囲は、アルカリ金属水
酸化物水溶液濃度、レーザーパワー、走査速度の違い、
また目的とするトラック幅の差、加工深さ、寸法精度に
よって変化することがわかる。
上述のように適切なアルミン酸イオンを与える添加剤の
添加量の決定は、トラック幅の差、加工深さ、寸法精度
を考慮して、添加剤の種類、水溶液濃度、レーザーパワ
ー、走査速度、レーザービーム径を総合的に判断して行
うことが必要である。
添加量の決定は、トラック幅の差、加工深さ、寸法精度
を考慮して、添加剤の種類、水溶液濃度、レーザーパワ
ー、走査速度、レーザービーム径を総合的に判断して行
うことが必要である。
磁気ヘッド用コアの作製 第８図（ａ）〜（ｇ）はそれぞれフェライトとセンダス
トよりなる複合型のVTR磁気ヘッド用コアの本発明によ
る製造工程の一例を示す斜視図である。
トよりなる複合型のVTR磁気ヘッド用コアの本発明によ
る製造工程の一例を示す斜視図である。
まず第８図（ａ）に示すように、フェライト棒材11aと
コイル巻線孔に対応する溝12を有するフェライト棒材11
bのギャップ対向面13に、それぞれ５μｍの厚さのセン
ダスト膜14を第８図（ｂ）に示すように形成し、さらに
その上に磁気ギャップとなるSiO2等の非磁性材料15を所
定の磁気ギャップ長と等しい厚さで第８図（ｃ）に示す
ように形成した後、これらをつき合わせガラス溶着によ
り接合して、第８図（ｄ）に示すような磁気ギャップ15
を有するギャップバー４を形成する。次に、レーザーパ
ワー150mW、走行速度10μmsec、レーザービーム径４μ
ｍ、水酸化カリウム水溶液濃度25wt％、塩化アルミニウ
ム添加量8wt％、液面高さ500μｍの条件で、ギャップバ
ー４に第８図（ｅ）に示すように溝16を加工し、第８図
（ｆ）に示すように溝16内にガラス17を埋め込み、所定
の寸法まで研磨する。最後に、これを所定の幅に切り出
して第８図（ｇ）に示すような複合型VTRヘッド用コア1
8を得た。かくして得られた磁気ヘッド用コア18は、ク
ラックや溶融物の付着がなくかつ腐食がなく、フェライ
ト部分のトラック幅とセンダスト部分のトラック幅の差
が小さい高精度のトラックが形成され、信頼性の高いも
のであった。
コイル巻線孔に対応する溝12を有するフェライト棒材11
bのギャップ対向面13に、それぞれ５μｍの厚さのセン
ダスト膜14を第８図（ｂ）に示すように形成し、さらに
その上に磁気ギャップとなるSiO2等の非磁性材料15を所
定の磁気ギャップ長と等しい厚さで第８図（ｃ）に示す
ように形成した後、これらをつき合わせガラス溶着によ
り接合して、第８図（ｄ）に示すような磁気ギャップ15
を有するギャップバー４を形成する。次に、レーザーパ
ワー150mW、走行速度10μmsec、レーザービーム径４μ
ｍ、水酸化カリウム水溶液濃度25wt％、塩化アルミニウ
ム添加量8wt％、液面高さ500μｍの条件で、ギャップバ
ー４に第８図（ｅ）に示すように溝16を加工し、第８図
（ｆ）に示すように溝16内にガラス17を埋め込み、所定
の寸法まで研磨する。最後に、これを所定の幅に切り出
して第８図（ｇ）に示すような複合型VTRヘッド用コア1
8を得た。かくして得られた磁気ヘッド用コア18は、ク
ラックや溶融物の付着がなくかつ腐食がなく、フェライ
ト部分のトラック幅とセンダスト部分のトラック幅の差
が小さい高精度のトラックが形成され、信頼性の高いも
のであった。
なお、本発明はVTRヘッド用コアの製造方法に何等限定
されるものではなく、RDD,FDD等の各種磁気ヘッド用コ
アにも好適に使用されるものである。また、本発明はト
ラック加工に限定されるものではなく、フェライトとセ
ンダストの複合材料の各種加工にも好適に利用されるも
のである。
されるものではなく、RDD,FDD等の各種磁気ヘッド用コ
アにも好適に使用されるものである。また、本発明はト
ラック加工に限定されるものではなく、フェライトとセ
ンダストの複合材料の各種加工にも好適に利用されるも
のである。
（発明の効果） 以上述べてきたところから明らかなように、本発明の製
造方法によれば、所定濃度のアルカリ金属水酸化物の水
溶液に所定量のアルミン酸イオンを与える添加剤を加え
た溶液中で所定のレーザービームを所定の走行速度で照
射することにより、フェライトとセンダストよりなる複
合型の磁気ギャップバーに対して、センダストの侵食が
なく、フェライト部分のトラック幅とセンダスト部分の
トラック幅の小さい幅の狭い高精度のトラックを形成で
きるため、信頼性の高い複合型磁気ヘッド用コアを製造
することができる。
造方法によれば、所定濃度のアルカリ金属水酸化物の水
溶液に所定量のアルミン酸イオンを与える添加剤を加え
た溶液中で所定のレーザービームを所定の走行速度で照
射することにより、フェライトとセンダストよりなる複
合型の磁気ギャップバーに対して、センダストの侵食が
なく、フェライト部分のトラック幅とセンダスト部分の
トラック幅の小さい幅の狭い高精度のトラックを形成で
きるため、信頼性の高い複合型磁気ヘッド用コアを製造
することができる。
第１図はこの発明を実施する装置の一例を示す概念図、 第２図は種々のアルミン酸イオンを与える添加剤を添加
したときと添加材を添加しなかったときの加工可能なト
ラック幅の差を比較するためのグラフ、 第３図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差との関係を示すグラフ、 第４図は本発明におけるレーザーパワーと加工可能なト
ラック幅との関係を示すグラフ、 第５図は本発明における走査速度と加工可能なトラック
幅の差との関係を示すグラフ、 第６図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差および加工深さとの関係を示す
グラフ、 第７図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差およびトラック幅の寸法精度と
の関係を示すグラフ、 第８図（ａ）〜（ｇ）はそれぞれこの発明をフェライト
とセンダストよりなる複合型のVTR磁気ヘッド用コアの
製造に適用した場合の加工手順を示す斜視図である。 １……Ｘ−Ｙテーブル、２……加工容器 ３……試料台、４……ギャップバー ５……アルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカ
リ金属水酸化物水溶液 ６……マイクロメータ、７……石英窓 ８……レーザー光、９……レーザー光源 10……レンズ系 11a,11b……フェライト棒材 12……コイル巻線孔（に対応する溝） 13……対向面、14……センダスト膜 15……非磁性材料、16……溝 17……ガラス、18……コア
したときと添加材を添加しなかったときの加工可能なト
ラック幅の差を比較するためのグラフ、 第３図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差との関係を示すグラフ、 第４図は本発明におけるレーザーパワーと加工可能なト
ラック幅との関係を示すグラフ、 第５図は本発明における走査速度と加工可能なトラック
幅の差との関係を示すグラフ、 第６図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差および加工深さとの関係を示す
グラフ、 第７図はアルミン酸イオンを与える添加剤の添加量と加
工可能なトラック幅の差およびトラック幅の寸法精度と
の関係を示すグラフ、 第８図（ａ）〜（ｇ）はそれぞれこの発明をフェライト
とセンダストよりなる複合型のVTR磁気ヘッド用コアの
製造に適用した場合の加工手順を示す斜視図である。 １……Ｘ−Ｙテーブル、２……加工容器 ３……試料台、４……ギャップバー ５……アルミン酸イオンを与える添加剤を加えたアルカ
リ金属水酸化物水溶液 ６……マイクロメータ、７……石英窓 ８……レーザー光、９……レーザー光源 10……レンズ系 11a,11b……フェライト棒材 12……コイル巻線孔（に対応する溝） 13……対向面、14……センダスト膜 15……非磁性材料、16……溝 17……ガラス、18……コア
Claims (1)
- 【請求項１】フェライトとセンダストよりなる複合型磁
気ヘッド用コアのトラックをレーザー加工により形成す
る製造方法において、アルミン酸イオンを与える添加剤
を加えたアルカリ金属水酸化物の水溶液中で、レーザー
加工することを特徴とする磁気ヘッド用コアの製造方
法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231664A JPH0731780B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 磁気ヘッド用コアの製造方法 |
| EP90309817A EP0416939B1 (en) | 1989-09-08 | 1990-09-07 | Method of producing a core for magnetic head |
| DE69024288T DE69024288T2 (de) | 1989-09-08 | 1990-09-07 | Herstellungsverfahren eines Kernes für einen Magnetkopf |
| KR1019900014212A KR960002609B1 (ko) | 1989-09-08 | 1990-09-08 | 마그네틱 헤드용 코어의 제조방법 |
| US07/579,584 US5041189A (en) | 1989-09-08 | 1990-09-10 | Method of producing a core for magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231664A JPH0731780B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 磁気ヘッド用コアの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0395709A JPH0395709A (ja) | 1991-04-22 |
| JPH0731780B2 true JPH0731780B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=16927048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1231664A Expired - Lifetime JPH0731780B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 磁気ヘッド用コアの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5041189A (ja) |
| EP (1) | EP0416939B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0731780B2 (ja) |
| KR (1) | KR960002609B1 (ja) |
| DE (1) | DE69024288T2 (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5765015A (en) * | 1990-11-13 | 1998-06-09 | International Business Machines Corporation | Slide network for an array processor |
| US5765012A (en) * | 1990-11-13 | 1998-06-09 | International Business Machines Corporation | Controller for a SIMD/MIMD array having an instruction sequencer utilizing a canned routine library |
| US5828894A (en) * | 1990-11-13 | 1998-10-27 | International Business Machines Corporation | Array processor having grouping of SIMD pickets |
| US5713037A (en) * | 1990-11-13 | 1998-01-27 | International Business Machines Corporation | Slide bus communication functions for SIMD/MIMD array processor |
| US5963746A (en) * | 1990-11-13 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Fully distributed processing memory element |
| US5815723A (en) * | 1990-11-13 | 1998-09-29 | International Business Machines Corporation | Picket autonomy on a SIMD machine |
| US5966528A (en) * | 1990-11-13 | 1999-10-12 | International Business Machines Corporation | SIMD/MIMD array processor with vector processing |
| US5588152A (en) * | 1990-11-13 | 1996-12-24 | International Business Machines Corporation | Advanced parallel processor including advanced support hardware |
| US5765011A (en) * | 1990-11-13 | 1998-06-09 | International Business Machines Corporation | Parallel processing system having a synchronous SIMD processing with processing elements emulating SIMD operation using individual instruction streams |
| US5590345A (en) * | 1990-11-13 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | Advanced parallel array processor(APAP) |
| US5794059A (en) * | 1990-11-13 | 1998-08-11 | International Business Machines Corporation | N-dimensional modified hypercube |
| US5630162A (en) * | 1990-11-13 | 1997-05-13 | International Business Machines Corporation | Array processor dotted communication network based on H-DOTs |
| US5625836A (en) * | 1990-11-13 | 1997-04-29 | International Business Machines Corporation | SIMD/MIMD processing memory element (PME) |
| US5809292A (en) * | 1990-11-13 | 1998-09-15 | International Business Machines Corporation | Floating point for simid array machine |
| US5963745A (en) * | 1990-11-13 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | APAP I/O programmable router |
| EP0485690B1 (en) * | 1990-11-13 | 1999-05-26 | International Business Machines Corporation | Parallel associative processor system |
| US5734921A (en) * | 1990-11-13 | 1998-03-31 | International Business Machines Corporation | Advanced parallel array processor computer package |
| US5617577A (en) * | 1990-11-13 | 1997-04-01 | International Business Machines Corporation | Advanced parallel array processor I/O connection |
| JP2642039B2 (ja) * | 1992-05-22 | 1997-08-20 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | アレイ・プロセッサ |
| US5413672A (en) * | 1992-07-22 | 1995-05-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of etching sendust and method of pattern-etching sendust and chromium films |
| US8003725B2 (en) | 2002-08-12 | 2011-08-23 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Plasticized hetero-phase polyolefin blends |
| US7271209B2 (en) | 2002-08-12 | 2007-09-18 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Fibers and nonwovens from plasticized polyolefin compositions |
| US7531594B2 (en) | 2002-08-12 | 2009-05-12 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Articles from plasticized polyolefin compositions |
| US7998579B2 (en) | 2002-08-12 | 2011-08-16 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Polypropylene based fibers and nonwovens |
| US8192813B2 (en) | 2003-08-12 | 2012-06-05 | Exxonmobil Chemical Patents, Inc. | Crosslinked polyethylene articles and processes to produce same |
| US8389615B2 (en) | 2004-12-17 | 2013-03-05 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Elastomeric compositions comprising vinylaromatic block copolymer, polypropylene, plastomer, and low molecular weight polyolefin |
| CN101218296B (zh) | 2005-07-15 | 2010-12-08 | 埃克森美孚化学专利公司 | 弹性体组合物 |
| US9452495B1 (en) * | 2011-07-08 | 2016-09-27 | Sixpoint Materials, Inc. | Laser slicer of crystal ingots and a method of slicing gallium nitride ingots using a laser slicer |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2869267A (en) * | 1957-02-28 | 1959-01-20 | Turco Products Inc | Method of etching aluminum and aluminum alloys |
| US3356550A (en) * | 1964-03-16 | 1967-12-05 | Boeing Co | Chemical milling of aluminum alloys |
| US3300349A (en) * | 1964-04-15 | 1967-01-24 | Boeing Co | Chemical milling process and related solutions for aluminum |
| US3475241A (en) * | 1966-02-08 | 1969-10-28 | Aluminum Co Of America | Process of making aluminum printing plates |
| JPS61260408A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッドのトラック加工方法 |
| SU1320260A1 (ru) * | 1986-02-05 | 1987-06-30 | Ворошиловградский машиностроительный институт | Раствор дл химической обработки деталей из алюминиевых сплавов |
| US4751779A (en) * | 1986-04-02 | 1988-06-21 | Ds Scanner Co., Ltd. | Method of producing a core for magnetic head |
| JPH0791661B2 (ja) * | 1986-08-08 | 1995-10-04 | ディジタル イクイプメント コ−ポレ−ション | 電子的構成要素を形成するためレ−ザを使用するリソグラフィック方法 |
| JPS63270483A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-08 | Nec Corp | 薄膜除去方法 |
| JPH0719347B2 (ja) * | 1988-09-24 | 1995-03-06 | 日本碍子株式会社 | 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法 |
| US4982065A (en) * | 1989-03-07 | 1991-01-01 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of producing a core for magnetic head |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP1231664A patent/JPH0731780B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-09-07 EP EP90309817A patent/EP0416939B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-09-07 DE DE69024288T patent/DE69024288T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-08 KR KR1019900014212A patent/KR960002609B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-09-10 US US07/579,584 patent/US5041189A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0416939A2 (en) | 1991-03-13 |
| KR910006918A (ko) | 1991-04-30 |
| DE69024288T2 (de) | 1996-07-11 |
| US5041189A (en) | 1991-08-20 |
| KR960002609B1 (ko) | 1996-02-23 |
| EP0416939B1 (en) | 1995-12-20 |
| EP0416939A3 (en) | 1992-08-12 |
| JPH0395709A (ja) | 1991-04-22 |
| DE69024288D1 (de) | 1996-02-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0731780B2 (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| JPH02183478A (ja) | 負圧形磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 | |
| US4751779A (en) | Method of producing a core for magnetic head | |
| US4982065A (en) | Method of producing a core for magnetic head | |
| JP2659818B2 (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| JPH0727611B2 (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| KR920004216B1 (ko) | 자기헤드용 코어 제조방법 | |
| JPH0689460B2 (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| JPH06203317A (ja) | 浮上型複合磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS59223924A (ja) | 狭トラツク巾磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH07220219A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS61257485A (ja) | 磁気ヘツド用スライダ−の加工方法 | |
| JPH03181011A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH06295412A (ja) | 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2503071B2 (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| JPH02276009A (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| JPH02104681A (ja) | 磁気ヘッド用コアの製造方法 | |
| JPS63808A (ja) | 複合磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS5736418A (ja) | Jikihetsudonoseizoho | |
| JPS5647919A (en) | Manufacture of magnetic head | |
| JPH04182905A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6357845B2 (ja) | ||
| JPS6346609A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS6257118A (ja) | 磁気ギヤツプの製造方法 | |
| JPH0439728B2 (ja) |