JPH038329B2 - - Google Patents
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- JPH038329B2 JPH038329B2 JP13116282A JP13116282A JPH038329B2 JP H038329 B2 JPH038329 B2 JP H038329B2 JP 13116282 A JP13116282 A JP 13116282A JP 13116282 A JP13116282 A JP 13116282A JP H038329 B2 JPH038329 B2 JP H038329B2
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- JP
- Japan
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- cdcl3
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- Expired
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- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13116282A JPS5921648A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 含フツ素メタクリル酸エステル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13116282A JPS5921648A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 含フツ素メタクリル酸エステル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5921648A JPS5921648A (ja) | 1984-02-03 |
| JPH038329B2 true JPH038329B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-02-05 |
Family
ID=15051448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13116282A Granted JPS5921648A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 含フツ素メタクリル酸エステル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5921648A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3720806C2 (de) * | 1986-07-03 | 1997-08-21 | Clariant Finance Bvi Ltd | Verwendung eines Stabilisators in Peroxydbleichverfahren |
| EP0364587B1 (en) * | 1987-12-04 | 1993-03-17 | Daikin Industries, Limited | Hexafluoroneopentyl alcohol, its derivatives, fluorinated polymers and their use |
| KR100571453B1 (ko) * | 1999-12-15 | 2006-04-17 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 고분자 화합물, 화학 증폭 레지스트 재료 및 패턴 형성 방법 |
| JP2001322955A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | ２−ブロモ−３，３，３−トリフルオロプロペンの製造方法 |
| JP3962893B2 (ja) | 2001-02-09 | 2007-08-22 | 信越化学工業株式会社 | 高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
| JP5446598B2 (ja) | 2008-09-01 | 2014-03-19 | セントラル硝子株式会社 | α−置換アクリル酸ノルボルナニル類の製造方法 |
| JP5716291B2 (ja) | 2009-04-27 | 2015-05-13 | セントラル硝子株式会社 | 含フッ素レジスト用モノマー類の製造方法 |
-
1982
- 1982-07-29 JP JP13116282A patent/JPS5921648A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5921648A (ja) | 1984-02-03 |
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