JPH0377658B2 - - Google Patents
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- JPH0377658B2 JPH0377658B2 JP57169535A JP16953582A JPH0377658B2 JP H0377658 B2 JPH0377658 B2 JP H0377658B2 JP 57169535 A JP57169535 A JP 57169535A JP 16953582 A JP16953582 A JP 16953582A JP H0377658 B2 JPH0377658 B2 JP H0377658B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は、半導体装置における配線の形成方法
に関し、さらに詳しく述べると、高融点金属の珪
化物（以下、シリサイドと記す）からなる配線層
を形成する方法に関する。
に関し、さらに詳しく述べると、高融点金属の珪
化物（以下、シリサイドと記す）からなる配線層
を形成する方法に関する。
(2) 技術の背景
半導体装置の配線として今までアルミニウム
（Al）等の金属が多用されてきたことは周知の通
りである。しかしながら、Al配線は、その材料
の融点が低いため、高温処理工程がすべて完了し
た後でなければ形成することができないという欠
点を有していた。したがつて、現在、多層配線構
造を形成する場合など、多結晶シリコンの層が多
く配線として用いられている。多結晶シリコンの
層は、通常、高濃度に不純物（リン、ヒ素、ボロ
ンなど）をドープした形で用いられているけれど
も、これは、高融点であることに加えて、加工性
が良好である、安定性がある、等の注目すべき利
点を有している。
（Al）等の金属が多用されてきたことは周知の通
りである。しかしながら、Al配線は、その材料
の融点が低いため、高温処理工程がすべて完了し
た後でなければ形成することができないという欠
点を有していた。したがつて、現在、多層配線構
造を形成する場合など、多結晶シリコンの層が多
く配線として用いられている。多結晶シリコンの
層は、通常、高濃度に不純物（リン、ヒ素、ボロ
ンなど）をドープした形で用いられているけれど
も、これは、高融点であることに加えて、加工性
が良好である、安定性がある、等の注目すべき利
点を有している。
(3) 従来技術の問題点
多くのすぐれた特徴を有している多結晶シリコ
ン配線にも重要な欠点が１つある。すなわち、配
線抵抗が大きいことがそれである。多結晶シリコ
ン配線の抵抗は、Al配線のそれに比してはるか
に高く、したがつて、アクセスタイムの遅延を生
じる。このような配線抵抗に係る欠点は、半導体
装置の高密度化が進むにつれて、ぜひとも解消し
なければならない問題となつている。
ン配線にも重要な欠点が１つある。すなわち、配
線抵抗が大きいことがそれである。多結晶シリコ
ン配線の抵抗は、Al配線のそれに比してはるか
に高く、したがつて、アクセスタイムの遅延を生
じる。このような配線抵抗に係る欠点は、半導体
装置の高密度化が進むにつれて、ぜひとも解消し
なければならない問題となつている。
配線材料として、モリブデン（Mo）やタング
ステン（Ｗ）などのような高融点金属を単体で使
用する試みもなされている。が、この配線は、多
結晶シリコンよりも抵抗が約２桁低いというもの
の、化学的安定性に劣るという欠点を有してい
る。すなわち、高融点金属配線は、Al配線と同
様に汚染を受けやすく、化学薬品に侵されやす
く、高温度において酸化されやすいという欠点を
有しており、多結晶シリコンゲート・プロセスと
の互換性が不存在である。
ステン（Ｗ）などのような高融点金属を単体で使
用する試みもなされている。が、この配線は、多
結晶シリコンよりも抵抗が約２桁低いというもの
の、化学的安定性に劣るという欠点を有してい
る。すなわち、高融点金属配線は、Al配線と同
様に汚染を受けやすく、化学薬品に侵されやす
く、高温度において酸化されやすいという欠点を
有しており、多結晶シリコンゲート・プロセスと
の互換性が不存在である。
最近は、高融点金属のシリサイド膜、例えば
MoSi2膜などを高融点金属単体に代えて用いる方
法が注目されている。かかるシリサイド膜は、高
温処理にも十分に耐えることができ、しかも多結
晶シリコン膜に較べて約１桁低い配線抵抗を有し
ている。但し、このようなシリサイド膜も汚染に
弱いという欠点を有しており、パシベーシヨン膜
を形成したり多結晶シリコン層をひいたりの付加
的なかつ煩雑な処理作業を不可避としている。
MoSi2膜などを高融点金属単体に代えて用いる方
法が注目されている。かかるシリサイド膜は、高
温処理にも十分に耐えることができ、しかも多結
晶シリコン膜に較べて約１桁低い配線抵抗を有し
ている。但し、このようなシリサイド膜も汚染に
弱いという欠点を有しており、パシベーシヨン膜
を形成したり多結晶シリコン層をひいたりの付加
的なかつ煩雑な処理作業を不可避としている。
(4) 発明の目的
本発明の目的は、多結晶シリコン層に通常の半
導体素子の能動領域を形成しながら、同じ多結晶
シリコン層内の他の領域への高融点金属シリサイ
ド層の形成を、多結晶シリコン配線層の形成に準
じた方法によつて容易に行いうる製造方法を提供
することにある。
導体素子の能動領域を形成しながら、同じ多結晶
シリコン層内の他の領域への高融点金属シリサイ
ド層の形成を、多結晶シリコン配線層の形成に準
じた方法によつて容易に行いうる製造方法を提供
することにある。
(5)の１ 発明の構成
本発明者は、このたび、多結晶シリコンゲー
ト・プロセスを殆んど変更しないで、すなわち、
従来の多結晶シリコン膜に高融点金属を打ち込む
だけで、上記した目的を達成し得るということを
見い出した。本発明方法は、高融点金属シリサイ
ドからなる低抵抗配線層を形成する方法であつ
て、以下の各工程を、目的達成の手段とするもの
である。
ト・プロセスを殆んど変更しないで、すなわち、
従来の多結晶シリコン膜に高融点金属を打ち込む
だけで、上記した目的を達成し得るということを
見い出した。本発明方法は、高融点金属シリサイ
ドからなる低抵抗配線層を形成する方法であつ
て、以下の各工程を、目的達成の手段とするもの
である。
すなわち、多結晶シリコン層に導電性不純物を
添加する工程と、 次いで、該多結晶シリコン層の該導電性不純物
の添加された領域に、高融点金属を、該高融点金
属の濃度が表面及び境界で低くなるようにイオン
注入して、シリサイド膜を形成する工程と、 次いで、該シリサイド膜の結晶粒径が大きくな
るように、アニール処理する工程と を有することを特徴とするものである。
添加する工程と、 次いで、該多結晶シリコン層の該導電性不純物
の添加された領域に、高融点金属を、該高融点金
属の濃度が表面及び境界で低くなるようにイオン
注入して、シリサイド膜を形成する工程と、 次いで、該シリサイド膜の結晶粒径が大きくな
るように、アニール処理する工程と を有することを特徴とするものである。
高融点金属が注入された多結晶シリコン層をア
ニールすること、 を含んでなることを特徴としている。
ニールすること、 を含んでなることを特徴としている。
本発明を実施する場合、周期律表−Ａ族、第
Ｖ−Ａ族及び第−Ａ族に属する金属グループか
ら選ばれた高融点金属を任意に使用して既に形成
してある多結晶シリコンの層に打ち込むことがで
きる。具体的には、Mo、Ｗ、Ti（チタン）、Ta
（タンタル）、Nb（ニオブ）、Pt（白金）などを代表
的な高融点金属としてあげることができる。この
ような金属の打ち込みには、好ましくは、イオン
注入を、例えば100〜200eVの注入エネルギー及
び約1016イオン／cm2のオーダーの注入ドーズを適
用して、利用することができる。高融点金属の打
ち込みにより形成されるシリサイドは、その金属
をＭで表わした場合、MSi2、MSi、M2Si、
MSi3、M2Si3等のいろいろな形態をとることが
できる。
Ｖ−Ａ族及び第−Ａ族に属する金属グループか
ら選ばれた高融点金属を任意に使用して既に形成
してある多結晶シリコンの層に打ち込むことがで
きる。具体的には、Mo、Ｗ、Ti（チタン）、Ta
（タンタル）、Nb（ニオブ）、Pt（白金）などを代表
的な高融点金属としてあげることができる。この
ような金属の打ち込みには、好ましくは、イオン
注入を、例えば100〜200eVの注入エネルギー及
び約1016イオン／cm2のオーダーの注入ドーズを適
用して、利用することができる。高融点金属の打
ち込みにより形成されるシリサイドは、その金属
をＭで表わした場合、MSi2、MSi、M2Si、
MSi3、M2Si3等のいろいろな形態をとることが
できる。
高融点金属の打ち込みに先がけて多結晶シリコ
ンの層にドープする不純物として、例えば、ｐ形
不純物としての周期律表で３価の元素（ボロン、
ガリウム、インジウムなど）、そしてｎ形不純物
としての５価の元素（リン、ヒ素、アンチモンな
ど）をあげることができる。これらの元素を適当
な不純物源から拡散によりドープするか、もしく
は、それが実施できない場合、不純物のイオン化
を行なつて後にイオン注入によりドープするのが
好ましい。
ンの層にドープする不純物として、例えば、ｐ形
不純物としての周期律表で３価の元素（ボロン、
ガリウム、インジウムなど）、そしてｎ形不純物
としての５価の元素（リン、ヒ素、アンチモンな
ど）をあげることができる。これらの元素を適当
な不純物源から拡散によりドープするか、もしく
は、それが実施できない場合、不純物のイオン化
を行なつて後にイオン注入によりドープするのが
好ましい。
最初の工程である多結晶シリコンの層の形成
は、常法に従つて、例えば減圧CVD法により有
利に実施することができる。一例を示すと、シラ
ン（SiH4）ガスを使用して625℃の温度及び0.2ト
ルの減圧を適用して膜厚が3000〜4000Åとなるま
で多結晶シリコンを成長させるのが好ましい。
は、常法に従つて、例えば減圧CVD法により有
利に実施することができる。一例を示すと、シラ
ン（SiH4）ガスを使用して625℃の温度及び0.2ト
ルの減圧を適用して膜厚が3000〜4000Åとなるま
で多結晶シリコンを成長させるのが好ましい。
最後のアニール工程であるが、これは、アルゴ
ン雰囲気中又はアルゴン及び水素の混合雰囲気中
で1050〜1100℃の温度を適用して有利に実施する
ことができる。その際、この技術分野において普
通に用いられている電気炉を使用して加熱を行な
つてもよく、さもなければ、必要に応じて、レー
ザビーム及び電子ビームアニール装置を使用して
加熱を行なつてもよい。シリサイド層は高温下に
安定である。
ン雰囲気中又はアルゴン及び水素の混合雰囲気中
で1050〜1100℃の温度を適用して有利に実施する
ことができる。その際、この技術分野において普
通に用いられている電気炉を使用して加熱を行な
つてもよく、さもなければ、必要に応じて、レー
ザビーム及び電子ビームアニール装置を使用して
加熱を行なつてもよい。シリサイド層は高温下に
安定である。
(5)の２ 作用
本発明の配線層の形成方法では、先ず多結晶
シリコン層中に導電性不純物を添加し、次いで
この多結晶シリコン層中に高融点金属イオンを注
入し、さらにこの多結晶シリコン層をアニール
処理する。の工程は、通常の素子形成のために
行われる導電性不純物層の形成と同時に行うこと
ができるので、半導体装置製造工程の簡単化が望
める。また、の工程を経てシリサイドを形成し
た後にもの工程でこのシリサイドの結晶粒径を
大きくしているので、容易な方法でありながら、
しかも電気抵抗の小さいシリサイド配線層を形成
できるものである。
シリコン層中に導電性不純物を添加し、次いで
この多結晶シリコン層中に高融点金属イオンを注
入し、さらにこの多結晶シリコン層をアニール
処理する。の工程は、通常の素子形成のために
行われる導電性不純物層の形成と同時に行うこと
ができるので、半導体装置製造工程の簡単化が望
める。また、の工程を経てシリサイドを形成し
た後にもの工程でこのシリサイドの結晶粒径を
大きくしているので、容易な方法でありながら、
しかも電気抵抗の小さいシリサイド配線層を形成
できるものである。
(6) 発明の実施例
次に、添付の図面を参照しながら本発明方法の
好ましい一例を説明する。
好ましい一例を説明する。
第１図は、本発明方法を適用して得られる、２
層多結晶シリコン１トランジスタ１キヤパシタ構
造を有する半導体装置の一例を示した断面図であ
る。この図において、１はｐ形シリコン基板、２
はSiO2からなるフイールド絶縁膜、３は第１多
結晶シリコン層、４は第２多結晶シリコン層、５
は第１多結晶シリコン層３のSiO2薄膜、６は第
１及び第２の多結晶シリコン層３及び４を分離す
るSiO2薄膜、７はPSG層間絶縁膜、８はN+拡散
層、そして９はAl層である。
層多結晶シリコン１トランジスタ１キヤパシタ構
造を有する半導体装置の一例を示した断面図であ
る。この図において、１はｐ形シリコン基板、２
はSiO2からなるフイールド絶縁膜、３は第１多
結晶シリコン層、４は第２多結晶シリコン層、５
は第１多結晶シリコン層３のSiO2薄膜、６は第
１及び第２の多結晶シリコン層３及び４を分離す
るSiO2薄膜、７はPSG層間絶縁膜、８はN+拡散
層、そして９はAl層である。
ここで、第２多結晶シリコン層４、SiO2薄膜
６及び基板１はMOSトランジスタを形成し、一
方、第１多結晶シリコン層３、SiO2薄膜５及び
基板１はキヤパシタを形成し、これらMOSトラ
ンジスタとキヤパシタとが組み合わされて１メモ
リセルを形成する。これが、いわゆる１トランジ
スタ型メモリセルである。なお、第２多結晶シリ
コン層４はワード線として作用し、Al層９はビ
ツト線として作用するものである。
６及び基板１はMOSトランジスタを形成し、一
方、第１多結晶シリコン層３、SiO2薄膜５及び
基板１はキヤパシタを形成し、これらMOSトラ
ンジスタとキヤパシタとが組み合わされて１メモ
リセルを形成する。これが、いわゆる１トランジ
スタ型メモリセルである。なお、第２多結晶シリ
コン層４はワード線として作用し、Al層９はビ
ツト線として作用するものである。
第２多結晶シリコン層４のゲート及びワード線
の形成に際して本発明を適用する。すなわち、多
結晶シリコン層を成長させた後、その配線抵抗を
低下させるために例えばリン、ヒ素などのような
不純物をドープし、その後、例えば、Mo、Ｗな
どのような高融点金属をイオン注入により打ち込
み、そして最後にアニールする。
の形成に際して本発明を適用する。すなわち、多
結晶シリコン層を成長させた後、その配線抵抗を
低下させるために例えばリン、ヒ素などのような
不純物をドープし、その後、例えば、Mo、Ｗな
どのような高融点金属をイオン注入により打ち込
み、そして最後にアニールする。
次いで、本発明を実施する際の各工程を順を追
つて説明しよう（第２ａ図、第２ｂ図及び第２ｃ
図を参照されたい）。
つて説明しよう（第２ａ図、第２ｂ図及び第２ｃ
図を参照されたい）。
先ず、第２ａ図に図示の工程で多結晶シリコン
層を形成する。これは、先にも述べたように、減
圧CVD法を適用して行なうことができる。引き
続いて、第２ｂ図に図示の不純物のドープを実施
する。例えば、リンをドープしようと思う場合、
例えばPOCl3、PCl3のような不純物源を用意して
1050〜1100℃の温度で拡散を行なうことによりこ
れを実施することができる。もちろん、拡散に代
えてイオン注入を利用することもできる。不純物
のドープが所望のレベルまで完了した後、例えば
Mo、Ｗなどのような高融点金属の打ち込みを行
なう。これは、MoF6、WF6などのようなソース
を使用して、100〜200eVのエネルギー及び1016
のドーズでイオン注入により実施することができ
る。このようにして形成されるシリサイド膜にお
いて、それに含まれる高融点金属の濃度は表面及
び境界が低くなるように分布しており、よつて酸
化されにくいという等徴がある。なお、不純物ド
ープ後の多結晶シリコン層に打ち込まれるべき高
融点金属は第２ｃ図においてM+で示されている。
引き続いて、図示されていないけれども、形成さ
れたシリサイド膜を高温度でアニール又は酸化す
る。すると、シリサイド膜の結晶粒径が大きくな
り、その抵抗が低下する。
層を形成する。これは、先にも述べたように、減
圧CVD法を適用して行なうことができる。引き
続いて、第２ｂ図に図示の不純物のドープを実施
する。例えば、リンをドープしようと思う場合、
例えばPOCl3、PCl3のような不純物源を用意して
1050〜1100℃の温度で拡散を行なうことによりこ
れを実施することができる。もちろん、拡散に代
えてイオン注入を利用することもできる。不純物
のドープが所望のレベルまで完了した後、例えば
Mo、Ｗなどのような高融点金属の打ち込みを行
なう。これは、MoF6、WF6などのようなソース
を使用して、100〜200eVのエネルギー及び1016
のドーズでイオン注入により実施することができ
る。このようにして形成されるシリサイド膜にお
いて、それに含まれる高融点金属の濃度は表面及
び境界が低くなるように分布しており、よつて酸
化されにくいという等徴がある。なお、不純物ド
ープ後の多結晶シリコン層に打ち込まれるべき高
融点金属は第２ｃ図においてM+で示されている。
引き続いて、図示されていないけれども、形成さ
れたシリサイド膜を高温度でアニール又は酸化す
る。すると、シリサイド膜の結晶粒径が大きくな
り、その抵抗が低下する。
さらに、本発明方法は、多結晶シリコンの酸化
後でもその酸化膜（SiO2）を通してイオン注入
を行なうことができる。この方法では、表面に
SiO2膜があるので、酸化されやすいMoやＷの膜
の処理が容易になり、引き続くPSGの成長（400
〜450℃）時にもMoやＷが酸化されない。
後でもその酸化膜（SiO2）を通してイオン注入
を行なうことができる。この方法では、表面に
SiO2膜があるので、酸化されやすいMoやＷの膜
の処理が容易になり、引き続くPSGの成長（400
〜450℃）時にもMoやＷが酸化されない。
(7) 発明の効果
本発明に従うと、多結晶シリコン配線の特徴で
ある良好な加工性及び安定性を生かしたシリサイ
ド配線を非常に簡単に形成することができる。形
成される配線は、もちろん、シリサイドの特徴で
ある多結晶シリコンより約１桁低い抵抗を有して
いる。さらに、本発明に従うと、高融点金属の濃
度が表面で低くなるのでシリサイド膜が酸化され
にくくなり、よつて、その処理とか補正とが容易
になる。
ある良好な加工性及び安定性を生かしたシリサイ
ド配線を非常に簡単に形成することができる。形
成される配線は、もちろん、シリサイドの特徴で
ある多結晶シリコンより約１桁低い抵抗を有して
いる。さらに、本発明に従うと、高融点金属の濃
度が表面で低くなるのでシリサイド膜が酸化され
にくくなり、よつて、その処理とか補正とが容易
になる。
第１図は、本発明により得られる半導体装置の
一例を示した断面図、そして第２ａ図、第２ｂ図
及び第２ｃ図は、それぞれ、本発明の工程を順を
追つて示した断面図である。 図中、１は基板、２はフイールド絶縁膜、３は
第１多結晶シリコン層、４は第２多結晶シリコン
層、５及び６はSiO2薄膜、７はPSG層間絶縁膜、
８はN+拡散層、そして９はAl層である。
一例を示した断面図、そして第２ａ図、第２ｂ図
及び第２ｃ図は、それぞれ、本発明の工程を順を
追つて示した断面図である。 図中、１は基板、２はフイールド絶縁膜、３は
第１多結晶シリコン層、４は第２多結晶シリコン
層、５及び６はSiO2薄膜、７はPSG層間絶縁膜、
８はN+拡散層、そして９はAl層である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 多結晶シリコン層に導電性不純物を添加する
工程と、 次いで、該多結晶シリコン層の該導電性不純物
の添加された領域に、高融点金属を、該高融点金
属の濃度が表面及び境界で低くなるようにイオン
注入して、シリサイド膜を形成する工程と、 次いで、該シリサイド膜の結晶粒径が大きくな
るように、アニール処理する工程と を有する、高融点金属シリサイドからなる低抵抗
配線層の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16953582A JPS5961033A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 高融点金属シリサイド層の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16953582A JPS5961033A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 高融点金属シリサイド層の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961033A JPS5961033A (ja) | 1984-04-07 |
| JPH0377658B2 true JPH0377658B2 (ja) | 1991-12-11 |
Family
ID=15888290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16953582A Granted JPS5961033A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 高融点金属シリサイド層の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961033A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6486560A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-31 | Nippon Telegraph & Telephone | Manufacture of semiconductor device |
| JPH0680638B2 (ja) * | 1990-07-05 | 1994-10-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP16953582A patent/JPS5961033A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5961033A (ja) | 1984-04-07 |
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