JPH0365604A - 光学センサ装置 - Google Patents
光学センサ装置Info
- Publication number
- JPH0365604A JPH0365604A JP20180189A JP20180189A JPH0365604A JP H0365604 A JPH0365604 A JP H0365604A JP 20180189 A JP20180189 A JP 20180189A JP 20180189 A JP20180189 A JP 20180189A JP H0365604 A JPH0365604 A JP H0365604A
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- Japan
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- light
- shield
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- head
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- Pending
Links
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光電式測距装置などの光応用検出装置として
用いられる光学センサ装置に関する。
用いられる光学センサ装置に関する。
光信号を電気信号に変換する光学センサを利用した光応
用検出装置として、レーザ光などの光ビームを被測定物
体に向けて投光し、被測定物体からの反射光を受光して
被測定物体までの距離、あるいはその変位を測定するよ
うにした測距装置が光マイクロなどとして知られている
。
用検出装置として、レーザ光などの光ビームを被測定物
体に向けて投光し、被測定物体からの反射光を受光して
被測定物体までの距離、あるいはその変位を測定するよ
うにした測距装置が光マイクロなどとして知られている
。
かかる測距装置は、レーザなどの投光素子、投光レンズ
、受光レンズ、受光素子などを組合せたセンサヘッドと
、受光素子の電気的な検出信号を基に被測定物体までの
距離、ないし変位を演算する後段の信号処理部とを組合
せたものである。
、受光レンズ、受光素子などを組合せたセンサヘッドと
、受光素子の電気的な検出信号を基に被測定物体までの
距離、ないし変位を演算する後段の信号処理部とを組合
せたものである。
また、この種の測距装置に対するノイズ対策として、通
常はセンサヘッド、および信号処理部をシールドするよ
うにしており、具体的にはセンサヘッド、信号処理部を
金属製のシールドケース内に収容し、かつその内部回路
のコモンをシールドケースに接続した上でシールドケー
スをアース側に接地するようにしている。
常はセンサヘッド、および信号処理部をシールドするよ
うにしており、具体的にはセンサヘッド、信号処理部を
金属製のシールドケース内に収容し、かつその内部回路
のコモンをシールドケースに接続した上でシールドケー
スをアース側に接地するようにしている。
前記の従来構成のようにセンサヘッドをアースされた金
属性のシールドケース内に組み込むことにより、外部ノ
イズの大半をシールドして電気信号に及ぼす影響を防止
できるが、特に前面に投光レンズ、受光レンズなどを取
付けたセンサヘッドでは、その前面に光学レンズが露出
しているために非金属の光学レンズを透過して侵入する
外部ノイズを抑止することができず、このために受光素
子、ないし内部回路がノイズを拾い、その出力信号にノ
イズの影響が及ぶようになる。
属性のシールドケース内に組み込むことにより、外部ノ
イズの大半をシールドして電気信号に及ぼす影響を防止
できるが、特に前面に投光レンズ、受光レンズなどを取
付けたセンサヘッドでは、その前面に光学レンズが露出
しているために非金属の光学レンズを透過して侵入する
外部ノイズを抑止することができず、このために受光素
子、ないし内部回路がノイズを拾い、その出力信号にノ
イズの影響が及ぶようになる。
本発明は、上記の点にかんがみなされたものであり、光
学レンズを透過してセンサヘッド内に侵入しようとする
外部ノイズを確実にシールドできるようにした光学セン
サ装置を提供することを目的とする。
学レンズを透過してセンサヘッド内に侵入しようとする
外部ノイズを確実にシールドできるようにした光学セン
サ装置を提供することを目的とする。
上記IIBを解決するために、本発明の光学センサ装置
においては、センサヘッドに対し、そのシールドケース
の前面を覆って透明な導電性被膜を施した透光性シール
ドを装着し、かつ該透光性シールドの導電性被膜をセン
サヘッドのシールドケースに接続してアース側に接地し
て構成するものとする。
においては、センサヘッドに対し、そのシールドケース
の前面を覆って透明な導電性被膜を施した透光性シール
ドを装着し、かつ該透光性シールドの導電性被膜をセン
サヘッドのシールドケースに接続してアース側に接地し
て構成するものとする。
上記の構成における透光性シールドは、例えばECガラ
ス(f!1ectroconducttve Glas
s)と呼ばれる導電性を有する透明な金属酸化物の被膜
を基板となる透明な保護ガラスの内面側に被着して作ら
れたものである。この導電性被膜は通常使用されている
ガラスを軟化温度(約700℃)近くまで加熱した際に
その表面に形成される錫、その他の金属酸化物であり、
透明度を保ったまま導電性加工されている。そして、該
透光性シールドは光学レンズの前方を覆ってセンサヘッ
ドのシールドケースの前面に密着させ、その導電性被膜
をシールドケースと電気的に導通させるさせるようにし
て取付ける。
ス(f!1ectroconducttve Glas
s)と呼ばれる導電性を有する透明な金属酸化物の被膜
を基板となる透明な保護ガラスの内面側に被着して作ら
れたものである。この導電性被膜は通常使用されている
ガラスを軟化温度(約700℃)近くまで加熱した際に
その表面に形成される錫、その他の金属酸化物であり、
透明度を保ったまま導電性加工されている。そして、該
透光性シールドは光学レンズの前方を覆ってセンサヘッ
ドのシールドケースの前面に密着させ、その導電性被膜
をシールドケースと電気的に導通させるさせるようにし
て取付ける。
これにより、センサヘッドからの出射光、および入射光
は透光性シールドを自由に透過しつつ、一方では非金属
の光学レンズを透過して外部よりセンサヘッド内に侵入
しようとする外部ノイズが確実にシールドされ、これに
より外部ノイズによる電気信号への影響を防止できる。
は透光性シールドを自由に透過しつつ、一方では非金属
の光学レンズを透過して外部よりセンサヘッド内に侵入
しようとする外部ノイズが確実にシールドされ、これに
より外部ノイズによる電気信号への影響を防止できる。
第1図は光電式測距装置に実施した本発明実施例のI成
因、第2図は第1図におけるセンサヘッドの外観斜視図
である。
因、第2図は第1図におけるセンサヘッドの外観斜視図
である。
図において、1は測距装置の検出部であるセンサヘッド
、2は信号処理部、3は被測定物体である。ここでセン
サヘッド1は、光源11.投光レンズ12.受光レンズ
13.受光素子14.およびセンサ内部回路15の組合
せからなり、かつ投光レンズ12゜受光レンズ13を前
面に臨ませて前記の各構成部品が金属製のシールドケー
ス16に組み込まれている。
、2は信号処理部、3は被測定物体である。ここでセン
サヘッド1は、光源11.投光レンズ12.受光レンズ
13.受光素子14.およびセンサ内部回路15の組合
せからなり、かつ投光レンズ12゜受光レンズ13を前
面に臨ませて前記の各構成部品が金属製のシールドケー
ス16に組み込まれている。
また、信号処理部2は信号処理回路21、直流電源22
、ノイズフィルタ23.電源トランス24などを一括し
て金属製のシールドケース25に収容したものであり、
センサヘッド1との間が信号伝送用のシールドケーブル
4を介して接続されている。また、センサヘッド1のシ
ールドケース16は内部回路15のコモンに接続されて
おり、信号処理部2とともにシールドケーブル4.およ
びアース15を介してアースと同電位となるように接地
されている。
、ノイズフィルタ23.電源トランス24などを一括し
て金属製のシールドケース25に収容したものであり、
センサヘッド1との間が信号伝送用のシールドケーブル
4を介して接続されている。また、センサヘッド1のシ
ールドケース16は内部回路15のコモンに接続されて
おり、信号処理部2とともにシールドケーブル4.およ
びアース15を介してアースと同電位となるように接地
されている。
なお、かかる測距装置の測定原理は周知であり、ここで
はその説明を省略する。
はその説明を省略する。
そして、前記のセンサヘッド1のシールドケース16に
対して、投光レンズ12.受光レンズ13を装備したケ
ース前面を覆うようにして符号6で示す透光性シールド
が装着されている。この透光性シールド6は、基板とな
る透明な保護ガラス61の表面にECガラスと呼ばれる
透明な金属酸化物の導電性被11162が被着されたも
のであり、該導電性被膜62を内側に向けてセンサヘッ
ドのシールドケース16の端面と密着するように取付け
、シールドケース16との間を電気的に導通させる。
対して、投光レンズ12.受光レンズ13を装備したケ
ース前面を覆うようにして符号6で示す透光性シールド
が装着されている。この透光性シールド6は、基板とな
る透明な保護ガラス61の表面にECガラスと呼ばれる
透明な金属酸化物の導電性被11162が被着されたも
のであり、該導電性被膜62を内側に向けてセンサヘッ
ドのシールドケース16の端面と密着するように取付け
、シールドケース16との間を電気的に導通させる。
かかる構成により、光源11から被測定物体3に向けて
出射する照射光7.および受光素子14に入射する被測
定物体からの反射光8は減衰することなく透光性シール
ド6を自由に透過する。一方、外部より非金属の光学レ
ンズを透過してセンサヘッド内に侵入しようとする外部
ノイズ9(点線で表す)は、透光性シールド6の導電性
被膜62がシールドケース16を介してアース側に接地
されているので、そのシールド効果によりセンサヘッド
の内部に侵入することはない、したがってセンサヘラド
lに組み込まれた受光素子14.内部回路などが外部ノ
イズの影響を受けるのを防止できる。
出射する照射光7.および受光素子14に入射する被測
定物体からの反射光8は減衰することなく透光性シール
ド6を自由に透過する。一方、外部より非金属の光学レ
ンズを透過してセンサヘッド内に侵入しようとする外部
ノイズ9(点線で表す)は、透光性シールド6の導電性
被膜62がシールドケース16を介してアース側に接地
されているので、そのシールド効果によりセンサヘッド
の内部に侵入することはない、したがってセンサヘラド
lに組み込まれた受光素子14.内部回路などが外部ノ
イズの影響を受けるのを防止できる。
なお、本発明は実施例で述べた測距装置以外の各種の光
応用検出装置に適用しても同様な効果を奏することは勿
論である。
応用検出装置に適用しても同様な効果を奏することは勿
論である。
以上説明したように本発明によれば、センサヘッドのシ
ールドケースに対し、光学レンズが露出するケース前面
を覆って透明な導電性被膜を施した透光性シールドを装
着し、かつ該透光性シールドの導電性被膜をセンサヘッ
ドのシールドケースに接続してアース側に接地したこと
により、光の透過性を阻害することなく光学レンズを透
過してセンサヘッド内に侵入しようとする外部ノイズを
確実にシールドすることができ、光学センサ装置の耐ノ
イズ性能の向上化が図れる。
ールドケースに対し、光学レンズが露出するケース前面
を覆って透明な導電性被膜を施した透光性シールドを装
着し、かつ該透光性シールドの導電性被膜をセンサヘッ
ドのシールドケースに接続してアース側に接地したこと
により、光の透過性を阻害することなく光学レンズを透
過してセンサヘッド内に侵入しようとする外部ノイズを
確実にシールドすることができ、光学センサ装置の耐ノ
イズ性能の向上化が図れる。
第1図は光電式測距装置に適用した本発明実施例の構成
図、第2図は第1図におけるセンサヘッドの外観斜視図
である0図において、 1:センサヘッド、13:受光レンズ、14:受光素子
、16:シールドケース、5:アース線、6:透光性シ
ールド、61:保護ガラス、62:透明導電性被膜。 第2図 第1図
図、第2図は第1図におけるセンサヘッドの外観斜視図
である0図において、 1:センサヘッド、13:受光レンズ、14:受光素子
、16:シールドケース、5:アース線、6:透光性シ
ールド、61:保護ガラス、62:透明導電性被膜。 第2図 第1図
Claims (1)
- 1)光学レンズ、受光素子などの組合せからなり、光学
レンズを前面に臨ませてセンサヘッドのシールドケース
内に収容して組立てた光学センサ装置において、前記シ
ールドケースの前面を覆って透明な導電性被膜を施した
透光性シールドを装着し、かつ該透光性シールドの導電
性被膜をセンサヘッドのシールドケースに接続してアー
ス側に接地したことを特徴とする光学センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20180189A JPH0365604A (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | 光学センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20180189A JPH0365604A (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | 光学センサ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0365604A true JPH0365604A (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=16447153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20180189A Pending JPH0365604A (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | 光学センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0365604A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100434684B1 (ko) * | 2001-06-27 | 2004-06-22 | 케이에스엠 주식회사 | 신발 |
JP2009115801A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学エンコーダの走査ユニット及びこの走査ユニットを有するエンコーダ |
JP2011106896A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Mitsutoyo Corp | 非接触プローブ、及び測定機 |
JP2021167774A (ja) * | 2020-04-10 | 2021-10-21 | 株式会社キーエンス | 光学式変位センサ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55162004A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-17 | Toshiba Corp | Electric charge corpuscular ray irradiation unit |
JPS627035B2 (ja) * | 1979-04-09 | 1987-02-14 | Niles Parts Co Ltd |
-
1989
- 1989-08-03 JP JP20180189A patent/JPH0365604A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS627035B2 (ja) * | 1979-04-09 | 1987-02-14 | Niles Parts Co Ltd | |
JPS55162004A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-17 | Toshiba Corp | Electric charge corpuscular ray irradiation unit |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8704154B2 (en) | 2009-11-16 | 2014-04-22 | Mitutoyo Corporation | Non-contact probe with an optical filter and measuring machine including the same |
JP2021167774A (ja) * | 2020-04-10 | 2021-10-21 | 株式会社キーエンス | 光学式変位センサ |
US11867494B2 (en) | 2020-04-10 | 2024-01-09 | Keyence Corporation | Optical displacement sensor |
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