JPH0365604A - 光学センサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光電式測距装置などの光応用検出装置として
用いられる光学センサ装置に関する。

〔従来の技術〕

光信号を電気信号に変換する光学センサを利用した光応
用検出装置として、レーザ光などの光ビームを被測定物
体に向けて投光し、被測定物体からの反射光を受光して
被測定物体までの距離、あるいはその変位を測定するよ
うにした測距装置が光マイクロなどとして知られている
。

かかる測距装置は、レーザなどの投光素子、投光レンズ
、受光レンズ、受光素子などを組合せたセンサヘッドと
、受光素子の電気的な検出信号を基に被測定物体までの
距離、ないし変位を演算する後段の信号処理部とを組合
せたものである。

また、この種の測距装置に対するノイズ対策として、通
常はセンサヘッド、および信号処理部をシールドするよ
うにしており、具体的にはセンサヘッド、信号処理部を
金属製のシールドケース内に収容し、かつその内部回路
のコモンをシールドケースに接続した上でシールドケー
スをアース側に接地するようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記の従来構成のようにセンサヘッドをアースされた金
属性のシールドケース内に組み込むことにより、外部ノ
イズの大半をシールドして電気信号に及ぼす影響を防止
できるが、特に前面に投光レンズ、受光レンズなどを取
付けたセンサヘッドでは、その前面に光学レンズが露出
しているために非金属の光学レンズを透過して侵入する
外部ノイズを抑止することができず、このために受光素
子、ないし内部回路がノイズを拾い、その出力信号にノ
イズの影響が及ぶようになる。

本発明は、上記の点にかんがみなされたものであり、光
学レンズを透過してセンサヘッド内に侵入しようとする
外部ノイズを確実にシールドできるようにした光学セン
サ装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記ＩＩＢを解決するために、本発明の光学センサ装置
においては、センサヘッドに対し、そのシールドケース
の前面を覆って透明な導電性被膜を施した透光性シール
ドを装着し、かつ該透光性シールドの導電性被膜をセン
サヘッドのシールドケースに接続してアース側に接地し
て構成するものとする。

〔作用〕

上記の構成における透光性シールドは、例えばＥＣガラ
ス（ｆ！１ｅｃｔｒｏｃｏｎｄｕｃｔｔｖｅ　Ｇｌａｓ
ｓ）と呼ばれる導電性を有する透明な金属酸化物の被膜
を基板となる透明な保護ガラスの内面側に被着して作ら
れたものである。この導電性被膜は通常使用されている
ガラスを軟化温度（約７００℃）近くまで加熱した際に
その表面に形成される錫、その他の金属酸化物であり、
透明度を保ったまま導電性加工されている。そして、該
透光性シールドは光学レンズの前方を覆ってセンサヘッ
ドのシールドケースの前面に密着させ、その導電性被膜
をシールドケースと電気的に導通させるさせるようにし
て取付ける。

これにより、センサヘッドからの出射光、および入射光
は透光性シールドを自由に透過しつつ、一方では非金属
の光学レンズを透過して外部よりセンサヘッド内に侵入
しようとする外部ノイズが確実にシールドされ、これに
より外部ノイズによる電気信号への影響を防止できる。

〔実施例〕

第１図は光電式測距装置に実施した本発明実施例のＩ成
因、第２図は第１図におけるセンサヘッドの外観斜視図
である。

図において、１は測距装置の検出部であるセンサヘッド
、２は信号処理部、３は被測定物体である。ここでセン
サヘッド１は、光源１１．投光レンズ１２．受光レンズ
１３．受光素子１４．およびセンサ内部回路１５の組合
せからなり、かつ投光レンズ１２゜受光レンズ１３を前
面に臨ませて前記の各構成部品が金属製のシールドケー
ス１６に組み込まれている。

また、信号処理部２は信号処理回路２１、直流電源２２
、ノイズフィルタ２３．電源トランス２４などを一括し
て金属製のシールドケース２５に収容したものであり、
センサヘッド１との間が信号伝送用のシールドケーブル
４を介して接続されている。また、センサヘッド１のシ
ールドケース１６は内部回路１５のコモンに接続されて
おり、信号処理部２とともにシールドケーブル４．およ
びアース１５を介してアースと同電位となるように接地
されている。

なお、かかる測距装置の測定原理は周知であり、ここで
はその説明を省略する。

そして、前記のセンサヘッド１のシールドケース１６に
対して、投光レンズ１２．受光レンズ１３を装備したケ
ース前面を覆うようにして符号６で示す透光性シールド
が装着されている。この透光性シールド６は、基板とな
る透明な保護ガラス６１の表面にＥＣガラスと呼ばれる
透明な金属酸化物の導電性被１１１６２が被着されたも
のであり、該導電性被膜６２を内側に向けてセンサヘッ
ドのシールドケース１６の端面と密着するように取付け
、シールドケース１６との間を電気的に導通させる。

かかる構成により、光源１１から被測定物体３に向けて
出射する照射光７．および受光素子１４に入射する被測
定物体からの反射光８は減衰することなく透光性シール
ド６を自由に透過する。一方、外部より非金属の光学レ
ンズを透過してセンサヘッド内に侵入しようとする外部
ノイズ９（点線で表す）は、透光性シールド６の導電性
被膜６２がシールドケース１６を介してアース側に接地
されているので、そのシールド効果によりセンサヘッド
の内部に侵入することはない、したがってセンサヘラド
ｌに組み込まれた受光素子１４．内部回路などが外部ノ
イズの影響を受けるのを防止できる。

なお、本発明は実施例で述べた測距装置以外の各種の光
応用検出装置に適用しても同様な効果を奏することは勿
論である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、センサヘッドのシ
ールドケースに対し、光学レンズが露出するケース前面
を覆って透明な導電性被膜を施した透光性シールドを装
着し、かつ該透光性シールドの導電性被膜をセンサヘッ
ドのシールドケースに接続してアース側に接地したこと
により、光の透過性を阻害することなく光学レンズを透
過してセンサヘッド内に侵入しようとする外部ノイズを
確実にシールドすることができ、光学センサ装置の耐ノ
イズ性能の向上化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は光電式測距装置に適用した本発明実施例の構成
図、第２図は第１図におけるセンサヘッドの外観斜視図
である０図において、 １：センサヘッド、１３：受光レンズ、１４：受光素子
、１６：シールドケース、５：アース線、６：透光性シ
ールド、６１：保護ガラス、６２：透明導電性被膜。 第２図 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）光学レンズ、受光素子などの組合せからなり、光学
   レンズを前面に臨ませてセンサヘッドのシールドケース
   内に収容して組立てた光学センサ装置において、前記シ
   ールドケースの前面を覆って透明な導電性被膜を施した
   透光性シールドを装着し、かつ該透光性シールドの導電
   性被膜をセンサヘッドのシールドケースに接続してアー
   ス側に接地したことを特徴とする光学センサ装置。