JP2009115801A - 光学エンコーダの走査ユニット及びこの走査ユニットを有するエンコーダ - Google Patents
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Abstract
光学エンコーダの場合、検出装置(6)が、邪魔な電磁場に対して保護されている。
【解決手段】
カバープレート(15)の導電性の透明な層(16)が、この保護のために使用される。このカバープレート(15)は、本体(20)の凹部(21)を覆う。検出装置(6)を有する透明キャリヤ(5)が、本体(20)内に収容されている。検出装置(6)は、透明キャリヤ(5)の下面に配置されていて、他方でこの透明キャリヤ(5)は、この透明キャリヤ(5)の上面によってカバープレート(15)に固定されている。
【選択図】 図1
Description
2 走査ユニット
3 反射測定目盛
4 光源
5 透明キャリヤ
6 検出装置
7 走査格子
8 接着層
9 第2表面
10 第1表面
11 配線パターン
15 カバープレート
15.1 突出している領域
16 スクリーン
20 本体
21 凹部
22 ポケット
23 導電性の接着剤
24 横ストッパ
25 接着剤
26 支持部
27 切通部
Claims (15)
- 走査ユニットに対して測定方向(X)に相対移動可能なスケール(1)が、この走査ユニットによって光学式に走査可能であるこの走査ユニットにおいて、
前記走査ユニットは、
−検出装置(6)を備え、;
−第1表面(10)及び第2表面(9)を有する透明キャリヤ(5)を備え、この場合、前記検出装置(6)が、第2表面(9)に接して配置されていて;
−透明なカバープレート(15)を備え、このカバープレート(15)は、前記透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)上に固定されていて、このカバープレート(15)は、前記検出装置(6)を電磁場に対して遮蔽するスクリーン(16)を有する走査ユニット。 - 前記スクリーンは、導電性の物質から成る透明な層(16)であることを特徴とする請求項1に記載の走査ユニット。
- 前記導電性の物質は、インジウム錫酸化物(ITO)を有することを特徴とする請求項2に記載の走査ユニット。
- 前記透明キャリヤ(5)は、走査格子(7)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 前記走査格子(7)は、前記透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)上に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の走査ユニット。
- 前記透明キャリヤ(5)の前記第2表面(9)は、コーティングを有し、このコーティングは、配線パターン(11)を形成し、前記検出装置(6)が、フリップチップ技術でこの配線パターン(11)に接触されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 前記検出装置(6)を有する前記透明キャリヤ(5)は、本体(20)の凹部(21)内に配置されていて、この凹部(21)は、前記カバープレート(15)によって覆われていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 前記本体(20)は導電性であり、前記スクリーン(16)は、この本体(20)に導電性に接合されていることを特徴とする請求項7に記載の走査ユニット。
- 前記透明なカバープレート(15)は、前記透明キャリヤ(5)から横方向に突出している領域(15.1)を有する請求項8に記載の走査ユニット。
- 前記スクリーン(16)は、前記透明なカバープレート(15)上に配置されていて、このカバープレート(15)は、前記透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)に面していることを特徴とする請求項9に記載の走査ユニット。
- 前記スクリーン(16)は、前記カバープレート(15)の突出している領域(15.1)で前記本体(20)に電気接触されていることを特徴とする請求項10に記載の走査ユニット。
- 前記カバープレート(15)の前記スクリーン(16)は、導電性の接着剤(23)によって前記本体(20)に電気接触されていることを特徴とする請求項7〜11のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 前記透明キャリヤ(5)の側面が、前記本体(20)のストッパ(24)と協働することによって、前記透明キャリヤ(5)と前記カバープレート(15)とから構成されたポケットが、前記本体(20)の前記凹部(21)内で位置決めされていることを特徴とする請求項7〜12のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 前記の位置決めされた状態では、前記カバープレート(15)の全周囲が、前記カバープレート(15)の側面に対向している前記本体(20)の前記凹部(21)の内周面に対して間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項13に記載の走査ユニット。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載のスケール(1)とこのスケール(1)に対して測定方向(X)に相対移動可能な走査ユニット(2)とを有する光学エンコーダにおいて、透明キャリヤ(5)の第1表面(10)が、前記スケール(1)に面していて、前記透明キャリヤ(5)の第2表面(9)が、前記スケール(1)に面していない光学エンコーダ。
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