JP5248272B2 - 光学エンコーダの走査ユニット及びこの走査ユニットを有するエンコーダ - Google Patents
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Description
れている。
2 走査ユニット
3 反射測定目盛
4 光源
5 透明キャリヤ
6 検出装置
7 走査格子
8 接着層
9 第2表面
10 第1表面
11 配線パターン
15 カバープレート
15.1 突出している領域
16 スクリーン
20 本体
21 凹部
22 ポケット
23 導電性の接着剤
24 横ストッパ
25 接着剤
26 支持部
27 切通部
Claims (6)
- 走査ユニットに対して測定方向(X)に相対移動可能なスケール(1)が、この走査ユニットによって光学式に走査可能である当該走査ユニットにおいて、
前記走査ユニットが、検出装置(6)と、第1表面(10)及び第2表面(9)を有する透明キャリヤ(5)と、透明なカバープレート(15)とを備え、
前記検出装置(6)が、前記第2表面(9)に配置されていて、
前記カバープレート(15)が、前記透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)上に固定されていて、このカバープレート(15)が、前記検出装置(6)を電磁場に対して遮蔽するスクリーン(16)を有すること、
前記透明キャリヤ(5)の前記第2表面(9)が、コーティングを有し、このコーティングが、配線パターン(11)を形成し、前記検出装置(6)が、フリップチップ技術でこの配線パターン(11)に接触されていること、
前記検出装置(6)を有する前記透明キャリヤ(5)が、本体(20)の凹部(21)内に配置されていて、この凹部(21)が、前記カバープレート(15)によって覆われていること、
前記本体(20)が導電性であり、前記スクリーン(16)が、この本体(20)に導電性に接合されていること、
前記透明なカバープレート(15)が、前記透明キャリヤ(5)から横方向に突出している領域(15.1)を有すること、
前記スクリーン(16)が、前記透明なカバープレート(15)の表面上に配置されていて、当該表面が、前記透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)に面していること、
前記スクリーン(16)が、前記カバープレート(15)の前記突出している領域(15.1)で前記本体(20)に電気接触されていること、及び
前記透明キャリヤ(5)の側面が、前記本体(20)のストッパ(24)と協働することによって、前記透明キャリヤ(5)と前記カバープレート(15)とから構成されたパケットが、前記本体(20)の前記凹部(21)内で位置決めされている当該走査ユニット。 - 前記スクリーンは、導電性の物質から成る透明な層(16)であることを特徴とする請求項1に記載の走査ユニット。
- 前記導電性の物質は、インジウム錫酸化物(ITO)を有することを特徴とする請求項2に記載の走査ユニット。
- 前記透明キャリヤ(5)は、この透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)上に形成されている走査格子(7)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 前記カバープレート(15)の前記スクリーン(16)は、導電性の接着剤(23)によって前記本体(20)に電気接触されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項のいずれか1項に記載の走査ユニット。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の、スケール(1)とこのスケール(1)に対して測定方向(X)に相対移動可能な走査ユニット(2)とを有する光学エンコーダにおいて、
前記透明キャリヤ(5)の前記第1表面(10)が、前記スケール(1)に面していて、前記透明キャリヤ(5)の前記第2表面(9)が、前記スケール(1)に面していない当該光学エンコーダ。
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