JPH035693A - 真空加熱炉 - Google Patents

真空加熱炉

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JPH035693A
JPH035693A JP13737689A JP13737689A JPH035693A JP H035693 A JPH035693 A JP H035693A JP 13737689 A JP13737689 A JP 13737689A JP 13737689 A JP13737689 A JP 13737689A JP H035693 A JPH035693 A JP H035693A
Authority
JP
Japan
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heat
tray
vacuum heating
workpiece
resistant
Prior art date
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Pending
Application number
JP13737689A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Okubo
治 大久保
Ichiro Koe
一郎 向江
Atsushi Nakatsuka
篤 中塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP13737689A priority Critical patent/JPH035693A/ja
Publication of JPH035693A publication Critical patent/JPH035693A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、真空中にワークを搬送して加熱処理する形式
の真空加熱炉に関する。
(従来の技術) 従来、第2図に見られるように、真空加熱室a内の両側
に放射加熱器す、bを設け、該真空加熱室aの内壁と放
射加熱器bSbとの間に断熱板Cを介在させ、加熱処理
されるワークdをトレイeに載せて該真空加熱室a内を
第2図の紙面と垂直方向に搬送するようにしたものが知
られている。
該トレイeは、真空加熱室aの左右に対称にしかも搬送
方向に間隔を存して複数本例えば左右8本配置されたロ
ーラーf、f上に載せられ、真空加熱室aの外部に設け
た2台のモーターg1gの回転がチェンh1スプロケッ
トi及び駆動軸jを介して各ローラーf、fに伝達され
ると、真空加熱室a内ヘトレイe及びワークdが搬送さ
れ、ワークdに加熱処理が施される。該駆動軸jは回転
シールkを介して真空加熱室aの外部へと延び、その一
部に水冷ジャケットlを取付け、給排水口2からの通水
により冷却される。
該真空加熱室a内には、断熱板Cで囲んだ加熱部mを区
画形成し、そこでワークdを加熱するが、ローラーfS
 fは該加熱部mの外部の冷間部nに設けられる。該ロ
ーラーfS fの回転で搬送されるトレイeは、台座0
から加熱部mの下面に設けた開口pを介して上方へ延び
る脚qにより支えられ、波力qには冷間部nへの放熱を
防ぐ2重のトレイ断熱板rS rが取付けられる。また
該冷間部nの周囲も断熱板Sで囲み、ローラーf、fの
駆動軸jにもこれと共に回転する断熱板Sが取付けられ
る。tは電極、Uはカバー ■は真空排気孔、Wは制御
用熱雷対である。
(発明が解決しようとする課題) 前記従来の真空加熱炉は、トレイdを搬送するローラー
fS fを高温から保護するため、加熱部mから区分さ
れた冷間部nにローラーf1【を設けるが、そのために
トレイeの全体が縦長の形状になり、真空加熱炉の高さ
がその分高くなるので、炉内の断熱板が増えしかもトレ
イ断熱板r、rを設ける必要があり、断熱板形状が複雑
化して製作性が悪く、更にデッドスペースが多くなる不
利がある。また、ローラーf1fの駆動軸jを水冷する
ため、製作コストが非常に高くなる欠点があり、更に、
駆動軸jが左右に分れているために、搬送用のモーター
g、gが2台必要になる不都合があった。
本発明は、こうした不利、欠点等を解決し、断熱板の量
が少なく、小型で安価に製作し得る真空加熱炉を提供す
ることを目的とするものである。
(課題を解決するための手段) 前記目的を達成すべく、本発明では、真空加熱室内の上
下及び側方に放射加熱器を設け、該真空加熱室の内壁と
放射加熱器との間に断熱板を介在させ、加熱されるべき
ワークをトレイに載せて該真空加熱室内を搬送するよう
にしたものに於いて、該真空加熱室内の前記放射加熱器
で包囲された加熱領域を横断し且つ複数本の回転駆動さ
れる耐熱性丸棒で前記トレイの搬送装置を構成した。
(作 用) 加熱されるべきワークはトレイに載せて真空加熱室内に
搬入されるが、該トレイは、真空加熱室内の上下及び側
方が放射加熱器で囲まれた加熱領域を左右に横断して設
けた耐熱性丸棒の回転により搬送されるので、ワークを
載置するに適した板状の薄形に形成出来、該耐熱性丸棒
は特別の冷却や断熱板の防熱手段が不要であるので、真
空加熱炉の内部には真空加熱室以外の空間を用意する必
要がなく、炉全体の寸法を小形化出来、断熱板の量が少
なくなり、製作が容易で低コストとなし得る。
(実施例) 本発明の実施例を図面第1図に基づき説明すると、同図
に於いて符号(1)は真空排気孔(2)を備えた真空加
熱室、(3)は該真空加熱室(1)内の上下及び側方に
設けたヒーターからなる放射加熱器、(4)は該真空加
熱室(1)の内壁と放射加熱器(3)との間に介在させ
た断熱板、(5)は該真空加熱室(1)内の放射加熱器
(3)で囲まれた加熱領域(6)へ搬出入されて加熱処
理されるワークを示す。該領域(6)には、これを横断
し且つ複数本の回転駆動される耐熱性丸棒(7)で構成
された搬送装置(8)が設けられ、図示の場合、ワーク
(5)は第1図の紙面の垂直方向に搬送されるので複数
本の例えば6本の耐熱性丸棒(7)が該紙面の垂直方向
に配置される。
該耐熱性丸棒(7)は、0°〜1300℃で使用出来る
TZM合金等の耐熱性高強度材料で製作され、その両端
を断熱板(4)に設けた断熱材製の筒■■を介して加熱
領域(6)から外部へと延ばし、SUB製の軸(9) 
(IOに連結される。これらのSO3製の軸(9) (
IGは、真空加熱室(1)内に於いてMO32合金、V
S2合金等の耐熱合金すべり軸受からなる軸受01)、
及びアダプタ0を介して軸受台03で支持され、その一
方の軸(IGにはスプロケットa@が取付けられる。複
数本設けられる耐熱性丸棒(7)のうち1本には、図示
のように、スプロケット0@に真空加熱室(1)の外部
へ回転シールCI5+を介して延びる駆動軸頭が連結さ
れ、サイリスクコントロ−ラによって速度制御された減
速機付の外部のモーター(′171からスプロケット(
13及びチェ2(’I!Dを介して該駆動軸aOに回転
が与えられると、当該耐熱製丸棒(7)が回転し、これ
と同時に各スプロケット(14)に張り渡したローラー
チェン■が回動されて他の耐熱性丸棒(7)も回転され
る。
該ワーク(5)はカーボン製の板状のトレイ■に載せら
れ、該トレイ■は直接耐熱性丸棒(7)の上をその回転
で搬送される。
■は、耐熱性丸棒(7)の加熱領域(6)内の中間部を
支えるカーボン製の支柱で、該支柱■の先端に環状のカ
ーボン製リング■を形成してそこに支持する耐熱性丸棒
(7)を挿通するようにした。
該リングのとの衝突を避けるために、該トレイ■の下面
に凹溝124)が設けられる。■は放射加熱器(3)の
電極、■は制御用熱電対である。
その作動を説明するに、板状のカーボン製トレイのにワ
ーク(5)を載せ、モーター(+71の回転によって耐
熱性丸棒(7)に回転を与え、トレイ■をワーク(5)
と共に発熱する放射加熱器(3)で囲まれた加熱領域(
6)へ例えば6m/seeの速度で送り込む。該ワーク
(5)は、該領域(6)に於いて設定された温度に加熱
されるが、その加熱中、該耐熱性丸棒(7)のたわみを
最小限にするために、該耐熱性丸棒(7)に0.8m/
secの回転速度で360a反転の繰り返し回転をモー
ター(+7)によって与え、その加熱の完了後加熱領域
(6)からトレイ0及びワーク(5)を搬出するように
耐熱性丸棒(7)が回転する。
(発明の効果) 以上のように本発明に於いては、放射加熱器で囲まれた
領域を横断して回転自在に耐熱性丸棒を設け、これでワ
ークを載せたトレイを搬送するようにしたので、真空加
熱室内に加熱領域以外の空間が非常に少なくなり、真空
ポンプの小型化、真空加熱室の高さを小さくすることが
出来ると共にその内部に設けられる断熱板の量が少なく
内部構造も簡単化され、放出ガス量も減少し、しかもト
レイを小形板状に構成出来るので製作が容易になり、搬
送装置の冷却が不要になるため安価になる等の効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の載断面図、第2図は従来例の
載断面図である。 (1)・・・真空加熱室  (3)・・・放射加熱器(
4)・・・断熱板    (5)・・・ワーク(6)・
・・加熱領域   (7)・・・耐熱性丸棒(8)・・
・搬送装置   0・・・トレイリ・・支 柱 546−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、真空加熱室内の上下及び側方に放射加熱器を設け、
    該真空加熱室の内壁と放射加熱器との間に断熱板を介在
    させ、加熱されるべきワークをトレイに載せて該真空加
    熱室内を搬送するようにしたものに於いて、該真空加熱
    室内の前記放射加熱器で包囲された加熱領域を横断し且
    つ複数本の回転駆動される耐熱性丸棒で前記トレイの搬
    送装置を構成したことを特徴とする真空加熱炉。 2、前記領域に存する耐熱性丸棒を中間部の1ヶ所又は
    2ヶ所以上で耐熱性の支柱により支持したことを特徴と
    する真空加熱炉。
JP13737689A 1989-06-01 1989-06-01 真空加熱炉 Pending JPH035693A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13737689A JPH035693A (ja) 1989-06-01 1989-06-01 真空加熱炉

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JP13737689A JPH035693A (ja) 1989-06-01 1989-06-01 真空加熱炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH035693A true JPH035693A (ja) 1991-01-11

Family

ID=15197240

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JP13737689A Pending JPH035693A (ja) 1989-06-01 1989-06-01 真空加熱炉

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JP (1) JPH035693A (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61105874A (ja) * 1984-10-29 1986-05-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 電界効果トランジスタの製法
JPS61272586A (ja) * 1985-05-27 1986-12-02 大同特殊鋼株式会社 ロ−ラハ−ス式真空炉
JPS61279619A (ja) * 1985-06-05 1986-12-10 Daido Steel Co Ltd ロ−ラハ−ス式真空炉における被熱物の加熱方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61272586A (ja) * 1985-05-27 1986-12-02 大同特殊鋼株式会社 ロ−ラハ−ス式真空炉
JPS61279619A (ja) * 1985-06-05 1986-12-10 Daido Steel Co Ltd ロ−ラハ−ス式真空炉における被熱物の加熱方法

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