JP3312407B2 - ローラハース式真空炉 - Google Patents
ローラハース式真空炉Info
- Publication number
- JP3312407B2 JP3312407B2 JP35411792A JP35411792A JP3312407B2 JP 3312407 B2 JP3312407 B2 JP 3312407B2 JP 35411792 A JP35411792 A JP 35411792A JP 35411792 A JP35411792 A JP 35411792A JP 3312407 B2 JP3312407 B2 JP 3312407B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- heat
- processing chamber
- vacuum furnace
- chamber
- Prior art date
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- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、真空中または雰囲気ガ
ス中で被熱物を熱処理するローラハース式真空炉に関す
るものである。
ス中で被熱物を熱処理するローラハース式真空炉に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】炉内温度が1000℃を越す環境で使用
されるハ−スロールには従来から内部に材料保護のため
に冷却水を循環させる水冷ロールが使用されていた。
されるハ−スロールには従来から内部に材料保護のため
に冷却水を循環させる水冷ロールが使用されていた。
【0003】しかし水冷ロールは炉外に給排水のための
ロータリージョイントを設けねばならないなど構造が複
雑化すると共に、冷却水を介し炉外に多量の熱エネルギ
ーが排出されるので熱損失が大きい欠点がある。
ロータリージョイントを設けねばならないなど構造が複
雑化すると共に、冷却水を介し炉外に多量の熱エネルギ
ーが排出されるので熱損失が大きい欠点がある。
【0004】そこで従来から本出願人の実用新案登録出
願に係る実開平4−43797号公報に記載されたよう
な炭素繊維複合炭素材(C/Cコンポジットと称され
る。)等のカーボン系材料またはセラミックス製で水冷
を要しないハースロールが提案されている。
願に係る実開平4−43797号公報に記載されたよう
な炭素繊維複合炭素材(C/Cコンポジットと称され
る。)等のカーボン系材料またはセラミックス製で水冷
を要しないハースロールが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし炉内に被熱物の
荷重に耐え得るような太い上記耐熱性材料製のロールを
設けているとこの種材料は一般に熱容量が大きいために
炉内を昇温させるのに必要な熱エネルギーが多くなり、
定常運転時においてもロール断面積が大きいと熱伝導に
より炉外へ放出される熱量も大きくなり熱損失が大きい
という問題がある。
荷重に耐え得るような太い上記耐熱性材料製のロールを
設けているとこの種材料は一般に熱容量が大きいために
炉内を昇温させるのに必要な熱エネルギーが多くなり、
定常運転時においてもロール断面積が大きいと熱伝導に
より炉外へ放出される熱量も大きくなり熱損失が大きい
という問題がある。
【0006】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、気密性
チャンバの内部に耐熱性断熱板により囲って処理室を形
成してなる真空炉において、中空筒状のカーボン製のロ
ールを処理室に横断状に設け該ロールの両端部を気密性
チャンバ内の処理室外側に設けられた軸受により回転自
在に支持し、該ロールの内部で処理室内部分と処理室外
部分との境に通気性を有する断熱材を充填し、該ロール
内を常に気密性チャンバ内と連通させたことを特徴とし
たものである。
チャンバの内部に耐熱性断熱板により囲って処理室を形
成してなる真空炉において、中空筒状のカーボン製のロ
ールを処理室に横断状に設け該ロールの両端部を気密性
チャンバ内の処理室外側に設けられた軸受により回転自
在に支持し、該ロールの内部で処理室内部分と処理室外
部分との境に通気性を有する断熱材を充填し、該ロール
内を常に気密性チャンバ内と連通させたことを特徴とし
たものである。
【0007】
【作用】ロールが中空筒状であるので断面係数が大きく
強度が出る割には断面積は小さく熱容量が少なくでき
る。そしてロール内に設けた断熱材により該ロールの両
端部への熱伝達も少なくなり定常運転時の熱損失も少な
くなる。
強度が出る割には断面積は小さく熱容量が少なくでき
る。そしてロール内に設けた断熱材により該ロールの両
端部への熱伝達も少なくなり定常運転時の熱損失も少な
くなる。
【0008】
【実施例】次に本発明に係るローラハース式真空炉の実
施例を説明する。図1に本発明の第1の実施例としての
ローラハース式真空炉を横断面にて示す。図において、
1は円筒状に形成された気密性チャンバで、該気密性チ
ャンバ1内は真空状態或いは無酸化性ガス等の雰囲気ガ
スが充填される。
施例を説明する。図1に本発明の第1の実施例としての
ローラハース式真空炉を横断面にて示す。図において、
1は円筒状に形成された気密性チャンバで、該気密性チ
ャンバ1内は真空状態或いは無酸化性ガス等の雰囲気ガ
スが充填される。
【0009】2は気密性チャンバ1の内部に耐熱性断熱
板3により囲って角筒状に形成された処理室、4は該処
理室2の内面に配設された電熱式のヒータである。
板3により囲って角筒状に形成された処理室、4は該処
理室2の内面に配設された電熱式のヒータである。
【0010】5は該処理室2の床部に横断状に設けられ
た中空筒状のカーボン製ロールで、該ロール5は炭素繊
維複合炭素材(炭素繊維を埋設すること強化されたカー
ボンで、C/Cコンポジットと称される。)で成形され
た耐熱性の高いもので、その外周に一対の止め輪6が固
着され、該止め輪6上に被熱物8が支持される。
た中空筒状のカーボン製ロールで、該ロール5は炭素繊
維複合炭素材(炭素繊維を埋設すること強化されたカー
ボンで、C/Cコンポジットと称される。)で成形され
た耐熱性の高いもので、その外周に一対の止め輪6が固
着され、該止め輪6上に被熱物8が支持される。
【0011】ロール5の両端は処理室2の側壁を貫通
し、突出部分に耐熱性のボルト・ナット9により異径軸
10が連結されている。11は気密性チャンバ1内の処
理室2外側に設けられた軸受で、該軸受11によりロー
ル5両端部の前記異径軸10を回転自在に支持してい
る。なお異径軸10はロール5と同じような耐熱性を有
するカーボン系材料、或いはセラミックスにより両端が
開口した中空筒状に形成されている。12は一方の異径
軸10に固着されたスプロケツトホイールで、該ホイー
ル12に巻掛される伝導チエン(図示せず)により該ロ
ール5が回転駆動され被熱物8を処理室2内で搬送し得
る。
し、突出部分に耐熱性のボルト・ナット9により異径軸
10が連結されている。11は気密性チャンバ1内の処
理室2外側に設けられた軸受で、該軸受11によりロー
ル5両端部の前記異径軸10を回転自在に支持してい
る。なお異径軸10はロール5と同じような耐熱性を有
するカーボン系材料、或いはセラミックスにより両端が
開口した中空筒状に形成されている。12は一方の異径
軸10に固着されたスプロケツトホイールで、該ホイー
ル12に巻掛される伝導チエン(図示せず)により該ロ
ール5が回転駆動され被熱物8を処理室2内で搬送し得
る。
【0012】また、13はロール5の内部で処理室2内
部分と処理室2外部分との境に充填された耐熱性で通気
性を有するカーボンウール等の材料からなる断熱材であ
る。
部分と処理室2外部分との境に充填された耐熱性で通気
性を有するカーボンウール等の材料からなる断熱材であ
る。
【0013】このように構成したローラハース式真空炉
では、処理室2内の被熱物8を真空または雰囲気ガスの
基で1000℃を越す温度に加熱すれば、該被熱物8を
支持するロール5も同様の高温度に加熱されるが、該ロ
ール5は中空状で熱容量が小さいので昇温のための熱エ
ネルギーは多くを要しない。また該ロール5の両端部は
処理室2の外側に設けられた軸受11により支持するも
のであるので、該軸受11はさほど高温度にはさらされ
ず、充分な耐熱性を備え得る。
では、処理室2内の被熱物8を真空または雰囲気ガスの
基で1000℃を越す温度に加熱すれば、該被熱物8を
支持するロール5も同様の高温度に加熱されるが、該ロ
ール5は中空状で熱容量が小さいので昇温のための熱エ
ネルギーは多くを要しない。また該ロール5の両端部は
処理室2の外側に設けられた軸受11により支持するも
のであるので、該軸受11はさほど高温度にはさらされ
ず、充分な耐熱性を備え得る。
【0014】また断熱材13は高温度に加熱されたロー
ル5内の熱が両端部に輻射熱伝達するのを防ぐためにロ
ール5内に充填されているが、通気性を有するので該ロ
ール5内は常に気密性チャンバ1内と連通しており、ロ
ール5内の加熱による膨脹ガスが該断熱材13を通過し
て気密性チャンバ1内に自由に放出されると共に、冷却
による収縮時はその反対に気密性チャンバ1内のガスが
該断熱材13を通してロール5内に吸入され、ロール5
内と気密性チャンバ1内とを常に同気圧に保たせる。
ル5内の熱が両端部に輻射熱伝達するのを防ぐためにロ
ール5内に充填されているが、通気性を有するので該ロ
ール5内は常に気密性チャンバ1内と連通しており、ロ
ール5内の加熱による膨脹ガスが該断熱材13を通過し
て気密性チャンバ1内に自由に放出されると共に、冷却
による収縮時はその反対に気密性チャンバ1内のガスが
該断熱材13を通してロール5内に吸入され、ロール5
内と気密性チャンバ1内とを常に同気圧に保たせる。
【0015】一方、図2に示した本発明の別の実施例は
前記実施例と同様炭素繊維複合素材により円筒状のロー
ル5を成形し、該ロール5の両端部を外に突出させ該ロ
ール5を直接軸受11により回転自在に支持してなるも
のであるが、この場合も該ロール5の処理室2内部分と
処理室2外部分との境に断熱材13を充填することで上
記のようにロール5内の通気性を保ちつつも端部への輻
射による放熱が防がれる。
前記実施例と同様炭素繊維複合素材により円筒状のロー
ル5を成形し、該ロール5の両端部を外に突出させ該ロ
ール5を直接軸受11により回転自在に支持してなるも
のであるが、この場合も該ロール5の処理室2内部分と
処理室2外部分との境に断熱材13を充填することで上
記のようにロール5内の通気性を保ちつつも端部への輻
射による放熱が防がれる。
【0016】
【発明の効果】このように本発明のローラハース式真空
炉は、中空筒状のカーボン製のロールを使用してその両
端部を気密性チャンバ内の処理室外側で回転自在に軸支
してなるので、耐熱性があって高強度を有するも熱容量
は小さく昇温時の所要熱エネルギーが少なくできる。し
かも両端部への熱伝達が少ないので処理室外への熱量損
失が少ないなど真空炉の省エネルギー化が達成される有
益な効果がある。
炉は、中空筒状のカーボン製のロールを使用してその両
端部を気密性チャンバ内の処理室外側で回転自在に軸支
してなるので、耐熱性があって高強度を有するも熱容量
は小さく昇温時の所要熱エネルギーが少なくできる。し
かも両端部への熱伝達が少ないので処理室外への熱量損
失が少ないなど真空炉の省エネルギー化が達成される有
益な効果がある。
【図1】本発明の一実施例を示すローラハース式真空炉
の横断面図。
の横断面図。
【図2】本発明の他の実施例を示すローラハース式真空
炉の横断面図。
炉の横断面図。
1 気密性チャンバ 2 処理室 3 耐熱性断熱板 5 ロール 8 被熱物 11 軸受 13 断熱材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−68292(JP,A) 特開 平2−89987(JP,A) 実開 昭63−30338(JP,U) 実開 平3−96347(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F27B 9/00 - 9/40 C21D 1/00 115
Claims (1)
- 【請求項1】 気密性チャンバの内部に耐熱性断熱板に
より囲って処理室を形成してなる真空炉において、中空
筒状のカーボン製のロールを処理室に横断状に設け該ロ
ールの両端部を気密性チャンバ内の処理室外側に設けら
れた軸受により回転自在に支持し、該ロールの内部で処
理室内部分と処理室外部分との境に通気性を有する断熱
材を充填し、該ロール内を常に気密性チャンバ内と連通
させたことを特徴とするローラハース式真空炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35411792A JP3312407B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | ローラハース式真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35411792A JP3312407B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | ローラハース式真空炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06185868A JPH06185868A (ja) | 1994-07-08 |
JP3312407B2 true JP3312407B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=18435408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35411792A Expired - Fee Related JP3312407B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | ローラハース式真空炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3312407B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001289566A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Ulvac Japan Ltd | 搬送ローラ及びこれを備えた水素熱処理炉 |
CN105318713B (zh) * | 2014-08-01 | 2017-11-07 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
JP6836858B2 (ja) * | 2016-08-12 | 2021-03-03 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
JP2020118446A (ja) * | 2020-05-15 | 2020-08-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
JPWO2022049819A1 (ja) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 | ||
JP7245219B2 (ja) * | 2020-12-25 | 2023-03-23 | 株式会社ジェイテクトサーモシステム | 熱処理装置 |
-
1992
- 1992-12-14 JP JP35411792A patent/JP3312407B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06185868A (ja) | 1994-07-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |