JPH06185868A - ローラハース式真空炉 - Google Patents
ローラハース式真空炉Info
- Publication number
- JPH06185868A JPH06185868A JP35411792A JP35411792A JPH06185868A JP H06185868 A JPH06185868 A JP H06185868A JP 35411792 A JP35411792 A JP 35411792A JP 35411792 A JP35411792 A JP 35411792A JP H06185868 A JPH06185868 A JP H06185868A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- vacuum furnace
- heat
- processing chamber
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空中または雰囲気ガス中で被熱物を熱処理
するローラハース式真空炉に関し、そのハースロールの
耐熱性を向上させると共に、真空炉の省エネルギー化を
達成する。 【構成】 気密性チャンバ１の内部に耐熱性断熱板３に
より囲って処理室２を形成してなる真空炉において、中
空筒状のカーボン製のロール５を処理室２に横断状に設
け該ロール５の両端部を気密性チャンバ１内の処理室２
外側に設けられた軸受１１により回転自在に支持した。
するローラハース式真空炉に関し、そのハースロールの
耐熱性を向上させると共に、真空炉の省エネルギー化を
達成する。 【構成】 気密性チャンバ１の内部に耐熱性断熱板３に
より囲って処理室２を形成してなる真空炉において、中
空筒状のカーボン製のロール５を処理室２に横断状に設
け該ロール５の両端部を気密性チャンバ１内の処理室２
外側に設けられた軸受１１により回転自在に支持した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空中または雰囲気ガ
ス中で被熱物を熱処理するローラハース式真空炉に関す
るものである。
ス中で被熱物を熱処理するローラハース式真空炉に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】炉内温度が１０００℃を越す環境で使用
されるハ−スロールには従来から内部に材料保護のため
に冷却水を循環させる水冷ロールが使用されていた。
されるハ−スロールには従来から内部に材料保護のため
に冷却水を循環させる水冷ロールが使用されていた。
【０００３】しかし水冷ロールは炉外に給排水のための
ロータリージョイントを設けねばならないなど構造が複
雑化すると共に、冷却水を介し炉外に多量の熱エネルギ
ーが排出されるので熱損失が大きい欠点がある。
ロータリージョイントを設けねばならないなど構造が複
雑化すると共に、冷却水を介し炉外に多量の熱エネルギ
ーが排出されるので熱損失が大きい欠点がある。
【０００４】そこで従来から本出願人の実用新案登録出
願に係る実開平４−４３７９７号公報に記載されたよう
な炭素繊維複合炭素材（Ｃ／Ｃコンポジットと称され
る。）等のカーボン系材料またはセラミックス製で水冷
を要しないハースロールが提案されている。
願に係る実開平４−４３７９７号公報に記載されたよう
な炭素繊維複合炭素材（Ｃ／Ｃコンポジットと称され
る。）等のカーボン系材料またはセラミックス製で水冷
を要しないハースロールが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし炉内に被熱物の
荷重に耐え得るような太い上記耐熱性材料製のロールを
設けているとこの種材料は一般に熱容量が大きいために
炉内を昇温させるのに必要な熱エネルギーが多くなり、
定常運転時においてもロール断面積が大きいと熱伝導に
より炉外へ放出される熱量も大きくなり熱損失が大きい
という問題がある。
荷重に耐え得るような太い上記耐熱性材料製のロールを
設けているとこの種材料は一般に熱容量が大きいために
炉内を昇温させるのに必要な熱エネルギーが多くなり、
定常運転時においてもロール断面積が大きいと熱伝導に
より炉外へ放出される熱量も大きくなり熱損失が大きい
という問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、気密性
チャンバの内部に耐熱性断熱板により囲って処理室を形
成してなる真空炉において、中空筒状のカーボン製のロ
ールを処理室に横断状に設け該ロールの両端部を気密性
チャンバ内の処理室外側に設けられた軸受により回転自
在に支持したことを特徴としたものである。また本発明
は上記ロールの内部に処理室内の部分と処理室外の部分
とを仕切する断熱材を設けてなるものである。
チャンバの内部に耐熱性断熱板により囲って処理室を形
成してなる真空炉において、中空筒状のカーボン製のロ
ールを処理室に横断状に設け該ロールの両端部を気密性
チャンバ内の処理室外側に設けられた軸受により回転自
在に支持したことを特徴としたものである。また本発明
は上記ロールの内部に処理室内の部分と処理室外の部分
とを仕切する断熱材を設けてなるものである。
【０００７】
【作用】ロールが中空筒状であるので断面係数が大きく
強度が出る割には断面積は小さく熱容量が少なくでき
る。そしてロール内に設けた断熱材により該ロールの両
端部への熱伝達も少なくなり定常運転時の熱損失も少な
くなる。
強度が出る割には断面積は小さく熱容量が少なくでき
る。そしてロール内に設けた断熱材により該ロールの両
端部への熱伝達も少なくなり定常運転時の熱損失も少な
くなる。
【０００８】
【実施例】次に本発明に係るローラハース式真空炉の実
施例を説明する。図１に本発明の第１の実施例としての
ローラハース式真空炉を横断面にて示す。図において、
１は円筒状に形成された気密性チャンバで、該気密性チ
ャンバ１内は真空状態或いは無酸化性ガス等の雰囲気ガ
スが充填される。
施例を説明する。図１に本発明の第１の実施例としての
ローラハース式真空炉を横断面にて示す。図において、
１は円筒状に形成された気密性チャンバで、該気密性チ
ャンバ１内は真空状態或いは無酸化性ガス等の雰囲気ガ
スが充填される。
【０００９】２は気密性チャンバ１の内部に耐熱性断熱
板３により囲って角筒状に形成された処理室、４は該処
理室２の内面に配設された電熱式のヒータである。
板３により囲って角筒状に形成された処理室、４は該処
理室２の内面に配設された電熱式のヒータである。
【００１０】５は該処理室２の床部に横断状に設けられ
た中空筒状のカーボン製ロールで、該ロール５は炭素繊
維複合炭素材（炭素繊維を埋設すること強化されたカー
ボンで、Ｃ／Ｃコンポジットと称される。）で成形され
た耐熱性の高いもので、その外周に一対の止め輪６が固
着され、該止め輪６上に被熱物８が支持される。
た中空筒状のカーボン製ロールで、該ロール５は炭素繊
維複合炭素材（炭素繊維を埋設すること強化されたカー
ボンで、Ｃ／Ｃコンポジットと称される。）で成形され
た耐熱性の高いもので、その外周に一対の止め輪６が固
着され、該止め輪６上に被熱物８が支持される。
【００１１】ロール５の両端は処理室２の側壁を貫通
し、突出部分に耐熱性のボルト・ナット９により異径軸
１０が連結されている。１１は気密性チャンバ１内の処
理室２外側に設けられた軸受で、該軸受１１によりロー
ル５両端部の前記異径軸１０を回転自在に支持してい
る。なお異径軸１０はロール５と同じような耐熱性を有
するカーボン系材料、或いはセラミックスにより両端が
開口した中空筒状に形成されている。１２は一方の異径
軸１０に固着されたスプロケツトホイールで、該ホイー
ル１２に巻掛される伝導チエン（図示せず）により該ロ
ール５が回転駆動され被熱物８を処理室２内で搬送し得
る。
し、突出部分に耐熱性のボルト・ナット９により異径軸
１０が連結されている。１１は気密性チャンバ１内の処
理室２外側に設けられた軸受で、該軸受１１によりロー
ル５両端部の前記異径軸１０を回転自在に支持してい
る。なお異径軸１０はロール５と同じような耐熱性を有
するカーボン系材料、或いはセラミックスにより両端が
開口した中空筒状に形成されている。１２は一方の異径
軸１０に固着されたスプロケツトホイールで、該ホイー
ル１２に巻掛される伝導チエン（図示せず）により該ロ
ール５が回転駆動され被熱物８を処理室２内で搬送し得
る。
【００１２】また、１３はロール５の内部で処理室２内
部分と処理室２外部分との境に充填された耐熱性で通気
性を有するカーボンウール等の材料からなる断熱材であ
る。
部分と処理室２外部分との境に充填された耐熱性で通気
性を有するカーボンウール等の材料からなる断熱材であ
る。
【００１３】このように構成したローラハース式真空炉
では、処理室２内の被熱物８を真空または雰囲気ガスの
基で１０００℃を越す温度に加熱すれば、該被熱物８を
支持するロール５も同様の高温度に加熱されるが、該ロ
ール５は中空状で熱容量が小さいので昇温のための熱エ
ネルギーは多くを要しない。また該ロール５の両端部は
処理室２の外側に設けられた軸受１１により支持するも
のであるので、該軸受１１はさほど高温度にはさらされ
ず、充分な耐熱性を備え得る。
では、処理室２内の被熱物８を真空または雰囲気ガスの
基で１０００℃を越す温度に加熱すれば、該被熱物８を
支持するロール５も同様の高温度に加熱されるが、該ロ
ール５は中空状で熱容量が小さいので昇温のための熱エ
ネルギーは多くを要しない。また該ロール５の両端部は
処理室２の外側に設けられた軸受１１により支持するも
のであるので、該軸受１１はさほど高温度にはさらされ
ず、充分な耐熱性を備え得る。
【００１４】また断熱材１３は高温度に加熱されたロー
ル５内の熱が両端部に輻射熱伝達するのを防ぐためにロ
ール５内に充填されているが、通気性を有するので該ロ
ール５内は常に気密性チャンバ１内と連通しており、ロ
ール５内の加熱による膨脹ガスが該断熱材１３を通過し
て気密性チャンバ１内に自由に放出されると共に、冷却
による収縮時はその反対に気密性チャンバ１内のガスが
該断熱材１３を通してロール５内に吸入され、ロール５
内と気密性チャンバ１内とを常に同気圧に保たせる。
ル５内の熱が両端部に輻射熱伝達するのを防ぐためにロ
ール５内に充填されているが、通気性を有するので該ロ
ール５内は常に気密性チャンバ１内と連通しており、ロ
ール５内の加熱による膨脹ガスが該断熱材１３を通過し
て気密性チャンバ１内に自由に放出されると共に、冷却
による収縮時はその反対に気密性チャンバ１内のガスが
該断熱材１３を通してロール５内に吸入され、ロール５
内と気密性チャンバ１内とを常に同気圧に保たせる。
【００１５】一方、図２に示した本発明の別の実施例は
前記実施例と同様炭素繊維複合素材により円筒状のロー
ル５を成形し、該ロール５の両端部を外に突出させ該ロ
ール５を直接軸受１１により回転自在に支持してなるも
のであるが、この場合も該ロール５の処理室２内部分と
処理室２外部分との境に断熱材１３を充填することで上
記のようにロール５内の通気性を保ちつつも端部への輻
射による放熱が防がれる。
前記実施例と同様炭素繊維複合素材により円筒状のロー
ル５を成形し、該ロール５の両端部を外に突出させ該ロ
ール５を直接軸受１１により回転自在に支持してなるも
のであるが、この場合も該ロール５の処理室２内部分と
処理室２外部分との境に断熱材１３を充填することで上
記のようにロール５内の通気性を保ちつつも端部への輻
射による放熱が防がれる。
【００１６】
【発明の効果】このように本発明のローラハース式真空
炉は、中空筒状のカーボン製のロールを使用してその両
端部を気密性チャンバ内の処理室外側で回転自在に軸支
してなるので、耐熱性があって高強度を有するも熱容量
は小さく昇温時の所要熱エネルギーが少なくできる。し
かも両端部への熱伝達が少ないので処理室外への熱量損
失が少ないなど真空炉の省エネルギー化が達成される有
益な効果がある。
炉は、中空筒状のカーボン製のロールを使用してその両
端部を気密性チャンバ内の処理室外側で回転自在に軸支
してなるので、耐熱性があって高強度を有するも熱容量
は小さく昇温時の所要熱エネルギーが少なくできる。し
かも両端部への熱伝達が少ないので処理室外への熱量損
失が少ないなど真空炉の省エネルギー化が達成される有
益な効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すローラハース式真空炉
の横断面図。
の横断面図。
【図２】本発明の他の実施例を示すローラハース式真空
炉の横断面図。
炉の横断面図。
１ 気密性チャンバ ２ 処理室 ３ 耐熱性断熱板 ５ ロール ８ 被熱物 １１ 軸受 １３ 断熱材
Claims (2)
- 【請求項１】 気密性チャンバの内部に耐熱性断熱板に
より囲って処理室を形成してなる真空炉において、中空
筒状のカーボン製のロールを処理室に横断状に設け該ロ
ールの両端部を気密性チャンバ内の処理室外側に設けら
れた軸受により回転自在に支持したことを特徴とするロ
ーラハース式真空炉。 - 【請求項２】 ロールの内部で処理室内部分と処理室外
部分との境に断熱材を充填してなることを特徴とする請
求項１に記載のローラハース式真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35411792A JP3312407B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | ローラハース式真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35411792A JP3312407B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | ローラハース式真空炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185868A true JPH06185868A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3312407B2 JP3312407B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=18435408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35411792A Expired - Fee Related JP3312407B2 (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | ローラハース式真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3312407B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001289566A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Ulvac Japan Ltd | 搬送ローラ及びこれを備えた水素熱処理炉 |
| CN105318713A (zh) * | 2014-08-01 | 2016-02-10 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
| JP2018025370A (ja) * | 2016-08-12 | 2018-02-15 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JP2020118446A (ja) * | 2020-05-15 | 2020-08-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JP2021073423A (ja) * | 2020-12-25 | 2021-05-13 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JPWO2022049819A1 (ja) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 |
-
1992
- 1992-12-14 JP JP35411792A patent/JP3312407B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001289566A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Ulvac Japan Ltd | 搬送ローラ及びこれを備えた水素熱処理炉 |
| CN105318713A (zh) * | 2014-08-01 | 2016-02-10 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
| CN105318713B (zh) * | 2014-08-01 | 2017-11-07 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
| JP2018025370A (ja) * | 2016-08-12 | 2018-02-15 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JP2020118446A (ja) * | 2020-05-15 | 2020-08-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JP2022074158A (ja) * | 2020-05-15 | 2022-05-17 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| JPWO2022049819A1 (ja) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 | ||
| JP2021073423A (ja) * | 2020-12-25 | 2021-05-13 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3312407B2 (ja) | 2002-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |