JPH0413087A - 連続焼成炉 - Google Patents

連続焼成炉

Info

Publication number
JPH0413087A
JPH0413087A JP11596990A JP11596990A JPH0413087A JP H0413087 A JPH0413087 A JP H0413087A JP 11596990 A JP11596990 A JP 11596990A JP 11596990 A JP11596990 A JP 11596990A JP H0413087 A JPH0413087 A JP H0413087A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
furnace body
fired
pedestal
shaft
furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11596990A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeo Kiso
茂生 木曽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP11596990A priority Critical patent/JPH0413087A/ja
Publication of JPH0413087A publication Critical patent/JPH0413087A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tunnel Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はセラミノクコンテンサのセラミ、り誘電体や圧
電共振子のセラミック圧電基板等のセラミック電子製品
の製造に使用される連続焼成炉に関する。
(従来の技術) 一般に、セラミノクコンテンサのセラミ、り誘電体や圧
電共振子のセラミック圧電基板等を製造する焼成炉とし
ては、被焼成物を連続的に焼成する連続焼成炉や被焼成
物をハツチ処理するバッチ炉がある。
従来の連続焼成炉の一例を第4図に示す。
上記連続焼成炉1は、架台2の上にトンネル状の炉体3
が水平に配置されたものである。図示しない被焼成物を
収容して台板4上に多段に積み重ねられた匣5は、上記
炉体3の入口6から炉体3の内部を通り、炉体3の出ロ
アに向かって、ブツシャ8により、矢印A、で示すよう
に、先ず、炉体3の入口6に続く予熱/−ン内に自動的
にブツシュされる。
上記炉体3内には、その入口6から出ロアにかけてヒー
タ9,9.・・・か配置され、上記予熱ゾーン内にて、
被焼成物中のハインタを上記ヒータ9の軌により燃焼さ
せた後、上記台板4を炉体3の上記予熱ゾーンに続く焼
成ゾーンにブツシュして被焼成物を上記ヒータ9の熱に
より焼成する。
この焼成が完了すると、被焼成物は炉体3の上記焼成ゾ
ーンに続く冷却ゾーンにブツシュされて冷却された後、
炉体3から引き出される。
(発明が解決しようとする課題) ところで、上記のような従来の連続焼成炉1では、被焼
成物の予熱、焼成および冷却の工程が、−直線状の炉体
3内で行なわれ、かつ、被焼成物を炉体3内を移動させ
るために、炉体3外にブツシャ8等の匣5の移送装置を
備えているので、全体として形状か大きくなり、大きな
占有スペースを必要とする問題があった。
また、炉体3が大型であるため、温度設定変更や焼成条
件変更に対する応答が緩慢で、焼成状態か安定するまで
に時間がかかるという問題もあった。
さらに、被焼成物を炉体3内にブンユするためのブッ/
ヤ8の動作か複雑であり、取扱いか難しく、危険も多い
さらにまた、上記ブツシャ8等にトラブルが発生すると
、復旧に時間かかかり、トラブル発生時の損失が大きく
なるという問題もあった。
本発明の目的は、占有スペースが小さく、かつ、温度ば
らつきおよび雰囲気ばらつきか少なく、被焼成物の搬送
時にトラブルの発生か少ない操炉が容易な連続焼成炉を
提供することである。
(課題を解決するための手段) 上記目的を達成するため、本発明は、リング形状を有す
る架台と、円弧の一端および他端にそれぞれ被焼成物の
入口および出口を有し、上記架台の上に載置されて支持
されてなる円弧形状を有するトンネル状の炉体と、上記
架台とほぼ同心に配置されて上記架台内を移動するリン
グ状の台車と、この台車を駆動する駆動装置と、上記台
車に回転自在に支持され、一端に上記炉体内にて被焼成
物を載置するための合板か固定される一方、上記台車側
にピニオンか外嵌して固定されてなるシャフトと、上記
架台内に配置され、シャフトのピニオンと噛合するラツ
クとを備え、台板上の被焼成物かL記シャフトの軸のま
わりに自転しつつ架台の中心のまわりを公転して炉体内
で焼成されるようにしたことを特徴としている。
(作用) 上記炉体は円弧形状を有し、被焼成物の入口および出口
に近接している。そして、上記駆動装置に駆動されて台
車が移動すると、この移動に伴って、架台に固定された
ラックに噛合しているピニオンか回転し、7ヤフトが回
転する。これにより、台板上の被焼成物は、台車の移動
とともにサークル状の炉体内を自転しつつ、炉体内を架
台の中心のまわりに公転する。
(発明の効果) 本発明によれば、炉体を支持する架台がリング形状を有
し、この架台に円弧状の炉体か載置されて支持されてお
り、被焼成物を移送する台車も架台内に配置されて連続
的に移動するので、全体としての形状かコンパクトにな
り、占有スペースが小さい被焼成物の移送時のトラブル
の発生か少ない連続焼成炉を得ることかできる。
また、本発明によれば、台板上の被焼成物は、台車の移
動とともにサークル状の炉体内を自転しつつ、架台の内
部を移動して焼成されるので、被焼成物には均一に熱お
よび雰囲気ガスか供給され、品質にばらつきのない、連
続焼成炉を得ることかできる。
(実施例) 以下に、添付の図面を膠原して本発明の詳細な説明する
本発明に係る連続焼成炉の一実施例の全体構成を第1図
に、その■−■線およびIII−III線に沿う断面を
それぞれ第2図および第3図に示す。
上記連続焼成炉11は、架台I2と、その上に載置され
る炉体13と、上記架台12内を移動する台車14と、
この台車14を駆動するためのモータ15(第3図参照
)と、上記台車14に回転自在に支持されてなるノヤフ
ト16(第2図、第3図参照)と、上記架台12に固定
されたラック17と、上記/ヤフト16に外嵌して固定
され、このラック17に噛合するピニオン18とからな
る。
上記架台12はリング形状を有する。上記架台12の上
に載置される炉体13は、円弧形状を有するトンネル状
のものである。そして、上記架台J2は、その円弧の一
端および他端にそれぞれ被焼成物19の入口21および
出口22を有しく第1図参照)、上記架台12の上に載
置されて支持される。
上記架台12の内部には、リング状の台車14が配置さ
れる。この台車14は、連続焼成炉11が設置される床
23と対向する底板24に車輪25、25.・・・を有
する。これら車輪25.25.  は、車輪取付部材2
6により上記台車14の底板24に回転自在に支持され
、上記架台12か設置される上記床23の上に上記架台
12と同心にサークル状に敷設されたレール27の上を
転勤する。
また、上記台車14の底板24には駆動ラック28か取
り付けられ、この駆動ラック28にモータ15の出力軸
15aに取り付けられたピニオン29か噛合する(第3
図参照)。
これにより、上記台車14はモータ15に駆動されて、
架台12の内部にて、車輪25か上記レール27に案内
されて、架台12の中心のまわりに移動する(第1図、
第3図参照)。
上記台車14はその内部に軸受け31.32を有し、こ
の軸受け31.32により、上記シャフト16が垂直方
向に回転自在に、台車14に支持される。
上記各シャフト16の一端部は耐熱材料からなる耐熱部
16aとなっており、この耐熱部16aが炉体13の炉
床13aに形成された開口33を通して炉体13内に突
出する。そして、この耐熱部16aの先端に耐熱材料か
らなる台板34が支持される。この台板34の上に被焼
成物J9が載置される。
上記各シャフト16にはピニオン18が外嵌して固定さ
れており、各シャフト16のピニオン18は、架台12
内にてこの架台12に固定されたラック17と噛合する
上記炉体13の内部には、冷却ゾーン38を残して、そ
の入口21から昇温ゾーン35.焼成ゾーン36にかけ
て、天井部+3bから炉床13aに向かって炭化ケイ素
等の材料からなる棒状のヒータ37,37.  が配置
される。
上記ヒータ37,37.・・への給電およびモータ15
の運転は、架台12に設けられた制御盤41(第3図参
照)により制御される。
上記炉体13の内部にはまた、炉体13の天井部23b
に沿い、内側の側壁13cから外側の側壁13dに向か
って雰囲気ガス供給管39が配置される。これら各雰囲
気ガス供給管39の管壁には、雰囲気ガス噴出用の孔3
9aか形成され、第3図において矢印A、で示すように
炉体13内を移動する被焼成物19に、雰囲気ガスを供
給する。
モータ15に駆動されて台車14か第1図において矢印
A、で示す向きに移動すると、この移動に伴って、架台
12に固定されたラツク17に噛合しているピニオン1
8か回転し、第2図で矢印A4で示すようにシャフト1
6か回転する。これにより、台板4上の被焼成物19は
、炉体13の入口21から、台車14の移動とともにサ
ークル状の炉体13内を矢印A4の向きに自転しつつ、
矢印A、て示すように、架台12の中心のまわりに公転
し、各被焼成物19に対して均一な昇温、焼成および冷
却の一連の処理か行なわれた後、炉体13の出口22か
ら取り出される。
したがって、上記実施例の連続焼成炉11では、炉体1
3がサークル状の架台12の上に支持された円弧状のも
のであり、かつ、被焼成物19は架台12の内部をレー
ル27に案内されて移動する台車14により搬送される
ので、炉体13の占有スペースが小さくなり、しかも被
焼成物19を搬送するための駆動系がンンプルなものと
なり、搬送装置のトラブルの発生も少なくなる。
また、被焼成物19が自転しつつ炉体13内を移動する
ので、被焼成物19が均一に加熱されるとともに雰囲気
ガスの供給を受け、品質にむらのない製品を得ることか
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る連続焼成炉の全体構成を示す平面
図、 第2図は第1図のU−U線に沿う断面図、第3図は第1
図の■−■線に沿う断面図、第4図は従来の連続焼成炉
の構造説明図である。 11・・・連続焼成炉、12・・架台、13・・炉体1
4・・・台4.15・・・モータ、16・・・シャフト
17・・・ラック、18・・・ピニオン、19・・・被
焼成物。 21・・・入口、22・・・出口、23・・・床、24
・・・底板。 25・・・車輪、27・・・レール、31.32・・・
軸受け34・・・台板。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)リング形状を有する架台と、円弧の一端および他
    端にそれぞれ被焼成物の入口および出口を有し、上記架
    台の上に載置されて支持されてなる円弧形状を有するト
    ンネル状の炉体と、上記架台とほぼ同心に配置されて上
    記架台内を移動するリング状の台車と、この台車を駆動
    する駆動装置と、上記台車に回転自在に支持され、一端
    に上記炉体内にて被焼成物を載置するための台板が固定
    される一方、上記台車側にてピニオンが外嵌して固定さ
    れてなるシャフトと、上記架台内に配置され、シャフト
    のピニオンと噛合するラツクとを備え、台板上の被焼成
    物が上記シャフトの軸のまわりに自転しつつ架台の中心
    のまわりを公転して炉体内で焼成されるようにしたこと
    を特徴とする連続焼成炉。
JP11596990A 1990-05-02 1990-05-02 連続焼成炉 Pending JPH0413087A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11596990A JPH0413087A (ja) 1990-05-02 1990-05-02 連続焼成炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11596990A JPH0413087A (ja) 1990-05-02 1990-05-02 連続焼成炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0413087A true JPH0413087A (ja) 1992-01-17

Family

ID=14675621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11596990A Pending JPH0413087A (ja) 1990-05-02 1990-05-02 連続焼成炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0413087A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007333375A (ja) * 2006-06-13 2007-12-27 Samsung Electro Mech Co Ltd 複合焼成炉及びこれに採用される昇降装置
JP2015161474A (ja) * 2014-02-28 2015-09-07 株式会社村田製作所 脱脂処理炉
JP2019112694A (ja) * 2017-12-25 2019-07-11 電気興業株式会社 高周波誘導加熱装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007333375A (ja) * 2006-06-13 2007-12-27 Samsung Electro Mech Co Ltd 複合焼成炉及びこれに採用される昇降装置
JP2015161474A (ja) * 2014-02-28 2015-09-07 株式会社村田製作所 脱脂処理炉
JP2019112694A (ja) * 2017-12-25 2019-07-11 電気興業株式会社 高周波誘導加熱装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1053809A (ja) 浸炭焼入焼戻方法及び装置
JPH0413087A (ja) 連続焼成炉
US4626203A (en) Furnace
JP2016050321A (ja) 真空焼結設備
US6162042A (en) Rotary molding system
JP3938554B2 (ja) 熱処理炉
JP3662893B2 (ja) 熱処理装置
JPH09229566A (ja) 窯炉、該窯炉を使用した窯業製品の製造方法、及び窯業製品製造設備
JPH01291092A (ja) 熱処理炉
JP2020069480A (ja) 搬送加熱装置
JP3498191B2 (ja) 熱処理炉
JPS645757Y2 (ja)
JPH06129772A (ja) 炉底昇降支持台回転式焼成炉
CN220959257U (zh) 一种碳化硅圆管自动烘干装置
KR100212733B1 (ko) 평판소자의 소성방법 및 장치
JPH04273983A (ja) バッチ式焼成炉
JPH0737609U (ja) パウダースラッシュ成形装置
JPH0735483A (ja) バッチ式焼成炉
JPH0426878Y2 (ja)
JPH0610679Y2 (ja) 連続インライン式成膜装置
JPH01127888A (ja) 連続焼成炉
JPH0627951Y2 (ja) インライン式成膜装置
JPH11285660A (ja) 自動車塗装用乾燥炉
JPS63194184A (ja) 脱脂炉
JPH0141119Y2 (ja)