JPH0356920A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光走査装置に関し、特に像面湾曲の補正機能
を有する光走査装置に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に，原稿画像や画像信号に基づいて主走査と副走査
を行うことによって画像を再現させるための光走査装置
を再現させるための光走査装置は、ディジタル複写機、
レーザプリンタ，レーザプ口ツタ、レーザファックス、
レーザ製版機等々に広く用いられている。

このような光走査装置の一例として、第２２図に示すも
のがある。

即ち、レーザダイオード等の光源１から射出された光束
は、コリメータ光学系を形成するコリメータレンズ２に
よって平行光束化され、アパーチャ−３で周辺光のカッ
トがなされ，このアパーチャ−３を射出する光束は結像
光学系を形或するレンズ４で主走査線上に結像すべく集
束される。

このように構成された光束は、複数の偏向反射面を有す
る回転多面鏡５で偏向され、被走査媒体の一例である感
光体ドラム６において線状（主走査方向）に走査される
のであるが、線状結像レンズ４による結像面（主走査線
）が各種光学特性の有する残留誤差によって像面湾曲が
生じ第２２図に破線で示すように円弧状に振れることに
なる。

従って、感光体トラム６に沿って完全な直線走査とはな
らず感光体上の光スポット線が歪みその怪が大きくなっ
てしまうという問題があり、これの解決を機械的手段と
光学的手段によって行うことが提案されている。機械的
手段の一例としては、特開昭５７−１４８２０号公報や
特開昭５　９　−　１．１６６０３号公報に示されてい
るように鏡の移動角度に同期して，換言すれば回転多面
鏡の反射面による結像点の移動に同期して光源の位置を
光軸方向に移１！ＩＩ（振動）させることによって最終
的な結像面が正確な一直線となるようにしているものが
ある。

また、光学的な手段の一例としては、特開昭５８−５７
１０８号公報に示されるように、光源は固定で、コリメ
ータレンズ、集光レンズを偏向走査に伴って光軸方向に
移動（振動）させることにより最終的な結像面が正確な
一直線となるようにしているものがある。

一方、主走査の高速化を行うために回転多面鏡が用いら
れる場合が多く，この場合には，複数の反射面の各々の
相対位置精度に誤差が生じるのが一般的であり、このた
めに最終的な結像面に面倒れ誤差に基づくばらつきが生
じてしまう。これを補正するために，特開昭６３−１０
６６１８号公報に示されるような面倒れ補正光学系が用
いられている。即ち、この面倒れ補正光学系は，回転多
面鏡で偏向された光束を被走査媒体（例えば感光体ドラ
ム）上に結像する結像光学系を、偏向反射面と被走査媒
体とを幾何光学的に共役な関係になるようにす八く複数
レンズを球面とトーリノク面の組合せで形或することに
よって而倒れ補正を行っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述のように光源またはレンズを光軸方向に移動させる
ことによって像面湾曲を補正する場合には、主走査方向
の像面湾曲を補正することができるものの、光源の移動
に伴って新たに副走査方向の像面湾曲が生じ、補正も同
時に行うことが必要とされ、また光学系中のレンズには
球面レンズが用いられているので非点隔差があり、この
ために光源もしくはレンズを光軸方向に移動することに
よって主・副両走査方向の湾曲を無視できる程度まで少
なくすることは極めて困難である。

また，光源等を移動せずに面倒れ補正光学系を用いた場
合には、Ｘ座標軸方向とＹ座標軸方向，換言すれば主・
副走査方向のそれぞれで異なるパワーを有するレンズ、
例えばシリンドリカルレンズが光路中に存在するので、
これに伴って主・副走査方向の像面湾曲が異なりこれら
の補正はしきれないのが現状である。

さて，一般に像面湾曲を機械的に補正する機構のない面
倒れ補正光学系においては、主・副走査の像面湾曲、ｆ
Ｏ特性（倍率誤差、リニアリティ），球面収差、正弦条
件がｆθレンズの設計条件としてあるが、これらの各種
条件は互いに影響を及ぼし合う関係を有しているので、
すべての条件を良好にすることは困難をきわめている。

従って、これらの各種条件のうち像面湾曲を良好に補正
できれば、他の条件を良好にする設計自由度が大きくな
り，設計が容易となる。また、近年，走査光学系の高密
度化が進むにつれｆθレンズ等の各種要求精度が高くな
り、レンズの構成枚数も増加するのでその調整は一層困
難となり、コスト上昇を招いてしまう。

そごで、本発明の目的は，面倒れ補正光学系を用いた光
走査装置に適用可能であると共に、ｆＯレンズ、コリメ
ートレンズ、シリンドリカルレンズ等のレンズ光学系の
設計が容易となり、かつ走査光学系の高密度化に対して
も複雑で枚数の多いレンズ系を使用しなくても充分に対
応でき高性能で安価な光走査装置を提供することにある
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る光走査装置は、上述の目的を達戊するため
に光源から射出した光束を平行光束化するコリメート光
学系と、このコリート光学系から射出する光束を線状に
結像す乙第１結像光学系と，この第１結像光学系から射
出した光束を偏向走査する偏向反射面を有する回転多面
鏡と，この回転多面鏡で偏向された光束によって走査さ
れる被走査媒体と、この被走査媒体と上記回転多面鏡と
の間に配置され，上記回転多面鏡の偏向反射面で偏向さ
れる光束の偏向面と垂直な面内において上記偏向反射面
と上記被走査媒体とを幾何光学的に共役な関係を保つ第
２結像光学系とを有し、上記回転多面鏡による光束の走
査に伴ない上記第１結像光学による光束を光軸方向に移
動させる面倒れ補正光学系とを有する光走査装置であっ
て、上記回転多面鏡における走査に同期して上記第１結
像光学系のうちの少なくとも線状結像レンズをバイモル
フ型圧電素子で、光軸方向に移動させるように構或した
ことを特徴とするものである。

〔作　用〕

本発明に係る光走査装置は、主走査線上に結像する第１
結像光学系のうちの少なくとも線状結像レンズを回転多
面鐙による光束走査に同期して像面湾曲を打消す方向に
移動させることによって最終的に得られる再生画像を良
好にできるようにしたものである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は，本発明の一実施例の光走査装置における像面
湾曲補正光学系の概酩上面図であり、画像形或用の光源
であるレーザダイオード１１から送出された光束は、コ
リメート光学系を形或するコリメータレンズ１２で平行
光束化され、その後方に配置されたアパーチャ１３で周
辺不要部分がカットされ線状光束とされる。この線状光
束は，第↓結像光学系を形或する線状結像レンズの一例
であるシリンドリ力ルレンズ１４で、後述する感光体ド
ラム２０の周面に結像されるようになっている。

尚、このシリンドリ力ルレンズ１４１ま、詳しくは後述
するが，不動部に弾性板，１６および支持部材ｌ６を介
して支持されており，電歪素子｝７への通電によって、
光軸方向に駆動され得るようになっている。

このシリンドリ力ルレンズ１４を通った光束は、偏向反
射面を有する回転多面鏡の一例であるポリゴンミラ−１
８によって偏向走査される。そして、偏向走査された光
束は、ｆＯレンズｌ９とシリンドリ力ルレンズ２０を順
次に介し、被走査媒体である感光体ドラム２１の周面に
線状（主走査戊線状）に結像される。

このようなｆＯレンズ１９は，ポリゴンミラー１８のミ
ラー面で偏向される光束の偏向面と垂直な面内において
このミラー面と感光体ドラム２１とを幾何光学的に共役
な関係を保つものである。

また、走査の端部の光束はミラー２２ａによって光検出
器２２ｂに導かれ、この光検出器２２ｂでデータ書込み
の同期の基準とされている。

そして、光検出器２２ｂで得られる同期信号によって上
記電歪素子１７を駆動せしめ、シリンドリ力ルレンズ１
４を光軸方向に移動し、光学系の像面湾曲を打消すよう
に構或している。

第２図（Ａ）は、第１図に示す光走査装置の光学系の偏
向走査面（主走査面）側の面で展開して概念的に示す光
略図で、第２図（Ｂ）は、偏向走査面に垂直、即ち副走
査面で展開して概念的に示す光路図である。

この光学系は、ｆＯレンズ１９がアナモフィックな光学
系であり、面倒れ補正は、副走査方向においてポリゴン
ミラ−１８のミラー面と像而を幾何光学的に共役な関係
に配置することによって行っている。

本発明の特徴である面倒れ補正光学系のうちのＹつの構
或としてシリンドリ力ルレンズ１４を第３図に示すよう
に光軸方向に移動することによって像面湾曲を補正する
ものであるが、このシリンドリ力ルレンズ１４の移動状
態の詳細を第３図を用いて説明する。

同図において、シリンドリカルレンズ１４の移動前の状
態を実線とし、移動後を破線で表わしてある。

従って、シリンドリ力ルレンズ１４の移動量をΔａｙと
したときの、結像位置の移動量をΔ工Ｓとし、移動前の
シリンドリ力ルレンズ１４の結像位置とｆθレンズ１９
の前側主点Ｈとの距離をＳとし、ｆθレンズ１９の像距
離をＳ′とし、ｆθレンズ１９の焦点距離をｆとすると
、 ｓ＝ｓ’　　・ｆ／　（Ｓ’　−ｆ） Ｓ＋Δｃｙ＝（Ｓ’一ΔＩＳ）・ｆ／（Ｓ′−Δｌｓ−
ｆ）どなり、従って Δｃｙ＝Δ工ｓ−ｆ２／（Ｓ′一ΔＩｓ　−　ｆ　）・
（Ｓ’　−　ｆ　）となる。

ここで、Δ工ｓ（（Ｓ’−ｆ）とするとΔｃｙ４Δｘｓ
−ｆ　２／　（Ｓ　’　−　ｆ　）”＝Δ工Ｓ／ボ　　
ただし、ｍ＝ｓ’／Ｓとなる。

今までの説明より像面湾曲量がΔｌｓであった場合、シ
リンドリ力ルレンズ１４をΔｃｙ＝Δ工Ｓ／ポだけ移動
すると副走査像面湾曲の補正ができることになる。

このとき、主走査に関しては第２図（Ａ）に示すように
、シリンドリ力ルレンズ１４のパワーがないので像面湾
曲の変化はない。

また、補正前の像面湾曲の発生の具体例としては例えば
、第４図（Ａ）に示すようになっていて、実線が副走査
方向の像面湾曲で、破線が主走査方向の像面湾曲を表し
ている。補正前の像面湾曲は主走査方向が小さくなる様
に設計されており、副走査方向の像面湾曲が小さくなる
様な考慮がなされていないため、像面湾曲は円弧状また
は放物線状になっている。この実施例における像面湾曲
量ΔＩｓは、ポリゴンミラ−１８の走査半角で±３００
　（ポリゴンミラ−１８の回転角にすれば±１５゜）の
位置で約１０ＩＩＩｍとなっている。

このような像面湾曲の曲線は、正弦波または余弦波の一
部分で近似することができ、その補正量と像面湾曲量を
プロットすると第５図に示すようになる． 即ち、第４図（Ａ）における±３０”の像面曲量をΔ工
Ｓとすれば、このときの補正量は，Δ工Ｓ（θ）＝Δ工
ｓ　（　一ｃｏｓ（６θ）＋１｝とすれば良い。ただし
、θはポリゴンミラ−１８の回転角で、θ＝Ｏで像高比
がＯとなる。

本例では、ポリゴンミラーｌ８のミラー面数が６である
ために１つのミラー面におけるポリゴンミラ一回転角θ
は、±３０’　となる。

従って、この±３０’の間にシリンドリ力ルレンズエ４
がｎ　（ｎはｌ以上の整数）周期だけ移動すればポリゴ
ンミラ−１９とのミラー面との同期がとれることになる
。つまり，ポリゴンミラー１８のミラー面数がＮ面の時
には、ポリゴンミラ一回転角θが±１８０”／Ｎでｎ周
期だけシリンドリ力ルレンズ■４が移動することになる
。このようにすれば第４図（Ｂ）に示すように副走査方
向の像面湾曲が補正できることになる。

次に、本発明の特徴である像面湾曲補正光学系のうちの
工つの構或として第６図（Ａ）と第６図（Ｂ）に示すよ
うに、シリンドリ力ルレンズ２３を追加して設け、この
シリンドリ力ルレンズ２３を光軸方向に移動することに
よって副走査方向の像而湾曲を補正するものであり、第
６図（Ａ）に偏向走査面（主走査面）側の面を示す光略
図と、第６図（Ｂ）に偏向走査面に垂直、即ち副走査面
を示す光路図とに示されるように、コリメータレンズ１
２とポリゴンミラ−１８との間に主走査方向にパワーを
有するシリンドリカルレンズ２３を配置し、前述のシリ
ンドリ力ルレンズ１４と同様に光軸方向移動を行い主走
査方向の像面湾曲を補正するものである。

主走査平面において、シリンドリ力ルレンズ２３の後側
主点とｆθレンズ１９の前側主点との距離をｄとし、シ
リンドリ力ルレンズ２３、ｆθレンズ１９の焦点距離を
それぞれｆｃｙ　　　ｆｆθとすると，ｆθレンズ１９
の後側主点と、シリンドリ力ルレンズ２３とｆθレンズ
ｌ９の総合焦点位置の距離Ｓ′は， Ｓ’　＝ｆｌ’　（ｆｃｙ’　−ｄ）／（ｆｃｙ’　＋
ｆｆｅ一ｄ） と表わすことができる。

また、コリメータレンズ１２からの平行光束がシリンド
リカルレンズ１４を介してシリンドリ力ルレンズ２３に
入射するから、このときの像面湾曲量をΔ工Ｍとしてシ
リンドリ力ルレンズ２３の対応する補正移動量をΔＣｙ
′　とすると前述のΔＣｙの場合と同様にして、 Δｃｙ′＝Δｘｖｆｆｅ／　（Ｓ’−ΔＩＮ−ｆｆθ’
）（Ｓ’−ｆｆθ′） と表わすことができる。

従って、前述のシリンドリ力ルレンズ１４とは独立にシ
リンドリカルレンズ２３を移動させると，主走査方向と
副査方向の両方の像面湾曲をそれぞれ補正することがで
きる。

このようにしてなされる補正を行った具体的例としては
、例えば特開昭６２−１７２３１７号公報に示されるよ
うに、第７図の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）の
それぞれに示す球面収差・正弦条件，像面湾曲、像面湾
曲およびｆθ特性を有する光学系において、シリンドリ
力ルレンズ１４の移動を、 Δｒｓ（Ｏ）＝−ΔＩｓ’　　・ｃｏｓ（　１　８θ）
＋Δ工Ｓ′とし、シリンドリ力ルレンズ２３を Δエー（θ）＝ΔＩＭ−ｓｉｎ（６θ）で移動するよう
に補正を行っている。

ここで、上述のＮ，ｎの値は、Ｎ＝６で副走査方向にお
いてはｎ＝３、主走査方向においてはｎ＝１としてある
。

一方、主走査方向の面を示す第９図（Ａ）と副走査方向
の面を示す第９図（Ｂ）のように、ｆＯレンズ１９が主
走査方向に配置された長尺状シリンドリ力ルレンズ２４
を含んで面倒れ補正光学系を形戊した光走査装置におい
ても、シリンドリ力ルレンズ１４を上述同様にして光軸
方向に移動させることによって像面湾曲の補正を行うこ
とができることは勿論である。

また、本発明は、第１０図（Ａ）に示す光学系にも適用
できる。

即ち、レーザ光源２５からの射出光束は、コリメータレ
ンズ２６で平行光束化され、ミラー２７で折返された後
にポリゴンミラ−２８の反射面に射出される．このミラ
ー２７は、全体光路を直線状に配置すると光学系の全体
寸法が長尺化するので機器のコンパクト化の要求に逆行
するために、同ミラー２７による折返しによって光学系
の長手方向寸法を短縮化するために設けられているもの
である。

そして、ポリゴンミラ−２８によって偏向された光束は
、線状結像レンズ２９によってその射出光束が主走査に
対応する線状にされ，同レンズ２９の後方に配置された
ｆθレンズ３０によって、ポリゴンミラ−２８で偏向さ
れる光束の偏向面と垂直な面内において同ポリゴンミラ
−２８のミラー面と被走査媒体（感光体ドラム３１）と
を幾何光学的に共役となるような関係が保たれている。

また、第１０図（Ａ）に示す光学系は、そのウエスト位
置が第１０図（Ｂ）に示すように主走査方向の位置を実
線で示され、副走査方向の位置が破線で示されている。

さらに、像面湾曲は、第１０図（Ｃ）に示すように主走
査方向の湾曲が実線で示され副走査方向の湾曲が破線で
示されている。

この場合、副走査方向の像面湾曲は実用上において無視
できる値となっていて、主走査方向の像面湾曲を補正す
るためには、線状結像レンズ２９をポリゴンミラ−２８
の偏向角度に同期して光軸方向に振動（移動）させるの
であり、この振動は周波数Ｆで振幅Δで行われている。

そして，この像面湾曲の様子を表わす曲線と線状結像レ
ンズ２９の振動を表わす曲線を重ね合せた特性を第１１
図に示す。

即ち、像面湾曲が一点鎖線で示され，振動が実線で示さ
れていて、同図の縦軸と横軸は兼用して用いられ、この
うち、横軸は像面湾曲の場合には感光体ドラム３１の主
走査方向の位置座標で、振動の場合には時間軸である。

また、縦軸は、像面湾曲の場合には像面湾曲量で、振動
の場合には振動量（振幅）となっている。

従って像面湾曲の変化周期に同期して振動を与えること
によって像面湾曲を実用上無視できる程度まで低減させ
ることができる。この例における振動の周波数Ｆは、例
えば４．２５Ｋ｝ｌｚであり、振幅Δは２３５μｍであ
る。

次に、上述の各例における線状結像レンズを振動させる
ための機構の具体例を説明する。

即ち、シリンドリ力ルレンズ１４を振動させるための振
動源は、バイモルフ型電歪素子（以下「バイモルフ」と
略称する）であり、基本的には分極方向が互いに異なる
２板の電歪素子を貼り合せたもので、２板の電歪素子の
それぞれに電圧を印加することによって一方の素子が伸
び他方の素子が縮むことにより全体として屈曲変位を生
じるものである。

このようなバイモルフは，２枚の素子を貼り合わせると
いう簡単な製作法で得られると共に変位量も割合に多い
ので，最も汎用されている構造である。反面，その変位
が板状部材の屈曲モードを用いているために応答周波数
が数ＫＨｚと低く、またその発生力も大きくとれないと
いう問題を持つ。

また、この種のバイモルフは、第１２図に示すように不
動部材に基端が支持されたシムと呼ばれるリン青銅板等
でなる弾性板３２の他端側を２板の圧電セラミック板３
３．３３で挟み込むことが多いが、変位拡大率を上昇さ
せるためにカーボンファイバを混入して弾性的異方性を
極端に高めに弾性板３２とし変位感度を等方性の場合に
比べて１．５　倍程度にしたものがある。

さらに、この種のバイモルフは、変位拡大率を上昇させ
るために多数の圧電セラミック板３３，３３のそれぞれ
を積層させて一体焼成したものもある。

このような積層型バイモルフの印加電圧／変位量の特性
例を第１３図（Ａ）に示し、発生力／変位量の特性例を
第１３図（Ｂ）に示す。これらの図より明らかなように
印加電圧が６０Ｖのときの変位量が約４５０μｍであり
前述した第１１図の説明に基づく調和振動の振幅は２３
５μｍであり、その最大変位量が２３５Ｘ２＝４７０μ
ｍであるので略満足して用いることができる。

しかし，このバイモルフの応答周波数は約ＩＫ胞であり
、上述した調和振動の周波数である４．４２Ｋ服には不
足である。

従って、実質的な応答周波数を向上させるためには電歪
素子の形状を等幅の帯状にせずに第１４図に示すように
支持部材３４に片持ち支持された弾性板３２′とこの弾
性板３２′の両面に形或される電歪素子３３’　，３３
’　を先細りのテーパを有する形状にすれば良い。

このようにして，上述したような調和振動の振幅を充分
に満足するバイモルフを得ることができる。

また、このようなバイモルフを用いてシリンドリ力ルレ
ンズ１４を光軸方向に振動させるためには、第１５図に
示すようにシリンドリ力ルレンズ１４が固定された支持
部材３４の底面を、バイモルフ３６の有する弾性板３５
の先端に固定する。

従ってバイモルフ３６に所定の電圧を印加することによ
って矢印方向に変位し、換言すれば光軸方向に移動させ
ることができる。

また、１つのバイモルフ３６でシリンドリ力ルレンズ１
４を移動させる際の移動力がシリンドリ力ルレンズｌ４
等の重量に鑑がみ不足する場合には，第１６図に示すよ
うにバイモルフ３６′を追加して設け、それぞれの弾性
板３５．３５’の先端を支持部材３４の底面を固定する
ことによって移動力を増大させることができる。

この場合、シリンドル力ルレンズ１４が光軸方向に移動
されるに伴い、その軌跡が第１５図または第１７図に示
すように円弧状になる。このために光軸に直交する方向
のパワー変化を生してしまう。これは，シリンドリ力ル
レンズエ４の必要とする振幅が少ない場合には実用上の
問題が生じないものの、振幅が大きく設定される場合に
問題となる。

このような要求を満たすためには、第１８図に示すよう
にシリンドリ力ルレンズ１４が固定された支持部材３７
を前述のように底面側から駆動するのではなく側面側か
ら関動すれば良い。

即ち、支持部材３７の側面をバイモルフ３８，３８を有
する弾性板３９．３９の先端に固定し、かつバイモルフ
３８．３８のそれぞれの基部を支持部材４０．４０に固
定する。このように構戊すれば、バイモルフ３８．３８
によってシリンドリ力ルレンズ１４を光軸方向に移動す
る際には、第１９図に示すように、シリンドリ力ルレン
ズ↓４が光軸に直交する方向のパワーの変化が生ぜず、
バイモルフ３８．３８によるシリンドリ力ルレンズ１４
の振動が大きな場合であっても問題が生じない。

さて，シリンドリ力ルレンズ１４等の線状結像レンズを
振動せしめる際には、この振動が光走査装置全体に伝わ
り、他の光学素子も振動させてしまう虞れがある。線状
結像レンズ以外の光学素子の振動は、走査ビームの形状
に悪影響を与え、最終的には，被走査媒体の面上で所定
のビーム径とならないことになる。

また、線状結像レンズの振動によって走査光学系を含め
た機器の全体と共に振動し、機器の全体が微振動するこ
とも考えられる。

機器の全体が振動すると作像プロセスにも悪影響を与え
、最終的に得られる画像の品位が著しく低下する。

従って、線状結像レンズとその振動源は少なくとも走査
光学系に対して機械的な絶縁を図る必要がある。

その具体例の１つとしては、第２０図に示すように、支
持部材４０の基部が固定されるベース４１を，他の光学
部材が設けられた不動部材４２に対して図示しない部材
を用いて機械的に絶縁を施すものがある。

また、第２１図に示すように、支持部材４０の基部を防
振ゴム４３．４３を介して走査光学系のベース等の不動
部材に固定しても良い。

このように，第２０図と第２１図に示すように、シリン
ドリ力ルレンズ１４とバイモルフ３８，３８（振動源）
とを他の光学系に対して機械的な絶縁を施しているので
走査ビームの形状が振動によって変化されたり、最終的
に得られる画像の品位が低下することが防止できるので
ある。

なお、本発明は、上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実
施が可能であることは勿論である。

〔発明の効果〕

以上の説明で明らかなように、本発明によれば線状結像
レンズを像面湾曲を打消すように光走査の周期に同期さ
せて振動させているので、光学系全体の像面湾曲が機械
的に補正できるので、他の光学部品、例えばｆθレンズ
、コリメータレンズ、シリンドリカルレンズ等のレンズ
設計が容易となり、また近年の走査光学系の高密度化に
対しても複雑で枚数の多いレンズ系を使用しなくても高
精度が得られ、画像品位が良好で、しかも安価な光走査
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明が通用できる光走査装置の光学系の一
例を示す光路図、第２図（Ａ）は，上記第１図に示され
る光学系を主走査方向に展開して概念的に示す光路図、
第２図（Ｂ）は、同じく副走査方向に展開して概念的に
示す光路図、第３図は、線状結像レンズの移動に伴なう
変化を説明するための光路図、第４図（Ａ）は、光走査
光学系における像面湾曲の一例を示す特性図、第４図（
Ｂ）は上記第４図（Ａ）に示す像面湾曲に補正を施した
場合の特性図、第５図は、像面湾曲の補正の一例を示す
線図、第６図（Ａ）は，本発明が適用できる光走査装置
の光学系の他の例を主走査方向に展開して示す光略図、
第６図（Ｂ）は、同じく副走査方向に展開して示す光略
図、第７図（Ａ）ないし第７図（Ｅ）は、各種収差特性
の補正前と後の状態を示す図で、第７図（Ａ）は、球面
収差・正弦条件の特性図、第７図（Ｂ）は、主走査方向
の像面湾曲の特性図、第７図（Ｃ）は副走査方向の像面
湾曲の特性図、第７図（Ｄ）は，ｆθ特性，第７図（Ｅ
）は、補正後の像面湾曲の特性図、第８図は、線状結像
レンズの移動に伴なう変化を説明するための線図、第９
図（Ａ）は、本発明に係る光走査装置の光学系のさらに
他の実施例を主走査方向に展開して示す光路図、第９図
（Ｂ）は、同じく副走査方向に展開して示す光略図，第
１０図（Ａ）は、本発明に係る光走査装置の光学系のさ
らに他の実施例を主走査方向に展開して示す光路図、第
１０図（Ｂ）は、第１０図（Ａ）に示す実施例における
主・副走査方向のウエスト位置を重ね合せて示す特性図
、第１０図（Ｃ）は、同実施例の主・副走査方向の像面
湾曲を重ね合わせて示す特性図，第１１図は、同じく線
状結像レンズの移動に伴なう変化を説明するための線図
、第１２図は、バイモフフ型圧電素子の基本構造を示す
断面図、第１３図（Ａ）は、同じく印加電圧／変位量の
相関を示す特性図，第１３図（Ｂ）は同じく発生力／変
位量の相関を示す特性図，第１４図は、同じく変位量を
拡大できる実施例を示す平面図、第１５図は、バイモル
フの実装状態の一例を示す正面図、第１６図は、同じく
他の例を示す斜視図、第１７図は、第１６図に示す実装
状態における変動を示す正面図、第１８図は、バイモル
フの実装状態の他例を示す斜視図、第１９図は、第１８
図に示実装状態における変動を示す正面図、第２０図は
、振動源を絶縁した部分の一例を示す斜視図，第２１図
は．同じく他例を示す斜視図、第２２図は，従来の光走
査装置の光学系の一例を示す光路図である。 １１．２５・・・・・・レーザダイオード（光源），１
５・・・・・・支持部材、 １６・・・・・・弾性板、 ｌ７・・・・・・電歪素子、 １２．２６・・・・・・コリメータレンズ、１４，２０
，２３．２４・・・・・・シリンドリカルレンズ、 １８．２８・・・・・・ポリゴンミラー（回転多面鏡）
、１９，３０・・・・・・ｆθレンズ（第２結像光学系
）、２１．３１・・・・・・感光体ドラム（被走査媒体
）、２９・・・・・・線状結像レンズ、 ３２．３２’　，３５．３５’　，３９・・・・・・弾
性板，３３・・・・・・圧電セラミック板， ３６．３６’　．３８・・・・・・バイモルフ，３４，
３７．４０・・・・・・支持部材、４１・・・・・・ベ
ース、 ４２・・・・・・不動部材， ４３・・・・・・防振ゴム． 第 １ 図 第 ２ 図 （Ａ） ＣＢ） 第 ６ 図 （Ａ） （８） 第 ７ 図 （Ａ） （Ｂ） （（） 球面収差・正弧条件 偉面湾曲 像面湾曲 切 第 ９ 図 （Ａ） （Ｂ） 第 １２ 図 ＪＪ 第 ］３ 図 発生力（９） 第 １４ 図 ３４ 第 １５ 図 １４ 第 １６ 図 ３６ 第 １７ 図 １４ 第 １８ 図 ３９ 第 １つ 図 １４ 第 ２０ 図 第 ２７ 図 第 ２２ 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源から射出した光束を平行光束化するコリメー
   ト光学系と、このコリート光学系から射出する光束を線
   状に結像する第１結像光学系と、この第１結像光学系か
   ら射出した光束を偏向走査する偏向反射面を有する回転
   多面鏡と、この回転多面鏡で偏向された光束によって走
   査される被走査媒体と、この被走査媒体と上記回転多面
   鏡との間に配置され、上記回転多面鏡の偏向反射面で偏
   向される光束の偏向面と垂直な面内において上記偏向反
   射面と上記被走査媒体とを幾何光学的に共役な関係を保
   つ第２結像光学系とを有し、上記回転多面鏡による光束
   の走査に伴ない上記第１結像光学系による光束を光軸方
   向に移動させる像面湾曲補正光学系とを有する光走査装
   置であって、上記回転多面鏡における線状走査に同期し
   て上記第１結像光学系のうちの少なくとも線状結像レン
   ズをバイモルフ型圧電素子でなる駆動源で光軸方向に移
   動させるように構成したことを特徴とする光走査装置。
2. （２）第１結像光学系のうちの少なくとも線状結像レン
   ズを一端で支持するバイモルフ型圧電素子の他端を機械
   的絶縁部材を介して不動部材に支持することを特徴とす
   る請求項１記載の光走査装置。