JP2006330444A - レーザースキャンユニット - Google Patents
レーザースキャンユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006330444A JP2006330444A JP2005155246A JP2005155246A JP2006330444A JP 2006330444 A JP2006330444 A JP 2006330444A JP 2005155246 A JP2005155246 A JP 2005155246A JP 2005155246 A JP2005155246 A JP 2005155246A JP 2006330444 A JP2006330444 A JP 2006330444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- scanning unit
- support
- laser
- laser scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
【解決手段】光源から発せられたレーザー光線2を掃引させるレーザースキャンユニット4を、支持体5と、一端がこの支持体5に支持された第1のアーム6と、この第1のアーム6の先端部分に支持されるとともに支持体5側に延出された第2のアーム7と、第1のアーム6に設けられた圧電駆動電極8と、第2のアーム7に設けられたミラー9とを備え、第1のアーム6の撓み性を支持体5側と先端側で異ならせた構成とする。
【選択図】図2
Description
5 支持体
6 第1のアーム
7 第2のアーム
8 圧電駆動電極
9 ミラー
14 矩形基板
15 スリット
16 応力集中部(切り欠き部、薄肉部)
Claims (4)
- 支持体と、一端がこの支持体に支持された第1のアームと、この第1のアームの先端部分に支持されるとともに前記支持体側に延出された第2のアームと、前記第1のアームに設けられた圧電駆動電極と、前記第2のアームに設けられたミラーとを備え、前記第1のアームにおける前記支持体側と先端側の撓み性を異ならせたことを特徴とするレーザースキャンユニット。
- 矩形基板に略V字状のスリットを形成し、このスリットの頂部側に位置する前記矩形基板の一辺を支持体とし、前記スリットの両外側に位置する前記矩形基板の領域を第1のアームとし、残る前記スリットの内側に位置する前記矩形基板の領域を第2のアームとしたことを特徴とする請求項1に記載のレーザースキャンユニット。
- 第2のアームの付け根部分に応力集中部を設けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザースキャンユニット。
- 応力集中部を第2のアームの付け根部分に切り欠き部あるいは薄肉部を設けることにより形成したことを特徴とする請求項3に記載のレーザースキャンユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005155246A JP4661366B2 (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | レーザースキャンユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005155246A JP4661366B2 (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | レーザースキャンユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006330444A true JP2006330444A (ja) | 2006-12-07 |
JP4661366B2 JP4661366B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=37552181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005155246A Expired - Fee Related JP4661366B2 (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | レーザースキャンユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4661366B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0356920A (ja) * | 1989-07-26 | 1991-03-12 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JPH0854576A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Sharp Corp | 光スキャナ |
JPH09185000A (ja) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Sony Corp | ミラーディバイス |
JPH11168246A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電アクチュエータ、赤外線センサおよび圧電光偏向器 |
JP2002014298A (ja) * | 2000-04-28 | 2002-01-18 | Denso Corp | 光スキャナ及び2次元スキャンシステム |
-
2005
- 2005-05-27 JP JP2005155246A patent/JP4661366B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0356920A (ja) * | 1989-07-26 | 1991-03-12 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JPH0854576A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Sharp Corp | 光スキャナ |
JPH09185000A (ja) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Sony Corp | ミラーディバイス |
JPH11168246A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電アクチュエータ、赤外線センサおよび圧電光偏向器 |
JP2002014298A (ja) * | 2000-04-28 | 2002-01-18 | Denso Corp | 光スキャナ及び2次元スキャンシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4661366B2 (ja) | 2011-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5151065B2 (ja) | 光スキャナ及び走査型プロジェクタ | |
JP5728823B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 | |
JP5055832B2 (ja) | 駆動装置、光走査型装置及び物体情報検知装置 | |
JP6988062B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像投影装置、画像形成装置、および移動体 | |
US20130128328A1 (en) | Optical scanning device and image display device | |
JP5614167B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 | |
US8345340B2 (en) | Method of adjusting a resonance frequency of an optical scanning device | |
JP2008304553A (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP4972781B2 (ja) | マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 | |
US9664899B2 (en) | Optical scanning device and image reading system | |
JP2008295174A (ja) | 揺動装置、同装置を用いた光走査装置、映像表示装置、及び揺動装置の制御方法 | |
JP7436686B2 (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
US11644664B2 (en) | Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device | |
JP2017116842A (ja) | 光偏向器及び画像投影装置 | |
JP2008111882A (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JPWO2015145943A1 (ja) | 光走査デバイス | |
JP2008039810A (ja) | 光学反射素子 | |
JP4910902B2 (ja) | マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 | |
JP2013160891A (ja) | 振動ミラー素子およびプロジェクタ機能を有する電子機器 | |
JP4661366B2 (ja) | レーザースキャンユニット | |
JP4552606B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびこれを用いた光線掃引装置 | |
JP2020101588A (ja) | 可動装置、距離測定装置、画像投影装置、車両、及び台座 | |
JP6648443B2 (ja) | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP4682589B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよびこれを用いた光線掃引装置 | |
JP2019152725A (ja) | アクチュエータ及び光走査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080509 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080612 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100630 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100706 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20100902 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20100928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20101220 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |