JP4661366B2 - レーザースキャンユニット - Google Patents
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Description
5 支持体
6 第1のアーム
7 第2のアーム
8 圧電駆動電極
9 ミラー
14 矩形基板
15 スリット
16 応力集中部(切り欠き部、薄肉部)
Claims (2)
- 支持体と、
この支持体に一端が支持された第1のアームと、
この第1のアームの先端部分に支持されるとともに前記支持体側に延出された第2のアームと、
前記第1のアームの前記支持体側の表面の一部に設けられ、下部電極と圧電薄膜および上部電極を順に積層してなる矩形状の圧電駆動電極と、
前記第2のアームに設けられたミラーと、を備え、
前記第1のアームの幅を先端部分に向けて狭くなるようにし、
前記第2のアームの幅を前記第1のアームの先端部分から前記支持体側に向けて狭くなるようにしたレーザスキャンユニット。 - 第2のアームの付け根部分に切り欠き部あるいは薄肉部を設けた請求項1に記載のレーザスキャンユニット。
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JP2005155246A JP4661366B2 (ja) | 2005-05-27 | 2005-05-27 | レーザースキャンユニット |
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JP2006330444A JP2006330444A (ja) | 2006-12-07 |
JP4661366B2 true JP4661366B2 (ja) | 2011-03-30 |
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
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JPH0854576A (ja) * | 1994-08-10 | 1996-02-27 | Sharp Corp | 光スキャナ |
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JP2002014298A (ja) * | 2000-04-28 | 2002-01-18 | Denso Corp | 光スキャナ及び2次元スキャンシステム |
-
2005
- 2005-05-27 JP JP2005155246A patent/JP4661366B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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