JPH0349250A - 試料搬送容器および試料移送装置 - Google Patents
試料搬送容器および試料移送装置Info
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- JPH0349250A JPH0349250A JP1184378A JP18437889A JPH0349250A JP H0349250 A JPH0349250 A JP H0349250A JP 1184378 A JP1184378 A JP 1184378A JP 18437889 A JP18437889 A JP 18437889A JP H0349250 A JPH0349250 A JP H0349250A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、試料を試料製造装置から試料評価装置へ搬送
する際に、試料表面が大気により酸化・吸着・汚染等さ
れるのを防止する試料搬送容器。
する際に、試料表面が大気により酸化・吸着・汚染等さ
れるのを防止する試料搬送容器。
および該容器内に試料を移送する試料移送装置に関する
。
。
従来、ウェハ等の試料を搬送する場合には、運搬中に試
料表面に大気中のゴミ等が付着するのを防ぐため、該試
料を薬包紙で包んだり、またはプラスチックケース内に
収納したりして運搬していた。
料表面に大気中のゴミ等が付着するのを防ぐため、該試
料を薬包紙で包んだり、またはプラスチックケース内に
収納したりして運搬していた。
しかしながら、上記従来の運搬方法では、試料が大気圧
の下で運搬されるため、酸化・吸着などにより試料表面
が変質する虞れがある。また試料をプラスチックケース
等に収納する際に、直接大気に触れるので、試料が大気
中のゴミ等で汚染される心配もある。このように試料が
酸化・吸着・汚染等されると、試料の評価や多層膜製造
において精度や特性の不良が起こり易い。
の下で運搬されるため、酸化・吸着などにより試料表面
が変質する虞れがある。また試料をプラスチックケース
等に収納する際に、直接大気に触れるので、試料が大気
中のゴミ等で汚染される心配もある。このように試料が
酸化・吸着・汚染等されると、試料の評価や多層膜製造
において精度や特性の不良が起こり易い。
本発明の目的は、試料を搬送する際に、大気により、試
料表面が変質するのを防止することができる試料搬送容
器を提供することである。
料表面が変質するのを防止することができる試料搬送容
器を提供することである。
また、本発明の他の目的は、試料を試料搬送容器に移送
する際に、大気中のゴミ等により試料表面が汚染される
のを防止することができる試料移送装置を提供すること
である。
する際に、大気中のゴミ等により試料表面が汚染される
のを防止することができる試料移送装置を提供すること
である。
上記目的を達成するために、本発明の試料搬送容器は、
気密性を有する可鍛式の容器に、試料を出し入れするた
めのポートを形成するとともに、該ポートを開閉する開
閉手段を取付け、かつ前記ポートを閉じた時に前記容器
内を超高真空に維持する排気手段を一体的に設けたこと
を特徴とする。
気密性を有する可鍛式の容器に、試料を出し入れするた
めのポートを形成するとともに、該ポートを開閉する開
閉手段を取付け、かつ前記ポートを閉じた時に前記容器
内を超高真空に維持する排気手段を一体的に設けたこと
を特徴とする。
また、本発明の試料移送装置は、試料製造装置または試
料評価装置に固定された容器に、前記試料製造装置また
は試料評価装置から試料台の一側を把持して取出す第１
の試料交換機を配設するとともに、前記第１の試料交換
機が取出した試料台の他側を把持して、該試料台を第１
の試料交換機から受取り、その試料台を試料搬送容器内
に移送する第２の試料交換機を配設し、かつ前記容器内
を超高真空に維持する排気手段を設けたことを特徴とす
る。
料評価装置に固定された容器に、前記試料製造装置また
は試料評価装置から試料台の一側を把持して取出す第１
の試料交換機を配設するとともに、前記第１の試料交換
機が取出した試料台の他側を把持して、該試料台を第１
の試料交換機から受取り、その試料台を試料搬送容器内
に移送する第２の試料交換機を配設し、かつ前記容器内
を超高真空に維持する排気手段を設けたことを特徴とす
る。
さらに、本発明の試料台は、上部側に第１の試料交換機
に把持される上部溝が、下部側に第２の試料交換機に把
持される下部溝がそれぞれ直交して形成され、上面に試
料が載置されることを特徴とする。
に把持される上部溝が、下部側に第２の試料交換機に把
持される下部溝がそれぞれ直交して形成され、上面に試
料が載置されることを特徴とする。
１記構成の試料搬送容器によれば、開閉手段によってポ
ートを開け、容器内に試料を移送する。
ートを開け、容器内に試料を移送する。
そして、容器を搬送する時は、排気手段により容器内の
超高真空が維持されているので、試料の酸化・吸着を回
避することができる。
超高真空が維持されているので、試料の酸化・吸着を回
避することができる。
また、上記構成の試料移送装置によれば、試料製造装置
または試料評価装置内の試料台の一側を第１の試料交換
機で把持して、試料製造装置内番こ取出す、この取出し
た試料台の他側を第２の試料交換機で把持して、前記ポ
ートを介して試料搬送容器内に移送する。この場合、試
料移送装置の容器内は排気手段により常に超高真空が維
持されているので、試料の酸化・吸着を防止することが
できる。
または試料評価装置内の試料台の一側を第１の試料交換
機で把持して、試料製造装置内番こ取出す、この取出し
た試料台の他側を第２の試料交換機で把持して、前記ポ
ートを介して試料搬送容器内に移送する。この場合、試
料移送装置の容器内は排気手段により常に超高真空が維
持されているので、試料の酸化・吸着を防止することが
できる。
さらに、上記構成の試料台によれば、第１の試料交換機
によって上部溝が把持されているときに、下部溝を第２
の試料交換機で容易に把持できるため、第１の試料交換
機から第２の試料交換機へ試料台を円滑に移し換えるこ
とが可能である。
によって上部溝が把持されているときに、下部溝を第２
の試料交換機で容易に把持できるため、第１の試料交換
機から第２の試料交換機へ試料台を円滑に移し換えるこ
とが可能である。
以下に本発明の一実施例を図面に従って説明する。
第１図は本発明に係る試料搬送容器および試料移送装置
の全体構成を示している。図に示すように、試料製造装
置または試料評価装置の試料室１には、ゲートバルブ４
、予備室５．第１の試料交換機６、真空ポンプ７、第２
の試料交換機８およびポート９から成る試料移送装置３
が装着されている。更に試料移送装置３のポー１へ９に
は、ゲートバルブ１１、試料収納室１２、真空ポンプ１
３および試料保持機構１４から成る試料搬送容器１０が
装着されている。
の全体構成を示している。図に示すように、試料製造装
置または試料評価装置の試料室１には、ゲートバルブ４
、予備室５．第１の試料交換機６、真空ポンプ７、第２
の試料交換機８およびポート９から成る試料移送装置３
が装着されている。更に試料移送装置３のポー１へ９に
は、ゲートバルブ１１、試料収納室１２、真空ポンプ１
３および試料保持機構１４から成る試料搬送容器１０が
装着されている。
第１の試料交換機６にはアーム１７が取付けられ、この
アーム１７の移動位置を検出する位置センサー６Ａ、６
Ｂと、アーム１７が予備室５にあることを示す目盛６Ｃ
とが設けられている。第２の試料交換機８にはアーム１
８が取付けられ、このアーム１８の移動位置を検出する
位置センサー８Ａ、８Ｂと、アーム１８が予備室５にあ
ることを示す目盛８Ｃとが設けられている。ゲートバル
ブ４，１１にはバルブの開閉状況を検出する開閉センサ
ー４Ａ、ＩＩＡがそれぞれ設けられている。
アーム１７の移動位置を検出する位置センサー６Ａ、６
Ｂと、アーム１７が予備室５にあることを示す目盛６Ｃ
とが設けられている。第２の試料交換機８にはアーム１
８が取付けられ、このアーム１８の移動位置を検出する
位置センサー８Ａ、８Ｂと、アーム１８が予備室５にあ
ることを示す目盛８Ｃとが設けられている。ゲートバル
ブ４，１１にはバルブの開閉状況を検出する開閉センサ
ー４Ａ、ＩＩＡがそれぞれ設けられている。
また試料移送装置３の予備室５および試料搬送容器１０
の試料収納室１２には、覗き窓１５がそれぞれ設けられ
ている。
の試料収納室１２には、覗き窓１５がそれぞれ設けられ
ている。
なお本実施例では、真空ポンプ７．１３は排気手段を、
ゲートバルブ１１は開閉手段をそれぞれ構成している。
ゲートバルブ１１は開閉手段をそれぞれ構成している。
次に試料交換機の構造を第２図を用いて説明する。ここ
では第１の試料交換機６について説明するが、第２の試
料交換機８も同じ構造をしている。
では第１の試料交換機６について説明するが、第２の試
料交換機８も同じ構造をしている。
はに示すように、外筒３１の一端側にはフランジ２１が
設けられている。フランジ２１は真空シール用ガスケッ
トを介して予備室５に締結されている。フランジ２１に
は雄ネジ２２Ａを有するシリンダ２２が固定され、この
シリンダ２２の外側には雌ネジ２４ Ａを有するシリン
ダ２４が設けられている。そして雄ネジ２２Δと雌ネジ
２４Ａは螺合している。またシリンダ２２の内側にはベ
ローズ２３．３０が配設され、シリンダ２２内は気密が
保たれている。シリンダ２２の内側中央には軸方向に移
動自在な軸２９が配設され、この軸２９の一端には２本
のアーム１７がピン２０で結合されている。図示してい
ないが、アーム】７には軸２９と略直角方向に長穴が形
成され、この長穴にピン２０が嵌合されている。アーム
１７の略中央はピン１９によってベローズ２３の一端に
揺動自在に支持されている。シリンダ２４の内側中央に
は回転自在な軸２８が配設され、この軸２８の一端には
ツマミ２７が固定されている。軸２８と２９はネジ結合
部２８Ａで連結されている。またシリンダ２４の一端側
にはハンドル２６が固定されているが、ハンドル２６と
ツマミ２７はそれぞれ独立に回転可能となっている。
設けられている。フランジ２１は真空シール用ガスケッ
トを介して予備室５に締結されている。フランジ２１に
は雄ネジ２２Ａを有するシリンダ２２が固定され、この
シリンダ２２の外側には雌ネジ２４ Ａを有するシリン
ダ２４が設けられている。そして雄ネジ２２Δと雌ネジ
２４Ａは螺合している。またシリンダ２２の内側にはベ
ローズ２３．３０が配設され、シリンダ２２内は気密が
保たれている。シリンダ２２の内側中央には軸方向に移
動自在な軸２９が配設され、この軸２９の一端には２本
のアーム１７がピン２０で結合されている。図示してい
ないが、アーム】７には軸２９と略直角方向に長穴が形
成され、この長穴にピン２０が嵌合されている。アーム
１７の略中央はピン１９によってベローズ２３の一端に
揺動自在に支持されている。シリンダ２４の内側中央に
は回転自在な軸２８が配設され、この軸２８の一端には
ツマミ２７が固定されている。軸２８と２９はネジ結合
部２８Ａで連結されている。またシリンダ２４の一端側
にはハンドル２６が固定されているが、ハンドル２６と
ツマミ２７はそれぞれ独立に回転可能となっている。
第３図は試料２が装着される試料台１６を示している。
この試料台１６は装着された試料２を図示していない固
定部材によって固定するようになっている。そして、試
料台１６には第１の試料交換機６のアーム１７が係合す
るための溝１６ Ａと第２の試料交換機８のアーム１８
が係合するための溝１６Ｂとが形成されている。
定部材によって固定するようになっている。そして、試
料台１６には第１の試料交換機６のアーム１７が係合す
るための溝１６ Ａと第２の試料交換機８のアーム１８
が係合するための溝１６Ｂとが形成されている。
次に試料交換機の動作原理について説明する。
アーム１７が試料台１６を把持している場合、ハンドル
２６を回転するとシリンダ２４の雌ネジ２４Ａとシリン
ダ２２の雄ネジ２２Ａとの螺合により、シリンダ２２．
２４は伸縮運動をする４すなわち、シリンダ２２は予備
室５に固定されているので、シリンダ２４が軸方向に移
動し、この移動によってアーム１７も軸２８．２９と共
に軸方向に移動する。これにより、試料台１６を試料室
１から予備室５へ、または予備室５から試料室１へ移送
することができる。
２６を回転するとシリンダ２４の雌ネジ２４Ａとシリン
ダ２２の雄ネジ２２Ａとの螺合により、シリンダ２２．
２４は伸縮運動をする４すなわち、シリンダ２２は予備
室５に固定されているので、シリンダ２４が軸方向に移
動し、この移動によってアーム１７も軸２８．２９と共
に軸方向に移動する。これにより、試料台１６を試料室
１から予備室５へ、または予備室５から試料室１へ移送
することができる。
次に各室での試料台１６の脱着について説明する。ツマ
ミ２７を回転するとネジ結合部２８Ａを介して軸２９が
軸方向へ移動する。この移動によりアーム１７はピン１
９を中心にして揺動する。
ミ２７を回転するとネジ結合部２８Ａを介して軸２９が
軸方向へ移動する。この移動によりアーム１７はピン１
９を中心にして揺動する。
すなわち、アーム１７は試料台１６を把持したり、その
把持を解除したりすることができ、これにより試料台１
６を容易に着脱することができる。
把持を解除したりすることができ、これにより試料台１
６を容易に着脱することができる。
また、第１の試料交換機６のアーム１７と第２試料交換
機８のアーム１８は、水平方向に直交して移動するよう
になっており、その移動面の高さは食い違っている。
機８のアーム１８は、水平方向に直交して移動するよう
になっており、その移動面の高さは食い違っている。
以下に、試料室１に試料台１６が載置されていて、これ
を予備室５を経由し試料収納室１２へ移送する場合の試
料移送手ｊ＠を第４図と第５図を用いて説明する。
を予備室５を経由し試料収納室１２へ移送する場合の試
料移送手ｊ＠を第４図と第５図を用いて説明する。
ステップ１００で第１の試料交換機６の挿入を開始し、
ステップ１０１で第１の試料交換機６がセンサー６Ａの
位置を通過したか否かを検知し、さらにステップ１０２
で第１の試料交換＠６がセンサー６Ｂの位置を通過した
か否かを検知する。
ステップ１０１で第１の試料交換機６がセンサー６Ａの
位置を通過したか否かを検知し、さらにステップ１０２
で第１の試料交換＠６がセンサー６Ｂの位置を通過した
か否かを検知する。
センサー６Ｂの位置を通過したならば、ステップ１０３
で第１の試料交換機６の挿入を一時停止させる。次に、
ステップ１０４でゲートバルブ４が開いているか否かを
見て、開いていなければステップ１０５で警報ブザーが
鳴らされて、ステップ１０６でゲートバルブ４を開く。
で第１の試料交換機６の挿入を一時停止させる。次に、
ステップ１０４でゲートバルブ４が開いているか否かを
見て、開いていなければステップ１０５で警報ブザーが
鳴らされて、ステップ１０６でゲートバルブ４を開く。
ゲートバルブ４が開かれていればステップ１０７で第２
の試料交換機８がＬＩＭＩＴ位置にあるかを見て、ＬＩ
ＭＩＴ位置になければステップ１０８で警報ブザーが鳴
らされて、ステップ１０９で第２の試料交換機８をＬＩ
ＭＩＴ位置に戻す。次に、ステップ１１０において第１
の試料交換機６の挿入を再開し。
の試料交換機８がＬＩＭＩＴ位置にあるかを見て、ＬＩ
ＭＩＴ位置になければステップ１０８で警報ブザーが鳴
らされて、ステップ１０９で第２の試料交換機８をＬＩ
ＭＩＴ位置に戻す。次に、ステップ１１０において第１
の試料交換機６の挿入を再開し。
ステップ１１１で第１の試料交換機６が試料室１に達し
たか否かを見て、達していなければ第１の試料交換機６
を更に挿入し、達していればステップ１１２で第１の試
料交換機６を停止させる。そして、ステップ１１３で試
料台１６を第１の試料交換機６のアーム１７で把持し、
ステップ１１４で第１の試料交換機６の引出しを開始す
る。さらに、・ステップ１１５において、第１の試料交
換機６の引出し位置が目盛位置に達したが否かを検知さ
れ、達していればステップ１１６で第１の試料交換機６
の引出しを停止させる。次にステップ１１７で第２の試
料交換機８の挿入を開始し、ステップ１１８において、
第２の試料交換機８の挿入位置が目盛位置に達したが否
かを検知し、達していればステップ１１９で第２の試料
交換機８の挿入を停止させる。そして、ステップ１２０
において、第１の試料交換機６が把持している試料台１
６を、第２の試料交換機８のアーム１８で把持してから
、ステップ１２１で第１の試料交換機６の試料台１６の
把持を解除する。その後、ステップ１２２で第１の試料
交換機８をＬ ＩＭＩＴ位置へ戻して、ステップ１２３
でゲートバルブ４を閉しる。
たか否かを見て、達していなければ第１の試料交換機６
を更に挿入し、達していればステップ１１２で第１の試
料交換機６を停止させる。そして、ステップ１１３で試
料台１６を第１の試料交換機６のアーム１７で把持し、
ステップ１１４で第１の試料交換機６の引出しを開始す
る。さらに、・ステップ１１５において、第１の試料交
換機６の引出し位置が目盛位置に達したが否かを検知さ
れ、達していればステップ１１６で第１の試料交換機６
の引出しを停止させる。次にステップ１１７で第２の試
料交換機８の挿入を開始し、ステップ１１８において、
第２の試料交換機８の挿入位置が目盛位置に達したが否
かを検知し、達していればステップ１１９で第２の試料
交換機８の挿入を停止させる。そして、ステップ１２０
において、第１の試料交換機６が把持している試料台１
６を、第２の試料交換機８のアーム１８で把持してから
、ステップ１２１で第１の試料交換機６の試料台１６の
把持を解除する。その後、ステップ１２２で第１の試料
交換機８をＬ ＩＭＩＴ位置へ戻して、ステップ１２３
でゲートバルブ４を閉しる。
次に、第１の試料交換機６がら試料台１６を受は取った
第２の試料交換機８の挿入をステップ２００で開始し、
ステップ２０１で第２の試料交換機８がセンサー８Ｂの
位置を通過したかを検知し。
第２の試料交換機８の挿入をステップ２００で開始し、
ステップ２０１で第２の試料交換機８がセンサー８Ｂの
位置を通過したかを検知し。
通過したならばステップ２０２で第２の試料交換機８の
挿入を一時停止させる。ステップ２０３で第１の試料交
換機６がＬ Ｉ Ｍ Ｉ Ｔ位置にあるかを見て、ＬＩ
ＭＩＴ位置になければステップ２０４で警報ブザーが鳴
らされて、ステップ２０５で第１の試料交換機６をＬＩ
ＭＩＴ位置に戻す。第１の試料交換機６がＬＩＭＩＴ位
置にあれば、ステップ２０６でゲートバルブ１１が開い
ているか否かを見て、開いていなければステップ２０７
で警報ブザーが鳴らされて、ステップ２０８でゲートバ
ルブ１１を開く。次に、ステップ２０９において第２の
試料交換機８の挿入を再開し、ステップ２１０で第２の
試料交換機８が試料収納室１２に達したか否かを見て、
達していなければ第２の試料交換機８を更に挿入し、達
していればステップ２１１で第２の試料交換機８の挿入
を停止させろ。
挿入を一時停止させる。ステップ２０３で第１の試料交
換機６がＬ Ｉ Ｍ Ｉ Ｔ位置にあるかを見て、ＬＩ
ＭＩＴ位置になければステップ２０４で警報ブザーが鳴
らされて、ステップ２０５で第１の試料交換機６をＬＩ
ＭＩＴ位置に戻す。第１の試料交換機６がＬＩＭＩＴ位
置にあれば、ステップ２０６でゲートバルブ１１が開い
ているか否かを見て、開いていなければステップ２０７
で警報ブザーが鳴らされて、ステップ２０８でゲートバ
ルブ１１を開く。次に、ステップ２０９において第２の
試料交換機８の挿入を再開し、ステップ２１０で第２の
試料交換機８が試料収納室１２に達したか否かを見て、
達していなければ第２の試料交換機８を更に挿入し、達
していればステップ２１１で第２の試料交換機８の挿入
を停止させろ。
そして、ステップ２１２において、第２の試料交換機８
のアーム１８が把持した試料台１６を試料保持機構１４
で保持し、ステップ２１３で第２の試料交換機８による
試料台１６の保持を解除する。
のアーム１８が把持した試料台１６を試料保持機構１４
で保持し、ステップ２１３で第２の試料交換機８による
試料台１６の保持を解除する。
その後、ステップ２１４で第２の試料交換機８をＬＩＭ
ＩＴ位置へ戻し、ステップ２１５でゲートバルブ１１を
閉じる。そして、ステップ２１６において、予備室１５
を大気化するためのスイッチを投入する。このとき、ス
テップ２１７で開閉センサー１１Ａからの信号が閉信号
であるか否かを見て、閉信号でなければステップ２１８
で警報ブザーが鳴らされて、ステップ２１９でゲートバ
ルブ１１を閉じる。ステップ２２０で予備室５が大気圧
となったら、ステップ２２１でポート９の締結部を外す
。
ＩＴ位置へ戻し、ステップ２１５でゲートバルブ１１を
閉じる。そして、ステップ２１６において、予備室１５
を大気化するためのスイッチを投入する。このとき、ス
テップ２１７で開閉センサー１１Ａからの信号が閉信号
であるか否かを見て、閉信号でなければステップ２１８
で警報ブザーが鳴らされて、ステップ２１９でゲートバ
ルブ１１を閉じる。ステップ２２０で予備室５が大気圧
となったら、ステップ２２１でポート９の締結部を外す
。
本実施例によれば、位置センサー６Ａ、６Ｂ。
８Ａ、８Ｂと開閉センサー４．Ａ、ＩＩＡを設けたので
、試料交換機が他の試料交換機やゲートバルブに衝突す
ることを防止できるとともに、試料搬送容器を試料移送
装置から外す際に、試料搬送容器内を大気圧化してしま
うことを回避できる。
、試料交換機が他の試料交換機やゲートバルブに衝突す
ることを防止できるとともに、試料搬送容器を試料移送
装置から外す際に、試料搬送容器内を大気圧化してしま
うことを回避できる。
以上説明したように、本発明によれば、試料を超高真空
下においたまま移送・搬送・保管ができるので、試料表
面の酸化・吸着・汚染などの変質を防止することができ
る。この結果、正確な試料の評価および特性の良い材料
またはデバイスの製造を達成することができる。
下においたまま移送・搬送・保管ができるので、試料表
面の酸化・吸着・汚染などの変質を防止することができ
る。この結果、正確な試料の評価および特性の良い材料
またはデバイスの製造を達成することができる。
また、試料搬送容器に排気手段を一体的に設けているの
で、同一の研究型または製造ラインの装置間のみならず
、製造工場と研究所、または国外の機関と国内の機関と
の間でも試料の搬送を行なうことが可能となる。
で、同一の研究型または製造ラインの装置間のみならず
、製造工場と研究所、または国外の機関と国内の機関と
の間でも試料の搬送を行なうことが可能となる。
第１図は本発明に係る試料搬送容器と試料移送装置の全
体構成図、第２図は試料交換機の詳細断面図、第３図は
試料台の上面図、正面図および右側面図、第４図および
第５図は試料移送手順を示すフローチャートである。 １・試料室、 ２・・・試料 ３・・・試料移送装置、 ４．１１・・ゲートバルブ。 ５・・予備室、 ６・・・第１の試料交換機
。 ７．１３・・真空ポンプ、８・・・第２の試料交換機。 Ｇ・試料移送手順、 ２・・・試料収納室、 ５・・覗き窓、 ６Ａ、１６１３・・・溝。
体構成図、第２図は試料交換機の詳細断面図、第３図は
試料台の上面図、正面図および右側面図、第４図および
第５図は試料移送手順を示すフローチャートである。 １・試料室、 ２・・・試料 ３・・・試料移送装置、 ４．１１・・ゲートバルブ。 ５・・予備室、 ６・・・第１の試料交換機
。 ７．１３・・真空ポンプ、８・・・第２の試料交換機。 Ｇ・試料移送手順、 ２・・・試料収納室、 ５・・覗き窓、 ６Ａ、１６１３・・・溝。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、気密性を有する可搬式の容器に、試料を出し入れす
るためのポートを形成するとともに、該ポートを開閉す
る開閉手段を取付け、かつ前記ポートを閉じた時に前記
容器内を超高真空に維持する排気手段を一体的に設けた
ことを特徴とする試料搬送容器。 ２、請求項１記載の試料搬送容器において、前記容器に
、試料を保持するための試料保持機構と、保持された前
記試料の状況を観察するための覗き窓とを設けたことを
特徴とする試料搬送容器。 ３、試料製造装置または試料評価装置に固定された容器
に、前記試料製造装置または試料評価装置から試料台の
一側を把持して取出す第１の試料交換機を配設するとと
もに、前記第１の試料交換機が取出した試料台の他側を
把持して、該試料台を第１の試料交換機から受取り、そ
の試料台を試料搬送容器内に移送する第２の試料交換機
を配設し、かつ前記容器内を超高真空に維持する排気手
段を設けたことを特徴とする試料移送装置。 ４、請求項３記載の試料移送装置において、前記第１の
試料交換機と第２の試料交換機は、移動方向が水平で互
いに直交しており、かつ移動面の高さが食い違っている
ことを特徴とする試料移送装置。 ５、請求項３記載の試料移送装置において、前記容器に
、前記試料台上の試料の状況を観察するための覗き窓を
設けことを特徴とする試料移送装置。 ６、上部側に第１の試料交換機に把持される上部溝が、
下部側に第２の試料交換機に把持される下部溝がそれぞ
れ直交して形成され、上面に試料が載置されることを特
徴とする試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1184378A JPH0349250A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 試料搬送容器および試料移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1184378A JPH0349250A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 試料搬送容器および試料移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349250A true JPH0349250A (ja) | 1991-03-04 |
Family
ID=16152155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1184378A Pending JPH0349250A (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 試料搬送容器および試料移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0349250A (ja) |
Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4955574A (ja) * | 1972-10-04 | 1974-05-29 | ||
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| JPS62216222A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | イオンド−ピング機構付気相成長装置 |
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-
1989
- 1989-07-17 JP JP1184378A patent/JPH0349250A/ja active Pending
Patent Citations (14)
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