JPS6362345A - ウエ−ハ振り分け搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 ウェーハを複数の区分に振り分ける作業を自動化するた
めのウェーハ振り分け搬送機構において、振り分け部に
複数の搬送方向変換ユニットを積層した方向変換ブロッ
クを用いることにより、床面に対する所要スペースの低
減を可能にしたものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、ウェーハを複数の区分に振り分ける作業を自
動化する際のウェーハ振り分け搬送機構の構成に関す。

半導体装置の製造などウェーハを加工対象にする製造に
おいては、ウェーハを例えば検査結果などにより複数の
区分に振り分ける場合がある。

この作業を自動化する際には、少ない所要スペースで済
ませることが望まれる。

〔従来の技術〕

ウェーハを複数の区分例えば５区分に振り分ける作業を
自動化するためのウェーハ振り分け搬送機構の従来例は
、第２図の平面図に示すが如くである。

同図において、１は振り分け前のウェーハＷを搬送する
搬入搬送部、２８〜２ｅは振り分け後の即ち５区分に振
り分けられたウェーハＷをそれぞれ搬送する搬出搬送部
、３ａ〜３ｄはウェーハＷを振り分けるための搬送分岐
ユニット、である。そしてこれらは、ウェーハＷに対し
、それぞれ公知の手段例えばベルト搬送または空気搬送
などによる搬送機能を有している。

搬送分岐ユニッ）３ａおよび３ｃは、ウェーハＷの搬送
を随時直進または左折させることが、また、搬送分岐ユ
ニット３ｂおよび３ｄは、ウェーハＷの搬送を随時直進
または右折させるもので、３８〜３ｄでもって振り分け
部を形成する。

搬入搬送部１、搬送分岐ユニット３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄ、および搬出搬送部２ｅは、その順に一列に繋がって
おり、搬送分岐ユニット３８〜３ｄのウェーハ搬送が全
て直進の際に、ウェーハＷは、搬入搬送部１から搬出搬
送部２ｅに搬送される。

また、上記の搬送方向に対して左側（図における上側）
では、搬出搬送部２ａおよび２ｃがそれぞれ搬送分岐ユ
ニット３ａおよび３ｃに繋がり、右側（図における下側
）では、搬出搬送部２ｂおよび２ｄがそれぞれ搬送分岐
ユニッ）３ｂおよび３ｄに繋がっており、搬送分岐ユニ
ット３ａ〜３ｄの中の何れか一つのウェーハ搬送が左折
または右折になった際に、ウェーハＷは、搬入搬送部１
からその搬送分岐ユニットに繋がった搬出搬送部に搬送
される。例えば、搬送分岐ユニッ）３ｃが左折になると
、搬出搬送部２ｃに搬送されるが如くである。

か（してこのウェーハ振り分け搬送機構は、搬入搬送部
１から搬入されるウェーハＷを、搬出搬送部２ａ〜２ｅ
で区分される５区分に振り分ける。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながらこのウェーハ振り分け搬送機構は、複数の
搬送分岐ユニット例えば３８〜３ｄが一列に並び、複数
の区分となる搬出搬送部例えば２ａ〜２ｅが平面的に配
置されるので、特に振り分ける区分数が多い場合には、
床面に対する所要スペースが大きくなる欠点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、ウェーハの搬入方向に対して互いに搬出
方向の異なる複数の搬送方向変換ユニットが搬入方向を
同一に積層されて方向変換ブロックを形成し、該方向変
換ブロックが、その積層方向の移動と該搬送方向変換ユ
ニットの作動との組み合わせにより、一方向から搬入さ
れるウェーハを受け入れ、複数方向に振り分け搬出する
本発明のウェーハ振り分け搬送機構によって解決される
。

〔作用〕

本つェーハ振り分け搬送機構においては、上記方向変換
ブロックが、従来例の複数の搬送分岐ユニット（３ａ〜
３ｄ）に相当する振り分け部となり且つ上記積層方向の
移動をするので、従来例で示した搬出搬送部を立体的に
配置することが可能である。然もその方向変換ブロック
の平面的なスペースは、従来例の搬送分岐ユニットの１
個分で足りる。

このことから、本つェーハ振り分け搬送機構は、床面に
対する所要スペースが従来例の場合より少なくなる。そ
してその度合は、振り分ける区分数が多くなるほど大き
くなる。

〔実施例〕

以下、本発明によるウェーハ振り分け搬送機構の実施例
について第１図の斜視図を用い説明する。

全図を通じ同一符号は同一対象物を示す。

同図に示す実施例は、第２図に示す従来例と同様にウェ
ーハＷを５区分に振り分けるものであり、振り分け部と
なる方向変換ブロック４の周囲に搬入搬送部１および搬
出搬送部２ａ〜２ｅが配置されている。

方向変換ブロック４は、ウェーハＷの搬送をそれぞれ直
進、左折、右折させる搬送方向変換ユニッ）４ａ、４ｂ
、４ｃが搬入方向を同一に積層されて形成され、例えば
シリンダなどの移動手段５により積層方向に移動可能で
ある。ここに用いられる搬送方向変換ユニット４ａ〜４
ｃは、従来例の搬送分岐ユニット３８〜３ｄの構成と同
類であり、より単純化されたものである。

そして、搬出搬送部２８〜２ｅは、方向変換ブロック４
を挟んだ対向側、左側、右側に、積層状にすることを加
えながら、適宜配置されている。

第１図では、図を見易くするため、対向側には搬出搬送
部２ａおよび２ｃが２ａを搬入搬送部１と同じ高さに且
つ２ｃをその下側にした積層状に、左側には搬出搬送部
２ｂおよび２ｄが２ｂを搬入搬送部１と同じ高さに且つ
２ｄをその上側にした積層状に、右側には搬出搬送部２
ａが搬出搬送部２ｃと同じ高さに配置しであるが、それ
ぞれの配置の位置および高さは適宜で良い。

図示の配置では、搬入搬送部１に対し、直進させる搬送
方向変換ユニソ）４ａを用いて搬出搬送部２ａおよび２
ｃを、左折させる搬送方向変換ユニット４ｂを用いて搬
出搬送部２ｂおよび２ｄを、右折させる搬送方向変換ユ
ニソ）４ｃを用いて搬出搬送部２ｅを繋ぐことが出来る
。

即ち、例えば、ウェーハＷを搬出搬送部２ａに搬送する
場合は、方向変換ブロック４を移動して搬送方向変換ユ
ニット４ａを搬入搬送部１の高さに合わせて搬送すれば
良く、搬出搬送部２ｂに搬送する場合は、搬送方向変換
ユニット４ｂを同様にすれば良い。また、搬出搬送部２
ｃに搬送する場合には、搬送方向変換ユニソ）４ａを搬
入搬送部１の高さに合わせてウェーハＷをユニソ）４ａ
に取り込み、その後搬出搬送部３ｃの高さに合わせて搬
出すれば良く、搬出搬送部２ｄに搬送する場合は搬送方
向変換ユニッ）４ｂを、搬出搬送部２ｅに搬送する場合
は搬送方向変換ユニット４ｃを同様にすれば良い。

かくの如くこのウェーハ振り分け搬送機構は、振り分け
部となる方向変換ブロック４が、従来例の振り分け部即
ち４個の）般送分岐ユニット３８〜３ｄに相当しながら
その１個分の平面的スペースとなり、然も搬出搬送部２
８〜２ｅが立体的に配置されるので、床面に対する所要
スペースが従来例の場合より少なくなる。

そしてウェーハ振り分け搬送機構にこのような構成を採
用することにより、振り分ける区分数が多くなるほどス
ペースの減少度合が太き（なる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の構成によれば、ウェーハを
複数の区分に振り分ける作業を自動化するためのウェー
ハ振り分け搬送機構において、振り分け部の平面的スペ
ースの低減と搬出搬送部の立体的配置が可能になり、床
面に対する所要スペースの低減を可能にさせる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例を説明する斜視図、第２図は従来
例を説明する平面図、 である。 図において、 １は搬入搬送部、 ２ａ〜２ｅは搬出搬送部、 ３８〜３ｄは搬送分岐ユニット、 ４は方向変換ブロック、 ４８〜４ｃは搬送方向変換ユニット、 ５は４に対する移動手段、 Ｗはウェーハ、 である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェーハの搬入方向に対して互いに搬出方向の異なる複
   数の搬送方向変換ユニットが搬入方向を同一に積層され
   て方向変換ブロックを形成し、該方向変換ブロックが、
   その積層方向の移動と該搬送方向変換ユニットの作動と
   の組み合わせにより、一方向から搬入されるウェーハを
   受け入れ、複数方向に振り分け搬出することを特徴とす
   るウェーハ振り分け搬送機構。