JPH0345624B2 - - Google Patents
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- JPH0345624B2 JPH0345624B2 JP13343282A JP13343282A JPH0345624B2 JP H0345624 B2 JPH0345624 B2 JP H0345624B2 JP 13343282 A JP13343282 A JP 13343282A JP 13343282 A JP13343282 A JP 13343282A JP H0345624 B2 JPH0345624 B2 JP H0345624B2
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- JP
- Japan
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- iron cores
- field
- linear motor
- permanent magnet
- adjacent
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 22
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可動子が固定部である走行路に沿つて
直線的に移動するリニアモータに関するものであ
る。
直線的に移動するリニアモータに関するものであ
る。
第１図は従来のリニアモータの一例を示す構成
図で、Ａは縦断面図、ＢはＡのＣ−Ｃ線断面図、
ＣはＡのＡ−Ａ線断面図、ＤはＡのＢ−Ｂ線断面
図、ＥはＢに示す永久磁石２０の斜視図である。
図で、Ａは縦断面図、ＢはＡのＣ−Ｃ線断面図、
ＣはＡのＡ−Ａ線断面図、ＤはＡのＢ−Ｂ線断面
図、ＥはＢに示す永久磁石２０の斜視図である。
この第１図において、可動子２は複数個の界磁
脚（ここでは２１１，２１２，２１３と２２１，
２２２，２２３の各々３個）をもつた複数個の鉄
心（この例では２１，２２の一対）と、それらの
一対の鉄心２１，２２の間に介在され、バイアス
磁束を供給する役目をもつ永久磁石２０と、一対
の鉄心２１，２２の互に隣り合う界磁脚２１１と
２２１，２１２と２２２，２１３と２２３とにま
たがつて巻回された複数個の励磁巻線（ここでは
３１，３２，３３の３個）と、図示していないが
可動子を走行路１に対して所要の間隙を維持して
直線的に往復動可能なように支承するためのベア
リング等の走行案内手段とで構成されている。ま
た、各界磁脚の走行路１に面した端部に、ピツチ
がＰの複数個の磁極歯を有した磁極歯群を形成
し、これら磁極歯群と対向する走行路１の面に
は、前記可動子２の移動方向に沿つてピツチがＰ
の複数の磁極歯列（ここでは１１，１２の２個）
を設けている。
脚（ここでは２１１，２１２，２１３と２２１，
２２２，２２３の各々３個）をもつた複数個の鉄
心（この例では２１，２２の一対）と、それらの
一対の鉄心２１，２２の間に介在され、バイアス
磁束を供給する役目をもつ永久磁石２０と、一対
の鉄心２１，２２の互に隣り合う界磁脚２１１と
２２１，２１２と２２２，２１３と２２３とにま
たがつて巻回された複数個の励磁巻線（ここでは
３１，３２，３３の３個）と、図示していないが
可動子を走行路１に対して所要の間隙を維持して
直線的に往復動可能なように支承するためのベア
リング等の走行案内手段とで構成されている。ま
た、各界磁脚の走行路１に面した端部に、ピツチ
がＰの複数個の磁極歯を有した磁極歯群を形成
し、これら磁極歯群と対向する走行路１の面に
は、前記可動子２の移動方向に沿つてピツチがＰ
の複数の磁極歯列（ここでは１１，１２の２個）
を設けている。
このように構成されたリニアモータにおいて、
永久磁石２０で発生する総磁束量のうち、推力に
全く寄与しない漏洩磁束（リーケージフラツク
ス）の占める割合は大きく、特に一対の鉄心２
１，２２の互いに隣り合う界磁脚２１１と２２
１，２１２と２２２，２１３と２２３との間にお
ける漏洩が大きい。この為、従来では、永久磁石
の総磁束量を多くしてもそれを有効に生かせず、
効率が悪く、結果として小型で推力の大きなモー
タを実現するが困難であつた。
永久磁石２０で発生する総磁束量のうち、推力に
全く寄与しない漏洩磁束（リーケージフラツク
ス）の占める割合は大きく、特に一対の鉄心２
１，２２の互いに隣り合う界磁脚２１１と２２
１，２１２と２２２，２１３と２２３との間にお
ける漏洩が大きい。この為、従来では、永久磁石
の総磁束量を多くしてもそれを有効に生かせず、
効率が悪く、結果として小型で推力の大きなモー
タを実現するが困難であつた。
また、この従来例のリニアモータでは、前記界
磁脚２１１，２１２，２１３，２２１，２２２，
２２３に設けた各磁極歯群の発生する推力に差
（推力むら）があり、特に中央部の界磁脚２１２，
２２２の磁極歯群で発生する推力が大きく、本発
明者の試作に依れば、他の界磁脚２１１，２１
３，２２１，２２３の磁極歯群での推力と比較し
て、20％程度の差を生じていた。
磁脚２１１，２１２，２１３，２２１，２２２，
２２３に設けた各磁極歯群の発生する推力に差
（推力むら）があり、特に中央部の界磁脚２１２，
２２２の磁極歯群で発生する推力が大きく、本発
明者の試作に依れば、他の界磁脚２１１，２１
３，２２１，２２３の磁極歯群での推力と比較し
て、20％程度の差を生じていた。
その主は理由は、各界磁脚を通るバイアス磁束
の量が大きく異る為である。この異なりは磁気的
な非対称性に起因し、その大部分は漏洩磁束によ
るものである。第２図は第１図に示す従来例の漏
洩磁束を設明するための可動子２の斜視図であ
る。図中点線で描いた半円筒部分８１，８２は一
対の鉄心２１，２２の両側でバイアス磁束が漏洩
する漏洩磁路を示す。このような漏洩磁路の存在
は、各界磁脚を通過するバイアス磁束の大きさを
不均一にする。即を中央部の界磁脚２１２，２２
２を通過するバイアス磁束に比べ、その外側の界
磁脚２１１，２２１，２１３，２２３を通過する
バイアス磁束は小さくなる。
の量が大きく異る為である。この異なりは磁気的
な非対称性に起因し、その大部分は漏洩磁束によ
るものである。第２図は第１図に示す従来例の漏
洩磁束を設明するための可動子２の斜視図であ
る。図中点線で描いた半円筒部分８１，８２は一
対の鉄心２１，２２の両側でバイアス磁束が漏洩
する漏洩磁路を示す。このような漏洩磁路の存在
は、各界磁脚を通過するバイアス磁束の大きさを
不均一にする。即を中央部の界磁脚２１２，２２
２を通過するバイアス磁束に比べ、その外側の界
磁脚２１１，２２１，２１３，２２３を通過する
バイアス磁束は小さくなる。
このような従来例のリニアモータの推力むらは
モータの滑らかな動きを阻害する要因となり、騒
音、振動、精度などに悪い影響を与えるもとにな
つていた。
モータの滑らかな動きを阻害する要因となり、騒
音、振動、精度などに悪い影響を与えるもとにな
つていた。
本発明の目的とするところは、これら従来例の
欠点を除去することにあり、具体的には、その第
１の目的は、界磁脚部のリーケージフラツクスを
低減させ、小型で高推力のリニアモータを提供す
ることにあり、第２の目的は、推力むらをなく
し、高品位のリニアモータを提供することにあ
る。以下、本発明を図示の実施例に基いて説明す
る。
欠点を除去することにあり、具体的には、その第
１の目的は、界磁脚部のリーケージフラツクスを
低減させ、小型で高推力のリニアモータを提供す
ることにあり、第２の目的は、推力むらをなく
し、高品位のリニアモータを提供することにあ
る。以下、本発明を図示の実施例に基いて説明す
る。
第３図、第４図、第５図は、それぞれ本発明の
リニアモータの各実施例を示すものであり、各図
の永久磁石以外のリニアモータ構成要素は共通と
する。
リニアモータの各実施例を示すものであり、各図
の永久磁石以外のリニアモータ構成要素は共通と
する。
まず第３図においてＡは縦断面図、ＢはＡのＥ
−Ｅ線断面図、ＣはＡのＦ−Ｆ線断面図、ＤはＡ
のＧ−Ｇ線断面図、Ｅは永久磁石の斜視図であ
る。それらの図面において可動子７は複数個の界
磁脚（ここでは７１１，７１２，７１３と７２
１，７２２，７２３と７３１，７３２，７３３の
各々３個）をもつた複数個の鉄心（この例では７
１，７２，７３の３個）と、この鉄心７１と７２
および７２と７３の間の各基幹部G1，G2に介在
され、各鉄心７１，７２，７３にバイアス磁束を
供給する役目をもつ永久磁石４０と、鉄心７１と
７２および７２と７３の間の各界磁脚部に介在さ
れる永久磁石４１１，４１２，４１３と、鉄心７
１，７２，７３にまたがつて巻回された複数個の
励磁巻線（ここでは６１，６２，６３の３個）
と、図示していないが、可動子７を走行路５に対
し所要の間隙を維持して直線的に往復動可能に支
承するためのベアリング等の走行手段とで構成さ
れており、各界磁脚の走行路５に面した各々の端
部にピツチＰの磁極歯群を形成している。界磁脚
７１１と７２１と７３１，７１２と７２２と７３
２，７１３と７２３と７３３の磁極歯群は位相を
揃えており、界磁脚７１１と７１２と７１３，７
２１と７２２と７２３，７３１と７３２と７３３
の磁極歯群は1/3・Ｐずつ位相をずらせてある。
走行路５は磁性材で形成され、可動子７の各磁極
歯群と対向する面に可動子７の移動方向に沿つて
ピツチがＰの磁極歯列（ここでは５１，５２，５
３）を設けている。走行路５の磁極歯列の位相関
係は、５１と５３を同相とし、５１と５２を1/
２・Ｐずらせてある。なお本実施例は、第３図Ｅ
に示す永久磁石を２個塔載した実施例であり、鉄
心７２を中心軸にして、その軸方向に対称な構造
を有しているので、以下に述べる作用効果の説明
は、片側（鉄心７１，７２側）で行うことにす
る。
−Ｅ線断面図、ＣはＡのＦ−Ｆ線断面図、ＤはＡ
のＧ−Ｇ線断面図、Ｅは永久磁石の斜視図であ
る。それらの図面において可動子７は複数個の界
磁脚（ここでは７１１，７１２，７１３と７２
１，７２２，７２３と７３１，７３２，７３３の
各々３個）をもつた複数個の鉄心（この例では７
１，７２，７３の３個）と、この鉄心７１と７２
および７２と７３の間の各基幹部G1，G2に介在
され、各鉄心７１，７２，７３にバイアス磁束を
供給する役目をもつ永久磁石４０と、鉄心７１と
７２および７２と７３の間の各界磁脚部に介在さ
れる永久磁石４１１，４１２，４１３と、鉄心７
１，７２，７３にまたがつて巻回された複数個の
励磁巻線（ここでは６１，６２，６３の３個）
と、図示していないが、可動子７を走行路５に対
し所要の間隙を維持して直線的に往復動可能に支
承するためのベアリング等の走行手段とで構成さ
れており、各界磁脚の走行路５に面した各々の端
部にピツチＰの磁極歯群を形成している。界磁脚
７１１と７２１と７３１，７１２と７２２と７３
２，７１３と７２３と７３３の磁極歯群は位相を
揃えており、界磁脚７１１と７１２と７１３，７
２１と７２２と７２３，７３１と７３２と７３３
の磁極歯群は1/3・Ｐずつ位相をずらせてある。
走行路５は磁性材で形成され、可動子７の各磁極
歯群と対向する面に可動子７の移動方向に沿つて
ピツチがＰの磁極歯列（ここでは５１，５２，５
３）を設けている。走行路５の磁極歯列の位相関
係は、５１と５３を同相とし、５１と５２を1/
２・Ｐずらせてある。なお本実施例は、第３図Ｅ
に示す永久磁石を２個塔載した実施例であり、鉄
心７２を中心軸にして、その軸方向に対称な構造
を有しているので、以下に述べる作用効果の説明
は、片側（鉄心７１，７２側）で行うことにす
る。
第３図において、隣り合う界磁脚７１１と７２
１，７１２と７２２，７１３と７２３との間に
は、同一寸法の永久磁石４１１，４１２，４１３
が介在されており、その着磁方向は図に示すよう
にバイアス磁束を与える永久磁石４０と揃えてい
る為、永久磁石４０で発生した磁束は、前記隣り
合う界磁脚７１１から７２１，７１２から７２
２、７１３から７２３へ漏洩することなく、界磁
脚部を流れるよう誘導され、有効に活用されるよ
うになる。さらに付加された永久磁石４１１，４
１２，４１３で発生する磁束の一部は、リニアモ
ータのバイアス磁束となり、総磁束量も大きくす
る。
１，７１２と７２２，７１３と７２３との間に
は、同一寸法の永久磁石４１１，４１２，４１３
が介在されており、その着磁方向は図に示すよう
にバイアス磁束を与える永久磁石４０と揃えてい
る為、永久磁石４０で発生した磁束は、前記隣り
合う界磁脚７１１から７２１，７１２から７２
２、７１３から７２３へ漏洩することなく、界磁
脚部を流れるよう誘導され、有効に活用されるよ
うになる。さらに付加された永久磁石４１１，４
１２，４１３で発生する磁束の一部は、リニアモ
ータのバイアス磁束となり、総磁束量も大きくす
る。
以上の説明から明らかな様に、永久磁石４１
１，４１２，４１３のもたらす効果は、リニアモ
ータの推力に対して相乗的に効いてくるものであ
り、本発明者の試作に依れば、30％程度推力を増
大させることができた。つまり、従来の外形寸法
を何ら変えることなく、従来より高推力のリニア
モータを容易に実現できるものである。
１，４１２，４１３のもたらす効果は、リニアモ
ータの推力に対して相乗的に効いてくるものであ
り、本発明者の試作に依れば、30％程度推力を増
大させることができた。つまり、従来の外形寸法
を何ら変えることなく、従来より高推力のリニア
モータを容易に実現できるものである。
第４図は、本発明のリニアモータの他の実施例
を示し、Ａは縦断面図、Ｂは永久磁石の配置及び
形状をあらわす斜視図である。同図において、永
久磁石４０，４１１，４１３は、第３図の永久磁
石４０，４１１，４１３とそれぞれ対応し、４１
１，４１３は同一寸法とする。永久磁石４１４
は、永久磁石４１１，４１３より寸法が小さく、
第３図の永久磁石４１２と対応する。これらの永
久磁石４１１，４１３，４１４は第３図の実施例
と同様に、隣り合う鉄心の隣り合う界磁脚間の磁
束の漏洩を減らすことができ、また、永久磁石の
有効面積を増やすことに依り、バイアス磁束の総
量を増やすことで、リニアモータの推力を増大さ
せることができる。これに加えて、第４図の実施
例では、中央部の界磁脚部に介在された永久磁石
４１４の寸法を自在に設計することに依つて、中
央部の界磁脚に設けた磁極歯を通るバイアス磁束
の量を調整し、この部分で発生する推力を調整す
るようにしたものである。これに依り、各界磁脚
に設けた各磁極歯群で発生する推力のバランスを
取ることができ、非常に品位の優れたリニアモー
タを実現できるものである。
を示し、Ａは縦断面図、Ｂは永久磁石の配置及び
形状をあらわす斜視図である。同図において、永
久磁石４０，４１１，４１３は、第３図の永久磁
石４０，４１１，４１３とそれぞれ対応し、４１
１，４１３は同一寸法とする。永久磁石４１４
は、永久磁石４１１，４１３より寸法が小さく、
第３図の永久磁石４１２と対応する。これらの永
久磁石４１１，４１３，４１４は第３図の実施例
と同様に、隣り合う鉄心の隣り合う界磁脚間の磁
束の漏洩を減らすことができ、また、永久磁石の
有効面積を増やすことに依り、バイアス磁束の総
量を増やすことで、リニアモータの推力を増大さ
せることができる。これに加えて、第４図の実施
例では、中央部の界磁脚部に介在された永久磁石
４１４の寸法を自在に設計することに依つて、中
央部の界磁脚に設けた磁極歯を通るバイアス磁束
の量を調整し、この部分で発生する推力を調整す
るようにしたものである。これに依り、各界磁脚
に設けた各磁極歯群で発生する推力のバランスを
取ることができ、非常に品位の優れたリニアモー
タを実現できるものである。
第５図は、本発明のリニアモータの更に他の実
施例を示し、Ａは縦断面図、Ｂは永久磁石の配置
及び形状をあらわす斜視図である。同図におい
て、永久磁石４０，４１１，４１３は、第３図の
永久磁石４０，４１１，４１３とそれぞれ対応
し、４１１，４１３は同一寸法とし、第３図の永
久磁石４１２に対応するものを取り除いた構成で
ある。これは、第４図の磁端な例であり、永久磁
石６１，６２の寸法を自在に設計することによ
り、第４図の実施例と同様に推力バランスを取る
ことができ、非常に品位の優れたリニアモータを
実現できるものである。
施例を示し、Ａは縦断面図、Ｂは永久磁石の配置
及び形状をあらわす斜視図である。同図におい
て、永久磁石４０，４１１，４１３は、第３図の
永久磁石４０，４１１，４１３とそれぞれ対応
し、４１１，４１３は同一寸法とし、第３図の永
久磁石４１２に対応するものを取り除いた構成で
ある。これは、第４図の磁端な例であり、永久磁
石６１，６２の寸法を自在に設計することによ
り、第４図の実施例と同様に推力バランスを取る
ことができ、非常に品位の優れたリニアモータを
実現できるものである。
以上述べた様に、本発明のリニアモータは、従
来のリニアモータに比べて、推力を増加させなが
ら、同様に、各磁極歯群間の推力バランスを取る
ことができる非常に優れたものであり、従来例の
持つ利点は何ら損うことなく、小型高推力、高品
位なリニアモータを容易に実現しうるものであ
る。
来のリニアモータに比べて、推力を増加させなが
ら、同様に、各磁極歯群間の推力バランスを取る
ことができる非常に優れたものであり、従来例の
持つ利点は何ら損うことなく、小型高推力、高品
位なリニアモータを容易に実現しうるものであ
る。
なお、第３図、第４図、第５図に例示した本発
明のリニアモータにおいては隣り合う鉄心の基幹
部と界磁脚部の永久磁石をそれぞれ別部材により
構成したが、これは、一体物として各々の形状に
加工しても特性状何ら差し支えない。また永久磁
石の形状は、各図面中すべて直方体にしている
が、必ずしもこれに限定されず、本発明の主旨を
逸脱しない範囲で、鉄心や界磁脚の形状に応じて
自由に設計できることは言うまでもない。
明のリニアモータにおいては隣り合う鉄心の基幹
部と界磁脚部の永久磁石をそれぞれ別部材により
構成したが、これは、一体物として各々の形状に
加工しても特性状何ら差し支えない。また永久磁
石の形状は、各図面中すべて直方体にしている
が、必ずしもこれに限定されず、本発明の主旨を
逸脱しない範囲で、鉄心や界磁脚の形状に応じて
自由に設計できることは言うまでもない。
第１図Ａ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥは従来のリニア
モータの一例を示す各部の断面図および従来のリ
ニアモータで使用される永久磁石の斜視図、第２
図は漏洩磁路を説明する為の要部斜視図、第３図
Ａ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥは本発明のリニアモータ
の一実施例を示す断面図および同実施例で使用す
る永久磁石の斜視図、第４図Ａ，Ｂは本発明のリ
ニアモータの他の実施例を示す断面図とそれに使
用される永久磁石の斜視図、第５図Ａ，Ｂは本発
明のリニアモータの更に別の実施例の断面図とそ
れに使用される永久磁石の斜視図である。 ５……走行路、７……可動子、G1，G2……基
幹部、４０，４１１，４１２，４１３、４１４…
…永久磁石、５１，５２，５３……磁極歯列、６
１，６２，６３……励磁巻線、７１，７２，７３
……鉄心、７１１，７１２，７１３，７２１，７
２２，７２３，７３１，７３２，７３３……界磁
脚。
モータの一例を示す各部の断面図および従来のリ
ニアモータで使用される永久磁石の斜視図、第２
図は漏洩磁路を説明する為の要部斜視図、第３図
Ａ，Ｂ，Ｃ，ＤおよびＥは本発明のリニアモータ
の一実施例を示す断面図および同実施例で使用す
る永久磁石の斜視図、第４図Ａ，Ｂは本発明のリ
ニアモータの他の実施例を示す断面図とそれに使
用される永久磁石の斜視図、第５図Ａ，Ｂは本発
明のリニアモータの更に別の実施例の断面図とそ
れに使用される永久磁石の斜視図である。 ５……走行路、７……可動子、G1，G2……基
幹部、４０，４１１，４１２，４１３、４１４…
…永久磁石、５１，５２，５３……磁極歯列、６
１，６２，６３……励磁巻線、７１，７２，７３
……鉄心、７１１，７１２，７１３，７２１，７
２２，７２３，７３１，７３２，７３３……界磁
脚。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基幹部、ピツチがＰの磁極歯群をそれぞれ形
成した複数個の界磁脚部を含めて成る複数個の鉄
心、前記複数個の鉄心にバイアス磁束を供給する
永久磁石および前記界磁脚を励磁する為の励磁巻
線を含めてなる可動子と、前記可動子と所要の間
隙を維持して対向して配され、かつピツチがＰの
磁極歯列をその移動方向に沿つて設けた走行路を
具備し、かつ、前記永久磁石は、前記複数個の鉄
心の各々の基幹部の間と、前記界磁脚のうち異な
る鉄心に設けられた隣り合う界磁脚部の間とに介
在され、その着磁方向は隣り合う鉄心間にあるも
のはすべて同一方向としたことを特徴とするリニ
アモータ。 ２ 複数個の鉄心の隣り合う界磁脚部の閑に介在
させた永久磁石は、可動子の中央部に配置された
ものより、外観に配置されたものの寸法が大きい
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のリ
ニアモータ。 ３ 複数個の鉄心の隣り合う界磁脚部の間に永久
磁石を部分的に介在させたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のリニアモータ。 ４ 隣り合う鉄心間の基幹部に介在させた永久磁
石と、界磁脚部に介在させた永久磁石とを一体的
に形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のリニアモータ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13343282A JPS5925571A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | リニアモ−タ |
| US06/486,965 US4504750A (en) | 1982-04-21 | 1983-04-20 | Linear motor |
| DE8383302275T DE3366213D1 (en) | 1982-04-21 | 1983-04-21 | Linear motor |
| EP83302275A EP0093547B1 (en) | 1982-04-21 | 1983-04-21 | Linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13343282A JPS5925571A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | リニアモ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925571A JPS5925571A (ja) | 1984-02-09 |
| JPH0345624B2 true JPH0345624B2 (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=15104632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13343282A Granted JPS5925571A (ja) | 1982-04-21 | 1982-07-29 | リニアモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925571A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059966A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-06 | Shinko Electric Co Ltd | リニアパルスモ−タ |
| JPH0312058Y2 (ja) * | 1985-12-10 | 1991-03-22 | ||
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| JP4710307B2 (ja) * | 2004-11-16 | 2011-06-29 | 横河電機株式会社 | ハイブリッド型パルスモータ |
| US7348752B1 (en) * | 2006-09-20 | 2008-03-25 | Asml Netherlands B.V. | Stage apparatus and lithographic apparatus |
| CN111884473B (zh) * | 2020-07-21 | 2021-12-17 | 华中科技大学 | 一种同性极电励磁直线同步电机 |
-
1982
- 1982-07-29 JP JP13343282A patent/JPS5925571A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5925571A (ja) | 1984-02-09 |
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