JPS5925571A - リニアモ−タ - Google Patents
リニアモ−タInfo
- Publication number
- JPS5925571A JPS5925571A JP13343282A JP13343282A JPS5925571A JP S5925571 A JPS5925571 A JP S5925571A JP 13343282 A JP13343282 A JP 13343282A JP 13343282 A JP13343282 A JP 13343282A JP S5925571 A JPS5925571 A JP S5925571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field
- linear motor
- cores
- permanent magnet
- legs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可動子が固定部である走行路に沿って直線的に
移動するりニアモータに関するものである。
移動するりニアモータに関するものである。
第１図は従来のりニアモー、夕の一例を示す構成図で、
（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）のｃ−ｃ線断面図、
（Ｃ）は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、（Ｄ）は（Ａ）のＢ
−Ｂ線断面図、■）は（Ｂ）に示す永久磁石２０の斜視
図である。
（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）のｃ−ｃ線断面図、
（Ｃ）は（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、（Ｄ）は（Ａ）のＢ
−Ｂ線断面図、■）は（Ｂ）に示す永久磁石２０の斜視
図である。
この第１図において、可動子２は複数個の界磁脚（ここ
では２１Ｌ ２１２，２１３と２２１，２２２゜２２３
の各々３個）をもった複数個の鉄心（この例では２１＋
２２の一対）と、それらの一対の鉄心２１．２２の
間に介在され、バイアス磁束を供給する役目をもつ永久
磁石２０と、−ｇの鉄心２１・ ２２の互に隣シ合う界
磁脚２１１と２２１（２１２と２２２，２１３と２２３
）とにまたがって巻回された複数個の励磁巻線（ここで
は３１，３２゜３３の３個）と、図示していないが可動
子を走行路１に対して所要の間隙を維持して直線的に往
復動可能な“ように支承するだめのベアリング等の走行
案内手段とで構成されている。まだ、各界磁脚の走行路
１に而した端部に、ピッチがＰの複数個の磁極歯を有し
た磁極歯群を形成し、これら磁極歯群と対向する走行路
１の而には、前記可動子２の移動方向に沿ってピッチが
Ｐの複数の磁極歯列（ここでは１１．１２の２個）を設
けている。
では２１Ｌ ２１２，２１３と２２１，２２２゜２２３
の各々３個）をもった複数個の鉄心（この例では２１＋
２２の一対）と、それらの一対の鉄心２１．２２の
間に介在され、バイアス磁束を供給する役目をもつ永久
磁石２０と、−ｇの鉄心２１・ ２２の互に隣シ合う界
磁脚２１１と２２１（２１２と２２２，２１３と２２３
）とにまたがって巻回された複数個の励磁巻線（ここで
は３１，３２゜３３の３個）と、図示していないが可動
子を走行路１に対して所要の間隙を維持して直線的に往
復動可能な“ように支承するだめのベアリング等の走行
案内手段とで構成されている。まだ、各界磁脚の走行路
１に而した端部に、ピッチがＰの複数個の磁極歯を有し
た磁極歯群を形成し、これら磁極歯群と対向する走行路
１の而には、前記可動子２の移動方向に沿ってピッチが
Ｐの複数の磁極歯列（ここでは１１．１２の２個）を設
けている。
このように構成されたりニアモータにおいて、永久磁石
２０で発生する総磁束量のうち、推力に全く寄与しない
漏洩磁束（リーケージフラックス）の占める割合は大き
く、特に一対の鉄心２１．２２の互いに隣り合う界磁脚
２１１と２２１ （２１２と２２２．２１３と２２３）
との間における漏洩が大きい。この為、従来では、永久
磁石の総磁束量、を多くしてもそれを有効に生かせず、
効率が悪く、結果として小型で推力の大きなモータを実
現するのが困難であった。
２０で発生する総磁束量のうち、推力に全く寄与しない
漏洩磁束（リーケージフラックス）の占める割合は大き
く、特に一対の鉄心２１．２２の互いに隣り合う界磁脚
２１１と２２１ （２１２と２２２．２１３と２２３）
との間における漏洩が大きい。この為、従来では、永久
磁石の総磁束量、を多くしてもそれを有効に生かせず、
効率が悪く、結果として小型で推力の大きなモータを実
現するのが困難であった。
まだ、この従来例のりニアモータでは、前記界磁脚（２
１１，２１２，２１３，２２Ｌ ２２２．２２３）に設
けた各磁極歯群の発生する推力に差（推力むら）があシ
、特に中央部の界磁脚２１２，２２２の磁極歯群で発生
する推ツノが大きく、本発明者の試作に依れば、他の界
磁脚（２１１，２１３，２２１゜２２３）の磁極歯群で
の推力と比較して、２０係程度の差を生じていた。
１１，２１２，２１３，２２Ｌ ２２２．２２３）に設
けた各磁極歯群の発生する推力に差（推力むら）があシ
、特に中央部の界磁脚２１２，２２２の磁極歯群で発生
する推ツノが大きく、本発明者の試作に依れば、他の界
磁脚（２１１，２１３，２２１゜２２３）の磁極歯群で
の推力と比較して、２０係程度の差を生じていた。
その主な理由は、各界磁脚を通るバイアス磁束の量が大
きく異る為である。この異なりは磁気的な非対称性に起
因し、その大部分は８洩磁束によるものである。第２図
は第１図に示す従来例の漏洩磁束を説明するだめの可動
子２の斜視図である。
きく異る為である。この異なりは磁気的な非対称性に起
因し、その大部分は８洩磁束によるものである。第２図
は第１図に示す従来例の漏洩磁束を説明するだめの可動
子２の斜視図である。
図中点線で描いた半円筒部分８１．８２は一対の鉄心２
１＋２２の両側でバイアス磁束が漏洩する漏洩磁路を示
す。このような漏洩磁路の存在は、各界磁脚を通過する
バイアス磁束の大きさを不均一にする。即ち中央部の界
磁脚２１２，２２２を通過するバイアス磁束に比べ、そ
の外側の界磁脚２１１．２２１，２１３，２２３を通過
するバイアス磁束は小さくなる。
１＋２２の両側でバイアス磁束が漏洩する漏洩磁路を示
す。このような漏洩磁路の存在は、各界磁脚を通過する
バイアス磁束の大きさを不均一にする。即ち中央部の界
磁脚２１２，２２２を通過するバイアス磁束に比べ、そ
の外側の界磁脚２１１．２２１，２１３，２２３を通過
するバイアス磁束は小さくなる。
このような従来例のリニアモータの推力むらはモータの
滑らかな動きを阻害する要因となシ、騒音、振動、精度
などに悪い影響を与えるもとになっていた。
滑らかな動きを阻害する要因となシ、騒音、振動、精度
などに悪い影響を与えるもとになっていた。
本発明の目的とするところは、これら従来例の欠点を除
去することにあり、具体的には、その第１の目的は、界
磁脚部のリーケージフラックスを低減させ、小型で高推
力のりニアモータを提供することにあり、第２の目的は
、推力むらをなくし、高品位のりニアモータを提供する
ことにある。以下、本発明を図示の実施例に基いて説明
する。
去することにあり、具体的には、その第１の目的は、界
磁脚部のリーケージフラックスを低減させ、小型で高推
力のりニアモータを提供することにあり、第２の目的は
、推力むらをなくし、高品位のりニアモータを提供する
ことにある。以下、本発明を図示の実施例に基いて説明
する。
第３図、第４図、第６図は、それぞれ本発明のりニアモ
ータの各実施例を示すものであり、各図の永久磁石以外
のりニアモータ構成要素は共通とする。
ータの各実施例を示すものであり、各図の永久磁石以外
のりニアモータ構成要素は共通とする。
まず第３図において（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）
のＥ−Ｅ線断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＦ−Ｆ線断面図、
（Ｄ）は（Ａ）のＧ−Ｇ線断面図、（Ｅ）は永久磁石の
斜視図である。
のＥ−Ｅ線断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＦ−Ｆ線断面図、
（Ｄ）は（Ａ）のＧ−Ｇ線断面図、（Ｅ）は永久磁石の
斜視図である。
それらの図面において可動子７は複数個の界磁脚（ここ
では７１１，７１２，７１３と７２１，７２２゜了２３
と７３１，７３２，７３３の各々３個）をもった複数個
の鉄・しくこの例では７１，７２．７３の３個）と、こ
の鉄心７１と７２および７２と７３の間の各基幹部Ｇ＋
、 Ｇ２に介在され、各鉄・し了１．７２．７３にバ
イアス磁束を供給する役目をもつ永久磁石りと、鉄心７
１と７２および７２と７３の間の各界磁脚部に介在され
る永久磁石４１１．４１２，４１３と、鉄心７１，７２
．７３にまだがって巻回された複数個の励磁巻線（ここ
では６１，６２．６３の３個）と、図示していないが、
可動子アを走行路５に対し所要の間隙を維持して直線的
に往復動可能に支承するだめのベアリング等の走行手段
とで構成されており、各界磁脚の走行路５に面した各々
の端部にピッチＰの磁極歯群を形成している。
では７１１，７１２，７１３と７２１，７２２゜了２３
と７３１，７３２，７３３の各々３個）をもった複数個
の鉄・しくこの例では７１，７２．７３の３個）と、こ
の鉄心７１と７２および７２と７３の間の各基幹部Ｇ＋
、 Ｇ２に介在され、各鉄・し了１．７２．７３にバ
イアス磁束を供給する役目をもつ永久磁石りと、鉄心７
１と７２および７２と７３の間の各界磁脚部に介在され
る永久磁石４１１．４１２，４１３と、鉄心７１，７２
．７３にまだがって巻回された複数個の励磁巻線（ここ
では６１，６２．６３の３個）と、図示していないが、
可動子アを走行路５に対し所要の間隙を維持して直線的
に往復動可能に支承するだめのベアリング等の走行手段
とで構成されており、各界磁脚の走行路５に面した各々
の端部にピッチＰの磁極歯群を形成している。
界磁脚７１１と７２１と７３１ （７１２と７２２と
７３２．７１３と７２３と７３３）の磁極歯群は位相を
揃えており、界磁脚７１１と７１２と７１３（７２１と
７２２と７２３．７３１と７３２と７３３）の磁極歯群
は−・Ｐずつ位相をずらせである。走行路５は磁性材で
形成され、可動子７の各磁極歯群と対向する而に可動子
γの移動方向に沿ってピッチがＰの磁極歯列（ここでは
５１，５２．５３）を設けている。走行路６の磁極歯列
の位相関係は、５１と６３を同相とし、５１と６２を−
・Ｐずらせである。なお本実施例は、第３図（Ｅ）に示
す永久磁石を２個塔載した実施例であり、鉄心７２を中
心軸にして、その幅方向に対称な構造を有しているので
、以下に述べる作用効果の説明は、片側（鉄心７１．７
２側）で行うことにする。
７３２．７１３と７２３と７３３）の磁極歯群は位相を
揃えており、界磁脚７１１と７１２と７１３（７２１と
７２２と７２３．７３１と７３２と７３３）の磁極歯群
は−・Ｐずつ位相をずらせである。走行路５は磁性材で
形成され、可動子７の各磁極歯群と対向する而に可動子
γの移動方向に沿ってピッチがＰの磁極歯列（ここでは
５１，５２．５３）を設けている。走行路６の磁極歯列
の位相関係は、５１と６３を同相とし、５１と６２を−
・Ｐずらせである。なお本実施例は、第３図（Ｅ）に示
す永久磁石を２個塔載した実施例であり、鉄心７２を中
心軸にして、その幅方向に対称な構造を有しているので
、以下に述べる作用効果の説明は、片側（鉄心７１．７
２側）で行うことにする。
第３図において、隣り合う界磁脚７１１と７２１゜７１
２と７２２１７１３と７２３との間には、同一寸法の永
久磁石４１Ｌ ４１２，４１３が介在されておシ、その
着磁方向は図に示すようにバイアス磁束を与える永久磁
石４０と揃えている為、永久磁石４ｏで発生した磁束は
、前記隣り合う界磁脚７１１から７２１ （７１２か
ら７２２，７１３から７２３）へ漏洩することなく、界
磁脚部を流れるよう誘導され、有効に活用されるように
なる。さらに付加された永久磁石４１１，４１２，４１
３で発生する磁束の一部は、リニアモータのバイアス磁
束となシ、総磁束量も大きくする。
２と７２２１７１３と７２３との間には、同一寸法の永
久磁石４１Ｌ ４１２，４１３が介在されておシ、その
着磁方向は図に示すようにバイアス磁束を与える永久磁
石４０と揃えている為、永久磁石４ｏで発生した磁束は
、前記隣り合う界磁脚７１１から７２１ （７１２か
ら７２２，７１３から７２３）へ漏洩することなく、界
磁脚部を流れるよう誘導され、有効に活用されるように
なる。さらに付加された永久磁石４１１，４１２，４１
３で発生する磁束の一部は、リニアモータのバイアス磁
束となシ、総磁束量も大きくする。
以上の説明から明らかな様に、永久磁石４１１゜４１２
．４１３のもたらす効果は、リニアモータの推力に対し
て相乗的に効いてくるものであり、本発明者の試作に依
れば、３０係程度推力を増大させることができだ。つま
シ、従来の外形寸法を河ら変えることなく、従来より高
推力のりニアモータを容易に実現できるものである。
．４１３のもたらす効果は、リニアモータの推力に対し
て相乗的に効いてくるものであり、本発明者の試作に依
れば、３０係程度推力を増大させることができだ。つま
シ、従来の外形寸法を河ら変えることなく、従来より高
推力のりニアモータを容易に実現できるものである。
第４図は、本発明のりニアモータの他の実施例を示し、
（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は永久磁石の配置及び形状を
あられす斜視図である。同図において、永久磁石４０．
４１１，４１３は、第３図の永久磁石４０，４１１，
４１３とそれぞれ対応し、４１１゜４１３は同一寸法と
する。永久磁石４１４は、永久磁石４１１，４１３よシ
寸法が小さく、第３図の永久磁石４１２と対応する。こ
れらの永久磁石４１１．４１３，４１４は第３図の実施
例と同様に、隣り合う鉄心の隣シ合う界磁脚間の磁束の
漏洩を減らすことができ、また、永久磁石の有効面積を
増やすことに依り、バイアス磁束の総量を増やすことで
、リニアモータの推力を増大させることができる。これ
に加えて、第４図の実施例では、中火部の界磁脚部に介
在された永久磁石４１４の寸法を自在に設計することに
依って、中央部の界磁脚に設けた磁極歯を通るバイアス
磁束の量を調整し、この部分で発生する推力を調整する
ようにしだものである。これに依シ、各界磁脚に設けだ
各磁ｆＭｔｌＱ群で発生する推力のバランスを取ること
ができ、非常に品位の優れたりニアモータを実現できる
ものである。
（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は永久磁石の配置及び形状を
あられす斜視図である。同図において、永久磁石４０．
４１１，４１３は、第３図の永久磁石４０，４１１，
４１３とそれぞれ対応し、４１１゜４１３は同一寸法と
する。永久磁石４１４は、永久磁石４１１，４１３よシ
寸法が小さく、第３図の永久磁石４１２と対応する。こ
れらの永久磁石４１１．４１３，４１４は第３図の実施
例と同様に、隣り合う鉄心の隣シ合う界磁脚間の磁束の
漏洩を減らすことができ、また、永久磁石の有効面積を
増やすことに依り、バイアス磁束の総量を増やすことで
、リニアモータの推力を増大させることができる。これ
に加えて、第４図の実施例では、中火部の界磁脚部に介
在された永久磁石４１４の寸法を自在に設計することに
依って、中央部の界磁脚に設けた磁極歯を通るバイアス
磁束の量を調整し、この部分で発生する推力を調整する
ようにしだものである。これに依シ、各界磁脚に設けだ
各磁ｆＭｔｌＱ群で発生する推力のバランスを取ること
ができ、非常に品位の優れたりニアモータを実現できる
ものである。
第５図は、本発明のりニアモータの更に他の実施例を示
し、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は永久磁石の配置及び形
状をあられす斜視図である。同図において、永久磁石４
０，４１１，４１３は、第３図の永久磁石４０，４１１
，４１３とそれぞれ対応し、４１１．４１３は同一寸法
とし、第３図の永久磁石４１２に対応するものを取り除
いた構成である。
し、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は永久磁石の配置及び形
状をあられす斜視図である。同図において、永久磁石４
０，４１１，４１３は、第３図の永久磁石４０，４１１
，４１３とそれぞれ対応し、４１１．４１３は同一寸法
とし、第３図の永久磁石４１２に対応するものを取り除
いた構成である。
これは、第４図の磁端な例であり、永久磁石６１゜６２
０寸法を自在に設計することにより、第４図の実施例と
同様に推力バランスを取ることができ、非常に品位の優
れたりニアモータを実現できるものである。
０寸法を自在に設計することにより、第４図の実施例と
同様に推力バランスを取ることができ、非常に品位の優
れたりニアモータを実現できるものである。
以上述べた様に、本発明のりニアモータは、°従来のリ
ニアモータに比べて、推力を増加させながら、同時に、
各磁極歯群間の推力バランスを取ることができる非常に
優れたものであり、従来例の持つ利点は何ら損うことな
く、小型高推力、高品位なりニアモータを容易に実現し
うるものである。
ニアモータに比べて、推力を増加させながら、同時に、
各磁極歯群間の推力バランスを取ることができる非常に
優れたものであり、従来例の持つ利点は何ら損うことな
く、小型高推力、高品位なりニアモータを容易に実現し
うるものである。
なお、第３図、第４図、第５図に例示した本発明のりニ
アモータにおいては隣υ合う鉄・し・の基幹部と界磁脚
部の永久磁石をそれぞれ別部材によシ構成したが、これ
は、一体物として各々の形状に加工しても特性状何ら差
し支えない。また永久磁石の形状は、各図面中すべて直
方体にしているが、必ずしもこれに限定されず、本発明
の主旨を逸脱しない範囲で、鉄心や界磁脚の形状に応じ
て自由に設計できることは言うまでもない。
アモータにおいては隣υ合う鉄・し・の基幹部と界磁脚
部の永久磁石をそれぞれ別部材によシ構成したが、これ
は、一体物として各々の形状に加工しても特性状何ら差
し支えない。また永久磁石の形状は、各図面中すべて直
方体にしているが、必ずしもこれに限定されず、本発明
の主旨を逸脱しない範囲で、鉄心や界磁脚の形状に応じ
て自由に設計できることは言うまでもない。
第１図（Ａ）、 （Ｂ）、 （Ｃ）、 （Ｄ）および（
Ｅ）は従来のりニアモータの一例を示す各部の断面図お
よび従来のりニアモータで使用される永久磁石の斜視図
、第２図は漏洩磁路を説明する為の要部斜視図、第３図
（Ａ）、 （Ｂ）、 （Ｃ）、 （Ｄ）および（Ｅ）は
本発明のリニアモータカー実施例を示す断面図および同
実施例で使用する永久磁石の斜視図、第４図（Ａ）、
（Ｂ）は本発明のりニアモータの他の実施例を示す断面
図とそれに使用される永久磁石の斜視図、第５図（Ａ）
、 （Ｂ）は本発明のりニアモータの更に別の実施例の
断面図とそれに使用される永久磁石の斜視図である。 ５・・・・・・走行路、７・・・・・可動子、Ｃ＋、Ｇ
ｚ・・・基幹部、４０，４１Ｌ ４１２，４１３，４１
４・・・・・・永久磁石、５１，５２．５３・・・・・
・磁極歯列、６１゜６２＋６３・・・・・・励磁巻線、
７１＋ ７２＋ ７３・・・・・鉄む、７１１’、
７１２． ７１３，７２１，７２２，７２３゜ア３
１．７３２，７３３・・・・界磁脚。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 、 ２”＃ θｌ 第３図 ４７ノ 。 第４図 ４／／ 第５図 ４θ ４／１
Ｅ）は従来のりニアモータの一例を示す各部の断面図お
よび従来のりニアモータで使用される永久磁石の斜視図
、第２図は漏洩磁路を説明する為の要部斜視図、第３図
（Ａ）、 （Ｂ）、 （Ｃ）、 （Ｄ）および（Ｅ）は
本発明のリニアモータカー実施例を示す断面図および同
実施例で使用する永久磁石の斜視図、第４図（Ａ）、
（Ｂ）は本発明のりニアモータの他の実施例を示す断面
図とそれに使用される永久磁石の斜視図、第５図（Ａ）
、 （Ｂ）は本発明のりニアモータの更に別の実施例の
断面図とそれに使用される永久磁石の斜視図である。 ５・・・・・・走行路、７・・・・・可動子、Ｃ＋、Ｇ
ｚ・・・基幹部、４０，４１Ｌ ４１２，４１３，４１
４・・・・・・永久磁石、５１，５２．５３・・・・・
・磁極歯列、６１゜６２＋６３・・・・・・励磁巻線、
７１＋ ７２＋ ７３・・・・・鉄む、７１１’、
７１２． ７１３，７２１，７２２，７２３゜ア３
１．７３２，７３３・・・・界磁脚。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 、 ２”＃ θｌ 第３図 ４７ノ 。 第４図 ４／／ 第５図 ４θ ４／１
Claims (4)
- （１）基幹部、ピッチがＰの磁阪歯群をそれぞれ形成し
た複数個の界磁脚部を含めて成る複数個の鉄心、前記複
数個の鉄心にバイアス磁束を供給する永久磁石および前
記界磁脚を励磁する為の励磁巻線を含めてなる可動子と
、前記可動子と所要の間隙を維持して対向して配され、
かつピンチがＰの磁極歯列をその移動方向に沿って設け
た走行路を具備し、かつ、前記永久磁石は、１ＴＪｆａ
複数個の鉄心の各々の基幹部の間と、前記界磁脚のうち
異なる鉄心に設けられた隣り合う界磁脚部の間とに介在
され、その着磁方向は隣り合う鉄心間にあるものはすべ
て同一方向としたことを特徴とするりニアモータ。 - （２）複数個の鉄心の隣り合う界磁脚部の間に介在させ
た永久磁石は、可動子の中央部に配置されたものより、
外観に配置されたものの寸法が大きいことを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項記載のりニアモータ。 - （３）複数個の鉄１ｂの隣シ合う界磁脚部の間に永久磁
石を部分的に介在させたことを特徴とする特ｒ［請求の
範囲第（１）項記載のりニアモータ。 - （４）＠り合う鉄・し・間の基幹部に介在させた永久磁
石と、界磁脚部に介在させた永久磁石とを一体的に形成
したことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の
りニアモータ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13343282A JPS5925571A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | リニアモ−タ |
| US06/486,965 US4504750A (en) | 1982-04-21 | 1983-04-20 | Linear motor |
| DE8383302275T DE3366213D1 (en) | 1982-04-21 | 1983-04-21 | Linear motor |
| EP83302275A EP0093547B1 (en) | 1982-04-21 | 1983-04-21 | Linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13343282A JPS5925571A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | リニアモ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925571A true JPS5925571A (ja) | 1984-02-09 |
| JPH0345624B2 JPH0345624B2 (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=15104632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13343282A Granted JPS5925571A (ja) | 1982-04-21 | 1982-07-29 | リニアモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925571A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059966A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-06 | Shinko Electric Co Ltd | リニアパルスモ−タ |
| JPS6298481U (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-23 | ||
| JP2005261026A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Yokogawa Electric Corp | 平面モータ |
| JP2006148998A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Yokogawa Electric Corp | ハイブリッド型パルスモータ |
| JP2008141165A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-06-19 | Asml Netherlands Bv | ステージ装置およびリソグラフィ装置 |
| CN111884473A (zh) * | 2020-07-21 | 2020-11-03 | 华中科技大学 | 一种同性极电励磁直线同步电机 |
-
1982
- 1982-07-29 JP JP13343282A patent/JPS5925571A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6059966A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-06 | Shinko Electric Co Ltd | リニアパルスモ−タ |
| JPH0125309B2 (ja) * | 1983-09-07 | 1989-05-17 | Shinko Electric Co Ltd | |
| JPS6298481U (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-23 | ||
| JPH0312058Y2 (ja) * | 1985-12-10 | 1991-03-22 | ||
| JP2005261026A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Yokogawa Electric Corp | 平面モータ |
| JP4604517B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2011-01-05 | 横河電機株式会社 | 平面モータ |
| JP2006148998A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Yokogawa Electric Corp | ハイブリッド型パルスモータ |
| JP4710307B2 (ja) * | 2004-11-16 | 2011-06-29 | 横河電機株式会社 | ハイブリッド型パルスモータ |
| JP2008141165A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-06-19 | Asml Netherlands Bv | ステージ装置およびリソグラフィ装置 |
| JP4669868B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2011-04-13 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | ステージ装置およびリソグラフィ装置 |
| CN111884473A (zh) * | 2020-07-21 | 2020-11-03 | 华中科技大学 | 一种同性极电励磁直线同步电机 |
| CN111884473B (zh) * | 2020-07-21 | 2021-12-17 | 华中科技大学 | 一种同性极电励磁直线同步电机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0345624B2 (ja) | 1991-07-11 |
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