JPH0335440A

JPH0335440A - 情報記録媒体

Info

Publication number: JPH0335440A
Application number: JP1169636A
Authority: JP
Inventors: Motonari Matsubara; 松原　基成; Hideki Okawa; 秀樹大川
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1989-06-30
Filing date: 1989-06-30
Publication date: 1991-02-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、情報記録媒体に関し、特に、ピット形成型情
報記録媒体において記録層の下層に下引き層を設けた情
報記録媒体に関する。

（従来の技術）従来、ピット形成型の情報記録媒体として、基板上にＢ
Ｌ薄膜を形成したものが、Ｍａｙｄａｎにより報告され
ている［　Ｄ、Ｍａｙｄａｎ、Ｂｅ１ｌ　５ｙｓｔ。

Ｔｅｃｈ、Ｊ、、５０．ｌ７８１（１９７１）；米国特
許第３，７２０．７８４号公報］。また、１９７７年に
は現在実用化されているＴｅ系の記録膜を有する情報記
録媒体が、フィリップス（Ｐｈｉｌｌｐｓ　）社により
報告されている［Ｒ，ＭｃＦａｒｌａｎｅ　ｅｔ　ａｌ
、、Ｐｒｏｅｅｅｄｌｎｇｓ　ｏｒＳＰＩＥ、１２３，
１０４（１９７７）］　、　Ｔ　ｅは、単独では、高温
度雰囲気で容易に酸化する。ＴｅＯ２の発生は、ＴｅＯ
２が近赤外領域の光を全く吸収しないために、情報記録
媒体の記録感度を減少させる。さらに、ピット形成時に
ピット形成領域の周辺部分が酸化して、この部分にＴｅ
Ｏ２が生じると、ピット形成領域の周辺部分の光の反射
率が低下し、ピット形成領域が不明確になり記録情報の
再生時において不都合になる。このように、ピット形成
型の記録媒体の記録層の材料は、記録感度を損わない範
囲で耐酸化性を有することが望まれている。

そこで、ＴｅとＳｅの合金薄膜を記録層に使用して記録
層の耐酸化性を向上させることが、寺尾等によって報告
されている［Ｍ、Ｔｅｒａｏ　ｅｔａｌ、、Ｊ、＾ｐｐ
１．Ｐｈｙｓ、、５０．６８８１（１９７９）　］　、
　　しかし、Ｔｅ−８ｅ合金薄膜は、クラックが発生し
易いため、実際にはｐｂを加えて、Ｐｂ−Ｔｅ−Ｓｅ合
金薄膜にして使用している。このように、記録層の材料
にＴｅ系の合金が使用されている。

一方、金属ＴｅをＣＨ，ガスを含む雰囲気中でスパッタ
リングすることにより、Ｔｅ−Ｃとよばれる耐酸化性に
優れる記録層を形成することができることが、真下等に
よって報告されている　　［Ｍ、Ｍａｓｈｉｔａ　　ａ
ｎｄ　　Ｎ、Ｙａｓｕｄａ、Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　
　ｏｒＳＰＩＥ、３２９，１９０（１９８２）　；米国
特許第４．４３Ｌ３４０号公報］。また、Ｃ８２ガスを
用いてプラズマ重合を行いながらＴｅを蒸着することに
より優れた耐酸化性のＣ８２−Ｔｅ薄膜が得られること
が開示されている［Ｙ、Ａｓａｎｏ　ｅｔ　ａｌ、、；
米国特許第４．３７３，００４号公報；Ｊ、Ｊ、Ａ、Ｐ
、、２２，４８０（１９８３）　、特公昭第５８−１７
０３８号公報］。

一方、特開昭５９−９０２４８号公報では、記録層の下
にフルオロカーボンからなる下引き層を設けて記録感度
を向上させた情報記録媒体が開示されている。さらに、
特開昭６２−１５４３４３号公報では、下引き層中のフ
ッ素と炭素の比率を特定することによって、よりいっそ
う記録感度が向上することを開示している。

（発明が解決しようとする課題）しかし、これらの情報記録媒体の記録感度は、情報転送
速度の増大及び情報記録容量の増大に伴う、ディスクの
高速回転での情報記録において充分でない。したがって
、より高い記録感度を有する情報記録媒体への開発が望
まれている。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、優れ
た記録感度を有し、かつ、ノイズに影響されないで安定
して情報の読取りができる情報記録媒体を提供すること
を目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は、基板と、ピットが形成されることにより情報
が記録される記録層と、基板と記録層との間に設けられ
、原料ガスをフルオロカーボンとするプラズマ重合によ
って形成された下引き層とを具備する情報記録媒体であ
って、前記記録層はＡ　ｇ　ｓ　Ｔ　ｅ　％　Ｃｓ及び
Ｈを含有し、Ａｇ及びＴｅの含有量は、これらの比をＡ
ｇｘＴｅ＋ｏｏ−１なる式で表した場合に、原子％で表
示されたＸが２≦ｘ≦５５の範囲内であり、前記下引き
層の厚みが６００ないし１６００人であることを特徴と
する。

（作　用）本発明の情報記録媒体によれば、得られた記録層がＡｇ
、Ｔｅ、Ｃ，及びＨを含有し、該ＡｇとＴｅの含有量の
比が、Ａ　ｇ　Ｉ　Ｔ　ｅ　ｔｏｏ−ｘなる式でＸが２
≦ｘ≦５５原子％の範囲のものである。

この範囲のＡｇとＴｅの含有量比を有する合金は、Ａｇ
とＴｅの合金系において融点が低い。このため、光ビー
ムによる記録感度が向上する。これによって、情報記録
ピット形成に要する光ビームのエネルギーの閾値パワー
を減少させても充分に情報記録をすることができる。

また、本発明の情報記録媒体は、下引き層の厚さを６０
０ないし１６００Åとしている。このため、情報の読取
りのために情報記録媒体に照射された光が、この厚み範
囲の下引き層内で光の多重反射効果を示すことにより、
情報記録媒体の反射率が増加する。これによって、情報
記録媒体は、情報読取り時にノイズの影響が少ない光で
再生でき、安定して情報の読取りができる。

（実施例）以下、図面を参照して本発明の実施例について具体的に
説明する。

第１図は、本発明にかかる情報記録媒体の断面図である
。この情報記録媒体は、基板１と、基板１上にプラズマ
重合により形成された下引き層２と、下引き層２上に反
応性スパッタリングにより形成された記録層３とからな
っている。

この基板１は、経時変化が比較的少ないポリカーボネー
ト樹脂、ガラス等の材料からなるものである。また、情
報記録媒体のいずれの側から光ビームを照射しても情報
の記録が行われるように基板１は透明体であることが好
ましい。

下引き層２は、原料ガスをフルオロカーボンとしたプラ
ズマ重合により得られたものである。フルオロカーボン
としてはＣ，層８等が好ましい。

なお、プラズマ重合は一般に使用されている方法で行う
。この下引き層の厚みは、６００ないし１６００λの範
囲内であることが好ましい。第２図は、下引き層厚と情
報記録媒体の反射率の関係を示したものである。図中１
０は、各々の層の厚みを考慮して、屈折率及び消衰係数
等を使用して反射率を算出した時の特性曲線である。ま
た、図中１２は、従来の下引き層を有しない情報記録媒
体の反射率を前述と同様にして算出した特性曲線である
。下引き層の厚みを６００ないし１６００Åとしたのは
、第２図に示すように下引き層の厚みがこの範匣内にあ
る場合、情報記録媒体に照射された光が多重干渉効果を
示して、情報記録媒体の反射率を増加させるからである
。反射率の増加により、情報を読取る際に、ノイズに影
響されない再生光を効率良く発することができる。

下引き層２上に設けである記録層３を構成する金属とし
ては、比較的低温で容易に溶融又は蒸発してピットが形
成させるものを選ぶ。このようなものとして、Ｔ　ｅ　
ｓ　Ｓ　ｅ　％Ｂ　ｉｌＳ　ｂ　ｓ　　Ｉ　ｎ　ｓＡｇ
、Ｓｎ、Ｐｂ、又はこれらの２種以上の合金等が挙げら
れる。ここで、記録層３は、Ａ「ガスと炭化水素ガスの
混合ガスの存在下でＡｇとＴｅの合金を反応性スパッタ
リングにより被着したものである。なお、反応性スパッ
タリングは、通常使用されている方法により行う。Ａｇ
とＴｅの合金の組成比は、Ａｇ、Ｔｅ、。。−１なる式
でＸが２≦ｘ≦５５原子％の範囲のものであることが好
ましい。これは、Ａｇの組成比が２原子％未満であると
、反応性スパッタリングによって得られた記録層が高温
で酸化しやすくなり、５５原子％を超えると合金の融点
が高くなり記録感度が悪くなるためである。第３図は、
本発明の範囲の組成比を有するＡｇとＴｅの合金の示差
熱走査カロリーメーター（Ｄ　Ｓ　Ｃ）による特性曲線
である。第３図に示すように、この合金は、３５０℃近
傍で吸熱のピークがあり、この温度付近から融解を開始
する。また、第４図は、ＡｇとＴｅの状態図である。第
４図から、Ａ　ｇ　、、Ｔ　ｅ　６．の組成近傍に共晶
点を持ち、合金の融点として極小値（約３５０℃）を持
つことが分る。したがって、Ａ　ｇ　ｗ　Ｔ　ｅ　Ｉ　
Ｇｏ−、なる式でＸが２≦ｘ≦５５原子％の範囲（即ち
、４５≦Ｔｅ原子％≦９８、図中ａ−ｂ間）の組成比の
合金が記録感度の良いものとして適している。記録層３
として使用する場合、これらの合金は非晶質であること
が望ましい。

このような情報記録媒体に情報を記録するためには、記
録層３に光ビームを照射する。このとき記録層３の光照
射部分にエネルギーが照射され、その部分が発熱して溶
融又は蒸発する。これにより、光ビーム照射部分にピッ
トが形成され、情報が記録されたことになる。また、記
録した情報の再生は、記録層３に記録時よりも出力が小
さい光ビームを照射し、ピット部とピットが形成されて
いない部分との間の光学的特性の差、例えば、反射率の
差を検出することによってなされる。

試験例次に、この実施例にかかる情報記録媒体を実際に製造し
て特性を押傷した試験例について説明する。

直径１３０−■、厚さ１．２市、トラックピッチ１．６
μｍであるプリグループ付ポリカーボネート基板をプラ
ズマ重合装置の重合容器内に設置した。原料ガスとして
Ｃ４Ｆ、ガスを使用してプラズマ重合によって基板上に
下引き層を厚さ１０００入で設けた。次に、下引き層を
設けた基板を反応性スパッタリング装置の反応容器内に
設置した。ターゲットにＡ　ｇ　３１Ｔｅ６７の組成の
合金を用いて、反応性スパッタリングによって下引き層
を設けた基板に厚さ３００Åで記録層を設けて情報記録
媒体を得た。

得られた情報記録媒体に情報を記録するために情報記録
媒体を１８００ｒｐ−で回転させた。レーザ波長が０．
８３μｍである半導体レーザから発生したレーザ光を開
口数が０．５５であるレンズで集光して、その集光した
レーザ光を情報記録媒体に記録層と反対側から照射して
情報記録を行った。情報記録された記録媒体を情報再生
して、その時の記録再生信号のキャリアー・ノイズ比を
測定した。また、得られた情報記録媒体の反射率をレー
ザ波長が０．８３μｍである半導体レーザを光源とする
透過・反射率測定装置によって測定した。

第５図は、記録再生信号のキャリアー・ノイズ比と記録
エネルギー閾値ビームパワーの関係を示したものである
。図中、特性曲線Ａは本発明にかかる情報記録媒体のも
ので、特性曲線Ｂは従来の情報記録媒体のものである。

一般に、記録再生信号のキャリアー・ノイズ比が４０ｄ
Ｂあればピット形成として充分であることが確認されて
いるので、記録再生信号のキャリアー・ノイズ比が４０
ｄＢに達する時の記録エネルギー閾値ビームパワーを評
価した。第５図から分るように、本発明にかかる情報記
録媒体は、記録再生信号のキャリアー・ノイズ比が４０
ｄＢに達する時の記録エネルギー閾値ビームパワーが従
来のものよりも工ないし１．５ｍＷ程小さく記録感度が
優れていた。また、本発明の情報記録媒体の反射率は、
従来のものより約５％大きかった。

［発明の効果］以上説明した如く、本発明の情報記録媒体は、優れた記
録感度を有し、かつ、ノイズに影響されない情報読取り
のための再生光を発することができ、安定して情報の読
取りができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる情報記録媒体の断面図、第２図
は下引き層厚と情報記録媒体の反射率との関係を示すグ
ラフ図、第３図は本発明にかかる情報記録媒体の記録層
に用いられるＡｇとＴｅの合金のＤＳＣ曲線を示すグラ
フ図、第４図はＡｇとＴｅの合金の状態図、第５図はキ
ャリアー・ノイズ比と記録用光ビームパワーの関係を示
すグラフ図である。・・・基板、２・・・下引き層、３・・・記録層。

Claims

【特許請求の範囲】

基板と、ピットが形成されることにより情報が記録され
る記録層と、基板と記録層との間に設けられ、原料ガス
をフルオロカーボンとするプラズマ重合によって形成さ
れた下引き層とを具備する情報記録媒体であって、前記
記録層はＡｇ、Ｔｅ、Ｃ、及びＨを含有し、Ａｇ及びＴ
ｅの含有量は、これらの比をＡｇ＿ｘＴｅ＿１＿０＿０
＿−＿ｘなる式で表した場合に、原子％で表示されたｘ
が２≦ｘ≦５５の範囲内であり、前記下引き層の厚みが
６００ないし１６００Åであることを特徴とする情報記
録媒体。