JPH0330851A

JPH0330851A - 基板上に液状被覆を静電噴霧し乾燥させる方法および装置

Info

Publication number: JPH0330851A
Application number: JP2148447A
Authority: JP
Inventors: Reinhard Nies; ラインハルト、ニース; Hermann Idstein; ヘルマン、イドシュタイン; Reinhold Becker; ラインホルト、ベッカー; Guenter Hultzsch; ギュンター、フルツシュ
Original assignee: Hoechst AG
Current assignee: Hoechst AG
Priority date: 1989-06-07
Filing date: 1990-06-06
Publication date: 1991-02-08
Also published as: DE3918559A1; EP0401679A3; US5136973A; EP0401679B1; DE59006671D1; EP0401679A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、液状被覆の被着中および乾燥中に水平方向に
搬送される基板上に液体を静電噴霧し乾燥させる方法お
よびこの方法を実施する装置に関するものである。

［従来技術と問題点］一般に、印刷配線板はｒｌｉ燥フィルムの積層によって
、または液状レジストの湿潤被覆によって製造される。

レジストの！ｉｔ！ｌ被覆法は、浸漬、ローラ被着、キ
ャスティング、スクリーン印刷、および特に薄層ラミネ
ート被覆の場合に、静電噴霧プロセスによって実施され
る。

静電噴霧プロセスは基本的に、噴霧装置によって液状レ
ジストを微細滴状に細分する段階と、細滴を高電圧によ
って静電荷電する段階と、つぎにこれらの細滴をアース
された工作物または基板上に被着する段階とを含む、細
滴は基板面上を流れて、湿潤フィルムを形成し、つぎに
このフィルムを乾燥する。

欧州特許第０．１９５，０４１号に記載の印刷配線板レ
ジスト被覆静電噴霧プロセスにおいて、基板は高電圧発
生器の中に生じた静電場の中を噴霧装置に対して実質的
に垂直に移動される。前記の静電場の中を通過するベル
ト型コンベアによって支持された基板に対して、液状レ
ジストが噴霧される。静電装置の一方の電極がアースさ
れているが、液状レジスト噴霧装置が発生器の高電圧電
極に接続されている。基板のコンベア・ベルトは紙ウェ
ブである。噴霧装置は、エアタービンと、液状レジスト
被着用特殊設計のスプレーベルと、液状レジスト供給手
段とから成る。前記スプレーベルは例えば４０ｋＶ〜９
０ｋＶの範囲内の負直接電圧を荷電される。

印刷配線板の被覆のためにコンバクなトレステムまたは
組立体が使用され、基板が液状レジストの静電噴霧中に
搬送されるチャンバはプラスチック材料を塗装されてい
る。噴霧プロセス中にその壁体が荷電され、負荷電され
た細滴が反発される。

印刷配線板の中間または近傍に堆積したフォトレジスト
細滴が搬送ベルトとしての紙ウェブによってチャンバか
ら除去される。レジストで被覆された紙ウェブは乾燥さ
れて廃棄物として廃棄される。

このようにしてチャンバを通る搬送手段は浄化される必
要がなく、湿潤廃棄物が存在しない。液状レジストは供
給タンクからｖＲ整自在の計量ポンプによってスプレー
ベルの内側面に供給される。レジスト被覆の幅は、スプ
レーベル用の自動垂直調節手段によって、または適当な
補助電極によって、２５０ｍｍ〜６５０ｍｍの所望の範
囲内に自動的に調整する事ができ、従って使用される基
板の幅に適合させる事ができる。噴霧チャンバに続いて
長さ１ｍ〜２ｍの蒸発チャンバが配置され、この蒸発チ
ャンバの下流に乾燥区域が配置され、この乾燥区域は数
個のｖＲ整整量間区分される。必要ならば、冷却区域も
配置される。

この公知の方法および装置を使用する場合、基板の両面
を液状レジストで被覆する場合に処理時間が比較的長く
なる。すでに被覆された基板が二度目に乾燥区域の中を
搬送される際に基板の被覆面が変形されまたは凹凸を生
じる事が欠点である。

すなわち両面レジスト被覆を得るためをとは、片面をレ
ジスト被覆された基板を被覆装置から除去し、この基板
を上下逆転し、再び被覆装置の送入側に挿入する必要が
ある。基板が装置内部を二度目に通過させられる時に、
すでに乾燥された下側面のレジスト層が乾燥チャンバ中
の加熱作用によフて再び軟化する傾向がある。その結果
、前記の変形が生じる。従って、回路板または印刷配線
板の連続両面被覆はこの装置によっては実施できない。

［発明の目的および効果］従って本発明の目的は、連続作動装置中において、すで
に乾燥された被覆が後続の被覆プロセスにおいて損傷さ
れないように、種々のサイズの基板を液体、特に液状レ
ジストによって両面被覆する方法および装置を提供する
にある。

本発明によれば、搬送方向Ａに搬送される基板の一方の
面に液体を噴霧し乾燥させる段階と、最初の搬送方向Ａ
をこれと逆方向の搬送方向Ｂに方向変換させ、この搬送
方向Ｂにおいて基板の他方の面が上方となるように１８
０°垂直回転させる段階と、前記搬送方向Ｂを最初の搬
送方向Ａに平行な搬送方向Ｃに変換する段階と、前記基
板の半体側面に液体を噴霧し乾燥させる段階と、このよ
うにして両側面に被覆を備え乾燥された基板を貯蔵する
段階とを含み、基板の搬送方向変換と回転は連続作動サ
イクルで実施される事によって前記の目的は達成される
。

本発明の他の実施態様において、基板が装置の３本の搬
送ラインを通して搬送され、この際に基板が第１搬送ラ
インから第２搬送ラインに転送される時に、また第２搬
送ラインから第３搬送ラインに転送される時に、第１お
よび第２搬送ステーシヨンを通過する際に基板の搬送方
向が変換される。基板が第３搬送ラインにおいて、乾燥
チャンバ中でエアクッション上に自由に浮動して一端に
おいて押されながら搬送される。第３搬送ラインの第２
乾燥チヤンバの中において、基板の搬送方向Ｃの先端が
水平に対して１°乃至２＠上方に傾斜する。

本発明の方法の変更例において、装置の２本の搬送ライ
ンは同一レベルに配置され、第３Ｗｉ送ラインが前記レ
ベルの上方に配置されるが、他の変更例においては、基
板が装置の３本の搬送ラインを通して搬送され、第１お
よび第３搬送ラインが同一面において並列され、第２搬
送ラインが第１搬送ラインの下方に配置され、また基板
は第１搬送ラインから第２搬送ラインに移動する際にま
た第２搬送ラインから第３搬送ラインに移動する際にそ
れぞれサーペンタイン型コンベアとして設計された搬送
ステーション上を搬送される。後者の変更例においては
、第１搬送ラインと第２搬送ラインを接続するサーペン
タイン型コンベアノ中ヲ基板が搬送される際にこの基板
上の被覆が乾燥される。

高圧発電機の導線に接続された少なくとも１つの噴霧ス
テーションと、装置の各ステーションおよびチャンバの
中を基板を搬送するためのコンベア・ベルトとを含む基
板上に液状被覆を静電噴霧し前記基板上において被着さ
れた液状被覆を乾燥する装置において、本発明によれば
、前記装置は相互に搬送ステーションによって連結され
た第１乃至第３搬送ラインから成り、前記第１搬送ライ
ンと第３搬送ラインの中に浄化ステーションと、液状被
覆を被着するための噴霧装置を含む噴霧ステーションと
、初期乾燥区域と、乾燥チャンバとが順次に配置され、
また回転ステーションが第２搬送ラインに配置されて、
そこで基板が垂直に１８０°回転されて、基板の下側面
が上側に回転される。

本発明の装置の他の実施態様は請求項８乃至１８に記載
されている。

本発明による利点は、基板の第１側面が液状被覆、特に
液状レジスト被覆によって被覆され、乾燥され、その後
に基板が装置の送入端部に転送されて特殊搬送手段によ
って上下逆転され、最後に基板が第１搬送ラインの側方
に隣接した搬送ラインにおいて再び噴霧ステーションと
エアクッション上の乾燥チャンバとを通されるので、基
板の先に被覆された下側面が次の乾燥チャンバ中を通過
する際に被覆面の破損または変形を確実に防止できる事
にある０本発明の方法の連続操作の故に、基板の片面に
被覆した後に手作業で基板を逆転し、被覆されていない
面を被覆するために基板を再び被覆装置の中に挿入させ
る従来法と比較して、大幅な時間の節約が得られる。

以下、本発明を図面に示す実施例について詳細に説明す
る。

［実施例コ第１図の平面図は、装置１が相互に平行に配置された第
１、第２および第３搬送ライン１ａ、１ｂ、１ｃから成
る事を示す。第１および第２搬送ラインは共通面に配置
され、半円形のベルト型コンベア３ａから成る搬送ステ
ーション３によって相互に接続されている。同様に第２
および第３搬送ラインは半円形ベルト型コンベア３ｂか
ら成る搬送ステーションによって相互に接続されている
。ベルト型コンベア３ａはベルト型コンベア３ｂより大
きい直径を有する。第３搬送ライン１ｃは他の２搬送ラ
インよりも幾分上方に延在しているので、第１ベルト型
コンベア３ａ上に配置された基板２０は、第３搬送ライ
ン１ｃの中に配置された動的空気圧ボックス１３（下記
において単に空気圧ボックスと呼ぶ）の下方を搬送され
る。

両側を被覆される印刷配線板用基板２０は、送入−浄化
スチージョン４２の中を搬送方向Ａに移動する紙ウェブ
３０（第２図）上に、任意所望の順序で、相互に例えば
１５ｍｍの最小間隔を保持・して手作業でまたは自動的
に配置される０紙ウェブ３０は同時に基板の搬送ベルト
を成す、基板２０は紙ウェブ３０から、まず耐熱コンベ
ア・ベルト２に搬送され、つぎにベルト型コンベア３ａ
上に転送される。つぎに基板２０はベルト型コンベア３
ａによって穿孔コンベア・ベルト４上に転送され、この
コンベア・ベルト４は吸引ローラ５上に掛け回されてい
る（第３図）、吸引ローラ５に対してプローブ６ａが近
接配置され、また第２プローブ６ｂが紙ウェブ３０とコ
ンベア・ベルト２との遷移点に配置されている。吸引ロ
ーラ５は基板２０を傾斜コンベア・ベルト７に転送し、
基板は搬送方向Ａに平行に逆方向Ｂにベルト型コンベア
３ｂに向かって搬送され、他の紙ウェブ３９（第４図）
上に転送され、このウェブ３９も無限搬送ベルトとして
の機能を有しく第４図）、搬送方向Ａに平行な同一方向
Ｃに延在する。基板はこの紙ウェブ３９によって乾燥チ
ャンバ５０に転送され、そこでエアクッション８に乗っ
て貯蔵トレー１９に搬送される。この乾燥チャンバは電
磁ベルト１１を備え、これについては詳細に後述する。

第２図に図示のように、第１搬送ライン１ａは送入／浄
化ライン４２と、噴霧装置１２ａ、例えば噴霧ベルまた
は噴霧ヘンドを有する噴霧ステーション１２と、第１初
期乾燥区域４３と、第１乾燥チヤンバ４４と、基板２０
を水平面において１８０°回転させる前記のベルト型コ
ンベア３ａを有する搬送ステーション３とから成る０紙
ウェブ３０が供給ロール２１から繰り出されて、方向変
換ローラ１７ａ、１７ｂの回りを水平に第１浄化ステー
シヨン４２、第１噴霧ステ・−ジョン１２および第１初
期乾燥ステーション４３を案内される。ウェブ３０は第
２案内ローラ１７ａの回りを案内された後に一対の案内
ローラ２３，２４のニップを通り、最後に巻取りロール
２２上に巻取られる。基板２０はウェブ３０の上におい
て噴霧装置１２ａの下方を搬送され、このウェブ３０は
噴霧された液体によって汚染されるので再使用できない
０紙ウェブがロール２１から完全に繰り出されてロール
２２上に巻取られた時に、新しい紙ウエブロールが挿入
される。液を噴霧された基板面は第１初期乾燥区域４３
において初期乾燥され、つぎに耐熱コンベア・ベルト２
上に転送されて乾燥チャンバ４４の中で完全に乾燥され
る。

送入／浄化ステーション４２は例えばブラシおよび／ま
たは圧搾空気吹き付はノズルを備え、これに対してイオ
ン化空気が供給されて、静電作用により基板に付着した
ダスト粒子を除去する。

ベルト型コンベア３ａによって基板が水平面において最
初に回転された後に、基板は第３図に図示の第２搬送ラ
イン１ｂに転送される。この第２搬送ラインは、第１冷
却区域４５と、垂直回転ステーション４６と、搬送区域
４７と、基板２０をもう一度水平面において回転させる
ための搬送ステーション３とを含む。第１冷却区域４５
と、垂直回転ステーション４６と、搬送区域４７は共通
トンネル４１の中に収容されて、このトンネルに対して
清浄な冷却空気が供給される。冷却区域４５は穿孔無限
回転コンベア・ベルト４を備え、このコンベア・ベルト
は垂直回転ローラ４６の一部を成す吸引ローラ５回りに
案内される。吸引ローラ５は円筒形または多角形を成し
、この多角形の各部分面が所定のセグメント長を有する
。また吸引ローラ５は穿孔面を有し、その内部が減圧で
あるので、穿孔コンベア・ベルト４と吸引ローラ５との
接触面に存在する真空の故に、各基板２０が吸引されて
、コンベア・ベルト４上においてローラ５の外周囲りに
案内される。

基板は吸引ローラ５によって垂直に回転されて、第３図
に図示のように垂直位置を取る。垂直に配置された基板
２０の先端がプローブ６ａによって検出され、このプロ
ーブ６ａが圧搾空気のジェットをトリガする。この空気
ジェットは吸引ローラ５を通してまたはこのローラ５の
上方に少し離間して配置された空気ノズル４０を通して
吹き付けられる。

ローラ５によって案内された基板がこのジェットによっ
て傾斜させられまたは転倒させられて、その結果、基板
２０はコンベア・ベルト７の搬送区域４７の上に、それ
まで下向きであった面を上向きにし、またすでに被覆こ
れ乾燥さ九た面を下向きにして、すなわちコンベア・ベ
ルト７に向けて配置される。コンベア・ベルト７は垂１
［回転区域４６から第２ベルト型コンベア３ｂまで少し
傾斜して無限循環する。

第４図に図示の第３搬送ラインＩＣにおいて、基板のま
だ被覆されていない面を被覆する第２噴霧段階が生じる
。第３ｖＩｉ送ライン１ｃは第２浄化ステーシヨン４８
、第２噴霧ステーション１２．第２初期乾燥区域４９、
第２乾燥チヤンバ５０、第２冷却区域５１および両側被
覆された基板の貯蔵トレー１９とを含む。基板２０は第
３搬送ライン１ｃに沿って、浄化区域４８、噴霧ステー
ション１２および初期乾燥区域４９を通る搬送ベルトと
しての紙ウェブ３９に乗って搬送される。紙ウェブ３９
は供給ロール２５から繰り出され方向変換ローラ１７ａ
に沿って案内される１紙ウェブは水平に前記の各区域を
通過し、他の方向変換ローラ１７ｂによって方向変換さ
れて、一対の搬送ローラ２７，２８の間を通される。

搬送ライン１ａとｌｅの２個の紙ウェブ３０，３９の代
わりに、１本の十分に幅広い紙ウェブを使用する事がで
きる。第２浄化区域４８と第１浄化区域４２は同−設計
である。搬送ライン１ａと１０において基板２０の画面
に対する浄化ステーションと噴霧ステーションを共通ケ
ーシングの中に配置する事ができる。

同様に、これらの搬送ラインの乾燥チャンバ４４，４５
に共通ケーシングを備える事ができる。

すでに被覆された基板２０の下側面が第２乾燥チヤンバ
５０の中で損傷されないようにするため、基板２０を空
気圧ボンクス１３の中に作ら九たエアクッション１３上
を搬送する事ができる（第５図および第６図）。この空
気圧ボックス１３の上方に無限回転電磁ベルト１１が配
置されている。

第５図と第６図は乾燥チャンバ５０の拡大詳細図である
。空気圧ボックス１３は本質的に水平の上側面１８ａと
傾斜上側面１８ｂとを有し、これらの面はいずれもスロ
ットノズル１４を備えている。ＴＭ気ベルト１１は方向
変換ローラ１５ａと１５ｂ回りを回転する無限ベルトで
あって、空気圧ボックス１３の上方一定距離に配置され
ている。磁気ベルト１１の上方ランにローラ１５ａに隣
接して磁気プッシャ９が固着している。これらの磁気プ
ッシャは垂直移動キャッチ１０によって解除されて１紙
ウェブ３９からエアクッション８に送られる基板２０の
サイクルと同期的に磁気ベルト１１上に乗ってローラ１
５ａ回りを回転する。

磁気ベルト１１は市販のいわゆる磁気ゴムのベルトであ
って、これは例えばフェライトを合成ゴムの中に混入し
て形成される。プッシャ９の形状は逆Ｔ形であって、そ
の中心棒が垂直線に対してわずかに傾斜する。基板２０
を乾燥チャンバ５０の中を搬送する際に、各プッシャ９
が磁気ベルト１１の下方ランに固着している。エアクッ
ション８上の基板２０の前進運動は、磁気ベルト１１と
共に回転し基板２０の後端に接触したプッシャ９によっ
て実施される。空気圧ボックス１３の本質的に水平な上
側面１８ａは水平面に対して搬送方向に１＠〜２°の上
向き傾斜を有するので、基板２０の後端は搬送中、常に
プッシャ９と接触している。また支持空気層は乾燥チャ
ンバ５０内部での溶媒濃度の安全基準の遵守に役立つ、
すなわち、エアクッションを保持するに必要な空気量か
ら、溶媒／空気混合物の爆発下限に達していない事が確
認される。

乾燥チャンバ５０の後部は第２冷却区域５１によって構
成され、この冷却区域は、基板２０の貯蔵トレー２０に
向かって下降するボックス１３の傾斜上側面１８ｂを有
する。

ローラ１５ａに隣接配置されたプローブ６ｂは紙ウェブ
３９に乗って搬送される基板２０の先端を検出しキャッ
チャ１０をトリガするので、１つのプッシャ９が解除さ
れて磁気ベルト１１と共に回転し、その間にエアクッシ
ョンまで転送されていた基板２０の後端に直接係合して
、矢印方向への基板２０の前進運動が実施される。

第７図は、それぞれ長さＳの複数のセグメントから成る
多角形面５ａを有する吸引ローラ５の所面図である。こ
のセグメント長Ｓは、この垂直回転ステーションにおい
て吸引ローラ５回りを搬送される基板２０が多角形面に
十分に固着するように実験的に最短基板の長さの半分に
対応する。前記のように吸引ローラ５の外周面を円筒形
とし、この円筒の半径を最大基板の長さと同等またはこ
れ以上とする事ができる。またこの場合、実験的に所要
の減圧がローラの内周面全体について生じるのでなく、
内周面の半分以上の鎌型密封減圧区域５ｂにおいてのみ
生じるようにローラ５の内部が設計される（第３図）。

第８図と第９図は本発明による装置の他の実施態様１６
を示す、この装置１６の動作は装置１の動作とだいたい
対応する。この装置１６は３搬送ライン１８ａ、１６ｂ
、１６ｃを含み、搬送ステーション２９が第１搬送ライ
ンと第２搬送ライン、および第２搬送ラインと第３搬送
ラインとを相互に接続している。搬送ステーション２９
はサーペンタイン型コンベア２９ａ、　２９ｂである。

第１および第３搬送ライン１６ａ、１８Ｃは同一面に相
互に平行に並列されているが、第２搬送ライン１６ｂは
この面の下方に、Ｎ１および第３搬送ラインに対して斜
方向に配置されている。第８図と笈９図に図示のように
、第１図と第４図に図示の実施態様と同様の成分は同一
の数字を有し。

標記されていない。

ｖ１１搬送ライン１６ａは送入／浄化ステーション４２
と、噴霧装置１２ａを備えた噴霧ステーション１２と、
初期乾燥区域４３とを含む。紙ウェブ５３が供給ロール
３５から繰り出され、２つの方向変換ローラ４３回りに
浄化ステーション４２、噴霧ステーション１２および初
期乾燥区域４３を通して水平に案内される。

その後に、紙ウェブ５３は２つの搬送ローラ３７　、３
８の間のニップを通され、巻取りロール３６上に巻取ら
れる。紙ウェブ５３は送入／浄化ステーション４２の中
に送入された基板２０をサーペンタイン型コンベア２９
ａに転送し、上側面を被覆され初期乾燥された基板２０
がこのサーペンタイン型コンベアによって第２搬送ライ
ン１６ｂ上に搬送される。これにより基板２０の搬送方
向が約１８０°逆転されて、搬送方向Ｂに入る。第２搬
送ライン１６ｂは穿孔傾斜コンベア・ベルト３２を有し
、このコンベア・ベルトは無限に吸引ローラ３３回りを
回転する。この吸引ローラ３３は、策１図の回転ステー
ション４６と同−設計／同一動作の垂直回転ステーショ
ン５２の一部を成す。

空気ノズル４０または吸引ローラ３３を通る圧搾区域ジ
ェットによって１８０＠回転すなわち上下逆転された基
板２０は無限回転コンベア・ベルト３４によって第２サ
ーペンタイン型コンベア２９ｂに搬送される。

このサーペンタイン型コンベア２９ｂは基板２０を第３
搬送ライン１６ｃのレベルまで上昇させ、同時にこの基
板２０を１８０＠回転させ、搬送方向Ｂから搬送方向Ａ
に平行な搬送方向Ｃに方向変換させる。第３搬送ライン
１６ｃは、第２浄化ステーシヨン４８と、噴霧装置１２
ｂを有する噴霧ステーション１２と、第２初期乾燥区域
４９と、第２乾燥チヤンバ５０と、冷却区域５１と、両
面被覆された基板の貯蔵トレー３１とを含む、この第２
乾燥区域５０と第２冷却区域５１は第１図乃至第４図の
実施態様について詳細に説明したので、ここに繰り返さ
ない。

第１０図は装置１よりコンパクトな設計の装置１６を通
しての基板２０通路を示す概略図である。

【図面の簡単な説明】

第１図は基板の前側面に液体被覆を被着するための本発
明の装置の第１実施態様の平面図、第２図、第３図およ
び第４図は第１図の装置の第１、第２、第３搬送ライン
の縦断面、第５図は第１図の装置の第３搬送ラインの乾
燥チャンバの部分拡大断面図、第６図は第１図の装置の
第３搬送ラインの乾燥チャンバの他の部分と基板貯蔵ト
レーの部分拡大断面図、第７図は本発明による装置の垂
直回転ステーションの吸引ローラの横断面、第８図は本
発明の装置のｊＩ２実施態様の概略平面図、第９図は第
８図の装置の縦断面、また第１０図は第８図による装置
の基板通路を示す概略図である。１；１８　、、、装置、１ａ、１ｂ、１ｃ；ｌｅａ、１
６ｂ、１８ｃ　、、、搬送ライン、２０．ｉＩ！ｒ熱コ
ンヘア・ヘルド、３；２９　、、、搬送ステーション、
５０２．吸引ローラ、６ａ、ｂ、、、プローブ、８０１
．エアクッション、９９１．プッシャ、１０．、、解除
キャッチ、１１．、、磁気ベルト、１２９０．噴霧区域
、１３．、、空気圧ボックス、１４．　、　、ノズル、
１８ａ、ｂ、、、ボックス１３の上側面、１９，３１．
、、基板貯蔵トレー、２０．、、基板、２９ａ、ｂｏ、
、サーペンタイン型コンベア、３０，３９，５３，５４
．、、紙ウェブ、４２，４８．、、浄化区域、４３，４
９．、、初期乾燥区域、４４，５０．、、乾燥チャンバ
、４５，５１．、、冷却区域、４６．５２．、、基板垂直回転ステーション、

Claims

【特許請求の範囲】

１．液状被覆の被着中および乾燥中に水平方向に搬送さ
れる基板上に液体を静電噴霧し乾燥させる方法において
、搬送方向Ａに搬送される基板（２０）の一方の面に液
体を噴霧し乾燥させる段階と、最初の搬送方向Ａをこれ
と逆方向の搬送方向Ｂに方向変換させ、この搬送方向Ｂ
において基板（２０）の他方の面が上方となるように１
８０°垂直回転させる段階と、前記搬送方向Ｂを最初の
搬送方向Ａに平行な搬送方向Ｃに変換する段階と、前記
基板の半体側面に液体を噴霧し乾燥させる段階と、この
ようにして両側面に被覆を備え乾燥された基板を貯蔵す
る段階とを含み、基板の搬送方向変換と回転は連続作動
サイクルで実施される事を特徴とする基板上に液状被覆
を静電噴霧し乾燥させる方法。
２．基板（２０）が装置（１；１６）の３本の搬送ライ
ン（１ａ，１ｂ，１ｃ；１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）を通
して搬送され、この際に第１搬送ラインと第２搬送ライ
ンとの間において、また第２搬送ラインと第３搬送ライ
ンとの間において、第１および第２搬送ステーション（
３；２９）を通過する際に基板（２０）の搬送方向が変
換される事を特徴とする請求項１に記載の方法。
３．基板（２０）が第３搬送ライン（１ｃ；１６ｃ）に
おいて、乾燥チャンバ（５０）中でエアクッシヨン（８
）上に自由に浮動して一端において押されながら搬送さ
れる事を特徴とする請求項２に記載の方法。
４．第３搬送ライン（１ｃ；１６ｃ）の第２乾燥チャン
バ（４４；５０）の中において、基板の搬送方向Ｃの先
端が水平に対して１°乃至２°上方に傾斜する事を特徴
とする請求項３に記載の方法。
５．基板（２０）が装置（１６）の３本の搬送ライン（
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）を通して搬送され、第１およ
び第３搬送ライン（１６ａ，１６ｃ）が同一面において
並列され、第２搬送ライン（１６ｂ）が第１搬送ライン
（１６ａ）の下方に配置され、また基板は第１搬送ライ
ンから第２搬送ラインに移動する際にまた第２搬送ライ
ンから第３搬送ラインに移動する際にサーペンタイン型
コンベア（２９ａ，２９ｂ）として設計された搬送ステ
ーション（２９）上を搬送される事を特徴とする請求項
１に記載の方法。
６．第１搬送ラインと第２搬送ラインを接続するサーペ
ンタイン型コンベア（２９ａ）の中を基板（２０）が搬
送される際にこの基板上の被覆を乾燥する事を特徴とす
る請求項５に記載の方法。
７．高圧発電機の導線に接続された少なくとも１つの噴
霧ステーションと、装置の各ステーションおよびチャン
バの中を基板を搬送するためのコンベア・ベルトとを含
み、基板上に液状被覆を静電噴霧し前記基板上において
被着された液状被覆を乾燥する装置において、前記装置
（１；１６）は、相互に搬送ステーション（３ａ，３ｂ
；２０ａ，２９ｂ）によって連結された第１乃至第３搬
送ライン（１ａ，１ｂ，１ｃ；１６ａ，１６ｂ，１６ｃ
）から成り、前記第１搬送ライン（１ａ；１６ａ）と第
３搬送ライン（１ｃ；１６ｃ）の中に、浄化ステーショ
ン（４２；４８）と、液状被覆を被着するための噴霧装
置（１２ａ，１２ｂ）を含む噴霧ステーション（４２；
４８）と、初期乾燥区域（４３；４９）と、乾燥チャン
バ（４４；５０）とが順次に配置され、また回転ステー
ション（４６；５２）が第２搬送ライン（１ｂ；１６ｂ
）に配置されて、この回転ステーションにおいて基板（
２０）が垂直に１８０゜回転されて、基板の下側面が上
側に回転される事を特徴とする装置。
８．基板（２０）は第１搬送ライン（１ａ）に沿って紙
ウエブ（３０）上を案内され、この紙ウエブは供給ロー
ル（２１）から繰り出され第１方向変換ローラ（１７ａ
）を通つて水平に第１浄化ステーシヨン（４２）、第１
噴霧ステーシヨン（１２）および第１初期乾燥ステーシ
ョン（４３）を通り、第２方向変換ローラ（１７ｂ）を
通って一対の搬送ローラ（２３，２４）を通過して巻取
りロール（２２）上に巻取られる事を特徴とする請求項
７に記載の装置。
９．搬送ステーション（３）は、第１搬送ライン（１ａ
）を第２搬送ライン（１ｂ）に連結し第２搬送ライン（
１ｂ）を第３搬送ライン（１ｃ）に連結する半円形ベル
ト型コンベア（３ａ，３ｂ）から成り、第１ベルト型コ
ンベア（３ａ）の直径は第２ベルト型コンベア（３ｂ）
の直径より大であり、２搬送ライン（１ａ，１ｃ）が同
一面において相互に平行に並列される事を特徴とする請
求項７に記載の装置。
１０．第２搬送ライン（１ｂ）は第１冷却区域（４５）
と、垂直回転ステーション（４６）と、搬送区域（４７
）とから成り、これらは共通のトンネル（４１）の中に
配置され、このトンネルに対して純枠冷却空気が供給さ
れ、冷却区域（４５）は穿孔無限回転コンベア・ベルト
（４）を有し、このコンベア・ベルト（４）は吸引ロー
ラ（５）回りに案内され、この吸引ローラ（５）は回転
ステーシヨン（４６）の一部を成し、この回転ステーシ
ョンはさらに吸引ローラ（５）に隣接配置されたプロー
ブ（６ａ）を有し、このプローブは基板（２０）の先端
を検出して圧搾空気ジェットを噴射し、このジェットは
前記吸引ローラ（５）またはその斜め上方に配置された
エアノズル（４０）を通して噴射され、このジェットに
よって吸引ローラの外周面上を搬送される基板（２０）
が転倒されて上下反対となり、また搬送区域（４７）は
、回転ステーシヨン（４６）の下端点から第２ベルト型
コンベア（３ｂ）まで少し上方に傾斜して配置された無
限回転コンベア・ベルト（７）から成る事を特徴とする
請求項７に記載の装置。
１１．吸引ローラ（５）は、最短基板の長さの半分に対
応するセグメント長（５ａ）から成る多角形面（５ａ）
を有する事を特徴とする請求項１０に記載の装置。
１２．円筒形吸引ローラ（５）の半径が最長基板の長さ
より大であり乃至は同等である事を特徴とする請求項１
０に記載の装置。
１３．基板（２０）は第３搬送ライン（１ｃ）に沿つて
紙ウエブ（３９）上を案内され、この紙ウエブは供給ロ
ール（２５）から繰り出され第１方向変換ローラ（１７
ａ）を通つて水平に第２浄化ステーシヨン（４８）、第
２噴霧ステーション（１２）および第２初期乾燥ステー
ション（４９）を通り、第２方向変換ローラ（１７ｂ）
を通つて一対の搬送ローラ（２７，２８）のニップを通
過して巻取りロール（２６）上に巻取られる事を特徴と
する請求項７に記載の装置。
１４．第２乾燥チャンバ（５０）は動的空気圧ボックス
（１３）を含み、このボックス（１３）は水平上側面（
１８ａ）と、傾斜上側面（１８ｂ）と、前記の両方の面
（１８ａ，１８ｂ）の中に配置された空気支持用スロッ
トノズル（１４）と、方向変換ローラ（１５ａ，１５ｂ
）に掛け回され前記空気圧ボックス（１５）の上方一定
距離に配置された無限回転磁気ベルト（１１）とを有し
、また前記方向変換ローラ（１５ａ）に隣接してプッシ
ャ（９）が磁気的に磁気ベルト（１１）の上方ランに固
着し、前記プッシャ（９）が垂直移動キャッチによって
解除されて、前記紙ウエブ（３９）から空気圧ボックス
上を前記エアクッシヨン（８）まで転送される基板（２
０）と同期的に方向変換ローラ（１５ａ）の回りを回転
し基板（２０）の後端に当接する事ができ、これらのプ
ッシャ（９）は基板（２０）を乾燥チヤンバ（５０）の
中を搬送する際に磁気ベルト（１１）の下方ランに固着
している事を特徴とする請求項７または１３のいずれか
に記載の装置。
１５．アキュムレータボックス（１３）の上側面（１８
ａ）は搬送方向に見て水平に対して１°乃至２°上方に
傾斜しているので、基板（２０）の搬送中に基板（２０
）の後端が常にプッシャ（９）に当接している事を特徴
とする請求項１４に記載の装置。
１６．アキュムレータボックス（１３）の上側面（１８
ｂ）は基板（２０）の貯蔵トレー（１９）の方向に下方
に傾斜している事を特徴とする請求項１４に記載の装置
。
１７．搬送ステーシヨン（２９）は第１搬送ライン（１
６ａ）を第２搬送ライン（１６ｂ）に連結しまた第２搬
送ライン（１６ｂ）を第３搬送ライン（１６ｃ）に連結
するサーペンタイン型コンベア（２９ａ，２９ｂ）であ
って、ここに第１および第３搬送ライン（１６ａ，１６
ｃ）が同一面において並列され、第２搬送ライン（１６
ｂ）がこの面の下方に、第１搬送ライン（１６ａ）と第
２搬送ライン（１６ｂ）に対して傾斜して配置される事
を特徴とする請求項７に記載の装置。
１８．液状被覆を噴射され初期乾燥された基板（２０）
は各サーペンタイン型コンベア（２９ａ，２９ｂ）によ
ってそれぞれの初期方向から約１８０°回転される事を
特徴とする請求項１７に記載の装置。