JPH0330113A - バイモルフ可動型磁気ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、家庭用ＶＴＲのような磁気記録再生装置に
使用して好適なバイモルフ可動型磁気ヘッド装置に関す
る。

（従来の技術） 一般に磁気記録再生装置、例えば民生用ＶＴＲは、高機
能・高記録密度化が進んでいるか、ピクチャーサーチ（
高速再生）、静止画、スロー再生等の特殊再生の要望が
強い。中でも、ピクチャーサーチの実用価値は高いが、
従来の固定ヘットでは隣接トラックを横切る際に発生す
るノイズバーが画質を悪くしていた。

そこで、放送用ＶＴＲ等では、導電性金属ｒ″４ＶＭを
間に挾んで圧電体板を２枚貼り合わせたバイモルフ素子
にチップ状の磁気ヘッドを固着し、バイモルフ素子に適
当な駆動電圧を印加して、磁気ヘッドをヘッドトレース
方向と略直角方向に動かすことが出来るようにした、い
わゆるバイモルフ可動型磁気ヘッド装置が実用化されて
いる。

この種のバイモルフ可動型磁気ヘッド装置は、従来、第
６図（ａ）、（ｂ）に示すように構成され、２枚のＰＺ
Ｔ　（．チタン酸、ジルコン酸、酸化鉛系）圧電体から
なる圧電体板１、２の間に導電性金属薄板３が挾持され
、接着材により貼り合わせられて固定されてなるバイモ
ルフ素子４と、このバイモルフ索子４の端部に固着され
たチップ状の磁気ヘッド５とからなっている。

（発明が解決しようとする課題） 上記のような従来のハイモルフ可動型磁気ヘッド装置に
おいては、ＶＴＲの回転シリンダーに組込む時の精度を
出すため、貼り合わせる前の圧電体仮の状態で両面ラッ
ピング等の手段により平面度の精度を出し、その後、圧
電体板の両面にスバッタ等の手段により金属電極を形成
し、貼り合わせる工程を採用していた。

即ち、従来の製造工程を示すと第７図のようになり、工
程１では圧電セラミックス６は焼成して製造するため、
そのままでは外径寸法、平面度が悪い。特に平面度は最
終組立て精度に影響するため、工程２で両面ラップ等の
手段で平面度を出していたが、もともと脆性材料である
ため、１００〜２００μｍの厚さに仕上げると割れ欠け
が生じ、低歩留まり、高コストの主因となっていた。

そして、工程３では圧電体板１、２の両面にスバッタ等
の手段で電極材料７を形成し、このようにして出来た２
枚の圧電体仮１、２を王程４で中間電極となる導電性金
属薄板３を中間にして（この金属薄板がない場合もある
）、有機接着材で貼合わせる。　上記のような製造工程
を経ているためコストが高く、民生用にはなかなか使用
できない。そこで、圧電セラミックス６を焼成したまま
の精度で使用することが考えられたが、第８図に示すよ
うに磁気ヘッド５を固着した付近のＡ−Ａ′方向（第６
図（ａ）参照）の平面度を表面粗さ計で測定してみると
、５〜１０μｍのうねりが見られるものがあることが判
った。

このうねりの上に磁気ヘッド５を固着すると、第９図に
示すように磁気ヘッド５が傾いて固着されることになり
、記録再生した場合にアジマス損失が出易い傾向にある
。

この発明は、磁気ヘッドの傾きをなくしてアジマス損失
を未然に防止したバイモルフ可動型磁気ヘッド装置を提
供することを目的とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） この発明は、２枚の圧電体板の間に導電性金属薄板が扶
持固定されてなるバイモルフ素子と、このバイモルフ素
子に固着された磁気ヘッドとを具備し、上記バイモルフ
素子に電圧を印加して上記磁気ヘンドをヘッドトレース
方向と略直角方向に可動するバイモルフ可動型磁気ヘッ
ド装置において、上記圧電体板に段差が形成され、この
段差に上記磁気ヘッドが固着されたバイモルフ可動型磁
気ヘッド装置である。

（作用） この発明によれば、磁気ヘッドの傾きがなくなって、未
然にアジマス損失が防止される。又、段差の大きさを制
御することにより、磁気ヘッドのトラックのエッジの高
さも制御することが出来る。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明の実施例を詳細に説明
する。

この発明に係るバイモルフ可動型磁気ヘッド装置の一実
施例は、第１図（ａ）、（ｂ）に示すように構成され、
従来例（第６図）と対応する箇所は同一符号を付して説
明する。第１図において、バイモルフ素子４にはチップ
状の磁気ヘッド５が固着されている。

この場合、バイモルフ素子４は２枚の圧電体板１、２の
間に導電性金属薄板３が扶持固定されてなっているが、
この実施例では圧電体板１の端部に研削等の手段により
段差８が形成されている。

この段差８は、平面度が２〜３μｍ以下に設定されてい
る。このような段差８に、磁気ヘッド５が固着されてい
る。

さて、上記のような実施例によるバイモルフ可動型磁気
ヘッド装置の製造工程を示すと第２図のようになり、工
程１では圧電セラミックス６を焼成して製造する。そし
て、従来のような両面ラップ等の手段で平面度を出す工
程を省略し、工程２では圧電セラミックス６の両面にス
パッタ等の手段で電極材籾７を形戊し、このようにして
出来た２枚の圧電セラミックス６を工程３で中間電極と
なる導電性金属薄板３を中間にして（この金属波板がな
い場合もある）、有機接着材で貼合わせる。

そして、工程４で磁気ヘッド５を固着する部分たけ研削
等の手段を用いて、段差８を平面度良く形成する。

尚、この段差８の大きさは、磁気ヘッド５の組立て精度
に応じて変えることが出来るし、且つバイモルフ素子４
として接着材で鮎り合わせてあるため、研削加工ｌｌ与
の負荷にも耐え易くなっており、歩留まりも良好である
。

このようにして製造されたこの実施例のバイモルフ可動
型磁気ヘッド装置では、正面から見ると、第３図に示す
ようになる。この第３図から明らかなように、磁気ヘッ
ド５の傾きがなくなるため、いわゆるアジマス損失が少
なくなる。

又、段差８の大きさ（図のＺ方向）を制御することによ
り、磁気ヘッド５のトラックエッジの高さも制御するこ
とが可能である。

第４図及び第５図は、この発明の他の実施例を示したも
ので、上記実施例と同様効果が得られる。

即ち、この大施例は１つのバイモルフ素子４に２つの磁
気ヘッド５ａ，５ｂを固着したいわゆるダブルアジマス
磁気ヘッド装置であり、２つの磁気ヘッド５ａ，５ｂの
トラック、エッジのＺ方向の段差△Ｈは、或る値を中心
に±１μｍ以下の精度に抑える必要がある。

このような場合、圧電セラミックス６そのものの精度で
は、とても上記のような精度は出せないが、この実施例
のように段差８を形威することにより、上記精度を得る
ことが出来る。

以上のように、この実施例によれば、バイモルフ素子を
２つの磁気ヘッドのＺ方向の相対位置関係の精度が要求
されるダブルアジマス磁気ヘッド装置にも適用すること
が出来る。

［発明の効果］ この発明によれば、磁気ヘッドが固着されたバイモルフ
素子の圧電体板に段差が形成され、この段差に磁気ヘッ
ドが固着されているので、アジマス損失がない。

又、段差の大きさを制御することにより、磁気ヘッドの
トラックのエッジの高さも制御することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）はこの発明の一実施例に係るバイ
モルフ可動型磁気ヘッド装置を示す平面図と側面図、第
２図（１）〜（４）はこの発明のバイモルフ可動型磁気
ヘッド装置の製造方法を示す工程説明図、第３図は第１
図（ａ）のＣ方向から見た正面図、第４図はこの発明の
他の実施例を示す平面図、第５図は第４図のＤ方向から
見た正面図、第６図（ａ）　、（ｂ）は従来のバイモル
フ可動型磁気ヘッド装置を示す平面図と側面図、第７図
（１）〜（４）は従来のバイモルフ可動型磁気ヘッド装
置の製造方法を示す工程説明図、第８図は従来のバイモ
ルフ可動型磁気ヘッド装置におけるバイモルフ素子の先
端部分の平面度の側定結果を示す特性曲線図、第９図は
第６図（ａ）のＢ方向から見た正面図である。 １、２・・・圧電体仮、３・・・金属薄板、４・・・バ
イモルフ素子、５・・・磁気ヘッド、８・・・段差。 １圧電体板 第１図 第 ２ 図 第 ４ 図 第 ５ 図 第 ３ 図 第６ 図 第 ア 図 Ａ 第８ 図 第９ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ２枚の圧電体板の間に導電性金属薄板が挾持固定されて
   なるバイモルフ素子と、このバイモルフ素子に固着され
   た磁気ヘッドとを具備し、上記バイモルフ素子に電圧を
   印加して上記磁気ヘッドをヘッドトレース方向と略直角
   方向に可動するバイモルフ可動型磁気ヘッド装置におい
   て、 上記圧電体板に段差が形成され、この段差に上記磁気ヘ
   ッドが固着されたことを特徴とするバイモルフ可動型磁
   気ヘッド装置。