JPH03290382A - 高耐熱性グレーズド基板 - Google Patents
高耐熱性グレーズド基板Info
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- JPH03290382A JPH03290382A JP9209990A JP9209990A JPH03290382A JP H03290382 A JPH03290382 A JP H03290382A JP 9209990 A JP9209990 A JP 9209990A JP 9209990 A JP9209990 A JP 9209990A JP H03290382 A JPH03290382 A JP H03290382A
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- alumina
- glaze
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Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、表面平滑性、耐熱性を要求される電子材料用
に用いられるグレーズド基板、特にファクシミリのサー
マルヘッドやプリンタヘッド用基板として用いられるグ
レーズド基板に関するものである。
に用いられるグレーズド基板、特にファクシミリのサー
マルヘッドやプリンタヘッド用基板として用いられるグ
レーズド基板に関するものである。
グレーズド基板は、絶縁基板上に薄く均一に溶融したガ
ラスを塗布してグレーズ層を形成したものであり、ファ
クシミリのサーマルヘッドやプリンタヘッド用等に汎用
されているグレーズド基板の絶縁基板としては、主とし
てアルミナ含有率が90〜97%のセラ短ックスからな
るアルミナ基板が多く用いられているが、その実用温度
は800℃未満である。
ラスを塗布してグレーズ層を形成したものであり、ファ
クシミリのサーマルヘッドやプリンタヘッド用等に汎用
されているグレーズド基板の絶縁基板としては、主とし
てアルミナ含有率が90〜97%のセラ短ックスからな
るアルミナ基板が多く用いられているが、その実用温度
は800℃未満である。
しかし、最近、印字速度が益々高速度化されるにつれ、
温度の急激な上昇、降下という極めて厳しい条件にさら
されるようになって従来よりも更に高度な耐熱性が要求
されるようになり、かつまた、小型化、高精度化の要求
も厳しくなってきている。これらの要求に応えるべくグ
レーズ層の耐熱性向上、グレーズ層の薄層化及び段付き
・端面型グレーズド基板等基板の形状の改良が行われて
いる。
温度の急激な上昇、降下という極めて厳しい条件にさら
されるようになって従来よりも更に高度な耐熱性が要求
されるようになり、かつまた、小型化、高精度化の要求
も厳しくなってきている。これらの要求に応えるべくグ
レーズ層の耐熱性向上、グレーズ層の薄層化及び段付き
・端面型グレーズド基板等基板の形状の改良が行われて
いる。
グレーズ層の耐熱性向上のために高軟化点のガラスを用
いると、グレーズド基板の焼成温度を高くする必要があ
り、またグレーズ厚みの薄いグレーズ層表面はセラミッ
ク基板の影響を受は易いので、焼成温度上昇とグレーズ
層の薄層化によって平滑性の低下を来たし、また、焼成
によりグレーズ層が端部より引けていく、いわゆる“ひ
け”が大きくなり、更には基板の反りが大きくなるとい
う問題を生ずる。これらのことは高精度化の要求に沿え
なくなる現象である。また、段付きグレーズド基板とし
た場合は段付き部でグレーズ層がはげるという問題も生
じている。
いると、グレーズド基板の焼成温度を高くする必要があ
り、またグレーズ厚みの薄いグレーズ層表面はセラミッ
ク基板の影響を受は易いので、焼成温度上昇とグレーズ
層の薄層化によって平滑性の低下を来たし、また、焼成
によりグレーズ層が端部より引けていく、いわゆる“ひ
け”が大きくなり、更には基板の反りが大きくなるとい
う問題を生ずる。これらのことは高精度化の要求に沿え
なくなる現象である。また、段付きグレーズド基板とし
た場合は段付き部でグレーズ層がはげるという問題も生
じている。
本発明は、上記の如き課題を解決す、るために鋭意研究
を重ねた結果850℃以上の耐熱性を有するグレーズド
基板を提供することを目的とし、その概要は、アルミナ
基板として平均粒径2/I′In以下で含有率が98%
以上のアルミナ粉末からなるセラミック基板を用い、グ
レーズ層を形成するガラスとしては、屈伏点が700℃
以上、軟化点が900℃以上で、かつ、熱膨張係数が5
0xlO−’〜75xlO−’/℃の範囲にあるガラス
を、10〜50IITnの厚さに被覆してなる高耐熱性
グレーズド基板を提供するものである。
を重ねた結果850℃以上の耐熱性を有するグレーズド
基板を提供することを目的とし、その概要は、アルミナ
基板として平均粒径2/I′In以下で含有率が98%
以上のアルミナ粉末からなるセラミック基板を用い、グ
レーズ層を形成するガラスとしては、屈伏点が700℃
以上、軟化点が900℃以上で、かつ、熱膨張係数が5
0xlO−’〜75xlO−’/℃の範囲にあるガラス
を、10〜50IITnの厚さに被覆してなる高耐熱性
グレーズド基板を提供するものである。
本発明においてアルミナ基板を構成するアルミナ粉末と
して平均粒径を2n以下の粒径を選定した理由は、2即
より大きいとグレーズ層にうねりの発生を招き、表面平
滑性が悪くなるためであり、アルミナ含有率を98%以
上としたのは、98%未満の場合、その焼成によるグレ
ーズ層の“ひけ”基板の反りが共に大きくなり、うねり
によって表面平滑性が悪くなるからである。
して平均粒径を2n以下の粒径を選定した理由は、2即
より大きいとグレーズ層にうねりの発生を招き、表面平
滑性が悪くなるためであり、アルミナ含有率を98%以
上としたのは、98%未満の場合、その焼成によるグレ
ーズ層の“ひけ”基板の反りが共に大きくなり、うねり
によって表面平滑性が悪くなるからである。
また、グレーズ層を構成するガラスの屈伏点を700℃
以上、軟化点を900℃以上としたのは、850℃以上
の高温で使用するための基板に適合した高耐熱グレーズ
層とするためである。因みに上記より低い屈伏点と軟化
点のガラスを用いた場合は、基板を高耐熱化した効果を
生しない。
以上、軟化点を900℃以上としたのは、850℃以上
の高温で使用するための基板に適合した高耐熱グレーズ
層とするためである。因みに上記より低い屈伏点と軟化
点のガラスを用いた場合は、基板を高耐熱化した効果を
生しない。
また、更に、グレーズ層を構成するガラスの熱膨張係数
を50X10−’〜85X10−’/℃としたのは、本
発明における上記の如き構成のアルミナ基板との熱膨張
差が小さく反りを発生しないためであり、この範囲を外
れたものではアルξす基板との熱膨張差が大きくなり過
ぎて焼成によりうねりや反りを発生し易く、アルミナ基
板あるいはグレーズ層にクラックを発生し易い。
を50X10−’〜85X10−’/℃としたのは、本
発明における上記の如き構成のアルミナ基板との熱膨張
差が小さく反りを発生しないためであり、この範囲を外
れたものではアルξす基板との熱膨張差が大きくなり過
ぎて焼成によりうねりや反りを発生し易く、アルミナ基
板あるいはグレーズ層にクラックを発生し易い。
また、グレーズ層の厚さを10〜50tnnとしたのは
、グレーズ層の薄層化を図ったものであるが、101r
rn未満では平滑で引けのないグレーズ層を形成するこ
こが困難であるためである。なお、50nより厚くした
場合はアルミナ基板によるグレーズ層表面への影響を受
けに<<、特に薄膜グレーズ層とした基板本来の改良の
効果が不明瞭となる。
、グレーズ層の薄層化を図ったものであるが、101r
rn未満では平滑で引けのないグレーズ層を形成するこ
こが困難であるためである。なお、50nより厚くした
場合はアルミナ基板によるグレーズ層表面への影響を受
けに<<、特に薄膜グレーズ層とした基板本来の改良の
効果が不明瞭となる。
上記の如くアルミナ基板におけるアルミナ含有率を98
%以上となるようにフリットを減らすことによってグレ
ーズ層の濡れ性が向上して“ひけ”が減少する。また、
平均粒径2n以下としてアルミナ基板表面の微細度を保
つことと、グレーズ層の濡れ性向上との相乗効果により
、うねりのない平滑なグレーズ層表面となる。また、ア
ルミナの含有率を高くしてガラス成分が少ないことから
、グレーズ層へのアルミナ基板成分の混入が抑制され、
グレーズ層の均質化や変性防止に効果が生ずる。更に、
前記の如き本発明のアルミナ基板は、従来用いられてい
るアルミナ基板よりも硬く、強度が向上しているので、
反りを生しなくなる。
%以上となるようにフリットを減らすことによってグレ
ーズ層の濡れ性が向上して“ひけ”が減少する。また、
平均粒径2n以下としてアルミナ基板表面の微細度を保
つことと、グレーズ層の濡れ性向上との相乗効果により
、うねりのない平滑なグレーズ層表面となる。また、ア
ルミナの含有率を高くしてガラス成分が少ないことから
、グレーズ層へのアルミナ基板成分の混入が抑制され、
グレーズ層の均質化や変性防止に効果が生ずる。更に、
前記の如き本発明のアルミナ基板は、従来用いられてい
るアルミナ基板よりも硬く、強度が向上しているので、
反りを生しなくなる。
以下本発明の実施例について説明する。
グレーズ層を構成する材料として溶融後に第1表の組成
となるように、5iOz、AI(OH1h 、HzBO
3、MgC0ff、CaC0,,5rCO,、BaC0
,、、Y2O3、ZrO2、Laz03、Na2CO3
、K2CO3及びpb3o、を秤量し、らいかい機で混
合し、白金るつぼ中で1300〜1500℃の適切な温
度で溶融した後、水中に投下してガラス化し、アルミナ
製ボールミルで微粉砕し、本発明によるグレーズ組成物
階1〜Nu5と、比較のための従来例のグレーズ組成物
陰6を製造した。これらのグレーズ組成物の熱特性を測
定した結果は第2表に示すとおりである。
となるように、5iOz、AI(OH1h 、HzBO
3、MgC0ff、CaC0,,5rCO,、BaC0
,、、Y2O3、ZrO2、Laz03、Na2CO3
、K2CO3及びpb3o、を秤量し、らいかい機で混
合し、白金るつぼ中で1300〜1500℃の適切な温
度で溶融した後、水中に投下してガラス化し、アルミナ
製ボールミルで微粉砕し、本発明によるグレーズ組成物
階1〜Nu5と、比較のための従来例のグレーズ組成物
陰6を製造した。これらのグレーズ組成物の熱特性を測
定した結果は第2表に示すとおりである。
第1表
第2表
注1)屈伏点
グレーズ組成物を20×5φ(IIIIll)の形状に
し熱膨張を測定し、膨張曲線が頂点となる温度とした。
し熱膨張を測定し、膨張曲線が頂点となる温度とした。
2)軟化点
示差熱分析を行って第2番目の吸熱ピークに相当する温
度とした。
度とした。
3)熱膨張係数
グレーズ組成物を20×5φ(mm)の形状にし30℃
から400℃までの熱膨張差より求めた。
から400℃までの熱膨張差より求めた。
上記のグレーズ材料を用いて以下のグレーズド基板を作
成し評価をした。
成し評価をした。
(実施例I)
第1図において、平均粒径1.2四で、純度99%のア
ルミナ粒子で形威された厚さ0.635mmのアルミナ
基板1上に、第1表に示す試料磁1のグレーズ組成物を
塗布し、1240℃で焼成して厚さ30Armのグレー
ズ層2を形威したグレーズド基板を得た。
ルミナ粒子で形威された厚さ0.635mmのアルミナ
基板1上に、第1表に示す試料磁1のグレーズ組成物を
塗布し、1240℃で焼成して厚さ30Armのグレー
ズ層2を形威したグレーズド基板を得た。
そして表面状態を面粗度計によって測定したところ第3
図(alに示すように、うねりは少なく表面の平均粗さ
が4.4四であり表面平滑性に優れ、基板の反りも4.
01nn/cmと少なく、端部“ひけ”も平均0.49
mmと小さい良好なグレーズド基板が得られた。また、
上記と同しアルミナ基板上に第1表に示す試料隘2〜N
16を用いてそれぞれ第2表に示す焼成温度で焼成して
グレーズド基板を製造したが、上記と同様に良好なグレ
ーズド基板が得られた。なお、第3図は、垂直方向を1
000倍、水平方向を5倍の倍率で拡大した図面である
。
図(alに示すように、うねりは少なく表面の平均粗さ
が4.4四であり表面平滑性に優れ、基板の反りも4.
01nn/cmと少なく、端部“ひけ”も平均0.49
mmと小さい良好なグレーズド基板が得られた。また、
上記と同しアルミナ基板上に第1表に示す試料隘2〜N
16を用いてそれぞれ第2表に示す焼成温度で焼成して
グレーズド基板を製造したが、上記と同様に良好なグレ
ーズド基板が得られた。なお、第3図は、垂直方向を1
000倍、水平方向を5倍の倍率で拡大した図面である
。
(実施例■)
実施例Iと同様のアルミナ基板(厚さ0.9mm)に研
磨加工して、第2図に示すような傾き1o6、輻5、O
mm 、深さ0.2mmの段付きアルミナ基板1とし、
段付き部に試料隘1のグレーズ組成物を塗布し、124
0℃で焼成して厚さ40四の段付きグレーズ層2を形威
して段付きグレーズド基板を作成した。従来のアルミナ
含有率97%以下のアルミナ基板の場合に問題となって
いた第2図の矢印部に生じていた“はげ”もなく、表面
平滑な優れたグレーズド基板が得られた。
磨加工して、第2図に示すような傾き1o6、輻5、O
mm 、深さ0.2mmの段付きアルミナ基板1とし、
段付き部に試料隘1のグレーズ組成物を塗布し、124
0℃で焼成して厚さ40四の段付きグレーズ層2を形威
して段付きグレーズド基板を作成した。従来のアルミナ
含有率97%以下のアルミナ基板の場合に問題となって
いた第2図の矢印部に生じていた“はげ”もなく、表面
平滑な優れたグレーズド基板が得られた。
(実施例■)
実施例Iと同様のアルミナ基板1上に、試料狙3のグレ
ーズ組成物を塗布し、1220’cで焼成して厚さ2O
nのグレーズ層2を形威しグレーズド基板としたところ
、実施例Iと同様に良好なグレーズド基板が得られた。
ーズ組成物を塗布し、1220’cで焼成して厚さ2O
nのグレーズ層2を形威しグレーズド基板としたところ
、実施例Iと同様に良好なグレーズド基板が得られた。
(比較例I)
平均粒径2.3Innで純度95%からなり厚さ0.6
35n+mのアルミナ基板l上に実施例■と同様な条件
で試料弘1〜狙6のグレーズ組成物を用いて厚さ30n
のグレーズ層2を有するグレーズド基板を作成した。試
料弘1を用いたグレーズド基板についての表面状態は、
第3図(b)に示し、図中矢印で示す如く波形のうねり
を生じ、実施例Iと比較して表面の平均粗さが10.7
nと大きく基板の反りも11.3四/c+wと大きく、
端部“ひけ”も平均0.71mmと大きくなった。試料
隊2〜M5を用いた場合も同様に平滑性が悪く“ひけ”
も大きく、実用には適さないものである。なお、試料1
1h6を用いたものは平滑性はよく、反りも少なく外観
上良好なグレーズド基板が得られた。
35n+mのアルミナ基板l上に実施例■と同様な条件
で試料弘1〜狙6のグレーズ組成物を用いて厚さ30n
のグレーズ層2を有するグレーズド基板を作成した。試
料弘1を用いたグレーズド基板についての表面状態は、
第3図(b)に示し、図中矢印で示す如く波形のうねり
を生じ、実施例Iと比較して表面の平均粗さが10.7
nと大きく基板の反りも11.3四/c+wと大きく、
端部“ひけ”も平均0.71mmと大きくなった。試料
隊2〜M5を用いた場合も同様に平滑性が悪く“ひけ”
も大きく、実用には適さないものである。なお、試料1
1h6を用いたものは平滑性はよく、反りも少なく外観
上良好なグレーズド基板が得られた。
(比較例■)
平均粒径2.7−で純度97%のアルミナ粉末から形成
されたアルミナ基板lを用いるほかは、実施例Iと同様
にしてグレーズド基板を作成した。試料N11L1のグ
レーズ組成物を用いた場合の表面状態は第3図(C)に
示すとおりであり表面の平均粗さが5.4nと大きくな
った。図中矢印で示す如く細かいさざ波状のうねりがあ
り、また基板の反りは5.2n/ca+と比較的小さい
が端部の“ひけ”は平均1 、10mmと非常に大きく
、やはり実用レベルには至らない。試料M2〜N15の
グレーズ組成物を用いた場合も同様な結果が得られた。
されたアルミナ基板lを用いるほかは、実施例Iと同様
にしてグレーズド基板を作成した。試料N11L1のグ
レーズ組成物を用いた場合の表面状態は第3図(C)に
示すとおりであり表面の平均粗さが5.4nと大きくな
った。図中矢印で示す如く細かいさざ波状のうねりがあ
り、また基板の反りは5.2n/ca+と比較的小さい
が端部の“ひけ”は平均1 、10mmと非常に大きく
、やはり実用レベルには至らない。試料M2〜N15の
グレーズ組成物を用いた場合も同様な結果が得られた。
試料M6を用いたものは良好なグレーズド基板が得られ
た。
た。
上記の実施例及び比較例は数多くの実験の一部を掲げた
に過ぎないが、平均粒径が2μよりも大きく、しかもア
ルミナ含有率が98%未満のものでは表面にうねりを生
じて平滑性が悪くなり、基板の反り及び端部の“ひけ”
が共に大きいという結果が得られた。また、上記の実施
例及び比較例において試料胤6を用いたものは、いずれ
も良好なグレーズド基板が得られたが、これは第2表に
て示す如<850℃未満で使用する比較的低温用のもの
であり、本発明のように850℃以上の高温に耐える高
耐熱性グレーズド基板ではないので、高耐熱性グレーズ
ド基板を得るには本発明によるアルξす基板を用いる必
要があることが判る。
に過ぎないが、平均粒径が2μよりも大きく、しかもア
ルミナ含有率が98%未満のものでは表面にうねりを生
じて平滑性が悪くなり、基板の反り及び端部の“ひけ”
が共に大きいという結果が得られた。また、上記の実施
例及び比較例において試料胤6を用いたものは、いずれ
も良好なグレーズド基板が得られたが、これは第2表に
て示す如<850℃未満で使用する比較的低温用のもの
であり、本発明のように850℃以上の高温に耐える高
耐熱性グレーズド基板ではないので、高耐熱性グレーズ
ド基板を得るには本発明によるアルξす基板を用いる必
要があることが判る。
本発明は、微粒子で、かつ、高純度のアル≧すで形成さ
れたアルミナ基板を用い、かつ、耐熱性が高くアルミナ
基板と熱膨張係数差の小さいグレーズ層を形成すること
によって、従来のものよりも高耐熱性で、しかも表面平
滑性及び端部の“ひけ”が大幅に改善され、また、反り
のないグレーズド基板が得られ、最近のファクシミリや
プリンタの高速化、小型化等に対応できるすべての要求
特性を満足する優れたグレーズド基板を提供することが
できる。
れたアルミナ基板を用い、かつ、耐熱性が高くアルミナ
基板と熱膨張係数差の小さいグレーズ層を形成すること
によって、従来のものよりも高耐熱性で、しかも表面平
滑性及び端部の“ひけ”が大幅に改善され、また、反り
のないグレーズド基板が得られ、最近のファクシミリや
プリンタの高速化、小型化等に対応できるすべての要求
特性を満足する優れたグレーズド基板を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はグレーズド基板断面図、第2図は段付きグレー
ズド基板断面図、第3図のそれぞれ(a)は本発明によ
る実施例1.(blは比較例1、(C1は比較例■にお
けるグレーズド基板の表面状態の拡大図である。 l:アルミナ基板、2:グレーズ層。 第1図
ズド基板断面図、第3図のそれぞれ(a)は本発明によ
る実施例1.(blは比較例1、(C1は比較例■にお
けるグレーズド基板の表面状態の拡大図である。 l:アルミナ基板、2:グレーズ層。 第1図
Claims (1)
- 1.平均粒径2μm以下でアルミナ(Al_2O_3)
含有率が98%以上のアルミナ基板上に、屈伏点700
℃以上、軟化点が900℃以上で、かつ熱膨張係数が5
0×10^−^7〜85×10^−^7/℃のガラスに
よる厚さ10〜50μmのグレーズ層が形成されている
ことを特徴とする高耐熱性グレーズド基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9209990A JP2699206B2 (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | 高耐熱性グレーズド基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9209990A JP2699206B2 (ja) | 1990-04-09 | 1990-04-09 | 高耐熱性グレーズド基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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