JPH03283252A - ガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源 - Google Patents
ガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源Info
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- JPH03283252A JPH03283252A JP2083170A JP8317090A JPH03283252A JP H03283252 A JPH03283252 A JP H03283252A JP 2083170 A JP2083170 A JP 2083170A JP 8317090 A JP8317090 A JP 8317090A JP H03283252 A JPH03283252 A JP H03283252A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/14—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers
- H01J49/147—Ion sources; Ion guns using particle bombardment, e.g. ionisation chambers with electrons, e.g. electron impact ionisation, electron attachment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、ガスクロマトグラフ質量分析計（以下、ｒ
ＧＣ／ＭＳＪという）のイオン源に関し、さらに詳しく
は、複数のフィラメントを装備したイオン源に関する。
ＧＣ／ＭＳＪという）のイオン源に関し、さらに詳しく
は、複数のフィラメントを装備したイオン源に関する。
〈従来の技術〉
一般に、ＧＣ／ＭＳにおいては、ガスクロマトグラフで
成分分離された試料成分をイオン源でイオン化した後、
質量分析計に導入して質量分離を行い試料の定性、定量
分析などを行う。
成分分離された試料成分をイオン源でイオン化した後、
質量分析計に導入して質量分離を行い試料の定性、定量
分析などを行う。
特に、多数の試料を同一の分析条件で連続して分析する
ことを目的としたルーチン分析用のＧＣ／ＭＳでは、分
析中にイオン源のフィラメントが断線したような場合に
も分析を継続することができるように、イオン源に複数
のフィラメントを装備したものがあり、一方のフィラメ
ントが断線したときには、別のフィラメントに切換えて
稼働時間を延ばすようにしている。
ことを目的としたルーチン分析用のＧＣ／ＭＳでは、分
析中にイオン源のフィラメントが断線したような場合に
も分析を継続することができるように、イオン源に複数
のフィラメントを装備したものがあり、一方のフィラメ
ントが断線したときには、別のフィラメントに切換えて
稼働時間を延ばすようにしている。
〈発明か解決しようとする課題〉
ところが、このような複数のフィラメントを装備したイ
オン源では、熱電子を発生させていないフィラメント、
すなわち、分析に使用していないフィラメントは加熱さ
れておらず、このため、イオン源内に流入する分析試料
が該フィラメントに付着するなどして汚染されることに
なり、このように汚染されたフィラメントに切換えたと
きには、汚染物質によって熱電子の放射効率が低下した
り、フィラメント表面で汚染物質と化学反応が生じてフ
ィラメントの寿命が短くなるといった難点がある。
オン源では、熱電子を発生させていないフィラメント、
すなわち、分析に使用していないフィラメントは加熱さ
れておらず、このため、イオン源内に流入する分析試料
が該フィラメントに付着するなどして汚染されることに
なり、このように汚染されたフィラメントに切換えたと
きには、汚染物質によって熱電子の放射効率が低下した
り、フィラメント表面で汚染物質と化学反応が生じてフ
ィラメントの寿命が短くなるといった難点がある。
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであてて、複
数のフィラメントを装備したイオン源において、使用し
ていないフィラメントの汚染を低減して上述の不具合を
解消することを目的とする。
数のフィラメントを装備したイオン源において、使用し
ていないフィラメントの汚染を低減して上述の不具合を
解消することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
本発明では、上述の目的を達成するために、次のように
構成している。
構成している。
すなわち、本発明は、複数のフィラメントを装備したガ
スクロマトグラフ質量分析計のイオン源であって、前記
各フィラメントの通電を制御する通電制御回路を備え、
前記通電制御回路は、分析中に使用されていないフィラ
メントにも通電して該フィラメントを予熱するように構
成している。
スクロマトグラフ質量分析計のイオン源であって、前記
各フィラメントの通電を制御する通電制御回路を備え、
前記通電制御回路は、分析中に使用されていないフィラ
メントにも通電して該フィラメントを予熱するように構
成している。
く作用〉
上記構成によれば、分析中には、使用されていないフィ
ラメントにも通電されて予熱されるので、分析試料の付
着などによる前記フィラメントの汚染を大幅に低減でき
ることになる。
ラメントにも通電されて予熱されるので、分析試料の付
着などによる前記フィラメントの汚染を大幅に低減でき
ることになる。
〈実施例〉
以下、図面によって本発明の実施例について、詳細に説
明する。
明する。
第１図は、本発明の一実施例のイオン源部分の概略構成
図である。
図である。
同図において、■は真空室、２は分析試料か導入される
イオン化室３を有するイオン源プロ・ツク、４はこのイ
オン源ブロック２を加熱するヒータ、５はイオン源ブロ
ック２の温度を検知する温度センサ、６はこの温度セン
サ５の出力に基づいて、前記ヒータ４の通電を制御して
イオン源ブロック２の温度を、分析試料に対応した２０
０〜３５０Ｃの一定温度に制御するイオン源ブロック温
度制御回路である。
イオン化室３を有するイオン源プロ・ツク、４はこのイ
オン源ブロック２を加熱するヒータ、５はイオン源ブロ
ック２の温度を検知する温度センサ、６はこの温度セン
サ５の出力に基づいて、前記ヒータ４の通電を制御して
イオン源ブロック２の温度を、分析試料に対応した２０
０〜３５０Ｃの一定温度に制御するイオン源ブロック温
度制御回路である。
７．８はタングステンなどから成る熱電子発生用の第１
．第２フイラメント、９．ｌＯは各フィラメント７．８
の通電を制御する第１．第２通電制御回路、１１はイオ
ン化された分析試料を引き出して質量分析計に収束させ
るためのイオンビーム収束レンズである。
．第２フイラメント、９．ｌＯは各フィラメント７．８
の通電を制御する第１．第２通電制御回路、１１はイオ
ン化された分析試料を引き出して質量分析計に収束させ
るためのイオンビーム収束レンズである。
このガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源では、上
述のように、２つの第１．第２フイラメント７．８が装
備されており、従来と同様に、方のフィラメント７（８
）で熱電子を発生させて分析を行っている場合に、該一
方のフィラメント７（８）が断線したようなときには、
他方のフィラメント８（７）に切換えて稼働時間を延ば
すようにしている。
述のように、２つの第１．第２フイラメント７．８が装
備されており、従来と同様に、方のフィラメント７（８
）で熱電子を発生させて分析を行っている場合に、該一
方のフィラメント７（８）が断線したようなときには、
他方のフィラメント８（７）に切換えて稼働時間を延ば
すようにしている。
さらに、この実施例では、分析に使用されていないフィ
ラメントが、分析試料によって汚染されるのを可及的に
低減するために、使用されていないフィラメントにも通
電して予熱するようにしている。
ラメントが、分析試料によって汚染されるのを可及的に
低減するために、使用されていないフィラメントにも通
電して予熱するようにしている。
例えば、第１通電制御回路９によって第１フイラメント
７に通電されて該フィラメント７が２０００°Ｃに加熱
されて熱電子が発生し、この熱電子によって分析試料を
イオン化して分析を行っているときには、第２通電制御
回路ＩＯによって使用されていない第２フイラメント８
にも通電され、この第２フイラメント８が、例えば、分
析試料の沸点以上の温度である５００°Ｃ程度に予熱さ
れている。
７に通電されて該フィラメント７が２０００°Ｃに加熱
されて熱電子が発生し、この熱電子によって分析試料を
イオン化して分析を行っているときには、第２通電制御
回路ＩＯによって使用されていない第２フイラメント８
にも通電され、この第２フイラメント８が、例えば、分
析試料の沸点以上の温度である５００°Ｃ程度に予熱さ
れている。
このように使用していない第２フイラメント８を予熱し
ておくことにより、分析試料が付着して第２フイラメン
ト８が汚染されるのを抑制することができ、これによっ
て、第１フイラメント７が断線して第２フイラメント８
に切換えたときに、熱電子の放射効率が低下したり、汚
染物質との化学反応によってフィラメント８の寿命が短
くなるといったことがなく、実質的に稼働時間を延ばす
ことが可能となる。
ておくことにより、分析試料が付着して第２フイラメン
ト８が汚染されるのを抑制することができ、これによっ
て、第１フイラメント７が断線して第２フイラメント８
に切換えたときに、熱電子の放射効率が低下したり、汚
染物質との化学反応によってフィラメント８の寿命が短
くなるといったことがなく、実質的に稼働時間を延ばす
ことが可能となる。
〈発明の効果〉
以上のように本発明によれば、分析中に使用されていな
いフィラメントにも通電して該フィラメントを予熱する
ようにしているので、分析試料の付着などによる前記フ
ィラメントの汚染を大幅に低減でき、従来例に比べて実
質的に稼働時間を延ばすことができる。
いフィラメントにも通電して該フィラメントを予熱する
ようにしているので、分析試料の付着などによる前記フ
ィラメントの汚染を大幅に低減でき、従来例に比べて実
質的に稼働時間を延ばすことができる。
第１図は本発明の一実施例のイオン源部分の概略構成図
である。 ■・・真空室、２・・・イオン源ブロック、３・・イオ
ン化室、７．８・・第１．第２フイラメント、９．１０
・・・第１．第２通電制御回路。
である。 ■・・真空室、２・・・イオン源ブロック、３・・イオ
ン化室、７．８・・第１．第２フイラメント、９．１０
・・・第１．第２通電制御回路。
Claims (1)
- （１）複数のフィラメントを装備したガスクロマトグラ
フ質量分析計のイオン源であって、 前記各フィラメントの通電を制御する通電制御回路を備
え、 前記通電制御回路は、分析中に使用されていないフィラ
メントにも通電して該フィラメントを予熱するものであ
ることを特徴とするガスクロマトグラフ質量分析計のイ
オン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2083170A JP2943226B2 (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | ガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2083170A JP2943226B2 (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | ガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03283252A true JPH03283252A (ja) | 1991-12-13 |
| JP2943226B2 JP2943226B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=13794802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2083170A Expired - Fee Related JP2943226B2 (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | ガスクロマトグラフ質量分析計のイオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2943226B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008133074A1 (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Ulvac, Inc. | 質量分析計の制御方法及び質量分析計 |
| JP2011151008A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Agilent Technologies Inc | 質量分析計のイオン源を交換するためのシステム及び方法 |
| US8138473B2 (en) | 2007-05-15 | 2012-03-20 | Ulvac, Inc. | Mass spectrometry unit |
| JP2012520542A (ja) * | 2009-03-11 | 2012-09-06 | アデイクセン・バキユーム・プロダクト | 質量分析計のためのイオン化セル、および対応する漏れ検出器 |
-
1990
- 1990-03-29 JP JP2083170A patent/JP2943226B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008133074A1 (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Ulvac, Inc. | 質量分析計の制御方法及び質量分析計 |
| JPWO2008133074A1 (ja) * | 2007-04-16 | 2010-07-22 | 株式会社アルバック | 質量分析計の制御方法及び質量分析計 |
| US8115166B2 (en) | 2007-04-16 | 2012-02-14 | Ulvac, Inc. | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer |
| JP5080567B2 (ja) * | 2007-04-16 | 2012-11-21 | 株式会社アルバック | 質量分析計の制御方法及び質量分析計 |
| DE112008001001B4 (de) * | 2007-04-16 | 2013-04-11 | Ulvac, Inc. | Verfahren zur Steuerung von Massenspektrometern und Massenspektrometer |
| TWI404111B (zh) * | 2007-04-16 | 2013-08-01 | Ulvac Inc | 質量分析計之控制方法及質量分析計 |
| US8138473B2 (en) | 2007-05-15 | 2012-03-20 | Ulvac, Inc. | Mass spectrometry unit |
| JP2012520542A (ja) * | 2009-03-11 | 2012-09-06 | アデイクセン・バキユーム・プロダクト | 質量分析計のためのイオン化セル、および対応する漏れ検出器 |
| JP2011151008A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Agilent Technologies Inc | 質量分析計のイオン源を交換するためのシステム及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2943226B2 (ja) | 1999-08-30 |
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