JPH0327341B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、カツプ型砥石を用いた研削方法に係
り、特に、シリコンウエハ等、脆性材料から成る
被研削物の研削に適した研削方法に関する。

〔発明の背景〕

たとえば、シリコンウエハ（以下単にウエハと
いう）の表面を平面研削する場合、第４図ないし
第６図に示すように研削している。すなわち、チ
ヤツク１に保持されたウエハ２に対し、主軸３に
支持されたカツプ型砥石（以下単に砥石という）
４を矢印Ａ方向に送り、砥石４の外周刃５で研削
を行つている。このとき、第６図に示すように、
ウエハ２に対する砥石４の切込位置におけるウエ
ハ２の外周縁の接線ａと、砥石４の外周刃５の接
線ｂの成す角度θが鋭角になると、ウエハ２の外
周縁に欠けや割れを生じ易くなる。また、この傾
向は、第５図に示すようにウエハ２の外周縁の面
取りｃが施されている場合、あるいは研削代ｄが
大きい場合により顕著に現われる。このため、１
回当りの研削量を少くして、研削代ｄを数回に分
けて研削すると、作業性が低下することになる。

また、研削点に研削液を供給するとき、砥石４
の外側より研削液を供給した場合、砥石４の回転
による遠心力で研削液が振り飛され、砥石４の内
側から研削液を供給した場合、砥石４が遮弊物と
なり、研削点に十分な研削液を供給することがで
きない。このため、作業性を低下させて研削しな
ければならない欠点があつた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、作業性を低下させることなく研削し得るよ
うにしたカツプ形砥石による研削方法を提供する
にある。

〔発明の概要〕

前記目的を達成するため、本発明においては、
研削を砥石の内周刃によつて行うことを特徴とす
る。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面にしたがつて説
明する。

第１図ないし第３図は、本発明の一実施例を示
すもので、同図において、チヤツク１上には、ウ
エハ２が固定されている。主軸３の下端には、砥
石４が支持されている。

このような構成で、砥石４でウエハ２を覆うよ
うに砥石４とウエハ２を位置決めし、砥石４を回
転させると共に、砥石４を矢印Ｂ方向へ移動させ
る。

このとき、第３図に示すように、ウエハ２に対
する砥石４の切込位置におけるウエハ２の外周縁
の接線ａと、砥石４の内周刃６の接線ｅの成す角
度θは鈍角になる。したがつて、ウエハ２の外周
縁に欠けや割れが生じ難くなり、研削代ｄを大き
くすることができる。

また、主軸３から研削液を供給することにより
研削点に十分研削液を供給することができるの
で、作業性を低下させることなく研削を行うこと
ができる。

〔発明の効果〕

以上述べた如く、本発明によれば、ウエハ等の
脆性材料で形成された被研削物を、能率良く研削
することができ、作業性を大巾に向上させること
ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である内周刃研削
方法を示す側面断面図、第２図は、第１図におけ
る研削状態を示す要部の拡大図、第３図は、第２
図の平面図、第４図は、従来の外周刃研削方法を
示す側面断面図、第５図は、第４図における研削
状態を示す要部の拡大図、第６図は、第５図の平
面図である。 ２……ウエハ、４……砥石、６……内周刃。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 被研削物と、内径が前記被研削物の外径より
   大きいカツプ型砥石とを、被研削物がカツプ型砥
   石の中央部に位置するように配置し、カツプ型砥
   石を回転させると共に、カツプ型砥石と被研削物
   とを相対的に移動させ、カツプ型砥石の内周刃で
   被研削物を研削することを特徴とするカツプ型砥
   石による研削方法。