JPH03269310A - 半田の形状検査方法 - Google Patents
半田の形状検査方法Info
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- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は半田の形状検査装置及び形状検査方法に関し、
光の照射角度を変えて得られた画像データを組み合わせ
ることにより、半田の形状の特徴を有する画像データを
人手し、この画像データに基いて、半田の形状の良否を
判断するようにしたものである。
光の照射角度を変えて得られた画像データを組み合わせ
ることにより、半田の形状の特徴を有する画像データを
人手し、この画像データに基いて、半田の形状の良否を
判断するようにしたものである。
（従来の技術）
電子部品の電極部を基板に接着する半田の形状検査は、
一般に、半田に向って光を照射し、この半田をカメラに
より観察することにより行われる。すなわち、半田の表
面は、鏡面性を有する傾斜面であるので、上方から光を
照射して、上方からカメラにより観察すると、光は側方
へ反射されて、カメラには殆ど反射光は入射しないこと
から、半田は黒く観察される。そこで従来は、半田を取
り囲む検査エリアを設定し、このエリア内において、黒
の画素数が設定以上存在するか否かをコンピュータによ
り演算し、この演算結果に基いて、半田形状の良否を判
断していた。
一般に、半田に向って光を照射し、この半田をカメラに
より観察することにより行われる。すなわち、半田の表
面は、鏡面性を有する傾斜面であるので、上方から光を
照射して、上方からカメラにより観察すると、光は側方
へ反射されて、カメラには殆ど反射光は入射しないこと
から、半田は黒く観察される。そこで従来は、半田を取
り囲む検査エリアを設定し、このエリア内において、黒
の画素数が設定以上存在するか否かをコンピュータによ
り演算し、この演算結果に基いて、半田形状の良否を判
断していた。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら上記従来手段は、カメラに取り込まれた黒
の情報のみに基いて半田形状の良否を判断していたため
、判断の基礎となる情報量が少なく、誤判断をしやすい
ものであった。具体的には、例えばカメラが標的の半田
を観察せずに、誤って半田の側方のレジスト面を観察し
た場合、レジスト面は黒く観察されることから、半田は
十分に存在するものと誤判断してしまう。
の情報のみに基いて半田形状の良否を判断していたため
、判断の基礎となる情報量が少なく、誤判断をしやすい
ものであった。具体的には、例えばカメラが標的の半田
を観察せずに、誤って半田の側方のレジスト面を観察し
た場合、レジスト面は黒く観察されることから、半田は
十分に存在するものと誤判断してしまう。
同様に、光源が点灯していない場合や、検査するべき基
板が検査位置に存在しない場合も、カメラには黒い画像
が取り込まれることから、半田は十分に存在するものと
誤って判断してしまう問題があった。
板が検査位置に存在しない場合も、カメラには黒い画像
が取り込まれることから、半田は十分に存在するものと
誤って判断してしまう問題があった。
そこで本発明は、半田形状の良否判断の基礎となる画像
情報をより多くして、より正確な良否判断が行える半田
の形状検査手段を提供することを目的とする。
情報をより多くして、より正確な良否判断が行える半田
の形状検査手段を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
このために本発明は、電子部品の電極部を基板に接着す
る半田を上方から観察するカメラと、この半田に向って
少くとも２方向の角度から光を照射する光源と、上記カ
メラに接続されて、上記一方の角度から光を照射するこ
とにより上記カメラに取り込まれた画像データを記憶す
る第１の画像メモリと、上記もう一方の角度から光を照
射することにより、上記カメラに取り込まれた画像デー
タを記憶する第２の画像メモリと、この２つの画像メモ
リに記憶された画像データを組み合わせて、上記半田の
形状の特徴を有する画像データを演算する画像間演算部
と、演算された画像データを記憶する第３の画像メモリ
と、この第３の画像メモリに記憶された画像データから
、半田の形状の良否を判断するＣＰＵとから、半田の形
状検査装置を構成している。
る半田を上方から観察するカメラと、この半田に向って
少くとも２方向の角度から光を照射する光源と、上記カ
メラに接続されて、上記一方の角度から光を照射するこ
とにより上記カメラに取り込まれた画像データを記憶す
る第１の画像メモリと、上記もう一方の角度から光を照
射することにより、上記カメラに取り込まれた画像デー
タを記憶する第２の画像メモリと、この２つの画像メモ
リに記憶された画像データを組み合わせて、上記半田の
形状の特徴を有する画像データを演算する画像間演算部
と、演算された画像データを記憶する第３の画像メモリ
と、この第３の画像メモリに記憶された画像データから
、半田の形状の良否を判断するＣＰＵとから、半田の形
状検査装置を構成している。
〈作用〉
上記構成によれば、半田に向って複数の角度から光を照
射した場合の画像データが得られる。
射した場合の画像データが得られる。
そこでこれらの画像データを組み合わせて、半田形状の
特徴を良好に有する画像データを入手し、この画像デー
タに基いて、半田の形状の良否を判断する。
特徴を良好に有する画像データを入手し、この画像デー
タに基いて、半田の形状の良否を判断する。
（実施例１）
次に図面を参照しながら、本発明の詳細な説明を行う。
第１図は形状検査装置を示すものであって、■はカメラ
、２は第１の光源、３は第２の光源である。４は基板で
あって電子部品５が接着されている。６は電子部品５の
電極部であって。
、２は第１の光源、３は第２の光源である。４は基板で
あって電子部品５が接着されている。６は電子部品５の
電極部であって。
基板４に挿入され、半田７で接着されている。
８は基板４に塗布されたレジストである。
第１の光源２は、基板面に対して急角度αで光を照射す
る。また第２の光源３は、基板面に対して緩角度βで光
を照射する。カメラ１は、半田７の上方にあって、第１
の光源２と第２の光源３を選択的に点灯させて、光の照
射角度を変えながら、半田７の画像を取り込む。
る。また第２の光源３は、基板面に対して緩角度βで光
を照射する。カメラ１は、半田７の上方にあって、第１
の光源２と第２の光源３を選択的に点灯させて、光の照
射角度を変えながら、半田７の画像を取り込む。
第１の光源２は、半田７の全面に対して、できるだけ急
角度で、望ましく垂直に光を照射する。このため、この
第１の光源２としては、リング状の光源や、面光源が使
用される。また第２の光源３は、側方から半田７の全面
に均一に光を照射する。このため第２の光源３としては
、リング状の光源が使用される。なお光源は１個だけ設
け、その光源を上下動させることにより、半田に対する
光の照射角度を変えるようにしてもよい。
角度で、望ましく垂直に光を照射する。このため、この
第１の光源２としては、リング状の光源や、面光源が使
用される。また第２の光源３は、側方から半田７の全面
に均一に光を照射する。このため第２の光源３としては
、リング状の光源が使用される。なお光源は１個だけ設
け、その光源を上下動させることにより、半田に対する
光の照射角度を変えるようにしてもよい。
カメラｌは、第１の画像メモリ１１と、第２の像メモリ
１２に接続されている。第１の画像メモリ１１は、第１
の光源２から半田７に光を照射した場合の画像データＭ
１を記憶する。また第２の画像メモリ１２は、第２の光
源３から半田７に光を照射した場合の画像データＭ２を
記憶する。
１２に接続されている。第１の画像メモリ１１は、第１
の光源２から半田７に光を照射した場合の画像データＭ
１を記憶する。また第２の画像メモリ１２は、第２の光
源３から半田７に光を照射した場合の画像データＭ２を
記憶する。
１３は画像間演算部であって、画像データＭ１と、画像
データＭ２を組み合わせ、演算された画像データＭ３を
第３の画像メモリ１４に記憶させる。１５はＣＰＵであ
り、後に詳述するように、画像メモリ１４の画像データ
Ｍ３に基いて、半田７の形状の良否を判断する。
データＭ２を組み合わせ、演算された画像データＭ３を
第３の画像メモリ１４に記憶させる。１５はＣＰＵであ
り、後に詳述するように、画像メモリ１４の画像データ
Ｍ３に基いて、半田７の形状の良否を判断する。
本発明による画像処理方法を説明する前に、半田の光反
射特性について説明する。
射特性について説明する。
第２図（ａ）、 （ｂ）と第３図（ａ）、 （ｂ）
は、半田モデルＳを上記光学系で観察している様子と、
カメラ１に取り込まれた画像を示すものである。この半
田モデルＳは、平面ｓａと、急斜面ｓｂと、緩斜面ｓｃ
を有している。第２図（ａ）に示すように、光源２から
急角度αで半田モデルＳに光を照射した場合、平面ｓａ
はカメラ１へ向って光を反射するため、白く （明るく
）観察される（矢印Ｌ１参照）。また急斜面ｓｂ、及び
これに続く緩斜面ｓｃは、側方へ光を反射するため、反
射光はカメラ１へは入射せず、黒く （暗く）観察され
る（矢印Ｌ２、Ｌ３参照）。また基板４に接地する部分
はほぼ平面ｓａであり、これに照射された光は、カメラ
１へ向って反射されるので、白く観察される（矢印Ｌ４
）。したがってこの半田モデルＳは、全体として、第２
図（ｂ）に示すような黒白のコントラストで観察される
。
は、半田モデルＳを上記光学系で観察している様子と、
カメラ１に取り込まれた画像を示すものである。この半
田モデルＳは、平面ｓａと、急斜面ｓｂと、緩斜面ｓｃ
を有している。第２図（ａ）に示すように、光源２から
急角度αで半田モデルＳに光を照射した場合、平面ｓａ
はカメラ１へ向って光を反射するため、白く （明るく
）観察される（矢印Ｌ１参照）。また急斜面ｓｂ、及び
これに続く緩斜面ｓｃは、側方へ光を反射するため、反
射光はカメラ１へは入射せず、黒く （暗く）観察され
る（矢印Ｌ２、Ｌ３参照）。また基板４に接地する部分
はほぼ平面ｓａであり、これに照射された光は、カメラ
１へ向って反射されるので、白く観察される（矢印Ｌ４
）。したがってこの半田モデルＳは、全体として、第２
図（ｂ）に示すような黒白のコントラストで観察される
。
また第３図（ａ）に示すように、光源３から緩角度βで
半田モデルＳへ光を照射した場合、＝８ 上記と同様の反射特性のために、同図（ｂ）に示すよう
な黒色のコントラストで観察される。
半田モデルＳへ光を照射した場合、＝８ 上記と同様の反射特性のために、同図（ｂ）に示すよう
な黒色のコントラストで観察される。
この場合、緩斜面ＳＣのみがカメラ１へ向って光を反射
し、白く観察され、他の面ｓａ、ｓｂは黒く観察される
。図中、Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３゜Ｌ４は、それぞれ平面ｓａ
、急斜面ｓｂ、緩斜面ｓｃ、平面ｓａの反射光である。
し、白く観察され、他の面ｓａ、ｓｂは黒く観察される
。図中、Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３゜Ｌ４は、それぞれ平面ｓａ
、急斜面ｓｂ、緩斜面ｓｃ、平面ｓａの反射光である。
なお基板に塗布された半田は、この半田モデルＳに示す
ように、一般に、急斜面ｓａ、緩斜面ｓｃ、平面ｓａの
３つの連続面を有している。
ように、一般に、急斜面ｓａ、緩斜面ｓｃ、平面ｓａの
３つの連続面を有している。
本発明は、このような半田の光反射特性を利用して、半
田形状の良否を判断するものであり、次に、上記形状検
査装置により実際の半田を観察した場合の画像処理方法
を説明する。
田形状の良否を判断するものであり、次に、上記形状検
査装置により実際の半田を観察した場合の画像処理方法
を説明する。
第４図は、上記第１図に示す半田７の断面形状と、その
画像データを示すものである。図中、上欄の７ａ、７ｂ
、７ｃは、それぞれ良品、半田過多、半田過少の半田の
断面形状を示している。また図中、ｓａ、ｓｂ、ｓｃは
、平面、急斜面、緩斜面を示している。ｌＯは回路パタ
ーンである。
画像データを示すものである。図中、上欄の７ａ、７ｂ
、７ｃは、それぞれ良品、半田過多、半田過少の半田の
断面形状を示している。また図中、ｓａ、ｓｂ、ｓｃは
、平面、急斜面、緩斜面を示している。ｌＯは回路パタ
ーンである。
Ｍｌは、第１の光源２を点灯した場合に、カメラ１に取
り込まれた多値の画像データである。
り込まれた多値の画像データである。
Ｍ２は第２の光源３を点灯した場合にカメラ１に取り込
まれた多値の画像データである。半田７ａが、画像ａｌ
、ａ２のように観察されることは、第２図及び第３図で
示した半田モデルＳの光反射特性から明らかである。
まれた多値の画像データである。半田７ａが、画像ａｌ
、ａ２のように観察されることは、第２図及び第３図で
示した半田モデルＳの光反射特性から明らかである。
Ｍｌｂは画像データＭ１を２値化した画像データであっ
て、半田７の位置と広さを示している。またＭ２ａは、
画像データＭｌｂと画像データＭ２を足し合わせた多値
の画像データであって、画像データＭ２に画像データＭ
ｌｂのマスクをかけた画像データである。またＭ３は画
像データＭ２ａを２値化した画像データである。
て、半田７の位置と広さを示している。またＭ２ａは、
画像データＭｌｂと画像データＭ２を足し合わせた多値
の画像データであって、画像データＭ２に画像データＭ
ｌｂのマスクをかけた画像データである。またＭ３は画
像データＭ２ａを２値化した画像データである。
ａｌは良品の半田７ａに第１の光源２から光を急角度α
で照射した場合の多値画像である。
で照射した場合の多値画像である。
急斜面ｓｂ、緩斜面ｓｃに照射された光は、すべて側方
へ反射されてカメラ１には入射しないことから、黒く観
察される。また電極部６は光０ 沢のある金属であるので、その平坦な上面６ａに入射し
た光は上方へ反射し、白く観察される。
へ反射されてカメラ１には入射しないことから、黒く観
察される。また電極部６は光０ 沢のある金属であるので、その平坦な上面６ａに入射し
た光は上方へ反射し、白く観察される。
Ｂ２は、第２の光源３から半田７ａへ緩角度βで光を照
射した場合の多値画像である。この場合、緩斜面ｓｃに
入射した光はカメラｌへ向って反射されるので、この緩
斜面ｓｃのみがリング状に白く観察される。この画像ａ
２には注目すべきである。何故なら、この画像ａ２は、
良品の半田の場合は、半田の周縁部は白いリングが観察
されることを示しており、良品の半田の形状的特徴をよ
く表しているからである。
射した場合の多値画像である。この場合、緩斜面ｓｃに
入射した光はカメラｌへ向って反射されるので、この緩
斜面ｓｃのみがリング状に白く観察される。この画像ａ
２には注目すべきである。何故なら、この画像ａ２は、
良品の半田の場合は、半田の周縁部は白いリングが観察
されることを示しており、良品の半田の形状的特徴をよ
く表しているからである。
Ｍｌｂは画像データＭ１を２値化した画像データであり
、半田７ａの位置と広さを示している。Ｍ２ａは、画像
データＭ２に画像データＭ１ｂのマスクをかけた画像デ
ータであり、急斜面ｓｂのみが黒く表れている。なお画
像ａ２の直径ＤＩは、画像ａ３の直径Ｄ２よりもやや小
さい。またＭ３は、画像データＭ２ａを２値化した画像
データであり、この半田７ａの形状的特徴部である急斜
面ｓｂを黒く良好に示している。各データＭ１〜Ｍ３の
関係を整理すると、次のとおりである。
、半田７ａの位置と広さを示している。Ｍ２ａは、画像
データＭ２に画像データＭ１ｂのマスクをかけた画像デ
ータであり、急斜面ｓｂのみが黒く表れている。なお画
像ａ２の直径ＤＩは、画像ａ３の直径Ｄ２よりもやや小
さい。またＭ３は、画像データＭ２ａを２値化した画像
データであり、この半田７ａの形状的特徴部である急斜
面ｓｂを黒く良好に示している。各データＭ１〜Ｍ３の
関係を整理すると、次のとおりである。
（１）Ｍｌを２値化＝ＯＭ１ｂ（半田の位置、広さのデ
ータ） （２）Ｍ１ｂ＋Ｍ２→Ｍ２ａ（半田の急斜面のデータ） （３）Ｍ２’ａを２値化＝＝＝＞Ｍ３（半田形状の特徴
部である急斜面のデータ） 上記のような画像処理や演算は、画像間演算部１３によ
り行われる。そして、その演算により得られた画像デー
タＭ３は、第３の画像メモリ１４に記憶される。この画
像データＭ３は、半田７ａの形状の特徴を良好に有して
おり、この画像データＭ３をＣＰＵＩ ５で解析するこ
とにより、半田形状の良否を判断する。最下欄のＰａは
その判断基準の１例を示すものであって。
ータ） （２）Ｍ１ｂ＋Ｍ２→Ｍ２ａ（半田の急斜面のデータ） （３）Ｍ２’ａを２値化＝＝＝＞Ｍ３（半田形状の特徴
部である急斜面のデータ） 上記のような画像処理や演算は、画像間演算部１３によ
り行われる。そして、その演算により得られた画像デー
タＭ３は、第３の画像メモリ１４に記憶される。この画
像データＭ３は、半田７ａの形状の特徴を良好に有して
おり、この画像データＭ３をＣＰＵＩ ５で解析するこ
とにより、半田形状の良否を判断する。最下欄のＰａは
その判断基準の１例を示すものであって。
黒のリングが観察されたならば、良品と判断する。
半田過多や半田過少の半田７ｂ、７Ｃの場合は、同様に
して、ｂ１〜ｂ５、Ｃ１〜Ｃ５に示１ ２ す画像データが得られる。このような画像データが得ら
れる理由は、第２図及び第３図や、上記半田７ａの場合
を参考にすれば明らかであるので、その説明は省略する
。何れにせよ、半田過多の場合は、Ｂ５で示される画像
データから、半田形状の良否を判断する。この場合、２
重の黒のリングがあれば、半田過多と判断される（Ｐｂ
）。また同様にして、黒のリングが小さければ、半田過
少と判断される（Ｐｃ）。
して、ｂ１〜ｂ５、Ｃ１〜Ｃ５に示１ ２ す画像データが得られる。このような画像データが得ら
れる理由は、第２図及び第３図や、上記半田７ａの場合
を参考にすれば明らかであるので、その説明は省略する
。何れにせよ、半田過多の場合は、Ｂ５で示される画像
データから、半田形状の良否を判断する。この場合、２
重の黒のリングがあれば、半田過多と判断される（Ｐｂ
）。また同様にして、黒のリングが小さければ、半田過
少と判断される（Ｐｃ）。
従来手段は、カメラに取り込まれた画像データＭ１のみ
から、半田形状の良否を判断していたものである。換言
すれば、斜面はカメラに黒く観察されることから、黒の
情報だけに基いて、半田形状の良否を判断していた。こ
のため判断の基礎となる情報量が乏しく、誤判断を犯し
やすい問題があったものである。これに対し本発明は、
画像データＭ１の他に、白の情報を含む画像データＭ２
を人手し、両データＭｌ、Ｍ２を組み合わせ演算して、
この演算により得られた画像データＭ３に基いて、半田
形状の良否を判断するようにしているので、判断の基礎
となる情報量が豊富であり、それだけ正確な良否判断を
行うことができる。また本発明は、光の照射角度を３段
階以上変えて、３つ以上の画像データを入手することを
禁止するものではなく、必要があれば、上記角度α、β
の中間角度から光を照射して、画像データを入手しても
よいものである。
から、半田形状の良否を判断していたものである。換言
すれば、斜面はカメラに黒く観察されることから、黒の
情報だけに基いて、半田形状の良否を判断していた。こ
のため判断の基礎となる情報量が乏しく、誤判断を犯し
やすい問題があったものである。これに対し本発明は、
画像データＭ１の他に、白の情報を含む画像データＭ２
を人手し、両データＭｌ、Ｍ２を組み合わせ演算して、
この演算により得られた画像データＭ３に基いて、半田
形状の良否を判断するようにしているので、判断の基礎
となる情報量が豊富であり、それだけ正確な良否判断を
行うことができる。また本発明は、光の照射角度を３段
階以上変えて、３つ以上の画像データを入手することを
禁止するものではなく、必要があれば、上記角度α、β
の中間角度から光を照射して、画像データを入手しても
よいものである。
（実施例２）
第５図は、ＱＦＰやｓｏｐのような、リード２１を有す
る電子部品２０を、半田９により基板４に接着したもの
を示している。また第６図は、その画像データを示して
いる。良品の半田９ａ、半田過多の半田９ｂ、半田過少
ｄ半田９Ｃ、リード２１が浮いている半田９ｄの画像デ
ータは、それぞれＡ１〜Ａ５、Ｂ１−Ｂ５、Ｃ１〜Ｃ５
、Ｄ１〜Ｄ５のようになる。その理由は、第２図及び第
３図や、上記第１実施例の場合を参考にすれば明らかで
ありその説明は省略する。ＰＡ−ＰＤは、良否の判断基
準の１例を３ ４ 示している。
る電子部品２０を、半田９により基板４に接着したもの
を示している。また第６図は、その画像データを示して
いる。良品の半田９ａ、半田過多の半田９ｂ、半田過少
ｄ半田９Ｃ、リード２１が浮いている半田９ｄの画像デ
ータは、それぞれＡ１〜Ａ５、Ｂ１−Ｂ５、Ｃ１〜Ｃ５
、Ｄ１〜Ｄ５のようになる。その理由は、第２図及び第
３図や、上記第１実施例の場合を参考にすれば明らかで
ありその説明は省略する。ＰＡ−ＰＤは、良否の判断基
準の１例を３ ４ 示している。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、半田に向って少くとも２
方向の角度から光を照射することにより、複数の画像デ
ータを人手し、これらの画像データを組み合わせ演算す
ることにより、半田の形状の特徴を良好に有する画像デ
ータを人手し、この画像データに基いて、半田形状の良
否を判断するようにしているので、半田の形状の良否を
正確に行うことができる。
方向の角度から光を照射することにより、複数の画像デ
ータを人手し、これらの画像データを組み合わせ演算す
ることにより、半田の形状の特徴を良好に有する画像デ
ータを人手し、この画像データに基いて、半田形状の良
否を判断するようにしているので、半田の形状の良否を
正確に行うことができる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は形状
検査装置の全体図、第２図（ａ）。 （ｂ）及び第３図（ａ）、 （ｂ）は、半田モデルの
形状検査装置の側面図及び画像データ図、第４図は画像
データ図、第５図は他の実施例の電子部品の側面図、第
６図はその画像データ図である。 １・・・カメラ ２．３・・・光源 ４・・・基板 ５．２０・・・電子部品 ６．２１・・・電極部 ７．９・・・半田 １１・・・第１の画像メモリ １２・・・第２の画像メモリ １３・・・画像間演算部 １４・・・第３の画像メモリ １５・・・ＣＰＵ
検査装置の全体図、第２図（ａ）。 （ｂ）及び第３図（ａ）、 （ｂ）は、半田モデルの
形状検査装置の側面図及び画像データ図、第４図は画像
データ図、第５図は他の実施例の電子部品の側面図、第
６図はその画像データ図である。 １・・・カメラ ２．３・・・光源 ４・・・基板 ５．２０・・・電子部品 ６．２１・・・電極部 ７．９・・・半田 １１・・・第１の画像メモリ １２・・・第２の画像メモリ １３・・・画像間演算部 １４・・・第３の画像メモリ １５・・・ＣＰＵ
Claims (2)
- （１）電子部品の電極部を基板に接着する半田を上方か
ら観察するカメラと、この半田に向って少くとも２方向
の角度から光を照射する光源と、上記カメラに接続され
て、上記一方の角度から光を照射することにより上記カ
メラに取り込まれた画像データを記憶する第１の画像メ
モリと、上記もう一方の角度から光を照射することによ
り、上記カメラに取り込まれた画像データを記憶する第
２の画像メモリと、この２つの画像メモリに記憶された
画像データを組み合わせて、上記半田の形状の特徴を有
する画像データを演算する画像間演算部と、演算された
画像データを記憶する第３の画像メモリと、この第３の
画像メモリに記憶された画像データから、半田の形状の
良否を判断するＣＰＵとから成ることを特徴とする半田
の形状検査装置。 - （２）電子部品の電極部を基板に接着する半田に向って
、少くとも２方向の角度から光を照射して、この半田を
この半田の上方に設けられたカメラにより観察し、 このカメラに取り込まれた各々の画像データを画像メモ
リに各々記憶せしめ、 次いで画像間演算部により、これらの画像データを組み
合わせ演算し、 この演算により得られた上記半田の形状の特徴を有する
画像データを画像メモリに記憶せしめ、 この画像データに基いて、半田の形状の良否をＣＰＵに
より判断するようにしたことを特徴とする半田の形状検
査方法。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP2070413A JP2953736B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 半田の形状検査方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2070413A JP2953736B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 半田の形状検査方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03269310A true JPH03269310A (ja) | 1991-11-29 |
| JP2953736B2 JP2953736B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=13430763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2070413A Expired - Fee Related JP2953736B2 (ja) | 1990-03-20 | 1990-03-20 | 半田の形状検査方法 |
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| US6236747B1 (en) | 1997-02-26 | 2001-05-22 | Acuity Imaging, Llc | System and method for image subtraction for ball and bumped grid array inspection |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US4688939A (en) * | 1985-12-27 | 1987-08-25 | At&T Technologies, Inc. | Method and apparatus for inspecting articles |
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| JPH02231510A (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-13 | Omron Tateisi Electron Co | 基板検査装置 |
-
1990
- 1990-03-20 JP JP2070413A patent/JP2953736B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-03-20 US US07/671,413 patent/US5267217A/en not_active Expired - Lifetime
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| JPWO2018100692A1 (ja) * | 2016-11-30 | 2019-07-11 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 電子部品の画像処理方法及び画像処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2953736B2 (ja) | 1999-09-27 |
| US5267217A (en) | 1993-11-30 |
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