WO2018100692A1 - 電子部品の画像処理方法及び画像処理装置 - Google Patents

電子部品の画像処理方法及び画像処理装置 Download PDF

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WO2018100692A1
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curved surface
surface portion
metal curved
bump
image processing
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郁夫 鈴木
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株式会社Fuji
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/08Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring diameters

Definitions

  • This specification discloses an image processing method and an image processing apparatus for an electronic component.
  • a component mounter that collects electronic components supplied from a component supply apparatus and mounts the collected electronic components at a predetermined position on a board.
  • a component mounting machine there is also known an apparatus that irradiates light to a bump surface of an electronic component in which a plurality of bumps are arranged and images the bump surface, and obtains bump size and arrangement information from the captured image (for example, patent document). 1).
  • a side-light source may be used to image the bump.
  • the central part of the bump is a curved surface, and the light reflected by the central part is difficult to enter the camera.
  • the portion becomes a dark image (for example, Patent Document 2).
  • the outer peripheral part becomes a dark image in addition to the central part of the bump. Therefore, the bump appears as a bright annular band in the captured image, but the outer diameter of the annular band is smaller than the actual bump diameter. For this reason, the outer diameter of the annular band on the image may be uniformly set to a predetermined ratio (for example, 90%) of the actual bump diameter.
  • a predetermined ratio for example, 90%
  • the shape of the bump varies depending on the type of bump. Therefore, if the outer diameter of the annular band is uniformly set to a predetermined ratio of the actual bump diameter without considering the shape of each bump, there is a possibility that the bump on the image cannot be evaluated correctly.
  • This disclosure has been made in order to solve the above-described problems, and has as its main purpose to accurately evaluate information related to a curved metal surface portion of an electronic component.
  • the image processing method of the present disclosure includes: A predetermined imaging position in which the metal curved surface portion of the electronic component having the metal curved surface portion is irradiated with light from a side light source and / or an inclined light source, and the metal curved surface portion irradiated with the light is opposed to the metal curved surface portion.
  • An image processing method for obtaining information on the metal curved surface portion based on the captured image Based on the three-dimensional CAD data of the metal curved surface portion and the direction of light irradiated on the metal curved surface portion, the two-dimensional data of the figure generated when the light reflected by the metal curved surface portion reaches the imaging position And evaluating information about the metal curved surface portion obtained from the captured image based on the two-dimensional data of the figure, Is.
  • An image processing apparatus includes: A predetermined imaging position in which the metal curved surface portion of the electronic component having the metal curved surface portion is irradiated with light from a side light source and / or an inclined light source, and the metal curved surface portion irradiated with the light is opposed to the metal curved surface portion.
  • An image processing apparatus that obtains information on the curved metal surface portion based on the captured image, A storage device for storing three-dimensional CAD data of the metal curved surface portion; Based on the three-dimensional CAD data of the metal curved surface portion and the direction of light irradiated on the metal curved surface portion, the two-dimensional data of the figure generated when the light reflected by the metal curved surface portion reaches the imaging position A control device that evaluates information about the metal curved surface portion obtained from the captured image based on the two-dimensional data of the figure Is provided.
  • the light reflected by the metal curved surface portion reaches a predetermined imaging position based on the three-dimensional CAD data of the metal curved surface portion and the direction of light irradiated on the metal curved surface portion.
  • the two-dimensional data of the figure to be generated is created. Further, based on the two-dimensional data of the figure, information on the metal curved surface portion obtained from the captured image is evaluated.
  • the two-dimensional data of the figure is accurate data based on the three-dimensional CAD data. Therefore, by evaluating the information regarding the metal curved surface portion obtained from the captured image based on the two-dimensional data of the figure, the information regarding the metal curved surface portion of the electronic component can be accurately evaluated.
  • FIG. FIG. 2 is a schematic explanatory diagram of a configuration of a parts camera 40.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration relating to control of the component mounting apparatus 10.
  • the flowchart of a component mounting process routine Explanatory drawing of the captured image of the bump 94.
  • FIG. The flowchart of a reference data creation routine.
  • Explanatory drawing of the component 90b of the BGA package which has bump 94b Explanatory drawing which shows the angle range of the light beam irradiated from LED48a.
  • FIG. 1 is a perspective view of the component mounting apparatus 10
  • FIG. 2 is a schematic explanatory diagram of the configuration of the parts camera 40
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration related to control of the component mounting apparatus 10.
  • the left-right direction (X-axis), the front-rear direction (Y-axis), and the up-down direction (Z-axis) are as shown in FIG.
  • the component mounting apparatus 10 includes a base 12, a mounting apparatus main body 14 installed on the base 12, and a reel unit 70 as a component supply apparatus mounted on the mounting apparatus main body 14.
  • the mounting apparatus main body 14 is installed to be exchangeable with respect to the base 12.
  • the mounting apparatus main body 14 includes a substrate transfer device 18, a head 24, a nozzle 37, a parts camera 40, and a control device 60.
  • the substrate transport device 18 is a device that transports and holds the substrate 16.
  • the substrate transfer device 18 includes support plates 20 and 20 and conveyor belts 22 and 22 (only one of them is shown in FIG. 1).
  • the support plates 20 and 20 are members that extend in the left-right direction, and are provided at intervals in front and rear in FIG.
  • the conveyor belts 22 and 22 are stretched over the drive wheels and the driven wheels provided on the left and right sides of the support plates 20 and 20 so as to be endless.
  • substrate 16 is mounted on the upper surface of a pair of conveyor belts 22 and 22, and is conveyed from the left to the right.
  • the substrate 16 can be supported from the back side by a large number of support pins 23 erected.
  • the head 24 is attached to the front surface of the X-axis slider 26.
  • the X-axis slider 26 is attached to the front surface of the Y-axis slider 30.
  • the Y-axis slider 30 is slidably attached to a pair of left and right guide rails 32, 32 extending in the front-rear direction.
  • a pair of upper and lower guide rails 28, 28 extending in the left-right direction are provided on the front surface of the Y-axis slider 30.
  • the X-axis slider 26 is slidably attached to the guide rails 28 and 28.
  • the head 24 moves in the left-right direction as the X-axis slider 26 moves in the left-right direction, and moves in the front-rear direction as the Y-axis slider 30 moves in the front-rear direction.
  • the sliders 26 and 30 are driven by drive motors 26a and 30a (see FIG. 3), respectively.
  • the head 24 incorporates a Z-axis motor 34 and adjusts the height of the nozzle 37 attached to the ball screw 35 extending along the Z-axis by the Z-axis motor 34. Further, the head 24 incorporates a Q-axis motor 36 (see FIG. 3) that rotates the nozzle 37.
  • the nozzle 37 is a member that sucks and holds a component at the tip of the nozzle and releases the suction of the component that is sucked at the tip of the nozzle.
  • the nozzle 37 can supply pressure from a pressure supply source (not shown). For example, when a negative pressure is supplied, the part is sucked, and when the negative pressure is stopped or a positive pressure is supplied, the part is sucked. To release.
  • the nozzle 37 protrudes downward from the bottom surface of the main body of the head 24.
  • the height of the component adsorbed by the nozzle 37 is adjusted by the Z-axis motor 34 moving the nozzle 37 up and down along the Z-axis direction. As the nozzle 37 is rotated by the Q-axis motor 36, the orientation of the component attracted by the nozzle 37 is adjusted.
  • the parts camera 40 is disposed in front of the support plate 20 on the front side of the substrate transfer device 18.
  • the parts camera 40 has an imaging range above the parts camera 40, and images the parts held by the nozzle 37 from below to generate a captured image.
  • the parts camera 40 includes an illumination unit 41 and an imaging unit 49.
  • the illumination unit 41 irradiates light to the imaging target component 90.
  • the illumination unit 41 includes a housing 42, a connecting portion 43, an incident light source 44, a half mirror 46, and a multistage light source 47.
  • the housing 42 is a bowl-shaped member whose upper surface and lower surface (bottom surface) are opened in an octagonal shape.
  • the housing 42 has a shape in which the opening on the upper surface is larger than the opening on the lower surface, and the internal space tends to increase from the lower surface toward the upper surface.
  • the connecting portion 43 is a cylindrical member that connects the housing 42 and the imaging portion 49.
  • the incident light source 44 includes a plurality of LEDs 45.
  • the half mirror 46 reflects the light in the horizontal direction from the LED 45 of the incident light source 44 upward.
  • the half mirror 46 transmits light from above toward the imaging unit 49.
  • the multi-stage light source 47 includes an upper stage light source 47a, a middle stage light source 47b, and a lower stage light source 47c.
  • the upper stage light source 47a has a plurality of LEDs 48a
  • the middle stage light source 47b has a plurality of LEDs 48b
  • the lower stage light source 47c has a plurality of LEDs 48c.
  • Each of the LEDs 48a to 48c irradiates light in a direction inclined from the optical axis 49a.
  • the LED 48a has the largest inclination angle from the optical axis 49a in the irradiation direction of the LEDs 48a to 48c, and the LED 48a emits light in a substantially horizontal direction.
  • the LED 48c has the smallest inclination angle.
  • the upper light source 47a is called a side light source because it emits light in a substantially horizontal direction
  • the middle light source 47b is called an inclined light source because it emits light obliquely upward.
  • the imaging unit 49 generates a captured image based on the received light.
  • the imaging unit 49 includes an optical system such as a lens (not shown) and an imaging element (for example, a CCD).
  • an optical system such as a lens (not shown) and an imaging element (for example, a CCD).
  • the control device 60 includes a CPU 61, a ROM 62, an HDD 63, a RAM 64, an input / output interface 65, and the like, which are connected via a bus 66.
  • the control device 60 includes pressures not shown for the substrate transport device 18, the drive motor 26 a for the X-axis slider 26, the drive motor 30 a for the Y-axis slider 30, the Z-axis motor 34, the Q-axis motor 36, the parts camera 40, and the nozzle 37.
  • a drive signal is output to the supply source.
  • the control device 60 inputs a captured image from the parts camera 40.
  • the control device 60 is communicably connected to the feeder controller 76 of the reel unit 70.
  • each slider 26, 30 is equipped with a position sensor (not shown), and the control device 60 inputs the position information from these position sensors while the drive motors 26a, 26a of each slider 26, 30 are input. 30a is controlled.
  • the reel unit 70 includes a plurality of reels 72 and is detachably attached to the front side of the mounting apparatus body 14.
  • a tape is wound around each reel 72.
  • a plurality of receiving recesses are provided on the surface of the tape along the longitudinal direction of the tape. Parts are accommodated in each accommodating recess. These parts are protected by a film covering the surface of the tape. Such a tape is unwound from the reel toward the rear, and the film is peeled off at the feeder portion 74 so that the components are exposed. The exposed part is adsorbed by the nozzle 37.
  • the operation of the reel unit 70 is controlled by a feeder controller 76 (see FIG. 3).
  • the management computer 80 is a computer that manages a production job of the component mounting apparatus 10 and is communicably connected to the control device 60 of the component mounting apparatus 10.
  • the production job is information that defines which components are to be mounted on which substrate 16 in what order in the component mounting apparatus 10 and how many substrates 16 are to be mounted with components.
  • the management computer 80 stores the production job and outputs information included in the production job to the component mounting apparatus 10 as necessary.
  • a BGA package component 90 in which a plurality of bumps 94 are disposed on the lower surface of the main body 92 as shown in FIG. 2 will be described.
  • FIG. 4 is a flowchart of this routine.
  • the CPU 61 of the control device 60 causes the component 90 to be attracted to the nozzle 37 (S100). Specifically, the CPU 61 controls the X-axis slider 26 and the Y-axis slider 30 and arranges the nozzle 37 immediately above the component 90 supplied by the reel unit 70. At this time, the nozzle 37 is arranged so that the center of the nozzle 37 is directly above the center of the component 90. Subsequently, the CPU 61 controls the head 24 to lower the nozzle 37 to the upper surface of the component 90 and supply negative pressure to the nozzle 37 so that the component 90 is adsorbed to the nozzle 37.
  • the CPU 61 causes the parts camera 40 to image the bumps 94 included in the component 90 (S110). Specifically, the CPU 61 controls the head 24 to raise the nozzle 37 to a height at which the component 90 sucked by the nozzle 37 does not interfere with other members. Subsequently, the CPU 61 controls the X-axis slider 26 and the Y-axis slider 30 to arrange the nozzles 37 so that the centers of the nozzles 37 coincide with the optical axis 49 a of the parts camera 40. Subsequently, the CPU 61 turns on only the upper light source 47a of the parts camera 40, causes the parts camera 40 to image the bumps 94 included in the component 90, and inputs the captured image.
  • the bump 94 Since the surface of the bump 94 is a curved surface, the light reflected near the center of the bump 94 does not enter the imaging unit 49. Therefore, in the image captured by the parts camera 40, the bump 94 appears as a white annular band (donut-shaped band) 98 on the black background 96, as shown in FIG.
  • the CPU 61 calculates the outer diameter dr of the white annular band 98 from the captured image (S120), and uses the reference data set in advance as the outer diameter dr of the annular band 98 to the outer diameter of the bump 94. It converts into Dr (refer FIG. 5) (S130). Details of the process of S130 will be described later.
  • the CPU 61 determines whether or not the converted outer diameter Dr of the bump 94 is within an appropriate range (S140).
  • the appropriate range is a range in which an allowable amount set in consideration of errors, tolerances and the like is added to the designed outer diameter of the bump 94. If the determination is affirmative in S140, the CPU 61 mounts the component 90 sucked by the nozzle 37 at a predetermined position on the substrate 16 (S150), and ends this routine. Specifically, the CPU 61 controls the X-axis slider 26 and the Y-axis slider 30 and arranges the nozzle 37 so that the center of the nozzle 37 coincides with a position directly above the substrate 16.
  • the CPU 61 controls the head 24 to lower the component 90 adsorbed by the nozzle 37 to the upper surface of the substrate 16 and supply atmospheric pressure or positive pressure to the nozzle 37 to mount the component 90 on the substrate 16. .
  • the CPU 61 displays an error message on a display (not shown) (S160), and ends this routine.
  • the CPU 61 executes a reference data creation routine before executing the above-described component mounting processing routine.
  • FIG. 6 is a flowchart of this routine.
  • the CPU 61 of the control device 60 acquires the three-dimensional CAD data of the component 90 stored in the HDD 63 (S200).
  • the HDD 63 stores three-dimensional CAD data of various components (including the component 90) mounted on the board 16.
  • the three-dimensional CAD data of the component 90 includes data on the outer shape of the bump 94.
  • the data of the outer shape of the bump 94 includes data for defining the curved surface of the bump 94 (such as a radius of curvature) in addition to the height and outer diameter of the bump 94 (the diameter of the circle when the bump 94 is viewed in plan). Yes.
  • the CPU 61 calculates an ideal image (two-dimensional data) when the bump 94 included in the component 90 is irradiated with the light from the side light source from the three-dimensional CAD data (S210).
  • the ideal image of the bump 94 appears as an annular band similar to the annular band 98 of FIG.
  • the CPU 61 calculates the outer diameter of the annular band from the ideal image (S220).
  • the CPU 61 calculates the ratio of the outer diameter of the annular band to the outer diameter of the designed bump 94 as reference data, stores the reference data in the HDD 63 in association with the identification information of the component 90 (S230), This routine ends.
  • the identification information is information given to distinguish the component type.
  • the bump 94a is solidified by supplying molten solder on the land.
  • the bump 94b is obtained by supplying molten solder onto a cup-shaped tray and solidifying it.
  • the HDD 63 includes reference data Ra stored in association with the identification information of the component 90a and reference data Rb stored in association with the identification information of the component 90b.
  • the method for obtaining the reference data Ra of the component 90a will be described below.
  • the light beam emitted from the LED 48a of the upper light source 47a has a predetermined angular range as shown in FIG.
  • FIG. 9 shows the light beam emitted from the right LED 48a in FIG. 2 in the upper light source 47a, but the light beam emitted from the LED 48a in other places also has the same angle range.
  • a light beam having a predetermined angle range irradiated from the LED 48a is irradiated onto the bump 94a, as shown in FIG. 10, only the light reflected in the direction parallel to the optical axis 49a on the surface of the bump 94a is captured. Is incident on.
  • the ideal image of the bump 94a appears as a white annular band 98a on the black background 96 as shown in FIG.
  • the outer diameter da of the annular band 98a can be accurately calculated by using FIG. 10 and the three-dimensional CAD data of the bump 94a. Therefore, the ratio Ra (reference data) of the outer diameter da of the annular band 98a to the outer diameter Da of the designed bump 94a can be accurately obtained.
  • the HDD 63 stores the identification information of the component 90a and the reference data Ra in association with each other.
  • the light beam emitted from the LED 48a of the upper light source 47a has a predetermined angle range.
  • a light beam having a predetermined angle range irradiated from the LED 48a is irradiated onto the bump 94b, as shown in FIG. 12, only the light reflected in the direction parallel to the optical axis 49a on the surface of the bump 94b is captured. Is incident on. Therefore, the ideal image of the bump 94b appears as a white annular band 98b on the black background 96 as shown in FIG.
  • the outer diameter db of the annular band 98b can be accurately calculated using FIG.
  • the HDD 63 stores the identification information of the component 90b and the reference data Rb in association with each other.
  • the outer diameter dr of the annular band 98 calculated in S120 is set as a ratio that is the reference data of the component 90a.
  • the outer diameter dr of the annular band calculated in S120 is the reference data of the component 90b.
  • the ratio of the outer diameter of the annular band to the outer diameter of the bump is set to the same value in both the component 90a and the component 90b, the ratio is not a value considering the actual shape of the bump. For this reason, even if the outer diameter Dr of the bump is converted from the outer diameter dr of the annular belt using the ratio, the error of the outer diameter Dr of the bump increases. As a result, the determination accuracy of whether or not the outer diameter Dr of the bump is within an appropriate range is low.
  • the ratios Ra and Rb are values in consideration of the actual bump shape.
  • the outer diameter Dr of the bump obtained by converting the outer diameter Dr of the bump from the outer diameter dr of the annular band by using the ratios Ra and Rb has a very small error.
  • the accuracy of determination as to whether or not the outer diameter Dr of the bump is within an appropriate range is increased.
  • the bump 94 of this embodiment corresponds to a “metal curved surface portion”
  • the annular band 98 corresponds to a “figure”
  • the outer diameter of the bump 94 corresponds to “information on the metal curved surface portion”
  • the ratios Ra and Rb are “ It corresponds to “reference data”.
  • the bump 94 is generally hemispherical or a shape close thereto, but there are various shapes in detail. For this reason, even if the outer diameter of the three-dimensional CAD data is the same for a plurality of types of bumps 94, the outer diameter of the annular band 98 after conversion to two-dimensional data may be different. Therefore, it is highly significant to create the ratios Ra and Rb using the three-dimensional CAD data of each bump 94.
  • the bump of the BGA package component is exemplified as the metal curved surface portion.
  • the bump is not particularly limited to this, and for example, a pin electrode of the PGA package component may be used.
  • a lead (however, a lead having a curved portion) may be used. Since the tip of the pin electrode is a curved surface, an annular band appears in the captured image when the side light source is irradiated, like the bump described above. Further, since the curved portion of the lead having the curved portion is also a curved surface, a linear band appears in the captured image when the side light source is irradiated. Therefore, even when a lead having a pin electrode or a curved portion is employed instead of the bump, the same effect as the above-described embodiment can be obtained.
  • the outer diameter Dr of the bump 94 is within the proper range in S140, the outer diameter dr of the annular band is within the proper range. It may be determined whether or not.
  • an annular zone outer diameter calculation routine is performed instead of the reference data creation routine (FIG. 6).
  • the annular belt outer diameter calculation routine is obtained by omitting the reference data creation routine S230 (that is, S200 to S220).
  • Whether or not the outer diameter dr of the annular band is within an appropriate range is determined by whether or not the outer diameter dr of the annular band is within an allowable range of the outer diameter of the annular band obtained from an ideal image.
  • the outer diameter of the annular band obtained from the ideal image is accurate data based on the three-dimensional CAD data. Therefore, even in this way, the component 90 can be evaluated with high accuracy.
  • the middle light source 47b that is an inclined light source may be turned on. Even when the inclined light source is irradiated onto the bump 94, the bump 94 appears as an annular band in the photographed image, so that the same effect as the above-described embodiment can be obtained. Further, one or both of the side light source and the inclined light source may be turned on and the incident light source 44 may be turned on. Even if it does in this way, the effect similar to embodiment mentioned above is acquired.
  • the reel unit 70 is exemplified as the component supply device.
  • the present invention is not particularly limited to this, and for example, a tray unit that supplies components on a tray may be adopted.
  • the nozzle 37 is used as a member for collecting the component 90, but instead, a chuck of a type that is gripped with a nail may be employed.
  • the image processing method and the image processing apparatus of the present disclosure may be configured as follows.
  • reference data of information related to the metal curved surface portion is created based on the two-dimensional data of the graphic, and information related to the metal curved surface portion obtained from the captured image is used as the reference data. May be evaluated.
  • the control device generates reference data of information related to the metal curved surface portion based on the two-dimensional data of the graphic, and relates to the metal curved surface portion obtained from the captured image. Information may be evaluated using the reference data. In this way, the reference data for the information on the metal curved surface portion is accurate data based on the three-dimensional CAD data. Therefore, by evaluating the information regarding the metal curved surface portion obtained from the captured image using the reference data, the information regarding the metal curved surface portion of the electronic component can be accurately evaluated.
  • the metal curved surface portion may be a bump, the figure may be an annular band, and the information regarding the metal curved surface portion may be an outer diameter of the bump.
  • the bump is generally hemispherical or a shape close thereto, but there are various shapes in detail. Therefore, even if the outer diameter of the three-dimensional CAD data is the same for a plurality of types of bumps, the outer diameter of the annular band after conversion to two-dimensional data may be different. Therefore, it is highly significant to apply the image processing method and the image processing apparatus of the present disclosure.
  • the present invention is applicable to a component mounter for mounting a component having a metal surface portion such as a bump on a substrate.

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Abstract

本開示の画像処理方法では、金属曲面部の3次元CADデータと金属曲面部に照射される光の向きとに基づいて、金属曲面部で反射した光が撮像位置に到達したときに生成する図形の2次元データを作成する。そして、その図形の2次元データに基づいて、実際に撮像された画像から得られる金属曲面部に関する情報を評価する。

Description

電子部品の画像処理方法及び画像処理装置
 本明細書は、電子部品の画像処理方法及び画像処理装置を開示する。
 従来より、部品供給装置から供給される電子部品を採取し、採取した電子部品を基板上の所定の位置に装着する部品実装機が知られている。こうした部品実装機において、複数のバンプが配列された電子部品のバンプ面に光を照射して撮像し、撮像された画像からバンプのサイズや配置情報を求めるものも知られている(例えば特許文献1)。一方、バンプを撮像する際には側射光源を用いることがあるが、その場合、バンプの中央部分は曲面であり、その中央部分で反射された光はカメラに入射し難いため、バンプの中央部分は暗い画像となることも知られている(例えば特許文献2)。
特開2000-315896号公報 特開2008-216140号公報
 側射光源を用いてバンプを撮像した場合、バンプの中央部分のほかに外周部分も暗い画像となる。そのため、撮像された画像には、バンプは明るい環状帯として現れるが、その環状帯の外径は実際のバンプ径よりも小さくなる。こうしたことから、画像上での環状帯の外径を、一律に実際のバンプ径の所定割合(例えば90%)に設定することがあった。しかしながら、バンプの形状はバンプの種類によって様々である。そのため、各バンプの形状を考慮することなく、環状帯の外径を一律に実際のバンプ径の所定割合に設定してしまうと、画像上のバンプを正しく評価できないおそれがあった。
 本開示は、上述した課題を解決するためになされたものであり、電子部品の金属曲面部に関する情報を精度よく評価することを主目的とする。
 本開示の画像処理方法は、
 金属曲面部を備えた電子部品の前記金属曲面部に側射光源及び/又は傾斜光源の光を照射し、光の照射された前記金属曲面部を、前記金属曲面部に対向する所定の撮像位置から撮像し、該撮像された画像に基づいて前記金属曲面部に関する情報を得る画像処理方法であって、
 前記金属曲面部の3次元CADデータと前記金属曲面部に照射される光の向きとに基づいて、前記金属曲面部で反射した光が前記撮像位置に到達したときに生成する図形の2次元データを作成し、前記図形の2次元データに基づいて前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を評価する、
 ものである。
 本開示の画像処理装置は、
 金属曲面部を備えた電子部品の前記金属曲面部に側射光源及び/又は傾斜光源の光を照射し、光の照射された前記金属曲面部を、前記金属曲面部に対向する所定の撮像位置から撮像し、該撮像された画像に基づいて前記金属曲面部に関する情報を得る画像処理装置であって、
 前記金属曲面部の3次元CADデータを記憶する記憶装置と、
 前記金属曲面部の3次元CADデータと前記金属曲面部に照射される光の向きとに基づいて、前記金属曲面部で反射した光が前記撮像位置に到達したときに生成する図形の2次元データを作成し、前記図形の2次元データに基づいて前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を評価する制御装置と、
 を備える。
 本開示の画像処理方法及び画像処理装置では、金属曲面部の3次元CADデータと金属曲面部に照射される光の向きとに基づいて、金属曲面部で反射した光が所定の撮像位置に到達したときに生成する図形の2次元データを作成する。また、その図形の2次元データに基づいて、撮像された画像から得られる金属曲面部に関する情報を評価する。図形の2次元データは3次元CADデータに基づく正確なデータである。したがって、撮像された画像から得られる金属曲面部に関する情報を図形の2次元データに基づいて評価することにより、電子部品の金属曲面部に関する情報を精度よく評価することができる。
部品実装装置10の斜視図。 パーツカメラ40の構成の概略説明図。 部品実装装置10の制御に関わる構成を示すブロック図。 部品実装処理ルーチンのフローチャート。 バンプ94の撮像画像の説明図。 基準データ作成ルーチンのフローチャート。 バンプ94aを持つBGAパッケージの部品90aの説明図。 バンプ94bを持つBGAパッケージの部品90bの説明図。 LED48aから照射される光束の角度範囲を示す説明図。 バンプ94aへ照射した光が反射して撮像部49へ入射する様子を示す説明図。 環状帯98aの説明図。 バンプ94bへ照射した光が反射して撮像部49へ入射する様子を示す説明図。 環状帯98bの説明図。
 本開示の画像処理方法及び画像処理装置の好適な実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。図1は部品実装装置10の斜視図、図2はパーツカメラ40の構成の概略説明図、図3は部品実装装置10の制御に関わる構成を示すブロック図である。なお、本実施形態において、左右方向(X軸)、前後方向(Y軸)及び上下方向(Z軸)は、図1に示した通りとする。
 部品実装装置10は、基台12と、基台12の上に設置された実装装置本体14と、実装装置本体14に装着された部品供給装置としてのリールユニット70とを備えている。
 実装装置本体14は、基台12に対して交換可能に設置されている。この実装装置本体14は、基板搬送装置18と、ヘッド24と、ノズル37と、パーツカメラ40と、制御装置60とを備えている。
 基板搬送装置18は、基板16を搬送したり保持したりする装置である。この基板搬送装置18は、支持板20,20と、コンベアベルト22,22(図1では片方のみ図示)とを備えている。支持板20,20は、左右方向に延びる部材であり、図1の前後に間隔を開けて設けられている。コンベアベルト22,22は、支持板20,20の左右に設けられた駆動輪及び従動輪に無端状となるように架け渡されている。基板16は、一対のコンベアベルト22,22の上面に乗せられて左から右へと搬送される。この基板16は、多数立設された支持ピン23によって裏面側から支持可能となっている。
 ヘッド24は、X軸スライダ26の前面に取り付けられている。X軸スライダ26は、Y軸スライダ30の前面に取り付けられている。Y軸スライダ30は、前後方向に延びる左右一対のガイドレール32,32にスライド可能に取り付けられている。Y軸スライダ30の前面には、左右方向に延びる上下一対のガイドレール28,28が設けられている。X軸スライダ26は、このガイドレール28,28にスライド可能に取り付けられている。ヘッド24は、X軸スライダ26が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Y軸スライダ30が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。なお、各スライダ26,30は、それぞれ駆動モータ26a,30a(図3参照)により駆動される。また、ヘッド24は、Z軸モータ34を内蔵し、Z軸に沿って延びるボールネジ35に取り付けられたノズル37の高さをZ軸モータ34によって調整する。さらに、ヘッド24は、ノズル37を回転させるQ軸モータ36(図3参照)を内蔵している。
 ノズル37は、ノズル先端に部品を吸着して保持したり、ノズル先端に吸着している部品を吸着解除したりする部材である。ノズル37は、図示しない圧力供給源から圧力を供給可能であり、例えば負圧が供給されると部品を吸着し、負圧の供給が停止されるか又は正圧が供給されると部品を吸着解除する。ノズル37は、ヘッド24の本体底面から下方に突出している。また、Z軸モータ34によってノズル37がZ軸方向に沿って昇降することで、ノズル37に吸着された部品の高さが調整される。Q軸モータ36によってノズル37が回転することで、ノズル37に吸着された部品の向きが調整される。
 パーツカメラ40は、基板搬送装置18の前側の支持板20の前方に配置されている。パーツカメラ40は、パーツカメラ40の上方が撮像範囲であり、ノズル37に保持された部品を下方から撮像して撮像画像を生成する。パーツカメラ40は、図2に示すように、照明部41と、撮像部49とを備えている。
 照明部41は、撮像対象の部品90に対して光を照射する。この照明部41は、ハウジング42と、連結部43と、落射光源44と、ハーフミラー46と、多段光源47と、を備えている。ハウジング42は、上面及び下面(底面)が八角形状に開口した椀状の部材である。ハウジング42は、下面の開口よりも上面の開口の方が大きく、下面から上面に向かって内部空間が大きくなる傾向の形状をしている。連結部43は、ハウジング42と撮像部49とを連結する筒状の部材である。落射光源44は、LED45を複数有している。ハーフミラー46は、落射光源44のLED45からの水平方向の光を上方に反射する。また、ハーフミラー46は上方からの光については撮像部49に向けて透過する。多段光源47は、上段光源47aと、中段光源47bと、下段光源47cとを備えている。上段光源47aは、複数のLED48aを有し、中段光源47bは、複数のLED48bを有し、下段光源47cは、複数のLED48cを有している。LED48a~48cは、いずれも光軸49aから傾斜した方向に光を照射する。LED48a~48cの照射方向の光軸49aからの傾斜角は、LED48aが最も大きく、LED48aはほぼ水平方向に光を照射する。また、この傾斜角は、LED48cが最も小さくなっている。上段光源47aはほぼ水平方向に光を照射することから側射光源と称し、中段光源47bは斜め上向きに光を照射することから傾斜光源と称する。
 撮像部49は、受光した光に基づいて撮像画像を生成する。この撮像部49は、図示しないレンズなどの光学系及び撮像素子(例えばCCD)を備えている。落射光源44及び多段光源47から発せられ撮像対象の部品で反射した後の光がハーフミラー46を透過して撮像部49に到達すると、撮像部49はこの光を受光して撮像画像を生成する。
 制御装置60は、図3に示すように、CPU61、ROM62、HDD63、RAM64、入出力インターフェース65などを備えており、これらはバス66を介して接続されている。この制御装置60は、基板搬送装置18、X軸スライダ26の駆動モータ26a、Y軸スライダ30の駆動モータ30a、Z軸モータ34、Q軸モータ36、パーツカメラ40及びノズル37用の図示しない圧力供給源へ駆動信号を出力する。また、制御装置60は、パーツカメラ40からの撮像画像を入力する。制御装置60は、リールユニット70のフィーダコントローラ76と通信可能に接続されている。なお、図示しないが、各スライダ26,30には図示しない位置センサが装備されており、制御装置60はそれらの位置センサからの位置情報を入力しつつ、各スライダ26,30の駆動モータ26a,30aを制御する。
 リールユニット70は、複数のリール72を備え、実装装置本体14の前側に着脱可能に取り付けられている。各リール72には、テープが巻き付けられている。テープの表面には、テープの長手方向に沿って複数の収容凹部が設けられている。各収容凹部には、部品が収容されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、リールから後方に向かって巻きほどかれ、フィーダ部74においてフィルムが剥がされて部品が露出した状態となる。この露出した状態の部品は、ノズル37によって吸着される。リールユニット70の動作はフィーダコントローラ76(図3参照)によって制御される。
 管理コンピュータ80は、部品実装装置10の生産ジョブを管理するコンピュータであり、部品実装装置10の制御装置60と通信可能に接続されている。なお、生産ジョブは、部品実装装置10においてどの部品をどういう順番でどの基板16に装着するか、また、何枚の基板16に部品の実装を行うかなどを定めた情報である。管理コンピュータ80は、この生産ジョブを記憶しており、生産ジョブに含まれる情報を必要に応じて部品実装装置10に出力する。
 次に、本実施形態の部品実装装置10の動作について説明する。ここでは、部品として、図2に示すように、本体92の下面に複数のバンプ94が配設されたBGAパッケージの部品90を例に挙げて説明する。
 まず、部品実装処理ルーチンについて説明する。図4はこのルーチンのフローチャートである。制御装置60のCPU61は、部品実装処理ルーチンを開始すると、部品90をノズル37に吸着させる(S100)。具体的には、CPU61は、X軸スライダ26やY軸スライダ30を制御して、リールユニット70によって供給される部品90の直上にノズル37を配置する。このとき、ノズル37の中心が部品90の中心の直上に来るようにノズル37を配置する。続いて、CPU61は、ヘッド24を制御して、ノズル37を部品90の上面まで下降し、ノズル37に負圧を供給して部品90をノズル37に吸着させる。
 次に、CPU61は、部品90に含まれるバンプ94をパーツカメラ40に撮像させる(S110)。具体的には、CPU61は、ヘッド24を制御して、ノズル37に吸着された部品90が他の部材と干渉しない高さまでノズル37を上昇する。続いて、CPU61は、X軸スライダ26やY軸スライダ30を制御して、パーツカメラ40の光軸49a上にノズル37の中心が一致するようにノズル37を配置する。続いて、CPU61は、パーツカメラ40の上段光源47aのみを点灯させ、部品90に含まれるバンプ94をパーツカメラ40に撮像させ、その撮像画像を入力する。バンプ94の表面は曲面であるため、バンプ94の中心付近で反射された光は撮像部49に入射しない。そのため、パーツカメラ40によって撮像された画像には、図5に示すように、バンプ94は、黒色背景96に白色の環状帯(ドーナツ状の帯)98として現れる。
 次に、CPU61は、撮像画像から白色の環状帯98の外径drを演算し(S120)、予め設定しておいた基準データを用いてその環状帯98の外径drをバンプ94の外径Dr(図5参照)に換算する(S130)。このS130の処理の詳細については後述する。
 次に、CPU61は、換算したバンプ94の外径Drが適正範囲内か否かを判定する(S140)。適正範囲は、設計上のバンプ94の外径に誤差・公差等を見込んで設定された許容量を付加した範囲である。S140で肯定判定だったならば、CPU61は、ノズル37に吸着された部品90を基板16の所定位置に装着し(S150)、本ルーチンを終了する。具体的には、CPU61は、X軸スライダ26やY軸スライダ30を制御して、基板16の所定位置の直上にノズル37の中心が一致するようにノズル37を配置する。続いて、CPU61は、ヘッド24を制御して、ノズル37に吸着された部品90を基板16の上面まで下降し、ノズル37に大気圧又は正圧を供給して部品90を基板16に装着する。一方、S140で否定判定だったならば、CPU61は、図示しないディスプレイにエラーメッセージを表示し(S160)、本ルーチンを終了する。
 ここで、基準データについて詳説する。CPU61は、上述した部品実装処理ルーチンを実行する前に、基準データ作成ルーチンを実行する。図6はこのルーチンのフローチャートである。制御装置60のCPU61は、基準データ作成ルーチンを開始すると、HDD63に記憶されている部品90の3次元CADデータを取得する(S200)。HDD63には、基板16に実装される各種部品(部品90を含む)の3次元CADデータが記憶されている。部品90の3次元CADデータには、バンプ94の外形形状のデータが含まれている。バンプ94の外形形状のデータとしては、バンプ94の高さや外径(バンプ94を平面視したときの円の直径)のほか、バンプ94の曲面を定義するデータ(曲率半径など)が含まれている。次に、CPU61は、部品90に含まれるバンプ94に側射光源の光を照射したときの理想画像(2次元データ)を3次元CADデータから演算する(S210)。バンプ94の理想画像は、図5の環状帯98と同様の環状帯として現れる。次に、CPU61は、理想画像から環状帯の外径を演算する(S220)。次に、CPU61は、設計上のバンプ94の外径に対する環状帯の外径の比率を基準データとして演算し、その基準データを部品90の識別情報と対応づけてHDD63に記憶し(S230)、本ルーチンを終了する。なお、識別情報は、部品種類を区別するために付された情報である。
 部品90としては、例えば、図7に示すように半球状のバンプ94aを持つBGAパッケージの部品90aや、図8に示すように円柱の底面に半楕円球が接合した形状のバンプ94bを持つBGAパッケージの部品90bなどがある。バンプ94aは、ランドの上に溶融ハンダを供給して固化させたものである。バンプ94bは、カップ状の受け皿の上に溶融ハンダを供給し固化させたものである。HDD63には、部品90aの識別情報に対応づけて記憶された基準データRaと、部品90bの識別情報に対応づけて記憶された基準データRbとが存在する。
 部品90aの基準データRaの求め方について、以下に説明する。上段光源47aのLED48aから照射される光束は、図9に示すように、所定の角度範囲を持っている。図9には上段光源47aのうち図2で右側のLED48aから照射される光束を示したが、その他の場所のLED48aから照射される光束もこれと同様の角度範囲を持っている。LED48aから照射される所定の角度範囲を持った光束がバンプ94aに照射されると、図10に示すように、バンプ94aの表面で光軸49aと平行な方向に反射した光だけが撮像部49に入射する。そのため、バンプ94aの理想画像は、図11に示すように、黒色背景96に白色の環状帯98aとして現れる。この環状帯98aの外径daは、図10とバンプ94aの3次元CADデータとを用いれば正確に算出することができる。そのため、設計上のバンプ94aの外径Daに対する環状帯98aの外径daの比率Ra(基準データ)を、正確に求めることができる。ここでは、Ra=da/Da=60(%)だったとする。HDD63には、部品90aの識別情報と基準データRaとが対応づけて記憶される。
 部品90bの基準データRbの求め方について、以下に説明する。上段光源47aのLED48aから照射される光束は、上述したとおり、所定の角度範囲を持っている。LED48aから照射される所定の角度範囲を持った光束がバンプ94bに照射されると、図12に示すように、バンプ94bの表面で光軸49aと平行な方向に反射した光だけが撮像部49に入射する。そのため、バンプ94bの理想画像は、図12に示すように、黒色背景96に白色の環状帯98bとして現れる。この環状帯98bの外径dbは、図12とバンプ94bの3次元CADデータとを用いれば正確に算出することができる。そのため、設計上のバンプ94bの外径Dbに対する環状帯98bの外径dbの比率Rb(基準データ)を正確に求めることができる。ここでは、Rb=db/Db=90(%)だったとする。HDD63には、部品90bの識別情報と基準データRbとが対応づけて記憶される。
 上述したS130において、ノズル37に吸着された部品90の識別情報が部品90aの識別情報と一致していた場合、S120で演算した環状帯98の外径drを、部品90aの基準データである比率Raを用いて撮像対象のバンプ94の外径Drに換算する。この場合、Dr=dr/Ra≒1.67drになる。S140では、この換算した外径Drが適正範囲内か否かが判定される。一方、上述したS130において、ノズル37に吸着された部品90の識別情報が部品90bの識別情報と一致していた場合、S120で演算した環状帯の外径drを、部品90bの基準データである比率Rbを用いて撮像対象のバンプ94の外径Drに換算する。この場合、Dr=dr/Rb≒1.11drになる。S140では、この換算した外径Drが適正範囲内か否かが判定される。
 ところで、部品90aでも部品90bでもバンプ外径に対する環状帯外径の比率を同じ値とした場合、その比率は実際のバンプの形状を考慮した値ではない。そのため、環状帯の外径drからバンプの外径Drをその比率を用いて換算したとしても、バンプの外径Drは誤差が大きくなる。その結果、バンプの外径Drが適正範囲内か否かの判定精度は低くなる。これに対して、本実施形態では、比率Ra,Rbは実際のバンプの形状を考慮した値となっている。そのため、環状帯の外径drからバンプの外径Drを比率Ra,Rbを用いて換算して得られるバンプの外径Drは、誤差が非常に小さいものとなる。その結果、バンプの外径Drが適正範囲内か否かの判定精度は高くなる。
 ここで、本実施形態の構成要素と本開示の画像処理方法(又は画像処理装置)の構成要素との対応関係について説明する。本実施形態のバンプ94が「金属曲面部」に相当し、環状帯98が「図形」に相当し、バンプ94の外径が「金属曲面部に関する情報」に相当し、比率Ra,Rbが「基準データ」に相当する。
 以上説明した本実施形態では、バンプ94の3次元CADデータとバンプ94に照射される光の向きとに基づいて、バンプ94で反射した光が撮像部49に到達したときに生成する環状帯98の2次元データを作成する。また、その環状帯98の2次元データに基づいて基準データである比率Ra,Rbを作成する。そして、撮像画像から得られる環状帯98の外径drを比率Ra,Rbを用いて評価する。各比率は、各部品の3次元CADデータに基づく正確なデータである。したがって、部品90のバンプ94の外径Drを精度よく評価することができる。
 また、バンプ94は、一般的には半球状又はそれに近い形状であるが、詳細にみると種々の形状のものがある。そのため、複数種類のバンプ94について3次元CADデータの外径が同じだとしても、2次元データに変換した後の環状帯98の外径は異なることがある。したがって、各バンプ94の3次元CADデータを利用して比率Ra,Rbを作成する意義が高い。
 なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
 例えば、上述した実施形態では、金属曲面部として、BGAパッケージ部品のバンプを例示したが、特にこれに限定されるものではなく、例えばPGAパッケージ部品のピン電極であってもよいし、リード部品のリード(但し湾曲部を有するリード)であってもよい。ピン電極の先端は曲面であるため、側射光源が照射されたときの撮像画像には上述したバンプと同様、環状帯が現れる。また、湾曲部を有するリードの湾曲部も曲面であるため、側射光源が照射されたときの撮像画像には線状帯が現れる。したがって、バンプの代わりにピン電極や湾曲部を有するリードを採用した場合でも、上述した実施形態と同様の効果が得られる。
 上述した実施形態の部品実装処理ルーチン(図4)において、S130を省略し、S140でバンプ94の外径Drが適正範囲内か否かを判定する代わりに環状帯の外径drが適正範囲内か否かを判定してもよい。この場合、部品実装処理ルーチンを実行する前に、基準データ作成ルーチン(図6)の代わりに、環状帯外径演算ルーチンを行う。環状帯外径演算ルーチンは、基準データ作成ルーチンのS230を省略したもの(つまりS200~S220)である。環状帯の外径drが適正範囲内か否かは、環状帯の外径drが理想画像から得られる環状帯の外径の許容範囲内か否かによって判断される。理想画像から得られる環状帯の外径は3次元CADデータに基づく正確なデータである。そのため、このようにしても、部品90を精度よく評価することができる。
 上述した実施形態では、バンプ94を撮影するにあたり、側射光源である上段光源47aのみを点灯させたが、これに代えて又は加えて、傾斜光源である中段光源47bを点灯させてもよい。傾斜光源をバンプ94に照射した場合も、バンプ94は撮影画像に環状帯として現れるため、上述した実施形態と同様の効果が得られる。また、側射光源及び傾斜光源の一方又は両方を点灯させると共に落射光源44を点灯させてもよい。このようにしても上述した実施形態と同様の効果が得られる。
 上述した実施形態では、部品供給装置としてリールユニット70を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、トレイに部品を載せて供給するトレイユニットを採用してもよい。
 上述した実施形態では、部品90を採取する部材としてノズル37を用いたが、その代わりに爪で掴むタイプのチャックを採用してもよい。
 本開示の画像処理方法や画像処理装置は、以下のように構成してもよい。
 本開示の画像処理方法において、前記図形の2次元データに基づいて前記金属曲面部に関する情報の基準データを作成し、前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を前記基準データを用いて評価してもよい。また、本開示の画像処理装置において、前記制御装置は、前記図形の2次元データに基づいて前記金属曲面部に関する情報の基準データを作成し、前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を前記基準データを用いて評価してもよい。こうすれば、金属曲面部に関する情報の基準データは3次元CADデータに基づく正確なデータとなる。したがって、撮像された画像から得られる金属曲面部に関する情報を基準データを用いて評価することにより、電子部品の金属曲面部に関する情報を精度よく評価することができる。
 本開示の画像処理方法及び画像処理装置において、前記金属曲面部は、バンプであり、前記図形は、環状帯であり、前記金属曲面部に関する情報は、前記バンプの外径であってもよい。バンプは、一般的には半球状又はそれに近い形状であるが、詳細にみると種々の形状のものがある。そのため、複数種類のバンプについて3次元CADデータの外径が同じだとしても、2次元データに変換した後の環状帯の外径は異なることがある。したがって、本開示の画像処理方法や画像処理装置を適用する意義が高い。
 本発明は、バンプなどの金属表面部を備えた部品を基板に実装する部品実装機などに利用可能である。
10 部品実装装置、12 基台、14 実装装置本体、16 基板、18 基板搬送装置、20 支持板、22 コンベアベルト、23 支持ピン、24 ヘッド、26 X軸スライダ、26a 駆動モータ、28 ガイドレール、30 Y軸スライダ、30a 駆動モータ、32 ガイドレール、34 Z軸モータ、35 ボールネジ、36 Q軸モータ、37 ノズル、40 パーツカメラ、41 照明部、42 ハウジング、43 連結部、44 落射光源、45 LED、46 ハーフミラー、47 多段光源、47a 上段光源、47b 中段光源、47c 下段光源、48a,48b,48c LED、49 撮像部、49a 光軸、60 制御装置、61 CPU、62 ROM、63 HDD、64 RAM、65 入出力インターフェース、66 バス、70 リールユニット、72 リール、74 フィーダ部、76 フィーダコントローラ、80 管理コンピュータ、90,90a,90b 部品、92 本体、94,94a,94b バンプ、96 黒色背景、98,98a,98b 環状帯。

Claims (6)

  1.  金属曲面部を備えた電子部品の前記金属曲面部に側射光源及び/又は傾斜光源の光を照射し、光の照射された前記金属曲面部を、前記金属曲面部に対向する所定の撮像位置から撮像し、該撮像された画像に基づいて前記金属曲面部に関する情報を得る画像処理方法であって、
     前記金属曲面部の3次元CADデータと前記金属曲面部に照射される光の向きとに基づいて、前記金属曲面部で反射した光が前記撮像位置に到達したときに生成する図形の2次元データを作成し、前記図形の2次元データに基づいて前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を評価する、
     画像処理方法。
  2.  前記図形の2次元データに基づいて前記金属曲面部に関する情報の基準データを作成し、前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を前記基準データを用いて評価する、
     請求項1に記載の画像処理方法。
  3.  前記金属曲面部は、バンプであり、
     前記図形は、環状帯であり、
     前記金属曲面部に関する情報は、前記バンプの外径である、
     請求項1又は2に記載の画像処理方法。
  4.  金属曲面部を備えた電子部品の前記金属曲面部に側射光源及び/又は傾斜光源の光を照射し、光の照射された前記金属曲面部を、前記金属曲面部に対向する所定の撮像位置から撮像し、該撮像された画像に基づいて前記金属曲面部に関する情報を得る画像処理装置であって、
     前記金属曲面部の3次元CADデータを記憶する記憶装置と、
     前記金属曲面部の3次元CADデータと前記金属曲面部に照射される光の向きとに基づいて、前記金属曲面部で反射した光が前記撮像位置に到達したときに生成する図形の2次元データを作成し、前記図形の2次元データに基づいて前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を評価する制御装置と、
     を備える画像処理装置。
  5.  前記制御装置は、前記図形の2次元データに基づいて前記金属曲面部に関する情報の基準データを作成し、前記撮像された画像から得られる前記金属曲面部に関する情報を前記基準データを用いて評価する、
     請求項4に記載の画像処理方法。
  6.  前記金属曲面部は、バンプであり、
     前記図形は、環状帯であり、
     前記金属曲面部に関する情報は、前記バンプの外径である、
     請求項4又は5に記載の画像処理装置。
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