JPH0326882Y2 - - Google Patents

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JPH0326882Y2
JPH0326882Y2 JP1986190485U JP19048586U JPH0326882Y2 JP H0326882 Y2 JPH0326882 Y2 JP H0326882Y2 JP 1986190485 U JP1986190485 U JP 1986190485U JP 19048586 U JP19048586 U JP 19048586U JP H0326882 Y2 JPH0326882 Y2 JP H0326882Y2
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0042—Degasification of liquids modifying the liquid flow
    • B01D19/0047—Atomizing, spraying, trickling

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 「考案の目的」 本考案は脱気機構の考案に係り、各種液体中に
含有される気体分の除去を高度の除去効率で行わ
せ得る機構を得ようとするものである。
（産業上の利用分野） 電子工業などに使用される超純水や各種薬液あ
るいは試験液などの脱気技術。
（従来の技術） 超純水その他の各種液体において、空気その他
の気体混入が好ましくない場合に脱気することが
必要で、この脱気機構としては種々に実施されて
いる。例えば多孔質チユーブ、多孔質フイルム
の片側に液体を導入し、他側から脱気を行うも
の、超音波を液に作用させて脱気するものなど
が知られている。
（考案が解決しようとする問題点） 前記したのものにおいて、脱気効率を高めよ
うとするには液と多孔質体との接触面積を増加さ
せる手法以外に手段がなく、このためチユーブを
細くし、或いは長くし、更にはフイルムを襞状に
折曲するような手法が採られるが、これらの何れ
の場合においても多孔質体自身の通気量は必要脱
気量に比して非常に大きく、その効率は液体内部
から多孔質体との接触面に到るまでの気体移動速
度に大きく左右されている。即ちこのようなこと
から多孔質体自身の大きな通気量は充分に活用さ
れていない。
又超音波を液体に作用させて気体の移動を早め
るものにおいては、脱気後に代りの気体を入れて
空気中気体の再侵入を防止することが必要で、使
用目的の如何によつてはこの気体の入れ換えで、
好ましからざる気体の除去に効果があるとして
も、殆んどの場合において斯様な気体の入換では
不充分である。
なお多孔質チユーブを用いることなく、スプレ
ー液を直接脱気することも可能であるが、この場
合には水滴が真空ポンプ方向に進入するため水封
式ポンプしか使用できず、その最高真空圧は約
200メートルであつて油封式のポンプに比較する
と真空圧が非常に低くなつて脱気効率が劣つたも
のとならざるを得ない。
「考案の構成」 （問題点を解決するための手段） 減圧化し得るようにした脱気室内に多孔質チユ
ーブを設け、該多孔質チユーブ内に被処理液を霧
化供給するスプレーノズルを備えたことを特徴と
する脱気機構。
（作用） 脱気室内に設けられた多孔質チユーブ内にスプ
レーノズルで霧化された被処理液が供給される。
上記のように霧化された液の表面積は単に流下
する被処理液の表面積の数百倍以上となり、又多
孔質チユーブの内面で液を満たすことがなくな
る。従つて多孔質チユーブの通気性が完全状態で
利用され、又霧化液からの気体除去が有効に達成
される。霧化液滴から除去された気体は減圧下さ
れている脱気室に排除され、液滴は多孔質チユー
ブ内を降下流動して液溜りに導かれ、再び液状と
なつて排出される。
前記チユーブの下部を屈曲せしめて液溜り室に
連結することにより該チユーブ内における霧化液
体を再び液状に戻す。特にチユーブ径が太く短か
いものにおいても空気中のガスを液中に取込むこ
となしに液状として液溜めに導入する。
（実施例） 本考案によるものの具体的な実施態様を添附図
面に示すものについて説明すると、第１図および
第２図に示すように脱気口１１を上部一側に形成
した胴体部１にノズル取付ヘツド２を介して上部
キヤツプ３を取付けると共に該胴体部１の下面に
は下部ヘツド４を介して下部キヤツプ５を取付
け、前記した上部キヤツプ３には液入口１３を形
成し、又下部キヤツプ５には液出口１５が形成さ
れている。又前記ノズル取付ヘツド２の中央部に
形成された液導入口１２と上記した下部ヘツド４
の中央部に設けた排出口１４との間にはポリテト
ラフルオロエチレン多孔質材の如きによつて形成
された多孔質チユーブ６が連結され、前記した液
導入口１２にはスプレーノズル７が取付けられ、
脱気口１１には真空ポンプを連結して内部を真空
減圧化し得るように成つているる。胴部体部１の
フランジ部と各ヘツド２，４およびこれらのヘツ
ド２，４と各キヤツプ３，５の間には適宜にＯリ
ングのようなシール材を介装し、各部体間におい
て気密性が確保され、胴部体１内において有効に
減圧された脱気室９が形成される。チユーブ６の
給液室９または液溜り室１０に対する連結部分に
は熱収縮チユーブなどを用いて安定且つ的確な接
続が行われる。
前記した上部キヤツプ３とノズル取付ヘツド２
との間には前記したような液入口１３から被処理
液の供給される給液室８が形成され、又下部キヤ
ツプ５と下部ヘツド４との間には液溜り室１０が
形成されている。前記多孔質チユーブ６は胴部体
１内の脱気室において適宜に屈曲して設定される
ことは図示の通りである。
スプレーノズル７で霧化された被処理液の表面
積は単に該チユーブ６内を流下する場合に比し、
少くとも数百倍に増大され、一般的には1000倍以
上となる。又このようにして霧化し表面積の増大
された液体は多孔質チユーブ６の内面を液体で充
満閉塞することがない。従つて各霧化粒子からの
含有気体除去が有効に達成され、又このようにし
て除去された気体分は多孔質チユーブ６の組織を
介して的確にチユーブ６外の脱気室９に排除され
る。
前記したような多孔質チユーブ６は必要に応じ
各キヤツプ３，５間に２本以上設定し、それらの
各多孔質チユーブ６には何れも上記のようなスプ
レーノズル７が設けられる。
上記したような本考案によるものの具体的な利
用例について説明すると、上述したような多孔質
チユーブ６として、内径が12.5mmで、外径が14.0
mm、空孔率が50％で最大孔径0.7mmとされ、通気
量は300c.c.／cm2・min.（at1Kg／cm2）のものの長さ
が200mmのものを採用し、このような多孔質チユ
ーブ６内にスプレーノズル７として充円錐ノズル
を採用して水道水を霧状に20c.c.／minの割合で噴
霧し、チユーブ６の外側を真空ポンプによつて20
トールの減圧状態として処理したところ、液出口
１５から得られた水における溶存酸素量は
0.1ppmであつた。
即ちこのような結果は、従来市販されているチ
ユーブ型の脱気設備として内径15mmのチユーブを
用いた長さ11.0ｍのものと同じ処理量であつて単
位面積当りの効率は730％の向上となつており、
著しい高能率化を得しめていることが理解され
た。
「考案の効果」 以上説明したような本考案によるときは多孔質
チユーブ内において被脱気液をスプレーし、多孔
質チユーブの外側を減圧化して脱気することによ
り煩る高能率な脱気をなすことができ、各種工業
の高精度化に必要な脱気処理を充分に低コスト化
し、コンパクトな設備で実施し得るものであるか
ら工業的にその効果の大きい考案である。
【図面の簡単な説明】
図面は本考案の技術的内容を示すものであつ
て、第１図は本考案によるものの構成部体に関す
る分解状態の斜面図、第２図はその組立て状態の
部分的な断面図である。 然してこれらの図面において、１は胴部体、２
はノズル取付ヘツド、３は上部キヤツプ、４は下
部ヘツド、５は下部キヤツプ、６は多孔質チユー
ブ、７はスプレーノズル、１１は脱気口、１２は
液導入口、１３は液入口、１４は排出口、１５は
液出口を示すものである。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 減圧化し得るようにした脱気室内に多孔質チ
    ユーブを設け、該多孔質チユーブ内に被処理液
    を霧化供給するスプレーノズルを備えたことを
    特徴とする脱気機構。 ２ 多孔質チユーブの上端を給液室に連結し、該
    多孔質チユーブの下端を適宜に屈曲せしめて脱
    気室の下部に形成された液溜り室に連結し、該
    液溜り室から処理済み液を取出すようにした実
    用新案登録請求の範囲第１項に記載の脱気機
    構。 ３ 脱気室内に複数の多孔質チユーブを設けた実
    用新案登録請求の範囲第１項または第２項の何
    れか１つに記載の脱気機構。
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