JPS59216606A - 脱気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は液体中に溶存している気体（溶存ガス）の脱気
装置に関し、更に詳しくは気体のみを通し液体を阻止す
る合成樹脂材で成形したチューブを減圧室内に収容し、
そのデユープ内に溶存ガスを含む液体を流通させながら
脱気するようにしだ脱気装置に関するものである。

この種脱気装置における脱気ｍは、脱気すべき液体を流
通させるチューブの材質と、その内径と肉厚及び長さ、
並びに脱気Ｊべき液体の流ｍ等によって大きく左右され
る。１１ｊ２気Ｍを左右する因子の中でチューブの内径
はより細く、肉厚はより薄い方が脱気しやＪ−いが、チ
ューブの成形上自ずと限界があり、現存のチューブ成形
技術では四弗化エチレン樹脂材を用いた場合、内径１．
８１１１Ｉ１１、肉厚０．２１１１１１１が限界である
。そこで、チューブの材質と内径及び肉厚を同じにした
場合、脱気量はチューブの長さと脱気１べぎ液体の流量
とによって決定される。即ち、チューブが長い程脱気（
イ）は向上Ｊるが、逆にチューブが長い程チューブ内を
流通する脱気すべき液体の管抵抗が増し流れにくくなる
ので、所用の流量が得られなくなる。所用の流量を得る
ためには脱気すべき液体に圧力を加えるか、チューブを
短くすばよいが、前者の場合余計な設備を必要とするだ
けでなくチューブが破裂しやすくなり自ずと限界があり
、後者の場合は所用の脱気ωが１ｑられなくなることが
ある。結局、脱気すべぎ液体の最大流量はチューブの長
さによって決定され、１１１２気すべき液体の流量によ
って脱気量が変るので、所用の脱気量を得るにはデユー
プの長さを適当に選択設定すればよいことになる。

他方、脱気ずべき液体の用途によって、脱気の程度と、
必要とする流量が異なり、必要とする流量も液体クロマ
トグラフィに用いる溶媒のように小量で常に一定であれ
ばよい場合と、洗浄に用いる純水のように常に多量を必
要とする場合と、数ｍ皇から散見の巾で所定時に所用量
を連続して必要とする場合とがある。

しかし乍ら、従来のこの種脱気装置では所用の脱気量は
１ワられても、連続して多聞の流量が得られず、まして
や、数ｍｌから教皇の巾で所定時に所用量の流量が連続
して得られるものはなかった。

本発明はこの様な事情に鑑みなされたもので、その目的
とする処は、同じ脱気量の液体がｏ、　１ｍｌから理論
的には無限人造の巾で所定時に所用量の流量が連続して
得られるｌＢ２Ｂ２同装置供せんとするにある。

係る目的を達成する本発明の雑木的構成は、脱気ずべき
液体を受は入れ１つの流入口と受【ノ入れた液体を枚数
本の各チューブに分配する為の複数の分配口を備えてな
る流入用分配盤と、脱気された液体を集積する為の複数
の集積口と１つの流出口を備えた流出用集積盤と、Ｌ記
流入用分配盤の各分配口と流出用集積盤の各集積口とを
相互に連通接続さゼて脱気１べき液体を流通させる複数
のチューブと、該複数のデユープを収容し真空ポンプと
接続して各デユープを流通している）ｊ５２気すべぎ液
体から溶存ガスを脱気する為の脱気用タンクとからなり
、前記各チューブを気体のみを通ず合成樹脂材で同じ長
さに成形すると共に各々渦巻状に巻回してなるものであ
る。

以下、本発明実施の一例を図面に基づいて説明する。

第１図は脱気用タンク（１）とチューブ（２）を切欠し
て承り脱気装置の正面図であり、図中（３）が流入用分
配盤、（４）が流出用集積盤である。

流入用分配盤（３）と流出用集積盤〈４）の訂細を第２
図及び第３図に示す。

流入用分配盤（３）は脱気すべき液体（ａ　）を受（プ
入れる為の１つの流入口（３ａ）と、受り入れた液体（
ａ）を複数の分配口（３ｂ）に分配する為の分配通路（
３０）、及び分配通路（３Ｃ）と連通して脱気すべき液
体（ａ　）を複数本の各チューブ（２＞（、，２）・・
・に分配づる為の複数の分配口（３ｂ）を備えてなり、
流入用、分配盤（３）自体は略円盤形状に成形し、各分
配口（３ｂ　）　　（３ｂ　）・・・は流入用は分配盤
（３）の周面に放射状に配置形成されている。

尚、各分配［＋　（３ｂ　）　　（３ｂ　）・・・は流
入用分配￥ｌｉ（３＞　Ｔ面位置に配置形成してもかま
わない。

流出用集積盤（４）は流入用分配盤（３）とほぼ同様の
形状に成形し、脱気された液体（ｂ）を受（）入れる為
の複数の集積口（４ｂ　）　　（４ｂ　）・・・と、各
集積０　（４ｂ　）　　（４１）　）・・・ど連通した
集積路（４Ｃ）及び集積路（４”ｃ）と連通した１つの
流出口（４ａ）を備えてなる。

尚、流入用分配？１３（３）の分配Ｄ（３ｂ）と流出用
集積盤（４）の集積Ｄ（１＋）とは同数配置形成し、１
本１木のチューブ（２）で各分配口（３ｂ）と集積Ｄ（
４ｂ）とを１つ宛連通接続するものである。又、図示実
施例では流入用分配盤（３）と流出用集積（！！（４）
とをＨいに一部を重ね合せ一体にして脱気用タンク（１
）内下部に設置したが、流入用分配盤〈３）と流出用集
積盤（４）とを別々に成形してＩＢＪ気川タ用ク（１）
の上下位置に夫々分聞１して段間してもよい。

チューブは（２）は気体のみを通し液体の透過を阻止す
る合成樹脂材、例えば四弗化工ルン樹脂月やシリコン樹
脂材等を用いて成形するが、その内径や肉厚や長さは前
述した通り、脱気すべき液体の性質や流量およ及び要求
される１１；１気爪によって異なる。実験の結果では、
チューブ（２）の内径を０．２〜１２ｍ１１１．肉厚を
０．２〜１．０．長さを１０〜４５ｍとし、脱気ずべき
液体の流量を一分間当り０．１〜１０．０ｍ５１とした
時、完全に近い状態にまで脱気することが出来た。従っ
て、要求される脱気用を基準にした場合、チューブ（２
）の内径と肉厚を定めた後、チューブ（２）の長さは実
測に基づいて選択設定し、次いで脱気すべき液体の要求
流量をチューブ（２）一本当りの最大流量に基づいて決
定する。即ち、脱気すべき液体の要求流量、すなわち脱
気された液体を例えば−分間当り最大５００ｍ１はしい
場合に、一本のブーユーブ（２）内を抵抗なく流れる最
大流量が例えば−分間当り２０ｍ１であると覆れば、２
５本（５００÷　２０＝２５）のチューブ（２）を用意
ずればよいことになる。

然して、チューブ（２）の内径、肉厚、長さ及び必要な
本数が決定され、各チューブ（２）を同じ長さに成形し
、その一端を流入用分配盤（３）の分配口（３ｂ）に連
通接続し、その他端を流出用集積盤（４）の集積口（４
ｂ〉に連通接続すると共に、渦巻状に巻回させてＩＢＪ
気用タンク（１）内に収容設置する。その際、各ブユー
ブ（２）が折れ曲ったり捩れたつづることなく効率に＜
収容設置し得るように、各ブーコープ（２）（７）渦巻
束＜２ａ　＞　　（２ｂ　）　　（２ｃ　）　−・・の
直径や高さを違えて同芯状に積み重ね状に収容設置する
。即ち、図示実施例では中心の渦巻束（２ａ）の外周に
、その渦巻束（２ａ）の半分の高さの渦巻束（２ｂ　）
　　（２ｃ　）を同芯状態に積み重ね、これを１つのブ
ロックどしてＩＩ（１気用タンク（１）内に仕切板（５
）を介して順次積み重ね状に収容設置したものである。

又、各デユープ（２）を脱気用タンク〈１）内に収容設
置した際、各チューブにおける脱気効率を損なわないよ
うにする為に、換言づればチューブ（２）同士及びデユ
ープ（２）と１１；２気用タンク（１）との接触をでき
るだけなくする為に、チューブ（２）と脱気用タンク（
１）内壁及び仕切板（６）との間並びに各デユープ（２
）相互間にスペーサ材（６）を介在させる。

スペー→Ｊ＋１６）としては連続気泡を有する樹脂発泡
材等を用いて平板形状或いは小片形状に形成し、例えば
平板形状のスペーサ材を１１１気用タンク（１）の上下
内壁と周壁内壁及び仕切板（６）の１下表面に沿わせで
設置し、小片形状のスペーり材をデユープ（２）の相互
間に設置Ｊるものである。

ｌＢ２気川タンク（１）は堅牢な金属材を用いて円筒形
状に成形づると共ニコキの上下に蓋板（１ａ　＞（１）
を一体に被蓋して内部を気密状に形成してなり、その上
蓋板（１ａ）に真空ポンプ（図示けず）の接続管（７）
と接続される接続口（８）と、圧力センサ（９）の取イ
１０（１０）を一体突設すると共に、流入用分配盤（３
）の流入＋１（３ａ）と流出用集積盤（４）の流出口（
４ａ）を突出させる。又、脱気用タンク（１）の内部に
はチューブ（２）を収容設置すると共に、チューブく２
）を支持する仕切板（５）を設置づ゛る。この仕切キル
（５）は脱気用タンク（１）の内径とほぼ同径の円形板
状に成形し、その中央を支社り１１）によって水平状に
支持せしめ、適当な箇所に各チューブ〈２）を導出させ
る為の切欠き溝（１２）及び気体う９通孔（１３）を穿
設する。

本発明は斯様に、１つの流入ＩＩ（３ａ）と複数の分配
口（３ｂ　）　　（３ｂ　）・・・を翰えた流入用分配
盤（３）と、複数の集積１］　（４ｂ　）　　（４１＋
　）・・・と１つの流出口（４ａ）を備え１＝集槓盤（
４）と、上記各分配口（４１Ｊ）（３１））・・・と集
積口（４ｂ　）　　（４ｂ　’）・・・とを相互に連通
接続させる複数のチューブ（２）（２）・・・と、該チ
」−ブを収容し真空ポンプと接続した脱気用タンク（１
）とからなり、上記各チューブ（２＞（２）・・・を気
体のみを通す合成樹脂材で同じ長さに成形すると共に各
々渦巻状に巻回してなるので、脱気すべぎ液体（ａ　）
は流入用分配盤（４）の流入口（３ａ）から分配通路（
３ｃ）に入り、ぞこから各分配口（３ｂ　）　　（３ｂ
　）・・・に分配されて夫々のチューブ（２）（２＞・
・・内を流通する。この際、脱気ずべき液体（ａ　）の
流量によって、１１１１気１べき液体（ａ　）が流通し
ているチューブ（２）と流通していないチューブ（２）
とが存在する。即ち、１本のチューブ（２）内を抵抗な
く流れる最大流量が例えば−分間当り１ａｍ　ｌで、こ
のような同じ長さのチューブ（２）を２０本使用した場
合、１１１２気ずべき液体（ａ）の最大流通は一分間当
り２００ｍｌ（１０ｍ１ｘ２０本）となるが、脱気リベ
き液体（ａ　’）を流入用分配盤（３）の流入口（３ａ
）から−分間当り２ａｍｌ供給すると、流入用分配盤（
３）の各分配口（３ｂ　）　　（３ｂ　’）・・・（こ
の場合、流入用分配盤の分配口（３ｂ）は２０箇ある）
に均等に分配（２０ｍｌ÷２０本−１ｍ１）されるので
はなく、２乃至３箇の分配口〈３ｂ）のみを通して夫々
のチューブ（２）を流通するようになる。この現象は、
各チューブ（２）・・・の内径や長さが厳密には同一で
ない事、及び各チューブ（２）・・・を渦巻状に巻回し
て脱気用タンク（１）内に収容設置されている状態が厳
密には同一でないので、各チ１−ブ（２）・・・内を流
通する液体の管抵抗が微妙に相ｊｎりる為と思われる。

然して、脱気１′べき液体（ａ　）は各チューブ（２）
内を流通している過程で脱気され、１１１２気された液
体くｂ）は流出用集積ｆｆＲ（４）の各集積口！、ｂ）
（４ｂ）・・・から集相路（４Ｃ）に集められて流出口
〈４ａ）から１ｊ４−ス等により所定の場所に供給され
る。

本発明はこの様に、脱気すべき液体はその流量に応じて
各チューブ内を流通し、各チ１−ブ内を流通ている過程
で脱気され、Ｊ］つチューブ１本当りの１１（１気Ｍは
同じであるから、同じ１１１１気量の液体が０１．ｍｌ
から理論的には無限人造の［１］で所定時に所要量の流
量が連続して得られるようになる。

本発明の脱気装置を用いて脱気したデータ表を第７図（
ａ　）と第７図（ｂ）に示す、図中、縦軸が脱気昂で、
１！１の液体中に溶存している酸素の堅（ｍｇ　ｏ／ｌ
　）で現わす、横軸が脱気すべぎ液体の１分間当りの流
量（ｍｌ／ｍｉｎ　）を現ねり。そして、第７図（ａ）
は脱気寸べき液体として蒸留水を使用した例であり、第
７図（ｂ　）は−股木通水を使用した例である。このデ
ータ表から明らかな如く、脱気すべぎ液体の流量が増る
と多少説気量は落ちるが、はとんど同じ脱気早の液体が
得られることが解る。

よって、所期の目的を達成し得る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明脱気装置の１実施例を示し、第１図はｎｓ
２気用タンクとデユープを切欠して示ず、正面図、第２
図は第１図の（２）−（２）線断面図、第３図は第２図
の（３ｍ−（３）線断面図、第４図は第１図の（４）−
（４）線断面図、第５図は流入用分配盤と流出用集積盤
及び各チューブどの関係を説明する模式図、第６図は仕
切板の平面図、第７図（ａ　）及び第７図（ｂ）は本発
明１１１１気′ｖｉ置により１１５２気したデータのグ
ラフ図で、第７図＜ａ　＞は脱気すべき液体として蒸留
水を使用した例、第７図（ｂ）は−股木）ｉ水を使用し
た例である。 図中、（１）は脱気用タンク、（２）はチ」−−ブ、（
３）は流入用分配５１ｉ！、（３ａ）は流入口、（３ｂ
　）　　（３ｂ　）・・・は分配［１、（４）は流出用
集積盤、（４ｂ）は集積口、（４ａ　＞は流出口である
。 特許出願人　　エルマ光学株式会礼 １、事件の表示 昭η１５８年特許願第８９６０９号 ２、発明の名称 １１１２気装置 氏名（名称）　　　エルマ光学株式会社５、補正命令の
日付（自発補正） 昭和　　年　　月　　［１ 補　　正　　明　　細　　書 １、発明の名称 脱　　気　　装　　置 ２、特許請求の範囲 １つの流入口と複数の分配口を備えた流入用分配盤と、
１つの流出口と複数の集積口を備えた流出用集積盤と、
上記各分配口と集積口とを相互に連通接続させる気体の
みを通し液体の透過を阻止する合成樹脂ｌで各々同じ長
さに成形した複数のチューブと、該チＪ−ブを渦巻状に
巻回収容し真空ポンプと接続した減圧タンクとからなる
事を特徴とする脱気装置。 ３、発明の詳細な説明 本発明は液体中に溶存している気体〈溶存ガス〉の脱気
装置に関し、更に詳しくは気体のみを通し液体の透過を
阻止する合成樹脂材で成形したデユープを減圧室内に収
容し、そのチューブ内に溶存ガスを含む液体を流通させ
ながら１１１２気するようにしだ脱気装置にＰＩＪσる
ものである。 この秒１１；２気装置における脱気ωは、脱気すべき液
体を流通させるチューブの材質と、その内径と肉厚及び
長さ、並びに１悦気すべき液体の流量等によって大きく
左右される。脱気量を左右する因子の中でチューブの内
径はより細く、肉厚はより薄い方が脱気しやすいことは
容易に理解されるが、チューブの成形上自ずと限界があ
り、現在のチューブ成形技術では四弗化エチレン樹脂材
を用いた場合、内径１．８ｍｍ、肉厚０．２ｍｍが限界
である。そこで、チューブの材質と内径及び肉厚を同じ
にした場合、ｎ；２気可はチューブの長さと脱気すべぎ
液体の流量とによって決定される。即ち、デユープが長
い程脱気但は向上するが、逆にブーユーブが長い程ブー
ユーブ内を流通ずる脱気Ｊべき液体の管抵抗が増して流
れにくくなるので、所要の流量が得られなくなる。 そこで所要の流量を得るためには脱気づ−べき液体に圧
力を加えるか、チューブを短くすればよいが、前者の場
合余計な設備を必要とするだけでなくデユープが破裂し
やすくなるので加える圧力にも自ずと限界があり、後者
の場合は所要の脱気ｍが得られなくなることがある。結
局、脱気ずべき液体の最大流量はデユープの長さによっ
て決定され、脱気すべき液体の流量によって脱気ｍが変
るので、所要の脱気量を得るにはチ１−ブの材質ど内径
及び肉厚を決定した後、実測によりデユープの長さを適
当に選択設定すればよいことになる。 他方、脱気量べき液体の用途によって、ｊｌ；）気の程
瓜と、その要求される流量が異なる。即ら、例えば液体
クロア１〜グラフイに用いる溶媒の場合には、はぼ完全
に脱気したものを数戚常に一定量供給できればよく、Ｉ
Ｃ半導体製造ブＬ１セスに用いる洗浄用超純水の揚台に
は０．３ＤＤＭ以下に脱気したものを毎時１トン以上必
要とし、また薬用ビンを洗浄覆る洗浄用水の場合は、毎
分数１Ｉ１１１から数ｌの範囲で所定時に所要量を連続
して必要とする。 しかし乍ら、従来のこの種脱気装置では所要の脱気量は
得られても、連続して毎時１トンもの多Φの流□が得ら
れるものや、毎分数ｍｌから数１の範囲で所定時に所要
量の流量が連続して得られるものはなかった。その為に
、ＩＣ半導体製造プロセスに用いる洗浄用超純水のよう
に多量を必要とする場合には、大規模な真空脱気塔を設
備していた。この真空脱気塔は設備費が非常にかさむと
同時に広い敷地を必要とし、安価で省スペースで済む脱
気装置の出現が持ち望まれていた。 本発明は、この様な事情に鑑みなされたもので、その目
的とする処は、同じ脱気最の液体が０．１ｍ　ｌから理
論的には無限大造の範囲で所定時に所要Ｍの流量が連続
して得られると同時に、小型コンパクトで設置場所をと
らず、且つその製造並びに取扱いが容易で安価な脱気装
置を提供せんとするにある。 係る目的を達成する本発明の基本的構成は、脱気すべき
液体を受は入れる１つの流入口と受は入れた液体を複数
本の各チューブに分配する為の複数の分配口を備えてな
る流入用分配盤及び、脱気された液体を集積する為の複
数の集積口と１つの流出口を備えた流出用集積盤及び、
上記流入用分配盤の各分配口と流出用集積盤の各集積口
とを相互に連通接続させて脱気Ｊべき液体を流通させな
がら脱気する為の複数のデユープ及び、該複数のチュー
ブを収容し真空ポンプと接続して各チューブを流通して
いる脱気リベき液体から溶存ガスを脱気づる為の減圧タ
ンクとからなり、前記各チューブを気体のみを通し液体
の透過を阻止する合成樹脂材を用いて同じ長さに成形ザ
ると共に各々渦巻状に巻回してなるものである。 以下、本発明実施の一例を図面に基づいて説明する。 第１図は減圧タン’／（１）とデユープ（２）を一部切
欠して示す脱気装置の正面図であり、流入用分配盤（３
）と流出用集積盤（４）の詳細を第２図及び第３図に示
す。 流入用分配盤（３）は脱気ずべき液体＜ａ　）を受は入
れる為の１つの流入口（３ａ）と、受は入れた液体（ａ
　）を複数の各分配口（３ｂ）　　（３ｂ）・・・に分
配する為の分配通路（３Ｃ）及びその分配通路（３Ｃ）
と連通して脱気すべき液体（ａ）を複数本の各デユープ
（２）＜２）・・・に分配Ｊる為の複数の分配口（３ｂ
）　　（３ｂ）・・・を備えてなり、流入用分配盤（３
）自体は略円盤形状に成形し、各分配口（３ｂ）　　（
３ｂ）・・・は流入用分配盤（３）の周面に放射状に配
置形成されている。尚、各分配口（３ｂ）　　（３ｂ）
・・・は流入用分配盤（３）の下面位置に配置形成する
ようにしてもよい。 流出用集積盤（４）は流入用分配盤（３）とほぼ同様の
形状に成形し、脱気された液体（ｂ）を受り入れる為の
複数の集積口（４ｂ）　　（４ｂ）・・・と、各集積口
（４ｂ）　　（４ｂ）・・・と連通した集積路（４Ｃ）
及びその集積路（４Ｃ）と連通した１つの流出口（４ａ
）を備えてなる。 そして、流入用分配盤（３）の分配口（３ｂ）と流出用
集積盤（４）の集積口（４ｂ）とは夫々同数配置形成し
、各分配口（３ｂ）と集積口（４ｂとを１本１本のチュ
ーブ（２）で連通接続するものである。又、図示実施例
では流入用分配盤（３）と流出用集積盤（４）とを互い
に一部を重ね合せ一体にして減圧タンク（１）の内側上
部に設置したが、流入用分配盤（３）と流出用集積盤（
４）とを別々に成形してもよいと共に、その流入用分配
盤（３）と流出用集積ｆＡ（４）を減圧タンク（１）の
内側又は外側の上又は下位置に夫々分離して設置しても
よい。 チューブは（２）は気体のみを通し液体の透過を阻止す
る合成樹脂材、例えば四弗化エチレン樹脂材やシリコン
樹脂材等を用いて成形するが、その内径や肉厚や長さは
前述した通り、脱気すべき液体の性質や流量及び材質や
要求される脱気恒（脱気の程度）によって異なる。実験
の結果では、チューブ（２）の内径を０．２〜１２１１
肉厚を０．２〜１．０１１１１１１．長さを１０〜４５
ｍとし、脱気すべき液体の流量を毎分０．１〜１０．０
ｍ旦とした時、完全に近い状態にまで脱気することが出
来た。従って、要求される脱気伶を基準にした場合、チ
ューブ（２）の材質と内径及び肉厚を定めた後、デユー
プ（２〉の長さは実測に基づいて選択設定するものであ
る。 実験例では、チューブ（２）を四弗化エチレン樹脂ＩＪ
　テ成形し、０．３ＤＩ）Ｍ　（ＩＩＩ（１０２／　１
　）以下の脱気量を求められた場合に、チューブ（２）
の内径を１．０〜２．ＯＩＩｌｍとし、肉厚を０．２〜
０．５ｍｍとし、長さを５０〜１００ｍとした時、脱気
すべき液体の最大流量（チューブの内を抵抗なく流れる
最大流量）は毎分１０〜２０Ｊｌとなり、所要の脱気量
が得られた。又、チューブ（２）をシリコン樹脂材で成
形した場合には、四弗化エチレン樹脂材の場合より内径
及び肉厚を人ぎくし、しかも長さを１０１１１に短くし
ても、所要の脱気量の液体が最大毎分２０〜４０ｍ１得
られた。 次いで脱気すべき液体の要求流量に基づいてチューブ（
２）の必要な本数を決定する。即ち、脱気された液体を
例えば毎分最大５００１１１立要求された場合に、一本
のチューブ（２）内を抵抗なく流れる最大流量が例えば
−分間当り２０１１であるとづれば、２５本（５００÷
２０＝２５）のチューブ（２）を用意ずれば、毎分０．
１ｍｌから最大５００ｍ　、ｌの脱気された液体が連続
して得られることになる。 また例えば、脱気すべき液体を毎時１トン要求された場
合には、チューブ（２）１本の最大流量がｆ心弁２５Ｉ
Ｉ１１であるとりれば、チューブ（２）１本当り毎時１
，５Ｌ（２５ｘ６０＝１５００ｍ　ｌ　）となるから６
６７本（１０００÷１．５・ン６６７）以上のチューブ
（２）を用意Ｊれば、毎時１トンの脱気された液体が連
続して得られることになる。 然して、チューブ（２）の材質、内径、肉厚、長さ及び
必要な本数が決定され、各デユープ（２）を全て同じ長
さに成形し、その一端を流入用分配盤（３）の分配口（
３ｂ）に連通接続し、その、他端を流出用集積盤（４）
の集積口（４ｂ）に連通接続すると共に、渦巻状に巻回
させＣ減圧タンク（１）内に収容設置する。その際、各
デユープ（２）が折れ曲ったり捩れたりすることがない
ように注意すると共に、効率よく収容設置し得るように
、各チューブ（２）の渦巻束（２ａ＞　　（２１））　
　（２Ｃ＞・・・の直径や高さを違えて同芯状に積み重
ね状に収容設置する。即ち、図示実施例では中心の渦巻
束（２ａ）の外周に、その渦巻束（２ａ）の半分の高さ
の渦巻束（２ｂ）と（２Ｃ）を同志状態に積み重ね、こ
れを１つのブロックとして減圧タンク（１）内に仕切板
（５）を介して順次積み重ね状に収容設置したものであ
る。 又、各チューブ（２）を減圧タンク（１）内に収容設置
した際、各チューブにおける脱気効率を損なわないよう
にする為に、チューブ（２〉同士及びデユープ（２）と
減圧タンク（１）との接触をできるだけなくすることが
望ましく、その為にチューブ（２）と減圧タンク（１）
の内壁及び仕切板（６）との間並びに各チューブ（２）
相互間にスペーサ材（６）を介在させる。 スペーサ材（６）としては連続気泡を有する樹脂発泡材
等を用いて平板形状或いは小片形状に形成し、例えば平
板形状のスペーサ材（６）を減圧タンク（１）の上下内
壁ど周壁内壁及び仕切板（５）の上下表面に沿わせて設
置し、小片形状のスペーり拐をデユープ（２）の相互間
に設置するものである。 減圧タンク（１）は堅牢な金属材を用いて円筒形状に成
形するど共に、その上下に上諮板（１ａ）と下蓋板（１
ｂ）を一体に被蓋してｉ部を気密状に形成してなり、そ
の下蓋板（１ａ）に真空ポンプ（図示せず）の接続管（
７）と接続する接続口（８）と、圧力セン（Ｊ−（９）
の取イ１０（１０）を各々減圧タンク（１）内部と連通
状に一体突設すると共に、流入用弁配置！ＩＦＩ（３）
の流入口（３ａ）と流出用集積盤（４）の流出Ｅｌ（４
ａ）を突出させる。又、減圧タンク（１）の内部にはチ
ューブ（２）を収容設ｉすると共に、多数のチューブ（
２）をブロック毎に支持づ−る仕切板（５）を設置する
。 この仕切板（５）は減圧タンク（１）の内径とほぼ同仔
の円形板状に成形し、その中火を支柱（１１）によって
水平状に支持せしめ、適当な箇所に各デユープ（２）を
導出させる為の切欠き溝（１２）及び気体導通孔（１３
）を穿設する。 本発明は斯様に、１つの流入口（３ａ）と複数の分配口
（３ｂ）　　（３ｂ）・・・を備えた流入用分配盤（３
）と、複数の集積口（４ｂ）　　（４ｂ）・・・と１つ
の流出口（４ａ）を備えた流出用集積盤（４）と、上記
各分配口（４ｂ）　　（３ｂ）・・・と集積口（４ｂ）
（４ｂ）・・・とを相互に連通接続させる気体のみを通
し液体の透過を阻止する合成樹脂材で各々同じ長さに成
形した複数のチューブ＜２）（２）・・・と、該デユー
プを渦巻状に巻回収容し真空ポンプと接続した減圧タン
ク（１）と、からなるので、脱気ずべき液体（ａ　）は
流入用分配盤（４）の流入口（３ａ）から分配通路（３
ｃ）に入り、そこから各分配口（３ｂ）　　（３ｂ）・
・・に分配されて各々のデユープ（２＞（２＞・・・内
を流通するようになる。この際、脱気づべき液体（ａ　
）の流量によって、脱気ずべき液体（ａ　）が流通して
いるチューブ（２）と流通していないチューブ（２）と
が存在する。即ら、１本当りの最大流量が例えば−分間
当り１０ｍ１のデユープ（２）を２０本使用した場合、
脱気された液体（ｂ　）は−分間当り最大２００ｍ　ｌ
　　（１０ｎ＋　Ｊ　ｘ２０本）得られるが、今ここで
１！（１気すべき液体（ｂ　）を流入用分配盤（３）の
流入口（３ａ）から−分間当り２０ｍ１供給したとする
と、流入用分配ｆＡ　（３）　Ｕ）各分配口（３ｂ）　
　（３ｂ）　’−（コ（ＤｊｉＡ合、流入用分配盤の分
配口（３ｂ）は２０１ある）に均等に１ｍｌずつ分配（
２０ｍｌ÷２０本−１ｍ１）されるのではなく、２乃至
３箇の分配口（３ｂ）のみを通して夫々のチューブ（２
）を流通覆るようになる。この現象は、各チューブ（２
）・・・の内径や長さが厳密には同一でない事、及び各
チューブ（２）・・・を渦巻状に巻回して減圧タンクく
１）内に収容設置されている状態が厳密には同一でない
事等により、各デユープ（２）・・・内を流通覆る液体
の管抵抗が各ブユーブによって微妙に相違するので、脱
気すべぎ液体の流量に応じて管抵抗が小さいチューブ（
２）から順に流通する為と思われる。 然して、ｎ＋＞気づべき液体（ａ）は各チューブ（２）
・・・が減圧タンク（１）内に収容されているので、各
デユープ（２）・・・内を流通している過程で、溶在ガ
スがデユープ〈２）を透過して減圧タンク（１）内に排
出され脱気され、脱気された液体（ｂ　）は流出用集積
盤（４）の各集積口（４ｂ）　　（４ｂ）・・・から集
積路（４Ｃ）に集められて流出口（４ａ）からホース等
により所定の場所に供給される。 本発明はこの様に、脱気すべき液体はその流量に応じて
各チューブ内を適当に流通し、各チューブ内を流通して
いる過程で１１（１気され、且つデユープ１本当りの１
１（１気量は各チューブとも同じであるから、同じ脱気
量の液体が０．ｉｎ＋　ｌから理論的には無限大造の範
囲で所定時に所要量の流量が連続して得られるようにな
る。 本発明の脱気装置を用いて脱気したデータの一例を第７
図（ａ）と第７図（ｂ）に示す。図中、縦軸は脱気Ｍで
、１１の液体中に溶存している酸素のｆｆｉ　（ｍＧＯ
ｚ　／！Ｌ）で現わし、横軸は脱気づべき液体の１分間
当りの流ｆｆｉ　（ｍｌ／ｍｉｎ　）を現わづ。そして
、第７図（ａ）は脱気づべぎ液体として蒸留水を使用し
ＩＣ例であり、第７図（ｂ　）は−股木通水を使用した
例である。このデータ表から明らかな如く、脱気寸べぎ
液体の流量が増ると多少脱気量は落ちるが、はとんど同
じ脱気毎の液体が毎分０．１ｍ　ｌから１３００ｍ　ｌ
まで連続して得られることが解る。 しかも、装置全体が非常に小型］ンパク１〜になり（実
施例のものは減圧タンクの高さが３６０ｍｍ、内径が２
４０ｍｎ＋である）、設置場所をとらず、その経済的効
果は大なるものがある。 更に、構造が１）ｎ単で製造が容易であり、従来の脱気
塔に比較して非常に安価に提ｔｌｔ　ｔ、　１４ｆると
同時に、その保守点検が容易となる。 よって、所期の目的を達成し得る。 ４、図面の簡単な説明 図面は本発明脱気装置の１実施例を示し、第１図は減圧
タンクとチューブを切欠して示゛す正面図、第２図は第
１図の（２）−（２）線断面図、第３図は第２図の（３
）＝（３）線断面図、第４図は第１図の（４１−（４）
線断面図、第５図は流入用分配盤と流出用集積盤及び各
チューブとの関係を説明１−る模式図、第６図は仕切板
の平面図、第７図（ａ）及び第７図（ｂ）は本発明脱気
装置により脱気したデータのグラフ図で、第７図（ａ）
は脱気すべぎ液体として蒸留水を使用した例、第７図（
ｂ）は−股木通水を使用した例である。 図中、（１）は減圧タンク、（２）はチューブ、（３）
は流入用分配盤、（３ａ）は流入口、（３ｂ）は分配口
、（４）は流出用集積盤、（４ｂ）は集積口、（４ａ）
は流出口である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １つの流入口と複数の分配口を備えた流入用分配盤と、
   複数の集積口と１つの流出口を備えた流出用集積盤と、
   上記各分配口と集積口とを相互に連通接続させる複数の
   チューブと、該チューブを収容し真空ポンプと接続した
   脱気用タンクとからなり、上記各チューブを気体のみを
   通す゛合成樹脂材で同じ長さに成形すると共に各々渦巻
   状に巻回してなる事を特徴とする脱気装置。