JPH03268247A - 光磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザビーム及び外部磁界を用いて情報の記
録・再生・消去を行う光磁気記録媒体およびその製造方
法に関する。

（従来の技術〕 従来、光磁気記録媒体の磁性膜の１つとして貴金属と遷
移金属の多層膜が用いられている。この（２） 磁性膜は希土類−遷移金属磁性膜に比べて耐食性が非常
に優れており、しかも短波長領域でのカー回転角が大き
いために、将来の短波長用磁性膜として有望であるが、
保磁力が１〜２ｋＯｅと小さいため、磁区長が０．５μ
ｍ以下の高密度記録を行うのが困難である。また、従来
の貴金属−遷移金属多層膜では、希土類−遷移金属膜と
同様に、熱伝導率が０　、　Ｉ　Ｊ　／　ｃｗ−ｄｅｇ
−ｓｅｃ以上と大きいために高密度記録を行うのが困難
である。すなわち、光変調記録方式では、第一の光パル
スによって発生した熱が後方に伝わり、第二の光パルス
による磁区形成に影響を与えるため、磁区同士を分離し
て記録できるパワーマージンが極めて小さい。また、磁
界変調記録方式では、三日月型磁区の曲率が大きくなり
、磁区の両端で磁区同志がつながってしまうため、再生
時のＳＮ比が劣化する。

なお、本発明に関連する従来技術として、例えばアイイ
ーイーイートランザクションズオンマグネティクス第２
５巻第５号、１９８９年９月第３７６４〜３７６６頁等
を挙げることができる。

（３） 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の貴金属−遷移金属多層膜では、保磁力が１〜２ｋ
Ｏｅと小さく、しかも膜面内方向の熱伝導率が０３ｌＪ
／ａＩｌ−ｄｅｇ−５ｅｃ以上と大きいために、磁区長
が０．５μｍ以下の高密度記録を安定に行うことが困難
であった。本発明の目的は、保磁力が５ｋＯｅ以上、膜
面内方向の熱伝導率が０．ＩＪ　／　ａｎ　−ｄｅｇ−
ｓｅｃ以下の、高密度記録が安定に行える磁性膜を提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、貴金属膜と遷移金属−遷移金属酸化物混合
膜を交互に多層積層することによって達成できる。上記
貴金属としては、Ｐｔ、Ａｇ。

Ｐｄの少なくとも一種以上、遷移金属としてはＣｏ、Ｍ
ｎ、Ｎｉ、Ｆｅの少なくとも一種以上が望ましい。

上記の遷移金属を、酸素を含むアルゴン雰囲気中でスパ
ッタあるいは蒸着すると、形成される膜は、直径約１０
０人の柱状の遷移金属とそのまわりを覆う厚さ約１０人
の遷移金属酸化物の集合体（４） （いわゆる遷移金属−遷移金属酸化物混合膜）となる。

この遷移金属−遷移金属酸化物混合膜と資金層膜を交互
に積層すれば、上述した膜構造のために、従来の貴金属
−遷移金属多層膜（超格子膜）に比べて保磁力が大きく
なり、熱伝導率が小さくなる。

上述した磁性膜を作成する方法としては、酸素を含むア
ルゴン雰囲気中で、貴金属と遷移金属とを交互にスパッ
タあるいは蒸着する方法がある。

特に、貴金属としてＰｔ、遷移金属としてＣ。

を、酸素を含むアルゴン雰囲気中で、交互に１０Å以下
ずつ積層した場合には、最も良い記録特性が得られる。

また、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒの少なくとも一種
以上の酸化物と遷移金属を同時にアルゴン雰囲気中でス
パッタ、あるいは蒸着し、貴金属膜と交互に積層するこ
とによっても、前述した柱状構造を持つ磁性膜を得るこ
とができる。

〔作用〕

遷移金属−遷移金属酸化物混合膜の一例として、（５） Ｃｏ膜を酸素を含むアルゴン雰囲気中でスパッタにより
形成すると、第２図に示すように、直径約１００人の円
柱状のＧｏと、そのまわりを覆う厚さ約１０人のＧｏ酸
化物との集合体（全体として膜になる）が形成される。

このＣｏ−０膜と貴金属の膜を交互に多層積層すること
により、光磁気記録が可能な垂直磁化膜となる。

上記の磁性膜では、円筒状のＣＯ酸化物によって磁壁の
移動が妨げられるため、保磁力が４〜５ｋｏｅと大きく
なり、安定した微小磁区を記録することが可能である。

また、膜面内方向の熱の伝達は熱伝導率の小さなＣＯ酸
化物によってさえぎられるため、膜面に垂直方向の熱伝
導率（従来の貴金属−遷移金属多層膜の熱伝導率と同じ
）に比べて、膜面内方向の熱伝導率は１ケタから２ケタ
程度小さくなる。

〔実施例〕

実施例１ 第１図は本発明の一実施例の光磁気記録媒体である。ガ
ラス基板上にＳｉＮ膜を８００人積層し、（６） さらにＣｏとｐｔを交互に酸素を含むＡｒ雰囲気中で多
層積層した。Ｃｏ−０とＰｔの膜厚は両者とも９人で、
磁性膜の総膜厚は５４０人とした。

また、Ｃ０−０膜中の酸素の量は原子パーセントで１０
％である。酸素を含まないＡ　ｒ−雰囲気中で同様の磁
性膜を作製した場合の保磁力は１ｋＯｅ以下であるのに
対して、本発明による磁性膜の保磁力は約４ｋＯｅとな
った。

第３図に、上述のようにして作製したＰｔ／Ｃ０−０多
層膜を持つディスク（ｂ）と、従来のＰｔ／Ｃｏ多層膜
を持つディスク（ａ）に、それぞれ磁界変調方式で磁区
を記録した場合の磁区形状を示す。

本発明によるディスクでは、従来のディスクに比べて三
日月型磁区の曲率が小さくなった。これは、Ｐ　ｔ　／
　Ｇ　ｏ−〇多層膜の膜面内方向の熱伝導率が０．ＩＪ
／印・ｄｅｇ−ｓｅｅ以下と小さいため、光スポツト中
心から見た温度分布がほぼ同心円状となったためである
。さらに、本発明のディスクでは磁性膜の保磁力が大き
くなったため、従来のデ（７） イスクで見られるような磁区周囲の乱れがなく、良好な
形状の磁区が得られた。

上述したＰ　ｔ　／　Ｃｏ−〇多層膜の代わりに、Ｐ　
ｄ　／　Ｃｏ−〇多層膜を用いても、同様の良好な記録
特性が得られた。

実施例２ 第４図は、ガラス基板上にＳｉＮ膜を８００人積層し、
さらにＣｏＺｒ○とｐｔを交互に多層積層した場合であ
る。磁性膜は、Ｇｏのプレート上にＺｒＯ２のチップを
はりつけたターゲットとｐｔメタ−ットを用いて、Ａｒ
雰囲気中でスパッタ法により作製した。Ｃｏ　Ｚ　ｒ○
の膜組成はＣ０１ｌ□０１□ＺｒＧである。このディス
クに磁界変調方式で磁区を記録したところ、第３図（ｂ
）に示した、Ｐ　ｔ　／　Ｃｏ　−０多層膜を持つディ
スクの磁区形状と同様な良好な磁区形状が得られた。

実施例３ ＵＶ樹脂で案内溝を設けたガラス基板あるいはポリカー
ボネート基板上に、実施例１及び２で示した磁性膜を直
接形成した場合にも、第３図（ｂ）（８） に示したような良好な磁区形状が得られた。

〔発明の効果〕

本発明による光磁気記録媒体を用いれば、従来の貴金属
−遷移金属多層膜を磁性膜として持つ、光磁気記録媒体
に比べて、磁性膜の保磁力が大きくなり、また、磁性膜
面内方向の熱伝導率が小さくなる。このため、光変調方
式で記録した場合の磁区同士を分離して記録できるパワ
ーマージンが大きくなり、また、磁界変調方式で記録し
た場合には、曲率が小さく、周囲の乱れのない良好な形
状の三日月型磁区が得られる。さらに、耐食性は、従来
のＴｂＦｅＣｏ磁性膜を持つ光磁気記録媒体よりも大き
く向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第４図は本発明の実施例である光磁気記録媒体
の積層構造を示す断面図、第２図はＣｏ−〇膜内の構造
を示す模式的斜視図、第３図は従来のＰｔ／Ｃｏ多層膜
と本発明のＰ　ｔ　／　Ｇ　ｏ　−０多層膜における記
録磁区形状を示す平面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・ＳｉＮ膜、３・・・Ｐ　
ｔ　／　Ｃ。 （９） 一〇多層膜、４・・・Ｐ　ｔ　／　Ｃｏ　Ｚ　ｒ　Ｏ多
層膜。 （１０）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性膜を含む
   光磁気記録媒体において、当該磁性膜が貴金属膜と遷移
   金属−遷移金属酸化物混合膜とを交互に２層以上積み重
   ねた多層膜からなることを特徴とする光磁気記録媒体。 ２、上記光磁気記録媒体において、当該磁性膜中に、貴
   金属としてＰｔ、Ａｇ、Ｐｄの少なくとも１種以上、遷
   移金属としてＣｏ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｆｅの少なくとも１種
   以上、及び酸素を含むことを特徴とする請求項１記載の
   光磁気記録媒体。 ３、請求項１記載の光磁気記録媒体を製造する方法にお
   いて、貴金属及び遷移金属を酸素を含む雰囲気中で、ス
   パッタあるいは蒸着によつて交互に積層して磁性膜を作
   製することを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。 ４、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する磁性膜を含む
   光磁気記録媒体において、当該磁性膜が、遷移金属、酸
   素及びＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒの少なくとも一種
   以上を含む膜と貴金属膜とを交互に積層した多層膜から
   成ることを特徴とする光磁気記録媒体。 ５、請求項４記載の光磁気記録媒体を製造する際方法に
   おいて、遷移金属とＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒの少
   なくとも一種以上の酸化物とを同時にスパッタあるいは
   蒸着することにより作製した膜を貴金属膜とを交互に積
   層し、磁性膜を作製することを特徴とする光磁気記録媒
   体の製造方法。